CN109702337A - 激光焊接装置及激光焊接方法 - Google Patents

激光焊接装置及激光焊接方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109702337A
CN109702337A CN201811247688.8A CN201811247688A CN109702337A CN 109702337 A CN109702337 A CN 109702337A CN 201811247688 A CN201811247688 A CN 201811247688A CN 109702337 A CN109702337 A CN 109702337A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
light
optical
optical component
protection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811247688.8A
Other languages
English (en)
Inventor
深江崇行
浦岛毅吏
三岛俊之
酒井彻
樱井通雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd filed Critical Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Publication of CN109702337A publication Critical patent/CN109702337A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0652—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising prisms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/20—Bonding
    • B23K26/21—Bonding by welding
    • B23K26/22—Spot welding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K31/00—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups
    • B23K31/12—Processes relevant to this subclass, specially adapted for particular articles or purposes, but not covered by only one of the preceding main groups relating to investigating the properties, e.g. the weldability, of materials
    • B23K31/125—Weld quality monitoring
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/22—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring depth

Abstract

本发明涉及激光焊接装置及激光焊接方法。本发明的激光焊接装置包括：激光输出单元，向被焊接件的焊接部照射激光；光学干涉仪，基于因测量光与参考光之间的光程差而产生的干涉来测定焊接部的焊透深度，所述测量光的波长不同于激光的波长，所述测量光与激光同轴地重合而照射到焊接部并由焊接部反射；以及保护光学部件，在被焊接件与激光输出单元的光程间，相对于与测量光的光轴垂直的面倾斜而配置。

