CN109750275B - 气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明提供气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质，不使用压力传感器就能适当控制液体材料的供给。气化系统(100)包括：气化器(21)，使液体材料气化；供给量控制设备(22)，控制向气化器(21)供给的液体材料的供给量；流量调整阀(32)，调整气化器(21)生成的气化气体的流量；流量传感器，测定气化气体的流量；阀控制部(43)，向流量调整阀(32)输出驱动信号来控制阀开度，以使由流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量。还包括：驱动信号值取得部(44)，取得作为驱动信号所表示的值的驱动信号值；供给控制部(45)，基于驱动信号值向供给量控制设备(22)输出控制信号，控制液体材料的供给。

Description

气化系统和存储有气化系统用程序的存储介质

技术领域

本发明涉及使液体材料气化的气化系统和存储有用于气化系统的气化系统用程序的存储介质。

背景技术

以往，作为生成例如用于成膜工序等半导体制造工序的气体的装置，如专利文献1所示，采用使液体材料气化的气化系统。

这种气化系统包括一种如下的气化系统：在由气化器生成的气化气体的流道上设置压力传感器，监视气化器内的压力。由此，在气化器内的压力伴随气化器内的液体材料的减少而下降并低于阈值时，通过向气化器供给液体材料来防止气化器内的液体材料枯竭，或者在气化器内的压力气伴随向气化器供给液体材料而上升并高于阈值时，停止供给液体材料来防止液体材料从气化器溢出。

但是，在气化气体的流道上设置有压力传感器时，需要使压力传感器能够耐高温，由于这种压力传感器价格高且大型，所以妨碍了低成本化和紧凑化。

此外，例如在进行压力传感器的零点修正等校正时，存在需要清空气化器而导致维护性变差的问题。

专利文献1：日本专利公开公报特开2016-211021号

发明内容

本发明是为了一举解决上述问题点而完成的，本发明的主要课题在于不使用压力传感器就能够适当地控制液体材料的供给。

即，本发明的气化系统包括：气化器，使液体材料气化；供给量控制设备，对朝向所述气化器供给的液体材料的供给量进行控制；流量调整阀，调整由所述气化器生成的气化气体的流量；流量传感器，测定所述气化气体的流量；阀控制部，向所述流量调整阀输出驱动信号来控制阀开度，以使由所述流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量，所述气化系统的特征在于，还包括：驱动信号值取得部，取得驱动信号值，所述驱动信号值是从所述阀控制部向所述流量调整阀输出的所述驱动信号所表示的值，并表示对所述流量调整阀的施加电压或施加电流；以及供给控制部，基于由所述驱动信号值取得部取得的表示对所述流量调整阀的施加电压或施加电流的所述驱动信号值向所述供给量控制设备输出控制信号，控制所述液体材料的供给。

在此，对气化器内的压力与驱动信号值之间的关系进行说明。

如果气化器内的压力伴随气化器内的液体材料的减少而下降，则流入流量调整阀的气化气体的压力下降，所以为了使测定流量成为设定流量，需要使阀开度变大。因此，如果气化器内的压力下降，则阀控制部例如针对常开型流量调整阀，使施加电压或施加电流等驱动信号值变小而使阀开度变大，并且针对常闭型流量调整阀，使施加电压或施加电流等驱动信号值变大而使阀开度变大。

另一方面，如果气化器内的压力伴随向气化器供给液体材料而上升，则流入流量调整阀的气化气体的压力上升，所以为了使测定流量成为设定流量，需要使阀开度变小。因此，如果气化器内的压力上升，则阀控制部例如针对常开型流量调整阀，使施加电压或施加电流等驱动信号值变大而使阀开度变小，并且针对常闭型流量调整阀，使施加电压或施加电流等驱动信号值变小而使阀开度变小。

即，在流量调整阀是常开型的情况下，如果驱动信号值变小，则表示气化器内的液体材料减少且气化器内的压力下降，如果驱动信号值变大，则表示气化器内的液体材料增加且气化器内的压力上升。

另一方面，在流量调整阀是常闭型的情况下，如果驱动信号值变大，则表示气化器内的液体材料减少且气化器内的压力下降，如果驱动信号值变小，则表示气化器内的液体材料增加且气化器内的压力上升。

