CN109720304A - 用于清洁运输车辆的装置 - Google Patents

Abstract

一种用于清洁运输车辆的装置，所述运输车辆包括驱动模块，其被配置成可沿驱动轨道移动；以及提升模块，其被连接至所述驱动模块的下部。所述装置包括室和第一清洁模块。所述室被配置成提供用于清洁所述运输车辆的空间。所述第一清洁模块包括上刷单元和上吸单元。所述上刷单元被设置在所述室中且与所述驱动模块相接触。所述上刷单元被配置成分离在所述驱动模块上的颗粒物。所述上吸单元被设置在所述室中且被配置成吸取由所述上刷单元分离的所述颗粒物以去除所述颗粒物。

Description

用于清洁运输车辆的装置

技术领域

本发明涉及一种用于清洁运输车辆的装置。更特别地，本发明涉及一种用于清洁被配置成在半导体制造工艺中运输材料的空中吊运装置(OHT)的运输车辆的装置。

背景技术

在半导体装置的制造工艺中，材料，诸如半导体晶片、印刷电路板和半导体封装件可以通过无人运输系统，诸如有轨导引车辆(RGV)、空中吊运装置(OHT)等进行运输。特别地，OHT包括运输车辆，其被配置成可沿被安装在洁净室的天花板上的驱动轨道移动以运输材料。

运输车辆可以包括驱动模块，其被配置成可沿驱动轨道移动；以及提升模块，其被连接至驱动模块的下部且被配置成举起材料。驱动模块可以包括被设置在驱动轨道上的驱动轮。当运输车辆沿驱动轨道移动时，可能由于在驱动轮和驱动轨道之间的摩擦而产生颗粒物，且运输车辆可能被颗粒物污染。颗粒物可能在运输车辆的移动期间扩散，且因此可能污染洁净室的内部。

发明内容

本发明的示例实施例提供了一种用于去除在空中吊运装置(OHT)的运输车辆的表面上累积的颗粒物的清洁装置。

根据本发明的一个示例实施例，一种运输车辆包括驱动模块，其被配置成可沿驱动轨道移动；以及提升模块，其被连接至驱动模块的下部。一种用于清洁运输车辆的装置包括室和第一清洗模块。室被配置成提供用于清洁运输车辆的空间。第一清洁模块包括上刷单元和上吸单元。上刷单元被设置在室中且与驱动模块相接触。上刷单元被配置成分离在驱动模块上的颗粒物。上吸单元被设置在室中且被配置成吸取由上刷单元分离的颗粒物以去除颗粒物。

在一个示例实施例中，第一清洁模块还可以包括水平驱动单元，其被配置成在水平方向上移动上刷单元；以及垂直驱动单元，其被配置成通过水平驱动单元在水平方向上移动上刷单元时，基于驱动模块的形状来控制上刷单元的高度，且。

在一个示例实施例中，垂直驱动单元可以包括连杆部分，其具有跷跷板形状；凸轮板，其被设置在连杆部分的一个端部上且包括多个凹部以及多个突出物以控制连杆部分的另一端部的高度；以及马达，其被配置成旋转凸轮板。上刷单元可以被连接至连杆部分的另一端部。马达可以旋转凸轮板，以使得保持上刷单元与驱动模块相接触，且通过水平驱动单元在水平方向上移动上刷单元。

在一个示例实施例中，垂直驱动单元还可以包括安装构件，其被配置成支撑连杆部分，以使得连杆部分的两个端部可在垂直方向上移动且被配置成将连杆部分安装至水平驱动单元。

在一个示例实施例中，凹部和突出物可以被配置成对应于驱动模块的形状。

在一个示例实施例中，垂直驱动单元还可以包括距离传感器，其被配置成感测在上刷单元和驱动模块之间的距离。马达可以被配置成基于距离传感顺的感测信号来旋转凸轮板，以便保持其中上刷单元与驱动模块相接触的状态。

