CN109642881A - X射线荧光分析装置用的试样夹持器、试样夹持器制作夹具和x射线荧光分析装置用的试样制作方法 - Google Patents

X射线荧光分析装置用的试样夹持器、试样夹持器制作夹具和x射线荧光分析装置用的试样制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种X射线荧光分析装置用的试样夹持器，其当利用上照射型的X射线荧光分析装置进行测定时能够对少量且无法滴干的液体状试样进行测定。X射线荧光分析装置用的试样夹持器具有第一基板和第二基板，其中，所述第一基板具有：支持基板，其具有配置液体状试样的孔；第一树脂薄膜，其粘结在该支持基板的X射线入射侧的表面上以覆盖该孔；以及粘结层，其设置在该支持基板的粘结有该第一树脂薄膜的表面的背面，所述第二基板具有：固定基板，其在与所述支持基板所具有的孔的对应位置上具有孔；以及第二树脂薄膜，其粘结在该固定基板的所述X射线入射侧的表面上，并且所述第二基板通过所述粘结层与所述第一基板粘结。

Description

X射线荧光分析装置用的试样夹持器、试样夹持器制作夹具和 X射线荧光分析装置用的试样制作方法
技术领域
本发明涉及X射线荧光分析装置用的试样夹持器、试样夹持器制作夹具和X射线荧光分析装置用的试样制作方法。
背景技术
用X射线照射作为测定对象的试样并根据射出的X射线荧光检测试样中所含元素的X射线荧光分析装置已经众所周知。测定对象并不限于固体形状的试样，也有液体状、即具有流动性的试样。
例如，专利文献1公开了一种具有流动性的试样及其测定方法。具体而言，公开了如下内容，将具有流动性的试样填充到由底面上开有孔的支持基板和粘贴有用于封闭该孔的树脂薄膜形成的凹部中。然后配置多孔薄膜以覆盖该填充的试样表面。
此外，当X射线荧光分析装置的X射线管和检测器等配置在试样下侧时，若液体状的试样在测定过程中从测定容器中溢出，则会成为X射线荧光分析装置的严重故障的原因。因此，当液体状的试样为测定对象时，会使用X射线管和检测器等配置在试样上侧的上照射型X射线荧光分析装置。例如，已知一种方法，其使用上照射用的X射线荧光分析装置分析向具有止泡的容器中填充液体试样并使气泡不处于测定面的试样。
此外，一种使液体状试样滴干后进行测定的方法也已经众所周知。例如，已知有一种在使滴到滤纸上的液体试样干燥后状态下进行X射线荧光分析的方法。
专利文献1：日本特开平10-19812号公报
发明内容
上述专利文献1所述的测定用试样使用多孔薄膜。因此，当填充的试样为低粘度或挥发性时，试样会穿过多孔薄膜的孔而无法进行测定。
而且，当在具有止泡的容器中填充有液体状试样时，为了使气泡不处于测定面上而需要大于一定体积的试样。因此，使用该容器进行X射线荧光分析的方法无法应用于试样少量的场合。
此外，在使滴到滤纸上的液体试样干燥后进行X射线荧光分析的点滴干燥法也无法应用于液体为不会干燥材质的场合。
本发明正是鉴于上述问题而作出的，其目的在于提供当利用上照射型X射线荧光分析装置进行测定时能够测定少量且不能滴干的液体状试样的X射线荧光分析装置用的试样夹持器以及X射线荧光分析装置用的试样制作方法。
方案1所述的X射线荧光分析装置用的试样夹持器的特征在于，具有：第一基板和第二基板，其中，所述第一基板具有：支持基板，其具有配置液体状试样的孔；第一树脂薄膜，其粘结在该支持基板的X射线入射侧的表面上以覆盖该孔；以及粘结层，其设置在该支持基板的粘结有该第一树脂薄膜的表面的背面，所述第二基板具有：固定基板，其在与所述支持基板所具有的孔对应的位置上具有孔；以及第二树脂薄膜，其粘结在该固定基板的所述X射线入射侧的表面上，并且所述第二基板通过所述粘结层与所述第一基板粘结。
方案2所述的试样夹持器的特征在于，在方案1所述的试样夹持器中，所述固定基板具有可挠性。
