CN109581709A - 烘烤装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 78
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 10
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000001727 in vivo Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Furnace Details (AREA)
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Abstract
本发明提供一种烘烤装置。所述烘烤装置包括箱体、设于所述箱体内且位于所述箱体底部的烘烤腔室、设于所述箱体内且位于所述箱体顶部的冷却腔室、设于所述烘烤腔室顶部的隔热腔门、设于所述烘烤腔室内的多个均匀分布的支撑顶针以及设于所述箱体内且位于所述烘烤腔室和冷却腔室之间的承载机构，所述烘烤腔室、承载机构及冷却腔室相互间隔；当基板在烘烤腔室内烘烤到达预设的烘烤时长时，所述隔热腔门打开，所述支撑顶针升起将基板顶出烘烤腔室，并转移至所述承载机构上由所述承载机构支撑，通过将基板移除烘烤腔室并转移到承载机构上，能够有效避免基板过烘，保证制程品质，提升产品良率。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种烘烤装置。
背景技术
随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。
通常液晶显示面板由彩膜基板(CF，Color Filter)、薄膜晶体管基板(TFT，ThinFilm Transistor)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。
在液晶显示面板的生产过程中经常需要对膜层进行图案化处理，所述图案化处理一笔需要经过涂胶、曝光以及显影制程；在曝光制程前涂胶制程后需要进行一道前烘制程，使光阻中的溶剂(Solvent)在高温(一般90～120℃)下蒸干，方可正常曝光；另外在显影制程后因为玻璃基板还带有一定的水份，需要进行一道后烘制程来进行烘干。在前烘或者后烘所需的时间都是一定的，过烘或者时间不够都会影响产品的品质以及影响到上下制程的正常进行。
另外，在液晶显示面板的生产过程中每一道制程都是上下游紧密相关，因此只要在上游或者下游发生设备异常都会导致整条线的停机异常，其中在烘烤制程中，一般需要通过机械手将基板放入烘烤腔室中，完成烘烤后再有机械手将基板从烘烤腔室中取出转移到冷却腔室中进行冷却，但日常的生产过程中机械手臂经常因为各种设备异常而停止工作，导致基板在烘烤腔室完成烘烤后无法及时从烘烤腔室中取出，导致基板出现过烘，影响制程品质和良率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种烘烤装置，能够有效避免基板过烘，保证制程品质，提升产品良率。
为实现上述目的，本发明提供了一种烘烤装置，包括箱体、设于所述箱体内且位于所述箱体底部的烘烤腔室、设于所述箱体内且位于所述箱体顶部的冷却腔室、设于所述烘烤腔室顶部的隔热腔门、设于所述烘烤腔室内的多个均匀分布的支撑顶针以及设于所述箱体内且位于所述烘烤腔室和冷却腔室之间的承载机构，所述烘烤腔室、承载机构及冷却腔室相互间隔；
烘烤时，当基板在烘烤腔室内烘烤到达预设的烘烤时长时，所述隔热腔门打开，所述支撑顶针升起将基板顶出烘烤腔室，并转移至所述承载机构上由所述承载机构支撑，以防止过烘。
所述隔热腔门包括第一腔门、第二腔门、第一驱动单元及第二驱动单元；
所述第一驱动单元及第二驱动单元分别安装于所述箱体相对间隔的两侧面上且所述第一驱动单元及第二驱动单元能够沿其所在的侧面竖直升降；所述第一腔门与第二腔门依次排列，且所述第一腔门远离所述第二腔门的一侧边与第一驱动单元相连，所述第二腔门远离所述第一腔门的一侧边与第二驱动单元相连；
所述隔热腔门关闭时，所述第一腔门及第二腔门均处于水平状态，并完全覆盖所述烘烤腔室的顶部，以密封所述烘烤腔室；