在一个示例实施例中，用于清洁运输车辆的装置还可以包括支撑轨道，其被设置在室中且被配置成支撑驱动模块，以使得驱动模块可在水平方向上移动。

在一个示例实施例中，第一清洁模块还可以包括垂直驱动单元，其被配置成驱动模块在水平方向上移动时，基于驱动模块的形状来控制上刷单元的高度。

在一个示例实施例中，支撑轨道可以被连接至驱动轨道，以使得运输车辆可从驱动轨道在支撑轨道上移动。

在一个示例实施例中，用于清洁运输车辆的装置还可以包括第二清洁模块，其被配置成从提升模块的侧部去除颗粒物。

在一个示例实施例中，第二清洁模块可以包括下刷单元，其与提升模块的侧部相接触以从提升模块的侧部去除颗粒物；以及下吸单元，其被配置成去除从下刷单元分离的颗粒物。

在一个示例实施例中，第二清洁模块还可以包括壳体，其被配置成围绕下刷单元并具有一个开口侧，且下吸单元被连接至壳体。

在一个示例实施例中，第二清洁模块还可以包括垂直驱动单元，其被配置成在垂直方向上移动下刷单元。

在一个示例实施例中，第二清洁模块还可以包括旋转驱动单元，其被安装在垂直驱动单元上以被连接至下刷单元且被配置成旋转下刷单元。

附图说明

根据以下结合附图的描述，能够更加详细地理解示例性实施例，其中：

图1为示出根据本发明的一个示例实施例的用于清洁运输车辆的装置的示意图；

图2为示出如在图1中所示的第一清洁模块的立体图；

图3为示出如在图2中所示的垂直驱动单元的另一个示例实施例的立体图；

图4为示出如在图3中所示的距离传感器和上刷单元的侧视图；

图5为示出如在图3中所示的凸轮板和马达的侧视图；

图6为示出如在图1中所示的第二清洁模块的侧视图；以及

图7为示出如在图6中所示的下刷单元的横截面视图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图更全面地描述各种示例实施例，其中示出了一些示例实施例。然而，本发明概念可以按许多不同的形式进行具体化且不应被解释为仅限于本文中阐明的示例实施例。相反地，提供了这些示例实施例，以使得本发明将是彻底和完整的且将向本领域的技术人员完全传达本发明概念的范围。在附图中，为了清楚起见，层和区域的大小和相对大小可以进行夸大。相同的数字始终指相同的元件。

作为本申请中使用的明确定义，当层、区域或板被称为在另一个“上面”时，其能够直接在另一个上面，或者也可以存在一个或多个中间层、区域或板。与此不同的是，还将理解，当层、区域或板被称为“直接在另一个上面”时，其直接在另一个上面，且不存在一个或多个中间层、区域或板。此外，尽管像第一、第二和第三的术语用于在本发明的各种实施例中描述各种组件、组成、区域和层，但其并不限于这些术语。

同时，在本文中使用的术语仅用于描述特定实例实施例且不旨在限制本发明的概念。如本文所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在还包括复数形式，除非上下文另有明确指示外。还将要理解的是，当在本说明书中使用时，术语“包括”和/或“包括”指定所述特性、整数、步骤、操作、元件和/或组件的存在，但并不排除一个以上的其的其他特性、整数、步骤、操作、元件、组件和/或组的存在或添加。除非另有限定外，本文使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本发明的概念所属领域的普通技术人员通常理解的相同的含义。还将进一步理解的是，术语，诸如常用词典中定义的那些应被解释为具有与其在相关领域的背景下的含义相一致的含义，且不会以理想化或过度正式的意义进行解释，除非在本文中明确地如此定义。

参考本发明的一些实施例的示意图来描述所描绘的实施例。相应地，图的形状中的变化，例如，在制造技术和/或允许误差中的变化是可充分预期的。相应地，本发明的实施例被描述为不限于用图描述的区域的特定形状且包括形状的偏差，此外，用图描述的区域完全是示意性的，且其形状不表示准确的形状且也不限制本发明的范围。