由此，如果是上述气化系统，则通过基于输入流量调整阀的驱动信号的值，向供给量控制设备输出控制信号来控制液体材料的供给，由于能够在液体材料枯竭之前向气化器供给液体材料，或者是在液体材料从气化器溢出之前停止液体材料的供给，所以不使用压力传感器就能够适当地控制液体材料的供给。

并且，在设定流量较小的情况下，如图5所示，直到液体材料几乎消耗完为止，基本上未观察到伴随气化器内的液体材料的减少而产生的压力下降。这是因为，在设定流量较小的情况下，能够利用液体材料在气化器内气化而成的气化气体来补充从气化器导出的气化气体，所以只要在气化器内存在液体材料，则气化器内的压力与对应于液体材料温度的蒸气压相等。

因此，由于直到液体材料几乎消耗完为止，阀控制部不使阀开度变大，所以如果设定流量较小时基于驱动信号值来控制液体材料的供给，则液体材料有可能枯竭。

在此，优选的是，所述气化系统还包括设置于所述气化器的液面传感器，所述供给控制部除了基于所述驱动信号值以外，还基于来自液面传感器的检测值，向所述供给量控制设备输出控制信号。

按照这种结构，由于能够基于液面传感器的检测值来控制液体材料的供给，所以即使设定流量较小时，也能够适当地控制液体材料的供给。

优选的是，在所述驱动信号值减小而低于预先设定的阈值的情况下，或者所述驱动信号值增加而高于预先设定的阈值的情况下，所述供给控制部向所述供给量控制设备输出控制信号，开始所述液体材料的供给或停止所述液体材料的供给。

按照这种结构，能够在液体材料枯竭之前向气化器供给液体材料，或者是在液体材料从气化器溢出之前停止液体材料的供给。

优选的是，所述阈值设定为预定的一个值。

按照这种结构，例如在设定流量设定为最大值等情况下，通过根据产生液体材料的枯竭的可能性高的条件来预先设定阈值，能够不需要针对不同的设定流量进行阈值调整的动作、以及由供给控制部读入针对不同的设定流量的阈值的动作等。

此外，本发明的存储介质存储有用于气化系统的气化系统用程序，所述气化系统包括：气化器，使液体材料气化；供给量控制设备，对朝向所述气化器供给的液体材料的供给量进行控制；流量调整阀，调整由所述气化器生成的气化气体的流量；以及流量传感器，测定所述气化气体的流量，所述气化系统用程序使计算机发挥以下功能：阀控制部，向所述流量调整阀输出驱动信号来控制阀开度，以使由所述流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量；驱动信号值取得部，取得驱动信号值，所述驱动信号值是从所述阀控制部向所述流量调整阀输出的所述驱动信号所表示的值，并表示对所述流量调整阀的施加电压或施加电流；以及供给控制部，基于由所述驱动信号值取得部取得的表示对所述流量调整阀的施加电压或施加电流的所述驱动信号值向所述供给量控制设备输出控制信号，控制所述液体材料的供给。

如果使用这种存储介质，则能够获得与上述气化系统同样的作用效果。

按照如此构成的本发明，不使用压力传感器就能够适当地控制液体材料的供给。

附图说明

图1是示意性表示本实施方式的气化系统的整体结构的图。

图2是表示同一实施方式的控制装置的功能的功能框图。

图3是用于说明同一实施方式的控制装置的控制内容的图。

图4是用于说明同一实施方式的控制装置的第一控制方式和第二控制方式的图。

图5是表示气化器内的液体材料的储存量与气化器内的压力之间的关系的图。

图6是表示同一实施方式的控制装置的动作的流程图。

附图标记说明

100 气化系统

21 气化器

22 供给量控制设备

32 流量调整阀

43 阀控制部

44 驱动信号值取得部

45 供给控制部

具体实施方式

下面参照附图，对本发明的气化系统的一个实施方式进行说明。

本实施方式的气化系统100例如组装于半导体生产线等，用于向进行半导体制造工序的腔室供给预定流量的气体，如图1所示，其包括：气化部2，使液体原料气化；质量流量控制器3，控制由气化部2气化的气体的流量；以及控制装置4，控制气化部2和质量流量控制器3的动作。