方案3所述的试样夹持器的特征在于，在方案2所述的试样夹持器中，所述固定基板比所述支持基板薄。
方案4所述的试样夹持器的特征在于，在方案1至3中任一所述的试样夹持器中，用于粘结所述第一基板和第二基板的粘结层通过层叠上浆剂、第三树脂薄膜和上浆剂而形成。
方案5所述的试样夹持器的特征在于，在方案1至4中任一所述的试样夹持器中，所述X射线荧光分析装置为上照射型X射线荧光分析装置。
方案6所述的试样夹持器的特征在于，在方案1至5中任一所述的试样夹持器中，所述支持基板与所述固定基板的颜色不同。
方案7所述的试样夹持器的特征在于，在方案1至6中任一所述的试样夹持器中，所述第一树脂薄膜和第二树脂薄膜由聚丙烯、聚酯或者聚酰亚胺形成。
方案8所述的试样夹持器的特征在于，在方案1至7中任一所述的试样夹持器中，所述第三树脂薄膜由发泡体形成。
方案9所述的试样夹持器制作夹具为一种用于制作方案1至8中任一所述的试样夹持器的试样夹持器制作夹具，其特征在于，具有：平板部，其为具有与所述第一基板的外形一部分相同外形的平面形状，且载置有所述第一基板；导向部，其沿着与所述外形对应部分的边缘而直立设置在所述平板部的载置有所述第一基板的表面上，用于固定所述第一基板。
方案10所述的试样夹持器制作夹具的特征在于，在方案9所述的试样夹持器制作夹具中，所述平板部具有用于表示所述支持基板的所述孔的外延的指标。
方案11所述的试样夹持器制作夹具的特征在于，方案9或10所述的试样夹持器制作夹具由聚对苯二甲酸乙二醇酯形成。
方案12所述的X射线荧光分析装置用的试样制作方法的特征在于，具有将液体状试样滴下到由第一基板的孔和第一树脂薄膜形成的凹部中的工序和利用粘结层将第二基板贴合在所述第一基板上的工序，其中，所述第一基板具有：支持基板，其具有孔；第一树脂薄膜，其以覆盖该孔的方式粘结在该支持基板的X射线入射侧的表面上；以及粘结层，其设置在该支持基板的粘结有该第一树脂薄膜的表面的背面，所述第二基板具有：固定基板，其在与所述支持基板所具有的孔对应的位置具有孔；以及第二树脂薄膜，其粘结在该固定基板的所述X射线的入射侧的表面上。
方案13所述的X射线荧光分析装置用的试样制作方法的特征在于，方案12所述的X射线荧光分析装置用的试样制作方法还包括将所述第一基板载置在试样夹持器制作夹具上的工序，其中，所述试样夹持器制作夹具具有：平板部，其为具有与所述第一基板的外形一部分相同外形的平面形状，且载置有所述第一基板；以及导向部，其沿着与所述外形对应部分的边缘而直立设置在所述平板部的载置有所述第一基板的表面上，用于固定所述第一基板。
方案1、5至12所述的发明能够利用上照射型X射线荧光分析装置测定少量且无法滴干的液体状试样。
而且，方案2和3所述的发明能够在将试样填充到试样夹持器时减少混入的气泡。
而且，方案4所述的发明能够防止填充的液体状试样渗出到试样夹持器的外部。
而且，方案9至11、13所述的发明能够提高试样夹持器的制作精度。
附图说明
图1为示意表示本发明实施方式所涉及的试样夹持器的图。
图2为表示将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图3为表示将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图4为表示将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图5为表示将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图6为表示将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图7为表示将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图8为示意表示试样夹持器制作夹具的图。