图1为示出根据本发明的一个示例实施例的用于清洁运输车辆的装置的示意图；且图2为示出如在图1中所示的第一清洁模块的立体图。

参考图1和2，根据本发明的示例实施例的用于清洁运输车辆10的装置100(在下文中被称为“清洁装置”)可以被用于清洁被配置成在半导体制造工艺中运输各种材料的空中吊运装置(OHT)的运输车辆10。运输车辆10可以包括驱动模块12和提升模块14。驱动模块12被配置成可沿被安装在洁净室上的驱动轨道(未示出)移动。提升模块14被连接至驱动模块12的下部且被配置成举起材料。

清洁装置100可以包括室110和第一清洁模块200。室110被配置成提供用于清洁运输车辆10的空间。第一清洁模块200可以被设置在室110中以清洁运输车辆10的驱动模块12。并且，清洁装置100还可以包括支撑轨道120，其被配置成支撑运输车辆10。支撑轨道120可以被设置在室110中且驱动模块12的驱动轮可以被设置在支撑轨道120上。在一个示例实施例中，支撑轨道120可以被连接至驱动轨道，且运输车辆10可以从驱动轨道在支撑轨道120上移动。

第一清洁模块200可以包括上刷单元210、水平驱动单元202和垂直驱动单元204。上刷单元210被配置成从驱动模块12去除颗粒物。水平驱动单元202被配置成在水平方向上移动上刷单元210。垂直驱动单元204被配置成控制上刷单元210的高度。在一个示例性实施例中，第一清洁模块200可以包括多个上刷单元210，如图2中所示。

上刷单元210可以与驱动模块12的上部相接触，且可以通过水平驱动单元202在水平方向上往复运动以从驱动模块12去除颗粒物。

根据本发明的一个示例性实施例，第一清洁模块200可以包括上吸单元220，其被设置在上刷单元210的一个侧部上。上吸单元220被配置成吸取从驱动模块12分离的颗粒物以去除颗粒物。在一个示例性实施例中，第一清洁模块200可以包括多个上吸单元220，其被分别设置在上刷单元210的一个侧部上。上吸单元220可以防止从驱动模块12分离的颗粒物在清洁室中扩散且还可以防止颗粒物重新附着至驱动模块12。

同时，尽管在图2中示出了三个上刷单元210和三个上吸单元220，但上刷单元210和上吸单元220的数量也可以进行各种改变，且因此其数量可以在本发明中不受限制。并且，尽管上吸单元220被分别安装在上刷单元210的一个侧部上，但安装上吸单元220的位置可以进行各种改变，且因此其位置可以在本发明中不受限制。

垂直驱动单元204可以被用于基于驱动模块12的形状来控制上刷单元210的高度。例如，垂直驱动单元204可以包括连杆部分230、凸轮板240和马达250。连杆部分230被安装在水平驱动单元202上且具有跷跷板形状。凸轮板240被设置在连杆部分230的一个端部上且包括多个凹部以及多个突出物以控制连杆部分230的另一端部的高度。马达250旋转凸轮板240。在这里，上刷单元210可以被连接至连杆部分230的另一端部，且凸轮从动件248可以被安装在连杆部分230的一个侧部上。凸轮从动件248可以具有滚子形状且接触至凸轮板240。特别地，如在图2中所示，垂直驱动单元204可以包括多个连杆部分230，其被分别连接至上刷单元210；以及多个凸轮板242、244和246，其被配置成控制上刷单元210的高度。在这里，凸轮板242、244和246可以基于驱动模块12的形状而具有不同的形状。即，凸轮板242、244和246的凹部和突出物可以对应于驱动模块12的上部形状。

垂直驱动单元204可以控制上刷单元210的高度，以使得上刷单元210与驱动模块12的上部相接触，而上刷单元210则通过水平驱动单元202在水平方向上往复运动。

同时，垂直驱动单元204可以包括安装构件262，其被配置成将连杆部分230安装在水平驱动单元202上。特别地，安装构件262可以包括旋转轴，其被配置成支撑连杆部分230，以使得连杆部分230的两个端部可在垂直方向上移动。而且，如在图2中所示，被连接至上吸单元220的第一吸管264可以被安装在安装构件262上。特别地，如在图1中所示，第一吸管264可以延伸通过上刷单元210和连杆部分230。