另外，在本实施方式中，构成气化部2的各部分收容于第一箱体C1，构成质量流量控制器3的各部分收容在与第一箱体C1不同的第二箱体C2，但是也可以将构成气化部2的各部分和构成质量流量控制器3的各部分收容于同一箱体。

气化部2包括：气化器21，例如利用烘烤方式使液体材料气化；供给量控制设备22，对朝向气化器21供给的液体材料的供给量进行控制；以及预热器23，将朝向气化器21供给的液体材料预热至预定的温度。

这些气化器21、供给量控制设备22和预热器23安装于设备安装面B1x，该设备安装面B1x设定于主体块B1(以下称为第一主体块B1)的一面，该主体块B1为内部形成有流道的歧管块。在此，第一主体块B1例如由不锈钢管等金属制成，形成为具有长边方向的大体长方体形状，所述设备安装面B1x是形成为具有长边方向的矩形的面。另外，本实施方式的第一主体块B1以其长边方向朝向上下方向(铅垂方向)的方式设置于半导体生产线等。

气化器21具有：作为气化容器的储存容器211，在内部具有储存液体材料的空间；以及气化加热器212，设置于该储存容器211，用于使液体材料气化。储存容器211设置有用于检测储存的液体材料的储存量的液面传感器213。本实施方式的液面传感器213设置成从储存容器211的上壁插入内部，具体地说，是测定该液面传感器213周围的热阻的所谓自发热式液面传感器。另外，液面传感器213能够使用液温测定式、磁式、电容式和超声波式等各种类型的液面传感器。

供给量控制设备22是对朝向气化器21供给的液体材料的供给流量进行控制的控制阀，在本实施方式中是电磁开闭阀。具体地说，电磁开闭阀22的未图示的阀体将形成于第一主体块B1的内部流道的开口打开或关闭，从而将液体材料向气化器21供给或停止供给。

如此，与使用质量流量控制器作为供给量控制设备22的情况相比，通过使用开闭阀作为供给量控制设备22，能够使气化部2小型化。此外，由于使用电磁开闭阀22作为供给量控制设备22，所以能够通过使开闭时的动作平缓而减轻气化器21内的急剧的压力变动。

但是，供给量控制设备22并不是必须为开闭阀。作为其一例，供给量控制设备22例如也可以是压电阀等控制阀或具备该控制阀的质量流量控制器等。在这种情况下，通过使用上述的液面传感器213的检测值或朝向后述的流量调整阀32输出的驱动信号值，对控制阀的阀开度进行控制，从而能够对朝向气化器21供给的液体材料的供给量进行控制。

预热器23具有：预热块231，在内部形成有供液体材料流动的流道；以及预热加热器232，设置于该预热块231，用于对液体材料进行预热。利用该预热器23将液体材料加热至即将气化的温度(小于沸点)。

利用如此构成的气化部2，通过使从液体材料导入口P1导入的液体材料在预热器23的预热块231的流道内流动，从而液体材料被加热至预定温度。通过控制作为供给量控制设备的电磁开闭阀22，从而将由该预热器23预热的液体材料导入气化器21。并且，成为在气化器21中始终储存有液体材料的状态，并且使该液体材料气化而连续生成该气化气体，并将该气化气体连续地导出到质量流量控制器3。

接着，对质量流量控制器3进行说明。

质量流量控制器3包括：流体检测设备31，检测在流道内流动的气化气体；以及流量调整阀32，控制在流道内流动的气化气体的流量。另外，流体检测设备31是设置在流道的上游侧的第一发热电阻311和设置在流道的下游侧的第二发热电阻312。此外，流量调整阀32是对上述气化器21生成的气化气体的流量进行控制的控制阀，在本实施方式中是所谓的常开型压电阀。