图9为表示使用试样夹持器制作夹具将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图10为表示使用试样夹持器制作夹具将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图11表示使用试样夹持器制作夹具将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图12为表示使用试样夹持器制作夹具将试样填充到试样夹持器的工序的图。
图13为用于说明使用X射线荧光分析装置进行测定的方法。
附图标记说明
100 试样夹持器
102 第一基板
104 第二基板
106 支持基板
108 第一树脂薄膜
110 粘结层
112 支持基板的孔
114 上浆剂
116 第三树脂薄膜
118 固定基板
120 第二树脂薄膜
122 固定基板的孔
200 液体状试样
800 试样夹持器制作夹具
802 平板部
804 导向部
806 指标
1300 X射线荧光分析装置
1302 试样台
1304 X射线源
1306 检测器
1308 计数器
1310 分析部
具体实施方式
下面，对用于实施本发明的优选方式(以下称为实施方式)进行说明。图1为示意表示本发明实施方式所涉及的试样夹持器100的图。图1的(a)为表示试样夹持器100剖面的图，图1的(b)为从上侧观察试样夹持器100的图。
如图1所示，试样夹持器100具有第一基板102和第二基板104。第一基板102具有支持基板106、第一树脂薄膜108、粘结层110和上浆剂114。
例如，如图1的(b)所示，支持基板106为直径50mm的圆板状基板，且在中央部设置有直径32mm的圆形状的孔112。液体状试样200配置在由支持基板106的孔112和粘结在支持基板106上的第一树脂薄膜108形成的凹部中。例如，支持基板106由厚度0.5mm～2mm的聚碳酸酯、聚丙烯或者聚对苯二甲酸乙二醇酯等形成。
第一树脂薄膜108粘结在支持基板106的X射线入射侧的表面上以覆盖该孔112。具体而言，第一树脂薄膜108通过上浆剂114粘结在支持基板106的X射线入射侧的表面上以封闭设置在支持基板106上的孔112。优选，该上浆剂114以与粘结层110相同的结构形成。
而且，第一树脂薄膜108由X射线透过率高且具有气密性和液密性的厚度0.1～25μm的薄树脂形成。具体而言，例如，第一树脂薄膜108由厚度为6μm的聚丙烯、聚酯或者聚酰亚胺形成。由于第一树脂薄膜108具有气密性和液密性，因而能够在密封液体试样的状态下利用X射线荧光分析装置1300进行测定。而且，由于利用薄树脂形成第一树脂薄膜108，因而能够减少包含于X射线荧光分析装置1300的测定结果中散乱射的影响，从而能够高感度且高精度地进行测定。
而且，第一树脂薄膜108由具有透明性的树脂形成。只要第一树脂薄膜108为透明或者半透明，可以从外部目视确认在液体状试样200中是否混入有气泡。
粘结层110通过层叠上浆剂114、第三树脂薄膜116和上浆剂114而形成，并将第一基板102与第二基板104进行粘结。具体而言，例如，粘结层110为在芯材的表面和背面上附着有上浆剂114的双面胶带。例如，作为芯材的第三树脂薄膜116由添加有用于抑制液体状试样200渗透的发泡性能的聚烯烃等发泡体形成。由此，在将第一基板102与第二基板104贴合之后，能够防止液体状试样200从第一基板102与第二基板104之间的界面中渗出。
在将第一基板102与第二基板104贴合之前，粘结层110附着有用于保护上浆剂114表面的剥离纸。在将第一基板102与第二基板104贴合之前剥离该剥离纸。