Description

激光焊接装置及激光焊接方法
技术领域
本发明涉及在使用激光进行焊接时对焊接部的质量进行评价的激光焊接装置及激光焊接方法。
背景技术
作为以往的焊接装置，存在通过直接测定焊接部的深度，高精度地进行对焊接部的评价的激光焊接装置(专利文献1)。
具体而言，如图6所示，在激光焊接装置100中，以使来自光学干涉仪105的测量光与来自激光振荡器107的激光重合于同心·同轴上的方式，将该测量光经由第一分光镜106照射到被焊接件101的焊接部102。通过激光在焊接部102中形成熔池103和小孔104。测量光由小孔104的底部104a反射，经由第一分光镜106而返回到光学干涉仪105。光学干涉仪105能够对测量光的光程长进行测定，因此能够根据所测定的光程长来确定小孔104的深度作为焊透深度。激光焊接装置100基于如此确定的焊透深度，对焊接部102的焊接状态的良好与否进行判定。
此外，如图6所示，激光焊接装置100具有：激光传输用光学系统108、第一集光光学系统109、移动平台110、平台控制器111、计算机112、控制部(控制单元)112a、测定部112b、评价部112c、第二集光光学系统120、干涉滤光器121、以及显示部122。
另外，如图6所示，激光焊接装置100的光学干涉仪105具有：光纤系统114、第一光纤系统114a、第二光纤系统114b、第一光纤耦合器115、参考镜116、第二光纤耦合器117、差示检测器118、第一输入端子118a、第二输入端子118b、及A/D转换器119。
专利文献1：日本专利第5252026号公报
然而，在进行激光焊接时，会产生被称作飞溅或烟尘的、熔化的金属飞散而凝固为粒状的金属或微粒等。在一般的激光焊接装置100中，为了保护装置不受飞溅或烟尘的影响，设置保护玻璃等保护光学部件。在这种情况下，来自光学干涉仪105的测量光透射过上述保护光学部件并照射到焊接部102。
即，不仅是来自小孔104的反射光，来自保护光学部件表面的反射光也入射至光学干涉仪105。因此，产生以下问题：由于相干性再现(coherence revival)现象，而测量到伪噪声。以下，将由于相干性再现现象而测量到的伪噪声称作相干性再现噪声。
此处，对相干性再现噪声进行说明。
在上述的以往技术中，作为测量光而使用波长扫描光源113，其中主要使用外部共振器型的光源。在外部共振器型的光源中，在将外部共振器的长度设为L时，每个长度L中都存在所有的波长的光成为节的一个奇点。因此，例如，当存在由保护光学部件的表面反射造成的噪声的情况下，不仅在实际的反射面处测量到该噪声，在距该反射面n×L的位置也测量到该噪声。这样的噪声就是相干性再现噪声。
根据到小孔104为止的距离不同，有时由保护玻璃的表面反射造成的相干性再现噪声相互重叠，难以正确地测量到小孔104为止的距离。
发明内容
本发明的目的在于提供能够降低相干性再现噪声，从而高精度地测定焊接部的深度的激光焊接装置。
为了实现上述目的，本发明的激光焊接装置包括：激光输出单元，向被焊接件的焊接部照射激光；光学干涉仪，基于因测量光与参考光之间的光程差而产生的干涉来测定所述焊接部的焊透深度，所述测量光的波长不同于所述激光的波长，所述测量光与所述激光同轴地重合而照射到所述焊接部并由所述焊接部反射；以及保护光学部件，在所述被焊接件与所述激光输出单元的光程间，相对于与所述测量光的光轴垂直的面倾斜而配置。
本发明的激光焊接方法包括以下工序：将激光、和具有与所述激光不同的波长的测量光同轴地重合并照射到被焊接件的焊接部的工序；以及基于因由所述焊接部反射的所述测量光与参考光的光程差而产生的干涉，来测定所述焊接部的焊透深度的工序，在所述激光经由保护光学部件照射到被焊接件时，所述保护光学部件处于相对于所述测量光的光轴垂直面而倾斜的状态。
根据本发明的激光焊接装置，将保护玻璃等保护光学部件倾斜地安装，从而能够将由保护光学部件表面处的反射造成的、朝向光学干涉仪的返回光除去，并防止由保护光学部件表面处的反射光所导致的测量噪声的产生，因此能够实现可高精度地测定焊接部的深度的激光焊接装置。
附图说明
图1是表示实施方式1中的激光焊接装置的结构的图；
图2是说明保护光学部件处的表面反射的影响的图；