这些流体检测设备31和流量调整阀32安装于设备安装面B2x，该设备安装面B2x设定于主体块B2(以下称为第二主体块B2)的一面，该主体块B2为在内部形成有流道的歧管块。在此，第二主体块B2例如由不锈钢管等金属制成，并且形成为具有长边方向的大体长方体形状，所述设备安装面B2x是形成为具有长边方向的矩形的面。另外，第二主体块B2的设备安装面B2x的宽度尺寸与所述第一主体块B1的设备安装面B1x的宽度尺寸相同。

并且，质量流量控制器3的第二主体块B2利用螺钉等连接于所述气化部2的第一主体块B1，从而形成主体块B。该主体块B在半导体生产线等上设置成其长边方向朝向上下方向(铅垂方向)以使液体材料导入口P1位于下侧且气化气体导出口P2位于上侧。另外，第二主体块B2并不是必须与第一主体块B1直接连接，例如借助配管接头等以流通流体的方式连接即可。由此，通过间接地连接第二主体块B2和第一主体块B1，能够将质量流量控制器3从气化部2取下而成为单独结构。由此，质量流量控制器3不受气化部2的温度的影响而稳定。

接着，对控制装置4进行说明。

控制装置4通过控制上述电磁开闭阀22，从而在气化运转时向气化器21供给液体材料。

具体地说，控制装置4是具有CPU、存储器、AC/DC转换器和输入装置等的所谓的计算机，通过由CPU执行存储于所述存储器的程序，从而如图2所示，具有作为设定流量接收部41、流量算出部42、阀控制部43、驱动信号值取得部44和供给控制部45的功能。

该气化系统用程序能够存储于计算机可读取的存储介质来提供，这种“计算机可读取的存储介质”例如包括CD-ROM等光学介质或存储卡等磁存储介质等。此外，也可以通过网络下载来提供这种气化系统用程序。

以下，对各部分进行说明。

设定流量接收部41接收设定流量信号，所述设定流量信号例如表示用户利用键盘等输入装置进行输入操作而发送的设定流量，或者从其他设备发送的设定流量。

流量算出部42取得来自流体检测设备31的输出信号，算出在第二主体块B2的内部流道内流动的气化气体的流量。在此，该流量算出部42和上述流体检测设备31构成测定气化气体的流量的流量传感器，本实施方式的流量传感器是热式流量传感器。另外，流量传感器也可以是压力式流量传感器。

阀控制部43基于设定流量和由流量算出部42算出的测定流量来控制流量调整阀32，在此，向流量调整阀32输出驱动信号来控制阀开度，以使测定流量成为设定流量。驱动信号是表示向流量调整阀32施加的施加电压或施加电流(以下也称为驱动信号值)的信号，在此，通过将该驱动信号向流量调整阀32输出，从而对阀开度进行反馈控制。

更具体地说，例如如果气化器21内的压力伴随气化器21内的液体材料的减少而下降，则流入流量调整阀32的气化气体的压力下降，因此为了使测定流量成为设定流量，需要使流量调整阀32的阀开度变大。此时，阀控制部43使朝向流量调整阀32输出的驱动信号值变动，以使阀开度变大。

另一方面，例如如果向气化器21内供给液体材料而使气化器21内的压力上升，则流入流量调整阀32的气化气体的压力上升，因此为了使测定流量成为设定流量，需要使流量调整阀32的阀开度变小。此时，阀控制部43使朝向流量调整阀32输出的驱动信号值变动，以使阀开度变小。

在本实施方式中，如上所述，由于流量调整阀32是常开型，所以如图3所示，在气化器21内的压力下降时(即，气化器21内的液体材料减少而液位下降时)，阀控制部43使驱动信号值变小而使阀开度变大。另一方面，在气化器21内的压力上升时(即，气化器内的液体材料增加而液位上升时)，阀控制部43使驱动信号值变大而使阀开度变小。

另外，如果流量调整阀32是常闭型，则在气化器21内的压力下降时，阀控制部43使驱动信号值变大而使阀开度变大，在气化器21内的压力上升时，阀控制部43使驱动信号值变小而使阀开度变小。