所述隔热腔门打开时，所述第一驱动单元和第二驱动单元竖直上升，分别带动所述第一腔门远离所述第二腔门的一侧边及第二腔门远离所述第一腔门的一侧边竖直上升，进而带动所述第一腔门靠近第二腔门的一侧边向远离第二腔门的方向滑动，所述第二腔门靠近第一腔门的一侧边向远离第一腔门的方向滑动，使得所述第一腔门靠近第二腔门的一侧边与所述第二腔门靠近第一腔门的一侧边之间形成一供基板出入的开口。
所述承载机构包括多个均匀间隔排列的承载部；
每一个承载部均包括竖直的连接杆及水平的支撑板，所述连接杆的一端与所述箱体顶部相连，另一端与所述支撑板相连；
所述支撑顶针升起将基板顶出烘烤腔室时，在所述基板到达预设的转移位置之前，各个支撑板与所述基板在水平面上的投影相互间隔，在所述基板到达预设的转移位置后，各个支撑板旋转至所述基板的正下方，所述支撑顶针下降回到所述烘烤腔室内，所述基板落在所述支撑板上由所述支撑板支撑。
所述烘烤腔室的一侧面上还设有一出入口，所述出入口用于供机械手在所述烘烤腔室内取放基板；
烘烤时，当基板在烘烤腔室内烘烤到达预设的制程时长时，所述机械手从所述出入口将基板取出，并转移至冷却腔室中，所述制程时长小于所述烘烤时长。
所述冷却腔室包括依次层叠设置的多个冷却层，每一个冷却层用于放置一块待冷却的基板。
所述冷却腔室的外壁的材料为隔热材料。
所述承载机构包括四个承载部，分别对应所述基板的四角设置。
所述第一驱动单元和第二驱动单元为步进电机。
所述第一腔门与第二腔门的尺寸相同。
所述烘烤装置还包括设于所述冷却腔室内的排气冷却系统，所述排气冷却系统用于对位于冷却腔室的基板进行降温冷却。
本发明的有益效果：本发明提供了一种烘烤装置，包括箱体、设于所述箱体内且位于所述箱体底部的烘烤腔室、设于所述箱体内且位于所述箱体顶部的冷却腔室、设于所述烘烤腔室顶部的隔热腔门、设于所述烘烤腔室内的多个均匀分布的支撑顶针以及设于所述箱体内且位于所述烘烤腔室和冷却腔室之间的承载机构，所述烘烤腔室、承载机构及冷却腔室相互间隔；当基板在烘烤腔室内烘烤到达预设的烘烤时长时，所述隔热腔门打开，所述支撑顶针升起将基板顶出烘烤腔室，并转移至所述承载机构上由所述承载机构支撑，通过将基板移除烘烤腔室并转移到承载机构上，能够有效避免基板过烘，保证制程品质，提升产品良率。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的烘烤装置的正常烘烤时的示意图；
图2至图4为本发明的烘烤装置将基板转移到承载机构时的示意图；
图5为本发明的烘烤装置的隔热腔门的工作示意图；
图6为本发明的烘烤装置的承载机构的工作示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1，本发明提供一种烘烤装置，包括箱体1、设于所述箱体1内且位于所述箱体1底部的烘烤腔室2、设于所述箱体1内且位于所述箱体1顶部的冷却腔室3、设于所述烘烤腔室2顶部的隔热腔门4、设于所述烘烤腔室2内的多个均匀分布的支撑顶针5以及设于所述箱体1内且位于所述烘烤腔室2和冷却腔室3之间的承载机构6，所述烘烤腔室2、承载机构6及冷却腔室3相互间隔；
烘烤时，当基板100在烘烤腔室2内烘烤到达预设的烘烤时长时，所述隔热腔门4打开，所述支撑顶针5升起将基板100顶出烘烤腔室2，并转移至所述承载机构6上由所述承载机构6支撑，以防止过烘。
具体地，结合图5所示，在本发明的一些实施例中，所述隔热腔门4包括第一腔门41、第二腔门42、第一驱动单元43及第二驱动单元44；
所述第一驱动单元43及第二驱动单元44分别安装于所述箱体1相对间隔的两侧面11上且所述第一驱动单元43及第二驱动单元44能够沿其所在的侧面11竖直升降；所述第一腔门41与第二腔门42依次排列，且所述第一腔门41远离所述第二腔门42的一侧边与第一驱动单元43相连，所述第二腔门42远离所述第一腔门41的一侧边与第二驱动单元44相连。
进一步地，所述隔热腔门4的工作状态包括：所述隔热腔门4关闭时，所述第一腔门41及第二腔门42均处于水平状态，并完全覆盖所述烘烤腔室2的顶部，以密封所述烘烤腔室2；所述隔热腔门4打开时，所述第一驱动单元43和第二驱动单元44竖直上升，分别带动所述第一腔门41远离所述第二腔门42的一侧边及第二腔门42远离所述第一腔门41的一侧边竖直上升，进而带动所述第一腔门41靠近第二腔门42的一侧边向远离第二腔门42的方向滑动，所述第二腔门42靠近第一腔门41的一侧边向远离第一腔门41的方向滑动，使得所述第一腔门41靠近第二腔门42的一侧边与所述第二腔门42靠近第一腔门41的一侧边之间形成一供基板100出入的开口。