图3是说明实施方式1的激光焊接装置的效果的图；
图4是表示实施方式2中的激光焊接装置的结构的图；
图5是说明实施方式2的激光焊接装置的效果的图；
图6是表示以往的激光焊接装置的图。
标记说明
10、10A：激光焊接装置
1：激光焊接头
2：激光振荡器
3：测量光入射部
4：光学干涉仪
5：分光镜
6、9A、9B：保护光学部件
7：被焊接件
8：光纤系统
100：激光焊接装置
101：被焊接件
102：焊接部
104：小孔
105：光学干涉仪
106：第一分光镜
107：激光振荡器
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(实施方式1)
下面，参照图1～图3，对本发明的实施方式1进行说明。
图1是表示实施方式1的激光焊接装置10的结构例的图。激光焊接头1具有：输出用于对被焊接件7进行激光焊接的激光的激光振荡器2、及入射用于对焊接时的焊接深度进行测量的测量光的测量光入射部3。测量光入射部3通过光纤系统8与光学干涉仪4连接。此外，激光振荡器2是本发明的激光输出单元的一例。
从光学干涉仪4射出的测量光通过光纤系统8后从测量光入射部3输出，通过分光镜5而与来自激光振荡器2的激光同心·同轴地重合，并照射到被焊接件7。照射的测量光由被焊接件7反射，经由分光镜5再次返回至测量光入射部3，通过光纤系统8后入射至光学干涉仪4。
光学干涉仪4使用扫频光学相干层析成像(SS-OCT：Swept Source OpticalCoherence Tomography)的技术来测定被焊接件7的焊透深度。光学干涉仪4能够对测量光的光程长进行测定，并基于所测定的光程长来测量被焊接件7的焊透深度。
在激光焊接头1中，为了保护配置于头内的透镜等光学部件不受被焊接件7的加工时所产生的飞溅或烟尘的影响，而安装有保护透镜等保护光学部件6。将保护光学部件6相对于与测量光的光轴垂直的面以倾斜角度θ倾斜地安装。
如上述说明的那样，从光学干涉仪4输出的测量光通过光纤系统8后从测量光入射部3射出，通过分光镜5而与来自激光振荡器2的激光同心·同轴地重合，透射过保护光学部件6并照射到被焊接件7。然而，测量光的一部分不完全透过保护光学部件6，而在保护光学部件6的表面上反射。在实施方式1中，使用波长扫描型光源作为光学干涉仪4的测量光的光源。如上所述，该波长扫描型光源是外部共振器型的光源。此外，所谓波长扫描是指，使从光源射出的测量光的中心波长周期性地变化。
如上所述，在外部共振器型的光源中，在将外部共振器的长度设为L时，每个长度L中都存在所有的波长的光成为节的一个奇点。因此，如图2所示，例如，当存在由保护光学部件6的表面反射造成的噪声的情况下，不仅在实际的反射面处测量到相干性再现噪声，在距该反射面n×L的位置也测量到相干性再现噪声。
在图2中示出了从保护光学部件6的表面到被焊接件7为止的距离为n×L的例子。在这种情况下产生以下问题：由保护光学部件6的表面反射造成的相干性再现噪声与原本表示要测量的焊接深度的测量光重叠，从而无法精度良好地测量焊接深度。因此，需要抑制保护光学部件6处的表面反射。
作为用于防止反射的一般方法，例如可举出赋予反射防止膜等方法。然而，对保护光学部件6赋予反射防止膜，会成为保护光学部件6的单价上涨的原因。保护光学部件6是需要定期更换的耗材，因此对于激光焊接装置10的使用者来说，保护光学部件6的单价上涨是不合意的。另外，即使赋予反射防止膜，也不能完全防止保护光学部件6的表面反射，因此根据所要求的测量的精度，有时会成为问题。
根据实施方式1的激光焊接装置10，能够不赋予反射防止膜，而除去由保护光学部件6的表面反射造成的相干性再现噪声。图3是说明实施方式1的激光焊接装置10的效果的图。
如图1及图3所示，在实施方式1的激光焊接装置10中，将保护光学部件6相对于与测量光的光轴垂直的面以角度θ倾斜地安装。通过这样的结构，如图3所示，通过保护光学部件6的表面反射而得到的反射光L1发生偏离，不再向光纤系统8入射。若不入射至光纤系统8，则反射光L1不会在光学干涉仪4(图3中省略图示)中被检测到，也不会产生由反射光造成的噪声的问题。因此，实施方式1的激光焊接装置10能够得到与保护光学部件6的表面反射的抑制相同的效果。