驱动信号值取得部44取得从阀控制部43向流量调整阀32输出的驱动信号值，并且将该驱动信号值向后述的供给控制部45发送。

供给控制部45基于由驱动信号值取得部44取得的驱动信号值来控制上述电磁开闭阀22。

具体地说，如图3所示，供给控制部45对驱动信号值与预先设定的阈值进行比较来控制电磁开闭阀22。在本实施方式中，如上所述，如果气化器21内的压力伴随气化器21内的液体材料的减少而下降，则从阀控制部43向流量调整阀32输出的驱动信号值也变小，因此驱动信号值减小而低于阈值时，供给控制部45向电磁开闭阀22输出控制信号而开始液体材料的供给。

此后，从开始供给液体材料经过了预定时间后，供给控制部45向电磁开闭阀22输出控制信号而停止液体材料的供给。

另一方面，如上所述，如果气化器21内的压力伴随向气化器21内供给液体材料而上升，则从阀控制部43向流量调整阀32输出的驱动信号值也变大，因此驱动信号值增加而高于阈值时，供给控制部45向电磁开闭阀22输出控制信号而停止液体材料的供给。在此，针对驱动信号值减小的情况设定的阈值与针对驱动信号值增加的情况设定的阈值是相同的值，但是也可以是不同的值。

在本实施方式中，如图4所示，当设定流量变化时，针对该变化前后的不同的设定流量，驱动信号值的阈值不变而保持为相同的值。但是，驱动信号值的阈值也可以根据设定流量而设定为不同的值。

并且，当设定流量较小时，如图5所示，直到液体材料几乎消耗完为止，基本上未观察到伴随气化器21内的液体材料的减少而产生的压力下降。其原因在于，在设定流量较小时，利用液体材料在气化器21内气化而成的气化气体来补充从气化器21导出的气化气体，所以只要存在液体材料，则气化器21内的压力与对应于液体材料温度的蒸气压相等。由此，直到液体材料几乎消耗完为止，阀控制部43不会以使阀开度变大的方式进行动作。即，当设定流量较小时，由于直到液体材料几乎消耗完为止，从阀控制部43向流量调整阀32输出的驱动信号值几乎不变动，所以如果想要基于驱动信号值来控制液体材料的供给，则液体材料有可能枯竭。

对此，本实施方式的控制装置4还具备作为液面取得部46的功能，阀控制部43除了基于上述的驱动信号值以外，还基于由液面传感器213检测出的检测值来控制液体材料的供给。

液面取得部46取得从上述液面传感器213输出的检测值信号，并且将该检测值信号所表示的检测值(在此为液位)向上述供给控制部45发送。

并且，本实施方式的供给控制部45如图4所示，在由液面传感器213检测出的液位低于预定的最低液位时或高于预定的最高液位时，将表示该情况的异常信号从液面取得部46向供给控制部45输出，供给控制部45与驱动信号值无关地强制性地使电磁开闭阀22导通或断开。

具体地说，例如当由液面传感器213检测出的液位低于最低液位时，供给控制部45向电磁开闭阀22输出控制信号，开始向气化器21供给液体材料，当由液面传感器213检测出的液位高于最高液位时，停止液体材料的供给。

接着，参照图6的流程图，对本实施方式的气化系统100的动作进行说明。

首先，如果开始气化系统100的动作，则液面取得部46取得由液面传感器检测出的液位，判断液位是高于最高液位、低于最低液位、还是处于最高液位和最低液位之间(S1)。

当液位低于最低液位时，表示该情况的异常信号从液面取得部46向供给控制部45输出，供给控制部45使电磁开闭阀22打开(S2)。此外，当液位高于最高液位时，表示该情况的异常信号从液面取得部46向供给控制部45输出，供给控制部45使电磁开闭阀22关闭(S3)。

