CN109782501A - 显示面板走线结构及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显示面板走线结构及其制作方法。所述显示面板走线结构包括基板，所述基板包括扇出区，所述扇出区内设有多条依次间隔排列的扇出信号线，且每一条扇出信号线的内部均形成有镂空区或每一条扇出信号线的两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽，通过在每一条扇出信号线的内部均形成镂空区或在每一条扇出信号线的两侧边缘均形成多个依次排列的锯齿槽，能够改善扇出信号线与显示信号线之间的线宽差异，提升显示面板的显示品质。

Description

显示面板走线结构及其制作方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板走线结构及其制作方法。
背景技术
液晶显示装置(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省电等众多优点，得到了广泛的应用。如：液晶电视、移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等，在平板显示领域中占主导地位。
现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶面板及背光模组(Backlight Module)。LCD显示器件的工作原理是利用液晶的旋光性和双折射，通过电压控制液晶的转动，使经过下偏光片后的线偏振光随之发生旋转，从上偏光片(与上偏光片的偏振方向垂直)射出，从而上、下偏光片加上液晶盒起到光开关的作用。因此，液晶显示面板上下两侧还必须各贴附一片偏光片。
液晶显示面板具有显示区以及扇出区。显示区内配置有多个像素以形成像素阵列，扇出区则设有扇出走线。每个像素都包括薄膜晶体管以及与该薄膜晶体管连接的像素电极，且每个像素的薄膜晶体管均电性连接一条扫描线以及一条数据线。通常这些扫描线以及数据线统称为显示信号线，每一条显示信号线均会由显示区延伸至扇出区，并通过扇出走线与驱动芯片(driver IC)电性连接，以接收驱动信号进行画面显示。
在液晶显示面板的制作过程中，对于同样的图案，光刻工艺后形成在显示区的显示信号线的线宽，比形成在扇出区的扇出信号线的线宽要窄，彼此之间的差异能达到2-3um。导致这种不良的原因主要是：从布局上看，显示区的显示信号线走线比较稀疏，而扇出区的扇出信号线走线比较稠密。在形成信号线时，是对信号线之间的光刻胶进行曝光，而对信号线上的光刻胶不进行曝光，以正性光刻胶为例，受到曝光的光刻胶变性而被显影掉。这样在显影时，由于扇出区的扇出信号线走线十分稠密所以信号线之间的光刻胶较难被显影掉，使得扇出信号线的宽度比较大，且从光强分布来看，扇出信号线走线十分稠密，使得扇出区在曝光时接收到的整体光强较小，相应地，扇出区的扇出信号线之间的光阻接受到的光强也比较弱，受到曝光被显影掉的光阻也比较少，使得扇出区信号线的宽度比较大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种显示面板走线结构，能够改善扇出信号线与显示信号线之间的线宽差异，提升显示面板的显示品质。
本发明的目的还在于提供一种显示面板走线结构的的制作方法，能够改善扇出信号线与显示信号线之间的线宽差异，提升显示面板的显示品质。
为实现上述目的，本发明提供一种显示面板走线结构，包括基板，所述基板包括扇出区，所述扇出区内设有多条依次间隔排列的扇出信号线；
每一条扇出信号线的内部均形成有镂空区或每一条扇出信号线两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽。
所述基板还包括与所述扇出区相连的显示区，所述显示区内设有多条依次间隔排列的显示信号线，每一条显示信号线对应电性连接一条扇出信号线；相邻的两条显示信号线之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线之间的间距。
每一条扇出信号线的内部均形成有镂空区，每一条扇出信号线中的镂空区均从该条扇出信号线一端边缘延伸至该条扇出信号线的另一端边缘。
所述扇出信号线的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合。
每一条扇出信号线均电性连接至驱动芯片。
本发明提供一种显示面板走线结构的制作方法，包括如下步骤：
步骤S1、提供一基板，所述基板包括扇出区；
步骤S2、在所述扇出区上依次形成导电薄膜及光阻薄膜；
步骤S3、提供一光罩，所述光罩包括透光区及非透明区；
所述透光区对应待形成多条扇出信号线之间的间隔位置及每一条扇出信号线内部的镂空区设置或对应待形成多条扇出信号线之间的间隔位置及每一条扇出信号线的两侧边缘的锯齿槽位置设置；
所述非透明区对应所述待形成扇出信号线的位置设置非透光区；
步骤S4、通过所述光罩对所述光阻薄膜进行曝光及显影，得到光阻图案；