第二基板104具有固定基板118、第二树脂薄膜120和上浆剂114。固定基板118在与支持基板106所具有的孔112对应的位置上具有孔122。具体而言，如图1的(b)所示，固定基板118为直径50mm的圆板状基板，且以与支持基板106同样的方式在中央部设置有直径32mm的圆形状的孔122。此外，如图1的(a)所示，优选，设置在支持基板106上的孔112与设置在固定基板118上的孔122的位置和大小在贴合后一致。
固定基板118具有可挠性。具体而言，例如，固定基板118既可以由具有高可挠性且厚度为0.5～1.5mm的聚碳酸酯、聚丙烯或者聚对苯二甲酸乙二酯形成，也可以由可挠性高于该材料的材料形成。固定基板118可以形成为薄于支持基板106以提高可挠性。具体而言，例如，固定基板118的厚度为0.5mm，支持基板106的厚度为0.8mm。
支持基板106和固定基板118由不同颜色形成。具体而言，例如，支持基板106由白色形成，而固定基板118由黑色形成。通过使支持基板106与固定基板118形成为不同颜色，能够容易地识别测定面。
第二树脂薄膜120粘结在固定基板118的X射线入射侧的表面上。具体而言，利用粘结剂将第二树脂薄膜120粘结在固定基板118的X射线入射侧的表面上以封闭设置在固定基板118上的孔122。X射线入射侧的表面为与第一基板102贴合的表面。
而且，第二树脂薄膜120可以由具有气密性和液密性的厚度为0.1～25μm的薄树脂形成。具体而言，与第一树脂薄膜108同样，第二树脂薄膜120可以由聚丙烯、聚酯或者聚酰亚胺以6μm的厚度形成。由于第二树脂薄膜120具有气密性和液密性，因而能够在密封液体试样的状态下利用X射线荧光分析装置1300进行测定。而且，由于利用薄树脂形成第二树脂薄膜120，因而能够减少包含于X射线荧光分析装置1300的测定结果中散乱线的影响，从而能够高精度地进行测定。
第二树脂薄膜120贴合在第一基板102上以覆盖由支持基板106和第一树脂薄膜108形成的凹部的开口面。由此，第二树脂薄膜120密封填充到该凹部中的液体状试样200。
设置在第二基板104上的上浆剂114将固定基板118与第二树脂薄膜120贴合。此外，图1表示在固定基板118与第二树脂薄膜120之间仅设置有上浆剂114的结构。但更为优选，与粘结层110同样，在固定基板118与第二树脂薄膜120之间设置有层叠上浆剂114、第三树脂薄膜116和上浆剂114的结构。
接下来，对将液体状试样200填充到上述试样夹持器100中并制作X射线荧光分析装置1300用试样的方法进行说明。图2和图3为表示将液体状的试样200滴下到由第一基板102的孔112和第一树脂薄膜108形成的凹部工序的图，所述第一基板102具有：支持基板106，其具有孔112；第一树脂薄膜108，其粘结在该支持基板106的X射线入射侧的表面上以覆盖该孔112；以及粘结层110。
具体而言，首先如图2所示，第一基板102在清洁平坦的表面上以朝下的方式配置有第一基板102的第一树脂薄膜108。然后，将作为测定对象的液体状试样200滴下到凹部中。例如，当凹部直径为32mm，支持基板106的厚度为0.8mm时，可滴下约1mL的试样。
图3为表示滴下液体状试样200后的第一基板102的图。如图3所示，试样滴下成因表面张力而使试样表面位于略微高于设置在第一基板102上的粘结层110表面的位置。此外，尽管在图3中进行了省略，但粘结在粘结层110表面上的剥离纸已被剥离且露出上浆剂114。
为了使滴下的试样200不溢出，优选，在滴下试样之前预先剥离剥离纸。而且，可以预先测定剥离剥离纸后的支持基板106和固定基板118的质量，并从填充有试样200的试样夹持器100的质量中减去，以便计算出填充的试样200的质量，用于X射线荧光分析的补正。