对于保护光学部件6的倾斜角θ，根据保护光学部件6和光纤系统8的光程长来适当决定。具体而言，在是一般的激光焊接头1的尺寸(例如，200～300mm左右)时，将倾斜角θ设为例如0.5度以上则开始得到效果。考虑到保护光学部件6是需要频繁进行更换操作的耗材，根据安装精度的似然度、以及若设为较大的倾斜角则保护光学部件的设置空间也会增大的观点，1度左右的倾斜角是适宜的。
如以上说明的那样，对于实施方式1的激光焊接装置10，通过将保护光学部件6相对于与测量光的光轴垂直的面倾斜地安装，能够除去由保护光学部件6的表面反射造成的相干性再现噪声，并高精度地测量焊接深度。
(实施方式2)
下面，参照图4及图5，对本发明的实施方式2进行说明。
在图4及图5中，对于与实施方式1相同的结构，标注相同的附图标记并省略说明。此外，用于实现实施方式2的结构与实施方式1相同，但实施方式2在设置多张保护光学部件的点上与实施方式1不同。
图4是表示实施方式2的激光焊接装置10A的结构例的图。在激光焊接头1A中，为了保护配置于头内的透镜等光学部件不受被焊接件7的加工时产生的飞溅或烟尘的影响，而将多张保护透镜等保护光学部件9A及9B相对于与测量光的光轴垂直的面以倾斜角度θ倾斜地安装。另外，保护光学部件9A与保护光学部件9B以彼此相对于测量光的光轴旋转180度而对称的方式安装。此外，图4中针对具有两张保护光学部件9A及9B的例子进行了图示，但也可以是三张以上的多张。
图5是说明实施方式2的激光焊接装置10A的效果的图。此外，为了使说明易于理解，在图5中将保护光学部件的倾斜角以比实际大而夸张的方式进行了图示。
如图4所示，从光学干涉仪4输出的测量光通过光纤系统8后从测量光入射部3射出，通过分光镜5而与来自激光振荡器2的激光同心·同轴地重合，透射过保护光学部件9A及保护光学部件9B并照射到被焊接件7。
将保护光学部件9A及保护光学部件9B相对于与测量光的光轴垂直的面以角度θ倾斜地安装。通过该倾斜，与实施方式1的保护光学部件6同样地，能够除去由保护光学部件9A及保护光学部件9B的表面反射造成的相干性再现噪声的影响。
然而，如图5所示，通过将保护光学部件9A及保护光学部件9B倾斜地安装，根据斯涅尔定律，相对于入射角α而产生折射角β的光程上的偏离。若如实施方式1那样保护光学部件为一张则偏离也较小，例如在测量光入射部3调整来自光纤系统8的测量光的入射位置就不会成为大问题，但在如本实施方式2那样存在多个保护光学部件的情况下，存在以下问题：各个由折射导致的光程偏离累积，从而激光焊接位置及测量光的照射位置偏离。
为了解决该问题，在本实施方式2的激光焊接装置10A中，如图4及图5所示，将保护光学部件9A与保护光学部件9B以彼此相对于测量光的光轴旋转180度而对称的方式安装。通过这样的结构，如图5所示，因保护光学部件9A处的折射而有所偏离的光程反而因保护光学部件9B处的折射而返回到原来的光程。通过这样地将两张保护光学部件以彼此相对于测量光的光轴旋转180度而对称的方式安装，能够将由折射造成的光程偏离消除，且能够除去由保护光学部件9A及9B的表面反射造成的相干性再现噪声。
另外，在使用三张以上的保护光学部件的情况下，若重复地将相邻的保护光学部件以彼此相对于测量光的光轴旋转180度而对称的方式安装，则能得到与上述相同的效果。从使通过保护光学部件而有所偏离的光程，通过其他保护光学部件来还原的观点来看，优选多张保护光学部件由配置为旋转对称的对的组合构成。此外，由于激光焊接头1的尺寸的限制，有时难以将多个保护光学部件全部倾斜地安装。在该情况下也可以采用以下结构：对一部分的保护光学部件赋予反射防止膜以抑制保护光学部件的表面反射，且如通常那样不倾斜地安装，而仅对可倾斜的保护光学部件倾斜地进行安装。
如以上说明的那样，在实施方式2的激光焊接装置10A中，将两张保护光学部件9A及9B安装为：相对于与测量光的光轴垂直的面以相同角度倾斜并且彼此相对于测量光的光轴旋转180度而对称。通过这样的结构，能够将由于倾斜地安装保护光学部件9A及9B所造成的光程偏离消除，且能够除去由保护光学部件9A及9B的表面反射造成的相干性再现噪声。
工业实用性
本发明能够适用于汽车或电子部件等的激光焊接。