步骤S5、以所述光阻图案为遮挡对所述导电薄膜进行蚀刻，蚀刻完成后去除光阻图案，得到位于所述扇出区内的多条依次间隔排列的扇出信号线，且每一条扇出信号线的内部均形成有镂空区或每一条扇出信号线两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽。
所述步骤S1中，所述基板还包括与所述扇出区相邻的显示区；
所述步骤S2中，所述导电薄膜及光阻薄膜还形成于所述显示区上；
所述步骤S3中，所述透光区还对应待形成多条显示信号线之间的间隔位置设置，所述非透光区还对应待形成多条显示信号线的位置设置；
所述步骤S5中，还得到位于所述显示区内的多条依次间隔排列的显示信号线，且每一条显示信号线对应电性连接一条扇出信号线；
相邻的两条显示信号线之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线之间的间距。
每一条扇出信号线中的镂空区均从该条扇出信号线一端边缘延伸至该条扇出信号线的另一端边缘。
所述扇出信号线的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合。
所述显示面板走线结构的制作方法还包括步骤S6、提供一驱动芯片，将每一条扇出信号线均电性连接至驱动芯片。
本发明的有益效果：本发明提供一种显示面板走线结构，包括基板，所述基板包括扇出区，所述扇出区内设有多条依次间隔排列的扇出信号线，且每一条扇出信号线的内部均形成有镂空区或每一条扇出信号线的两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽，通过在每一条扇出信号线的内部均形成镂空区或在每一条扇出信号线的两侧边缘均形成多个依次排列的锯齿槽，能够改善扇出信号线与显示信号线之间的线宽差异，提升显示面板的显示品质。本发明还提供一种显示面板走线结构的的制作方法，能够改善扇出信号线与显示信号线之间的线宽差异，提升显示面板的显示品质。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1和图2为本发明的显示面板走线结构的制作方法的第一实施例的步骤S1至步骤S2的示意图；
图3为本发明的显示面板走线结构的制作方法的第一实施例的步骤S3的示意图；
图4为本发明的显示面板走线结构的制作方法的第一实施例的步骤S4至步骤S5的示意图暨本发明的显示面板走线结构的第一实施例的示意图；
图5和图6为本发明的显示面板走线结构的制作方法的第二实施例的步骤S1至步骤S2的示意图；
图7为本发明的显示面板走线结构的制作方法的第二实施例的步骤S3的示意图；
图8为本发明的显示面板走线结构的制作方法的第二实施例的步骤S4至步骤S5的示意图暨本发明的显示面板走线结构的第二实施例的示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
本发明提供一种显示面板走线结构，其通过在现有的扇出信号线上增加额外的透光结构，使得扇出信号线在制作过程中的其对应的光阻的显影率增加，并使得扇出信号线与显示信号线的线宽趋于一致。
基于上述构思，请参阅图4，在本发明的第一实施例中，本发明提供一种显示面板走线结构，包括基板1，所述基板1包括扇出区11，所述扇出区11内设有多条依次间隔排列的扇出信号线12，每一条扇出信号线12的内部均形成有镂空区121。
进一步地，如图4所示，所述基板1还包括与所述扇出区11相连的显示区21，所述显示区21内设有多条依次间隔排列的显示信号线22，每一条显示信号线22对应电性连接一条扇出信号线12；相邻的两条显示信号线22之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线12之间的间距。
详细地，每一条扇出信号线12中的镂空区121均从该条扇出信号线12一端边缘延伸至该条扇出信号线12的另一端边缘。
可选地，所述扇出信号线12和显示信号线22的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合。
可选地，所述基板1为玻璃基板。
具体地，每一条扇出信号线12还与驱动芯片(未图示)电性连接。
请参阅图1至图4，基于图4所示的显示面板走线结构，本发明还提供一种显示面板走线结构的制作方法，包括如下步骤：
步骤S1、提供一基板1，所述基板1包括扇出区11。
具体地，所述步骤S1中，所述基板1还包括与所述扇出区11相邻的显示区21。
优选地，所述基板1为玻璃基板。
步骤S2、在所述扇出区11上依次形成导电薄膜100及光阻薄膜200。
具体地，所述步骤S2中，所述导电薄膜100及光阻薄膜200还形成于所述显示区2上。
具体地，所述导电薄膜100的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合，所述光阻薄膜200为正性光阻。