图4至图6为表示利用粘结层110将第二基板104贴合在第一基板102上工序的图，所述第二基板104具有：固定基板118，其在与支持基板106所具有的孔112对应的位置上具有孔122；以及第二树脂薄膜120，其粘结在固定基板118的X射线入射侧的表面上。
如图4所示，使粘结有第二树脂薄膜120的表面朝向第一基板102，将第二基板104贴合在滴下有试样的第一基板102上。固定基板118具有可挠性，因此，如图5所示，可以使第二基板104弯曲成弓状以相对于第一基板102成凸面，并在将边缘对齐之后，逐渐贴合第二基板104以减少混入试样的气泡。
而且，如图6所示，也可以通过使第二基板104的两端弯曲成弓状以相对于第一基板102成凸面而使处于略微高于粘结层110表面位置的液体状试样200的中央部与第二树脂薄膜120的中央部接触的状态，使第二基板104自相当于直径的中央线附近朝向两端逐渐贴合。由此能够减少混入试样的气泡。
第二树脂薄膜120由具有透明性的树脂形成。只要第二树脂薄膜120为透明或半透明，则能够目视确认进行贴合以使气泡不混入液体状试样200中。
图7为表示在填充试样后并贴合有第一基板102和第二基板104状态下的试样夹持器100的图。由于在第一基板102配置在平坦表面的状态下贴合第一基板102和第二基板104，因而即使在填充有试样的状态下，第一树脂薄膜108也呈平坦张紧状态。
接着对用于制作上述试样夹持器100的试样夹持器制作夹具800进行说明。图8的(a)为自上面观察试样夹持器制作夹具800的图，图8的(b)为自侧面观察试样夹持器制作夹具800的图。试样夹持器制作夹具800具有平板部802和导向部804。
平板部802为具有与第一基板102的外形一部分相同外形的平面形状，且载置有第一基板102。具体而言，平板部802为具有切除外形为圆形的第一基板102一部分的外形的平面形状。例如，如图8的(a)所示，平板部802为切除离开图面上第一基板102的中心相同距离的上侧区域和下侧区域的形状。而且，如后所述，平板部802上载置有第一基板102，以使第一基板102的设置有第一树脂薄膜108的表面接触。
此外，也可以使平板部802具有用于表示支持基板106的孔112外延的指标806。具体而言，也可以在与支持基板106的孔112外延对应的位置上设置划线或图案等的指标806。由此，当平板部802上载置有第一基板102时，明确与孔112对应的区域。
导向部804沿着与外形对应部分的边缘而直立设置在平板部802的载置有第一基板102的表面上，用于固定第一基板102。具体而言，如图8的(a)所示，导向部804沿着平板部802的弧状部分的边缘而垂直形成在平板部802的载置有第一基板102的表面上。此外，当在平板部802上载置有第一基板102时，为了使导向部804固定第一基板102，优选导向部804的内侧侧面与第一基板102的外侧侧面之间的间隙在1mm以内。
接下来，对使用上述试样夹持器制作夹具800制作试样夹持器100的方法进行说明。图9至图12为使用试样夹持器制作夹具800向试样夹持器100填充试样200的工序的图。
首先，清扫平板部802的载置有第一基板102的表面。清扫能够防止在进行后述的X射线荧光分析时在试样夹持器100上附着有不纯物。由于在平板部802上设置有指标806，因而明确与填充有成为测定对象的试样200的区域对应的位置。因此，清扫指标806的内侧能够防止不纯物的附着而导致测定精度的降低。
下面，如图9的(a)所示，在平板部802的形成有导向部804的表面上载置有第一基板102。由此，第一基板102被导向部804固定。图9的(b)为表示图9的(a)的Ⅸ-Ⅸ剖面的图。如图9的(b)所示，第一基板102被载置成第一树脂薄膜108与平板部802接触。此外，图9的(b)表示附着在粘结层110表面上的剥离纸被剥离而露出上浆剂114的状态。