图3为示出如在图2中所示的垂直驱动单元的另一个示例实施例的立体图；图4为示出如在图3中所示的距离传感器和上刷单元的侧视图；且图5为示出如在图3中所示的凸轮板和马达的侧视图。

参考图3至5，垂直驱动单元206可以包括连杆部分230，其具有跷跷板形状；安装构件262，其被配置成将连杆部分230安装在水平驱动部分202上；凸轮板290，其被设置在连杆部分230的一个端部上；以及马达280，其被配置成旋转凸轮板290。在这里，上刷单元210可以被连接至连杆部分230的另一端部。

例如，如在图中所示，垂直驱动单元206可以包括多个连杆部分230，多个凸轮板292、294和296，以及多个马达282、284和286。特别地，被配置成感测在上刷单元210和驱动模块12之间的距离的距离传感器可以被分别安装在上刷单元210上。马达282、284和286可以分别基于距离传感器270的感测信号来旋转凸轮板292、294和296。在这里，凸轮板292、294和296可以包括多个凹部和多个突出物，且可以在圆周方向上具有相同的形状。

即，马达282、284和286可以分别基于距离传感器270的感测信号来控制上刷单元210的高度。因此，上刷单元210可以牢牢地与驱动模块12的上部相接触，而上刷单元210则通过水平驱动单元202在水平方向上往复运动。

替代地，运输车辆10可以在支撑轨道120上在水平方向上往复运动，且垂直驱动单元204和206可以在运输车辆10的水平移动期间控制上刷单元210的高度。在这种情况下，可以省略水平驱动单元202。

根据本发明的一个示例实施例，清洁装置100可以包括第二清洁模块300，其被配置成清洁提升模块14的侧部。第二清洁模块300可以被设置在室110中且可以被配置成可在垂直方向上移动。

图6为示出如在图1中所示的第二清洁模块的侧视图；以及图7为示出如在图6中所示的下刷单元的横截面视图。

参考图1、6和7，第二清洁模块300可以包括下刷单元310和下吸单元320。下刷单元310被配置成分离在提升模块14的侧部上堆积的颗粒物。下吸单元320被配置成吸取由下刷单元310分离的颗粒物并将颗粒物排放至外部。

例如，第二清洁模块300可以包括多个下刷单元310和多个下吸单元320以清洁提升模块14的两个侧部。下刷模块310和下吸模块320可以被配置成可在垂直方向上移动。

下刷单元310可以包括壳体312、刷头314和马达316。壳体312被设置成面向提升模块14的侧表面，且壳体312的一侧是开口的。刷头314被设置在壳体312中。马达316被安装在壳体312中且被配置成旋转刷头314。

刷头314可以与提升模块14的侧表面相接触。马达316可以旋转刷头314以从提升模块14的侧表面去除颗粒物。可以通过下吸单元320吸取由刷头314从提升模块14分离的颗粒物。第二吸管322可以被连接至下吸单元320，且可以通过第二吸管322来去除由下吸单元320吸取的颗粒物。

下吸单元320可以被设置在邻近下刷单元310处。例如，如在图6中所示，下吸单元320可以被连接至壳体312以与下刷单元310一起在垂直方向上移动。

第二清洁模块300可以包括垂直驱动单元330，其被配置成在垂直方向上移动下刷单元310和下吸单元320。垂直驱动单元330可以通过连接杆318与下刷单元310连接。

并且，如图6中所示，第二清洁模块300可以包括旋转驱动单元340，其被配置成旋转下刷单元310和所述下吸单元320。例如，旋转驱动单元340可以被安装在垂直驱动单元330上，且可以被连接至连接杆318的一个端部。在这里，下刷单元310可以被连接至连接杆318的另一端部。

例如，第二清洁模块300可以包括多个垂直驱动单元330，其被分别连接至下刷单元310和旋转驱动单元340。当运输车辆10被运输至室110中时，垂直驱动单元330可以使下刷单元310下降以防在运输车辆10和下刷单元310之间产生干扰。并且，垂直驱动单元330和旋转驱动单元340可以控制下刷单元310的位置以完全清洁提升模块14的侧表面。