Claims (5)

1.一种激光焊接装置，其特征在于，包括：
激光输出单元，向被焊接件的焊接部照射激光；
光学干涉仪，基于因测量光与参考光之间的光程差而产生的干涉来测定所述焊接部的焊透深度，所述测量光的波长不同于所述激光的波长，所述测量光与所述激光同轴地重合而照射到所述焊接部并由所述焊接部反射；以及
保护光学部件，在所述被焊接件与所述激光输出单元的光程间，相对于与所述测量光的光轴垂直的面倾斜而配置。
2.如权利要求1所述的激光焊接装置，其特征在于，
所述保护光学部件相对于与所述测量光的光轴垂直的面倾斜0.5度以上。
3.如权利要求1所述的激光焊接装置，其特征在于，
具有两张以上的所述保护光学部件，
所述两张以上的保护光学部件各自相对于与所述测量光的光轴垂直的面倾斜而配置，第N个保护光学部件与第(N+1)个保护光学部件彼此旋转180度而对称地配置。
4.如权利要求1所述的激光焊接装置，其特征在于，
具有两张以上的所述保护光学部件，
所述两张以上的保护光学部件各自相对于与所述测量光的光轴垂直的面倾斜而配置，并且由配置为各个保护光学部件相对于光轴旋转对称的对的组合构成。
5.一种激光焊接方法，其特征在于，包括以下工序：
将激光、和具有与所述激光不同的波长的测量光同轴地重合并照射到被焊接件的焊接部的工序；以及
基于因由所述焊接部反射的所述测量光与参考光的光程差而产生的干涉，来测定所述焊接部的焊透深度的工序，
在所述激光经由保护光学部件照射到被焊接件时，所述保护光学部件处于相对于所述测量光的光轴垂直面而倾斜的状态。
CN201811247688.8A 2017-10-26 2018-10-25 激光焊接装置及激光焊接方法 Pending CN109702337A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-207497 2017-10-26
JP2017207497A JP6851000B2 (ja) 2017-10-26 2017-10-26 レーザ溶接装置およびレーザ溶接方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109702337A true CN109702337A (zh) 2019-05-03

Family

ID=66137938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811247688.8A Pending CN109702337A (zh) 2017-10-26 2018-10-25 激光焊接装置及激光焊接方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20190126389A1 (zh)
JP (1) JP6851000B2 (zh)
CN (1) CN109702337A (zh)
DE (1) DE102018218334A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110744211A (zh) * 2019-09-12 2020-02-04 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种兼备加工和实时检测能力的激光孔洞加工系统及方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3778101B1 (en) * 2018-04-13 2024-01-17 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Laser welding device
DE102018217526A1 (de) * 2018-10-12 2020-04-16 Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Ermitteln einer Kenngröße eines Bearbeitungsprozesses und Bearbeitungsmaschine

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54102257A (en) * 1978-01-31 1979-08-11 Toshiba Corp Method and apparatus for laser welding
JPH04361889A (ja) * 1991-06-06 1992-12-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レーザ溶接モニタリング方法及びその装置
JP2001150163A (ja) * 1999-12-01 2001-06-05 Nippon Steel Weld Prod & Eng Co Ltd レ−ザ出力調整装置
CN1805818A (zh) * 2003-05-16 2006-07-19 拉萨格股份公司 用于生成旋转激光束的设备
JP2012035307A (ja) * 2010-08-09 2012-02-23 Nissan Motor Co Ltd レーザ溶接モニタリング装置
CN102773607A (zh) * 2011-05-10 2012-11-14 松下电器产业株式会社 激光焊接装置及激光焊接方法
CN104379329A (zh) * 2012-04-06 2015-02-25 3M创新有限公司 用于制备逆向反射制品的工具
CN104414621A (zh) * 2013-09-04 2015-03-18 日立乐金光科技株式会社 光学测量装置和光学层析方法
CN105252139A (zh) * 2015-11-11 2016-01-20 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光聚焦装置
CN106103015A (zh) * 2014-03-17 2016-11-09 松下知识产权经营株式会社 激光加工机器人
CN107076546A (zh) * 2014-10-20 2017-08-18 普雷茨特两合公司 用于实时测量焊缝深度的设备