步骤S3、提供一光罩300，所述光罩包括对应待形成多条扇出信号线12之间的间隔位置及每一条扇出信号线12内部的镂空区121设置的透光区301及对应所述待形成扇出信号线12的位置设置非透光区302。
具体地，所述步骤S3中，所述透光区301还对应待形成多条显示信号线22之间的间隔位置设置，所述非透光区302还对应待形成多条显示信号线22的位置设置。
步骤S4、通过所述光罩300对所述光阻薄膜200进行曝光及显影，得到光阻图案。
具体地，通过透光区301对所述光阻薄膜200曝光，被曝光后的光阻薄膜200能够通过显影去除，而未被曝光的光阻薄膜200则不会在显影时被去除，未被去除的光阻薄膜200组成光阻图案。
步骤S5、以所述光阻图案为遮挡对所述导电薄膜100进行蚀刻，蚀刻完成后去除光阻图案，得到位于所述扇出区11内的多条依次间隔排列的扇出信号线12，且每一条扇出信号线12的内部均形成有镂空区121。
具体地，所述步骤S5中，还得到位于所述显示区21内的多条依次间隔排列的显示信号线22，且每一条显示信号线22对应电性连接一条扇出信号线12；
相邻的两条显示信号线22之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线12之间的间距。
具体地，每一条扇出信号线12中的镂空区121均从该条扇出信号线12一端边缘延伸至该条扇出信号线12的另一端边缘。
需要说明的是，本发明通过在扇出信号线12内部设置镂空区，以增加用于形成扇出信号线12的光罩的在扇出区11中的透过率，增加扇出信号线12之间的光阻的显影率，从而补偿因为扇出信号线12走线比较稠密引起的光阻的显影率下降，也使得扇出信号线12与显示信号线22的宽度一致。
请参阅图8，在本发明第二实施例中，还提供一种显示面板走线结构，包括基板1，所述基板1包括扇出区11，所述扇出区11内设有多条依次间隔排列的扇出信号线12，每一条扇出信号线12两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽121’。
具体地，所述基板1还包括与所述扇出区11相连的显示区21，所述显示区21内设有多条依次间隔排列的显示信号线22，每一条显示信号线22对应电性连接一条扇出信号线12；相邻的两条显示信号线22之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线12之间的间距。
可选地，所述扇出信号线12和显示信号线22的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合。
可选地，所述基板1为玻璃基板。
具体地，每一条扇出信号线12还与驱动芯片(未图示)电性连接。
请参阅图5至图8，基于图4所示的显示面板走线结构，本发明还提供一种显示面板走线结构的制作方法，包括如下步骤：
步骤S1、提供一基板1，所述基板1包括扇出区11；
具体地，所述步骤S1中，所述基板1还包括与所述扇出区11相邻的显示区21；
优选地，所述基板1为玻璃基板。
步骤S2、在所述扇出区11上依次形成导电薄膜100及光阻薄膜200；
具体地，所所述步骤S2中，所述导电薄膜100及光阻薄膜200还形成于所述显示区2上。
具体地，所述导电薄膜100的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合，所述光阻薄膜200为正性光阻。
步骤S3、提供一光罩300，所述光罩包括对应待形成多条扇出信号线12之间的间隔位置及每一条扇出信号线12的两侧边缘的锯齿槽121’位置设置的透光区301及对应所述待形成扇出信号线12的位置设置非透光区302。
具体地，所所述步骤S3中，所述透光区301还对应待形成多条显示信号线22之间的间隔位置设置，所述非透光区302还对应待形成多条显示信号线22的位置设置。
步骤S4、通过所述光罩300对所述光阻薄膜200进行曝光及显影，得到光阻图案。
具体地，通过透光区301对所述光阻薄膜200曝光，被曝光后的光阻薄膜200能够通过显影去除，而未被曝光的光阻薄膜200则不会在显影时被去除，未被去除的光阻薄膜200组成光阻图案。
步骤S5、以所述光阻图案为遮挡对所述导电薄膜100进行蚀刻，蚀刻完成后去除光阻图案，得到位于所述扇出区11内的多条依次间隔排列的扇出信号线12，且每一条扇出信号线12两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽121’。
具体地，所所述步骤S5中，还得到位于所述显示区21内的多条依次间隔排列的显示信号线22，且每一条显示信号线22对应电性连接一条扇出信号线12；所相邻的两条显示信号线22之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线12之间的间距。
需要说明的是，本发明通过在扇出信号线12两侧边缘增设锯齿槽121’，以增加用于形成扇出信号线12的光罩的在扇出区11中的透过率，增加扇出信号线12之间的光阻的显影率，从而补偿因为扇出信号线12走线比较稠密引起的光阻的显影率下降，也使得扇出信号线12与显示信号线22的宽度一致。、