另一方面，当液位处于最高液位和最低液位之间时，驱动信号值取得部44从阀控制部43取得驱动信号值，并且供给控制部45基于该驱动信号值向电磁开闭阀22输出控制信号。

具体地说，供给控制部45对驱动信号值和预定的阈值进行比较，判断是驱动信号值低于阈值，还是驱动信号值高于阈值(S4)。

并且，当驱动信号值减小而低于阈值时，供给控制部45向电磁开闭阀22输出控制信号而使电磁开闭阀22打开(S2)，从而开始液体材料的供给。

另一方面，当驱动信号值高于阈值时，供给控制部45向电磁开闭阀22输出控制信号而使电磁开闭阀关闭(S3)，从而停止液体材料的供给。

此后返回S1，反复进行上述动作，直到用于使气化系统100的动作结束的动作结束信号被输入控制装置4。

按照如此构成的本实施方式的气化系统100，由于供给控制部45基于从阀控制部43向流量调整阀32输出的驱动信号值，向电磁开闭阀22输出控制信号，所以不设置用于检测气化器21内的压力的压力传感器，就可以在气化器21内的液体材料枯竭之前的适当时机向气化器21供给液体材料，或者是在液体材料从气化器21溢出之前停止液体材料的供给。

其结果，由于不需要压力传感器，所以相应地在实现成本削减和系统小型化的基础上，不需要进行压力传感器校正时所需的清空气化器21的作业，从而也实现了维护性的提高。

另外，除了驱动信号值以外，例如也可以考虑利用温度等各种参数来算出阀控制部43的阀开度，并且利用该阀开度来控制电磁开闭阀22，但是由于包含各种参数而使控制变得复杂从而难以利用。

此外，像以往那样对压力传感器检测出的气化容器211内的压力和阈值进行比较来控制液体材料的供给时，由于根据质量流量控制器3的设定流量的不同，所需要的气化容器211内的压力也不同，所以需要根据各设定流量来设定压力的阈值。此外，当设定流量较大时，在气化容器211内气化的气化气体的流量有时追赶不上从气化容器211导出的气化气体的流量，于是，气化容器211内的压力变动(下降)，所以非常难以适当地设定阈值。此外，由于由压力传感器检测出的压力受到质量流量控制器3的次级(下游侧)的压力的影响，所以需要在质量流量控制器的次级另行设置压力传感器等，并且进行与次级压力对应的阈值的设定和考虑次级压力的修正等。

对此，如上所述，由于本实施方式的气化系统100可以不需要压力传感器，所以能够解决伴随使用压力传感器的控制而产生的上述各种问题。

在此，例如因气化气体流动的流道或流量调整阀32堵塞等而产生压力损失时，为了确保气化气体的流量，质量流量控制器3以使流量调整阀32的阀开度变大的方式进行动作。

此时，按照本实施方式的气化系统100，以如下方式动作：取得使上述阀开度变大的动作的驱动信号值，对该驱动信号值和阈值进行比较并向容器供给液体材料，从而提高容器内的压力。因此，即使在产生了上述压力损失的情况下，也不需要进行特别的修正或设置阈值，能够长期使用而实现长寿命化。

此外，由于驱动信号值的阈值针对不同的设定流量设定为相同的值，所以能够不需要针对不同的设定流量进行阈值调整的动作、以及由供给控制部45读入针对不同的设定流量设定的阈值的动作等。

此外，由于供给控制部45除了基于驱动信号值以外，还基于来自液面传感器213的检测值，向电磁开闭阀22输出控制信号，所以即使在设定流量较小的情况下，也能够基于液面传感器的检测值来控制液体材料的供给，从而能够针对各种设定流量适当地控制液体材料的供给。

另外，本发明并不限定于所述实施方式。

例如，在所述实施方式中，对流量调整阀32是常开型的情况进行了说明，但是在流量调整阀32是常闭型的情况下，如果气化器21内的压力伴随气化器21内的液体材料的减少而下降，则从阀控制部43向流量调整阀32输出的驱动信号值变大。在这种情况下，作为供给控制部45的功能，可以列举如下方式：当驱动信号值增加而高于阈值时，向电磁开闭阀22输出控制信号而开始液体材料的供给。

此外，控制装置4也可以包括控制方式切换部，该控制方式切换部基于设定流量，将供给控制部45控制电磁开闭阀22的控制方式切换为第一控制方式和第二控制方式，该第一控制方式基于驱动信号值向电磁开闭阀22输出控制信号，该第二控制方式基于来自液面传感器213的检测值向电磁开闭阀22输出控制信号。另外，也可以代替设定流量，而是使用由流量算出部42算出的测定流量。