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5854252B2 (ja) 1975-10-22 1983-12-03 日産自動車株式会社 ジドウシヤヨウナイネンキカン ノ ハイキジヨウカソウチ

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54102257A (en) * 1978-01-31 1979-08-11 Toshiba Corp Method and apparatus for laser welding
JPH04361889A (ja) * 1991-06-06 1992-12-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd レーザ溶接モニタリング方法及びその装置
JP2001150163A (ja) * 1999-12-01 2001-06-05 Nippon Steel Weld Prod & Eng Co Ltd レ−ザ出力調整装置
CN1805818A (zh) * 2003-05-16 2006-07-19 拉萨格股份公司 用于生成旋转激光束的设备
JP2012035307A (ja) * 2010-08-09 2012-02-23 Nissan Motor Co Ltd レーザ溶接モニタリング装置
CN102773607A (zh) * 2011-05-10 2012-11-14 松下电器产业株式会社 激光焊接装置及激光焊接方法
CN102773607B (zh) * 2011-05-10 2014-12-31 松下电器产业株式会社 激光焊接装置
CN104379329A (zh) * 2012-04-06 2015-02-25 3M创新有限公司 用于制备逆向反射制品的工具
CN104414621A (zh) * 2013-09-04 2015-03-18 日立乐金光科技株式会社 光学测量装置和光学层析方法
CN106103015A (zh) * 2014-03-17 2016-11-09 松下知识产权经营株式会社 激光加工机器人
CN107076546A (zh) * 2014-10-20 2017-08-18 普雷茨特两合公司 用于实时测量焊缝深度的设备
CN105252139A (zh) * 2015-11-11 2016-01-20 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光聚焦装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110744211A (zh) * 2019-09-12 2020-02-04 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种兼备加工和实时检测能力的激光孔洞加工系统及方法
CN110744211B (zh) * 2019-09-12 2021-02-19 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种兼备加工和实时检测能力的激光孔洞加工系统及方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP6851000B2 (ja) 2021-03-31
JP2019076944A (ja) 2019-05-23
DE102018218334A1 (de) 2019-05-02
US20190126389A1 (en) 2019-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107076546B (zh) 用于实时测量焊缝深度的设备
CN109702337A (zh) 激光焊接装置及激光焊接方法
JP5726999B2 (ja) レーザビーム分析装置
JPH039402B2 (zh)
CA2501618A1 (en) Method and system for determining the position and alignment of a surface of an object in relation to a laser beam
US8514407B2 (en) Surface shape measurement apparatus
CN102385170A (zh) 一种高精度测量调整光学镜片中心偏差的光学系统
JP2009069151A (ja) 座標測定器の移動要素の空間位置を決定するための手段及び方法
CN112566747B (zh) 激光加工系统和用于使用激光光束加工工件的方法
US20210138578A1 (en) Optical filter having dual polarization
RU147271U1 (ru) Интерферометр для контроля формы и углового положения оптических поверхностей
JP2020110845A (ja) レーザ溶接装置およびレーザ溶接方法
JPS5856094B2 (ja) 微小振動測定装置
JP2568328B2 (ja) 外径測定機
JP2753545B2 (ja) 形状測定システム
JP2002071509A (ja) 準平行平面板または平行平面板の透過波面測定方法および装置
JP2003004424A (ja) 面形状測定方法および装置
JP2008209365A (ja) 干渉測定装置及び干渉測定方法
JP2011247736A (ja) 被検曲面形状測定装置
JPH11190614A (ja) ガラス容器の肉厚測定装置
JPH04130239A (ja) 動的面出入り測定装置
JPH0720094A (ja) 超音波振動測定装置
JPH08114413A (ja) 干渉計の被検面距離合わせ方法
JPH0711422B2 (ja) シールド機の方向測定装置
JP2005121447A (ja) オートコリメータ

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20190503