综上所述，本发明提供一种显示面板走线结构，包括基板，所述基板包括扇出区，所述扇出区内设有多条依次间隔排列的扇出信号线，且每一条扇出信号线的内部均形成有镂空区或每一条扇出信号线的两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽，通过在每一条扇出信号线的内部均形成镂空区或在每一条扇出信号线的两侧边缘均形成多个依次排列的锯齿槽，能够改善扇出信号线与显示信号线之间的线宽差异，提升显示面板的显示品质。本发明还提供一种显示面板走线结构的的制作方法，能够改善扇出信号线与显示信号线之间的线宽差异，提升显示面板的显示品质。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种显示面板走线结构，其特征在于，包括基板(1)，所述基板(1)包括扇出区(11)，所述扇出区(11)内设有多条依次间隔排列的扇出信号线(12)；
每一条扇出信号线(12)的内部均形成有镂空区(121)或每一条扇出信号线(12)两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽(121’)。
2.如权利要求1所述的显示面板走线结构，其特征在于，所述基板(1)还包括与所述扇出区(11)相连的显示区(21)，所述显示区(21)内设有多条依次间隔排列的显示信号线(22)，每一条显示信号线(22)对应电性连接一条扇出信号线(12)；相邻的两条显示信号线(22)之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线(12)之间的间距。
3.如权利要求1所述的显示面板走线结构，其特征在于，每一条扇出信号线(12)的内部均形成有镂空区(121)，每一条扇出信号线(12)中的镂空区(121)均从该条扇出信号线(12)一端边缘延伸至该条扇出信号线(12)的另一端边缘。
4.如权利要求1所述的显示面板走线结构，其特征在于，所述扇出信号线(12)的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合。
5.如权利要求1所述的显示面板走线结构，其特征在于，每一条扇出信号线(12)均电性连接至一驱动芯片。
6.一种显示面板走线结构的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1、提供一基板(1)，所述基板(1)包括扇出区(11)；
步骤S2、在所述扇出区(11)上依次形成导电薄膜(100)及光阻薄膜(200)；
步骤S3、提供一光罩(300)，所述光罩包括透光区(301)及非透明区(302)；
所述透光区(301)对应待形成多条扇出信号线(12)之间的间隔位置及每一条扇出信号线(12)内部的镂空区(121)设置或对应待形成多条扇出信号线(12)之间的间隔位置及每一条扇出信号线(12)的两侧边缘的锯齿槽(121’)位置设置；
所述非透明区(302)对应所述待形成扇出信号线(12)的位置设置非透光区(302)；
步骤S4、通过所述光罩(300)对所述光阻薄膜(200)进行曝光及显影，得到光阻图案；
步骤S5、以所述光阻图案为遮挡对所述导电薄膜(100)进行蚀刻，蚀刻完成后去除光阻图案，得到位于所述扇出区(11)内的多条依次间隔排列的扇出信号线(12)，且每一条扇出信号线(12)的内部均形成有镂空区(121)或每一条扇出信号线(12)两侧边缘均形成有多个依次排列的锯齿槽(121’)。
7.如权利要求6所述的显示面板走线结构的制作方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述基板(1)还包括与所述扇出区(11)相邻的显示区(21)；
所述步骤S2中，所述导电薄膜(100)及光阻薄膜(200)还形成于所述显示区(2)上；
所述步骤S3中，所述透光区(301)还对应待形成多条显示信号线(22)之间的间隔位置设置，所述非透光区(302)还对应待形成多条显示信号线(22)的位置设置；
所述步骤S5中，还得到位于所述显示区(21)内的多条依次间隔排列的显示信号线(22)，且每一条显示信号线(22)对应电性连接一条扇出信号线(12)；
相邻的两条显示信号线(22)之间的间距大于所述相邻的两条扇出信号线(12)之间的间距。
8.如权利要求6所述的显示面板走线结构的制作方法，其特征在于，每一条扇出信号线(12)中的镂空区(121)均从该条扇出信号线(12)一端边缘延伸至该条扇出信号线(12)的另一端边缘。
9.如权利要求6所述的显示面板走线结构的制作方法，其特征在于，所述扇出信号线(12)的材料为钼、钛、铜及铝中的一种或多种的组合。
10.如权利要求6所述的显示面板走线结构的制作方法，其特征在于，还包括步骤S6、提供一驱动芯片，将每一条扇出信号线(12)均电性连接至驱动芯片。
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