如上所述，根据本发明的示例实施例，可以通过第一清洁模块200和第二清洁模块300去除在驱动模块12和提升模块14上的颗粒物。特别地，可以通过上吸单元220和下吸单元320吸取由上刷单元210和下刷单元310从驱动模块12和提升模块14分离的颗粒物。因此，可以大大减少在洁净室中的污染。

尽管已参考具体实施例描述了本发明的示例实施例，但其不限于此。因此，本领域的技术人员将容易理解的是，在不脱离所附权利要求的精神和范围的情况下，能够对其进行各种修改和变化。

Claims (14)

1.一种用于清洁运输车辆的装置，所述运输车辆包括驱动模块，其被配置成可沿驱动轨道移动；以及提升模块，其被连接至所述驱动模块的下部，所述装置包括：

室，其被配置成提供用于清洁所述运输车辆的空间；以及

第一清洁模块，其包括：

上刷单元，所述上刷单元被设置在所述室中且与所述驱动模块相接触，所述上刷单元被配置成分离在所述驱动模块上的颗粒物；以及

上吸单元，所述上吸单元被设置在所述室中且被配置成吸取由所述上刷单元分离的所述颗粒物以去除所述颗粒物。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一清洁模块还包括：

水平驱动单元，其被配置成在水平方向上移动所述上刷单元；以及

垂直驱动单元，其被配置成在所述上刷单元通过所述水平驱动单元在所述水平方向上移动时，基于所述驱动模块的形状来控制所述上刷单元的高度。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述垂直驱动单元包括：

连杆部分，其具有跷跷板形状；

凸轮板，其被设置在所述连杆部分的一个端部上且包括多个凹部以及多个突出物以控制所述连杆部分的另一端部的高度；以及

马达，其被配置成旋转所述凸轮板，以及

其中所述上刷单元被连接至所述连杆部分的另一端部，且所述马达旋转所述凸轮板，以使得保持所述上刷单元与所述驱动模块相接触，且通过所述水平驱动单元在所述水平方向上移动所述上刷单元。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述垂直驱动单元还包括安装构件，其被配置成支撑所述连杆部分，以使得所述连杆部分的两个端部可在垂直方向上移动且被配置成将所述连杆部分安装至所述水平驱动单元。

5.根据权利要求3所述的装置，其中所述凹部和所述突出物被配置成对应于所述驱动模块的形状。

6.根据权利要求3所述的装置，其中所述垂直驱动单元还包括距离传感器，其被配置成感测在所述上刷单元和所述驱动模块之间的距离，以及

其中所述马达被配置成基于所述距离传感顺的感测信号来旋转所述凸轮板，以便保持其中所述上刷单元与所述驱动模块相接触的状态。

7.根据权利要求1所述的装置，其还包括支撑轨道，其被设置在所述室中且被配置成支撑所述驱动模块，以使得所述驱动模块可在水平方向上移动。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述第一清洁模块还包括垂直驱动单元，其被配置成在所述驱动模块在所述水平方向上移动时，基于所述驱动模块的形状来控制所述上刷单元的高度。

9.根据权利要求7所述的装置，其中所述支撑轨道被连接至所述驱动轨道，以使得所述运输车辆可从所述驱动轨道在所述支撑轨道上移动。

10.根据权利要求1所述的装置，其还包括第二清洁模块，其被配置成从所述提升模块的侧部去除颗粒物。

11.根据权利要求10所述的装置，其中所述第二清洁模块包括：

下刷单元，其与所述提升模块的所述侧部相接触以从所述提升模块的所述侧部去除所述颗粒物；以及

下吸单元，其被配置成去除从所述下刷单元分离的所述颗粒物。

12.根据权利要求11所述的装置，其中所述第二清洁模块还包括壳体，其被配置成围绕所述下刷单元并具有一个开口侧，且所述下吸单元被连接至所述壳体。

13.根据权利要求11所述的装置，其中所述第二清洁模块还包括垂直驱动单元，其被配置成在垂直方向上移动所述下刷单元。

14.根据权利要求13所述的装置，其中所述第二清洁模块还包括旋转驱动单元，其被安装在所述垂直驱动单元上以被连接至所述下刷单元且被配置成旋转所述下刷单元。