下面，如图10的(a)和图10的(b)所示，将作为测定对象的液体状试样200滴下到凹部中。滴下该试样200的方法与图2所示的方法相同。此外，图10的(b)为表示图10的(a)的X-X剖面的图。
接着如图11的(a)和图11的(b)所示，将第二基板104贴合在第一基板102上。图11的(b)为表示图11的(a)的Ⅺ-Ⅺ剖面的图。具体而言，如图11的(b)所示，在将试样200滴下的状态下，表面张力使得试样200的表面处于略微高于设置在第一基板102上的粘结层表面的位置。使粘结有第二树脂薄膜120的表面朝向第一基板102，将第二基板104贴合在滴下有试样200的第一基板102上。这里，第一基板102和第二基板104的平面外形相同。由此，导向部804使第一基板102与第二基板104以中心一致的方式贴合。
为了不使气泡混入试样200中，也可以与图5所示的方法同样，使第二基板104弯曲成弓状以相对于第一基板102呈凸面，并在对齐边缘后，逐渐贴合第二基板104。而且，也可以与图6所示的方法同样，自通过使第二基板104的两端弯曲成弓状以相对于第一基板102成凸面而使处于略微高于粘结层110表面位置的液体状试样200的中央部与第二树脂薄膜120的中央部接触的状态，使第二基板104自相当于直径的中央线附近朝向两端逐渐贴合。
图12的(a)和图12的(b)为表示填充试样200后并将第一基板102与第二基板104贴合后状态的试样夹持器100的图。图12的(b)为表示图12的(a)的Ⅻ-Ⅻ剖面的图。如图12的(b)所示，以使中心一致的方式贴合第一基板102与第二基板104。由此，当将试样夹持器100载置在X射线荧光分析装置1300上时，能够防止试样夹持器100与X射线分析装置的试样台1302不嵌合的事态。例如，当在试样台1302上设置用于载置试样夹持器100的凹部时，能够防止该凹部与试样夹持器100不嵌合的事态。
接下来使用图13对使用上述试样夹持器100进行X射线荧光分析的方法进行说明。此外，尽管X射线荧光分析装置1300为上照射型的X射线荧光分析装置1300，但由于X射线荧光分析装置1300本身与传统技术相同，因而省略详细的说明。
如图13所示，X射线荧光分析装置1300具有试样台1302、X射线源1304、检测器1306、计数器1308和分析部1310。试样台1302载置有作为测定对象的试样。具体而言，如图13所示，填充有液体状试样200的试样夹持器100使粘结在第一基板102上的第一树脂薄膜108位于上侧而载置在试样台1302上。
X射线源1304用产生X射线荧光的一次X射线照射试样夹持器100的表面。具体而言，X射线源1304用一次X射线照射试样夹持器100的第一树脂薄膜108的中央部。被二次X射线照射的液体状试样200射出二次X射线。
填充有液体状试样200且由薄的第一树脂薄膜108和第二树脂薄膜120密封的试样夹持器100在真空条件下可能会破裂。因此，测定会在真空条件下进行。当分析轻元素时，为了减少光学系统光路的X射线吸收，因而在氦气吹扫条件下进行测定。
检测器1306为SDD等的检测器1306。检测器1306测定二次X射线的强度，并输出具有与测定的二次X射线能量对应的峰值的脉冲信号。
计数器1308通过与峰值对应而对作为检测器1306的测定强度输出的脉冲信号进行计数。具体而言，例如，计数器1308为多通道分析器，在每个与二次X射线的能量对应的各通道中对检测器1306的输出脉冲信号进行计数，并作为二次X射线的强度输出。此外，当对二次X射线进行分光时，取得用于测定分光后的二次X射线的检测器1306输出的计数器1308也可以为用于对仅与分光后能量对应的峰值范围的脉冲信号进行计数的单通道分析器。
分析部1310基于计数器1308的计数结果而对试样中所含有的元素进行定量分析。具体而言，例如，分析部1310使用计数器1308的计数结果并利用校准曲线法或FP(基本参数法)进行定量分析。