具体地说，该控制方式切换部可以列举以下述方式构成：对设定流量和预先设定的第一流量进行比较，当设定流量大于第一流量时，使供给控制部45成为第一控制方式，并且当设定流量小于第一流量时，使供给控制部45的控制方式从第一控制方式变为第二控制方式。

此外，该控制方式切换部也可以如下构成：当预定的第二流量大于第一流量且设定流量比该预定的第二流量更大时，将供给控制部45的控制方式从第一控制方式切换为第二控制方式。

在所述实施方式中，用于控制质量流量控制器3的动作的设定流量接收部41、流量算出部42和阀控制部43的功能，以及用于对朝向气化器21的液体材料的供给进行控制的驱动信号值取得部44、供给控制部45和液面取得部46的功能由共通的控制装置4所具备，但是这些功能也可以由不同的两个或两个以上的控制装置所具备。

此外，第一主体块B1和第二主体块B2配置成其长边方向朝向上下方向(铅垂方向)，但是也可以将第一主体块B1和第二主体块B2配置成其长边方向朝向水平方向。此外，第一主体块B1和第二主体块B2也可以是一体块。

此外，基于朝向流量调整阀施加的施加电压或施加电流等驱动信号值，来控制流量调整阀的上游侧的流体的流量或压力的方法并不限定应用于气化系统，能够应用于各种流体控制系统，由此，能够不使用压力传感器来控制流体。

此外，所述实施方式的气化系统用于使液体材料气化，但是例如也可以用于使固体材料熔化而成的液体材料气化。

此外，本发明并不限定于所述实施方式，能够在不脱离本发明宗旨的范围内进行各种变形。

Claims (5)

1.一种气化系统，其包括：

气化器，使液体材料气化；

供给量控制设备，对朝向所述气化器供给的液体材料的供给量进行控制；

流量调整阀，调整由所述气化器生成的气化气体的流量；

流量传感器，测定所述气化气体的流量；

阀控制部，向所述流量调整阀输出驱动信号来控制阀开度，以使由所述流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量，

所述气化系统的特征在于，还包括：

驱动信号值取得部，取得驱动信号值，所述驱动信号值是从所述阀控制部向所述流量调整阀输出的所述驱动信号所表示的值，并表示对所述流量调整阀的施加电压或施加电流；以及

供给控制部，基于由所述驱动信号值取得部取得的表示对所述流量调整阀的施加电压或施加电流的所述驱动信号值向所述供给量控制设备输出控制信号，控制所述液体材料的供给。

2.根据权利要求1所述的气化系统，其特征在于，

还包括设置于所述气化器的液面传感器，

所述供给控制部除了基于所述驱动信号值以外，还基于来自液面传感器的检测值，向所述供给量控制设备输出控制信号。

3.根据权利要求1所述的气化系统，其特征在于，在所述驱动信号值减小而低于预先设定的阈值的情况下，或者所述驱动信号值增加而高于预先设定的阈值的情况下，所述供给控制部向所述供给量控制设备输出控制信号，开始所述液体材料的供给或停止所述液体材料的供给。

4.根据权利要求3所述的气化系统，其特征在于，所述阈值设定为预定的一个值。

5.一种存储介质，存储有用于气化系统的气化系统用程序，其特征在于，所述气化系统包括：

气化器，使液体材料气化；

供给量控制设备，对朝向所述气化器供给的液体材料的供给量进行控制；

流量调整阀，调整由所述气化器生成的气化气体的流量；以及

流量传感器，测定所述气化气体的流量，

所述气化系统用程序使计算机发挥以下功能：

阀控制部，向所述流量调整阀输出驱动信号来控制阀开度，以使由所述流量传感器测定的测定流量成为预先设定的设定流量；

驱动信号值取得部，取得驱动信号值，所述驱动信号值是从所述阀控制部向所述流量调整阀输出的所述驱动信号所表示的值，并表示对所述流量调整阀的施加电压或施加电流；以及

供给控制部，基于由所述驱动信号值取得部取得的表示对所述流量调整阀的施加电压或施加电流的所述驱动信号值向所述供给量控制设备输出控制信号，控制所述液体材料的供给。

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