如上所述，本发明能够利用上照射型的X射线荧光分析装置1300对少量且无法滴干的液体状试样200进行测定。而且，通过减少混入试样的气泡且使用薄的第一树脂薄膜108，能够高感度且精度良好地进行测定。
本发明并不限于上述的实施例而可以进行各种变形。X射线荧光分析装置1300的结构为一示例，并非限定于此。也可以用与上述实施例所示的结构实质相同的结构、起到相同作用效果的结构或者达到相同目的的结构进行置换。而且，也可以将本发明的试样夹持器100载置为使第一树脂薄膜108位于下侧并使用X射线管和检测器等配置在试样下侧的下照射型X射线荧光分析装置进行测定。

Claims (13)

1.一种X射线荧光分析装置用的试样夹持器，其特征在于，
具有第一基板和第二基板，
其中，所述第一基板具有：支持基板，其具有配置液体状试样的孔；第一树脂薄膜，其粘结在该支持基板的X射线入射侧的表面上以覆盖该孔；以及粘结层，其设置在该支持基板的粘结有该第一树脂薄膜的表面的背面，
所述第二基板具有：固定基板，其在与所述支持基板所具有的孔对应的位置上具有孔；以及第二树脂薄膜，其粘结在该固定基板的所述X射线入射侧的表面上，并且所述第二基板通过所述粘结层与所述第一基板粘结。
2.根据权利要求1所述的试样夹持器，其特征在于，所述固定基板具有可挠性。
3.根据权利要求2所述的试样夹持器，其特征在于，所述固定基板比所述支持基板薄。
4.根据权利要求1至3中任一所述的试样夹持器，其特征在于，用于粘结所述第一基板和所述第二基板的粘结层通过层叠上浆剂、第三树脂薄膜和上浆剂而形成。
5.根据权利要求1至4中任一所述的试样夹持器，其特征在于，所述X射线荧光分析装置为上照射型X射线荧光分析装置。
6.根据权利要求1至5中任一所述的试样夹持器，其特征在于，所述支持基板与所述固定基板的颜色不同。
7.根据权利要求1至6中任一所述的试样夹持器，其特征在于，所述第一树脂薄膜和第二树脂薄膜由聚丙烯、聚酯或者聚酰亚胺形成。
8.根据权利要求1至7中任一所述的试样夹持器，其特征在于，所述第三树脂薄膜由发泡体形成。
9.一种试样夹持器制作夹具，用于制作权利要求1至8中任一所述的试样夹持器，其特征在于，具有：
平板部，其为具有与所述第一基板的外形一部分相同外形的平面形状，且载置有所述第一基板；以及
导向部，其沿着与所述外形对应部分的边缘而直立设置在所述平板部的载置有所述第一基板的表面上，用于固定所述第一基板。
10.根据权利要求9所述的试样夹持器制作夹具，其特征在于，所述平板部具有用于表示所述支持基板的所述孔的外延的指标。
11.根据权利要求9或10所述的试样夹持器制作夹具，其特征在于，由聚对苯二甲酸乙二醇酯形成。
12.一种X射线荧光分析装置用的试样制作方法，其特征在于，具有：
将液体状试样滴下到由第一基板的孔和第一树脂薄膜形成的凹部中的工序；以及
利用粘结层将第二基板贴合在所述第一基板上的工序，
其中，所述第一基板具有：支持基板，其具有孔；第一树脂薄膜，其粘结在该支持基板的X射线入射侧的表面上以覆盖该孔；以及粘结层，其设置在该支持基板的粘结有该第一树脂薄膜的表面的背面，
所述第二基板具有：固定基板，其在与所述支持基板所具有的孔对应的位置上具有孔；以及第二树脂薄膜，其粘结在该固定基板的所述X射线入射侧的表面上。
13.根据权利要求12所述的X射线荧光分析装置用的试样制作方法，其特征在于，还包括将所述第一基板载置在试样夹持器制作夹具上的工序，其中，所述试样夹持器制作夹具具有：平板部，其为具有与所述第一基板的外形一部分相同外形的平面形状，且载置有所述第一基板；以及导向部，其沿着与所述外形对应部分的边缘而直立设置在所述平板部的载置有所述第一基板的表面上，用于固定所述第一基板。
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