优选地，所述第一驱动单元43和第二驱动单元44为步进电机。
优选地，所述第一腔门41与第二腔门42的尺寸相同。
具体地，在本发明的一些实施例中，所述承载机构6包括多个均匀间隔排列的承载部61；每一个承载部61均包括竖直的连接杆611及水平的支撑板612，所述连接杆611的一端与所述箱体1顶部相连，另一端与所述支撑板612相连。
进一步地，所述支撑顶针5升起将基板100顶出烘烤腔室2时，在所述基板100到达预设的转移位置之前，各个支撑板612与所述基板100在水平面上的投影相互间隔，在所述基板100到达预设的转移位置后，各个支撑板612旋转至所述基板100的正下方，所述支撑顶针5下降回到所述烘烤腔室2内，所述基板100落在所述支撑板612上由所述支撑板612支撑。
具体地，所述支撑板612的旋转方式可以为支撑板612本身围绕所述连接杆611旋转，也可以由所述连接杆611旋转带动所述支撑板612旋转，这些均可以根据实际需要进行选择。
优选地，在本发明的一些实施例中，所述承载机构6包括四个承载部61，分别对应所述基板100的四角设置。
具体地，所述烘烤腔室2的一侧面上还设有一出入口21，所述出入口21用于供机械手在所述烘烤腔室2内取放基板100；烘烤时，当基板100在烘烤腔室2内烘烤到达预设的制程时长时，所述机械手从所述出入口21将基板100取出，并转移至冷却腔室3中，所述制程时长小于所述烘烤时长。
优选地，所述出入口21设于所述箱体1的前侧面，所述第一驱动单元43和第二驱动单元44分别位于所述箱体1的左右侧面。
优选地，为了便于隔热腔门4的开启，对应所述第一驱动单元43和第二驱动单元44在所述箱体1的左右侧面上设有两升降轨201，所述第一驱动单元43和第二驱动单元44沿对应的升降轨竖直升降，进一步地，在所述烘烤腔室2的顶面的前后侧边上设于两滑轨202所述第一腔门41靠近第二腔门42的一侧边与所述第二腔门42靠近第一腔门41的一侧边沿所述滑轨202滑动。
具体地，所述冷却腔室3包括依次层叠设置的多个冷却层31，每一个冷却层31用于放置一块待冷却的基板100，优选地，在本发明的一些实施例中，所述冷却腔室3包括10层冷却层31。进一步地，所述烘烤装置还包括设于所述冷却腔室3内的排气冷却系统，所述排气冷却系统用于对位于冷却腔室3的基板100进行降温冷却。
优选地，所述冷却腔室3的外壁的材料为隔热材料。
需要说明的是，请参阅图1至图6，本发明的烘烤装置的具体工作包括：机械手将基板100经出入口21放入烘烤腔室2中进行烘烤，到达预设的制程时长时，机械手将基板100经出入口21从烘烤腔室2中取出，转移到冷却腔室3中，冷却腔室3中的排气冷却系统对所述基板100进行冷却降温，当机械手出现故障时，基板100烘烤到达预设的制程时长时，机械手无法将其去除，因此基板100会在烘烤腔室2中停留超出预设的制程时长，在基板100在烘烤腔室2中停留的时长到达预设的烘烤时长时，隔热腔门4将会打开，所述支撑顶针5升起将基板100顶出烘烤腔室2，到达预设的转移位置，如图6所示，支撑板612从平行基板100左右侧边的位置旋转至基板100的下方垂直于基板100左右侧边的位置，支撑顶针5下降，基板100落在支撑板612上，由支撑板612支撑，支撑顶针5下降回烘烤腔室2中后，隔热腔门4关闭，以防止过烘。
进一步地，本发明的烘烤装置通过在烘烤腔室2的顶部设置隔热腔门4，在保养时仅需要打开隔热腔门4对烘烤腔室2进行保养，简化了烘烤腔室2的保养操作，提升烘烤腔室2的保养效率。
综上所述，本发明提供了一种烘烤装置，包括箱体、设于所述箱体内且位于所述箱体底部的烘烤腔室、设于所述箱体内且位于所述箱体顶部的冷却腔室、设于所述烘烤腔室顶部的隔热腔门、设于所述烘烤腔室内的多个均匀分布的支撑顶针以及设于所述箱体内且位于所述烘烤腔室和冷却腔室之间的承载机构，所述烘烤腔室、承载机构及冷却腔室相互间隔；当基板在烘烤腔室内烘烤到达预设的烘烤时长时，所述隔热腔门打开，所述支撑顶针升起将基板顶出烘烤腔室，并转移至所述承载机构上由所述承载机构支撑，通过将基板移除烘烤腔室并转移到承载机构上，能够有效避免基板过烘，保证制程品质，提升产品良率。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种烘烤装置，其特征在于，包括箱体(1)、设于所述箱体(1)内且位于所述箱体(1)底部的烘烤腔室(2)、设于所述箱体(1)内且位于所述箱体(1)顶部的冷却腔室(3)、设于所述烘烤腔室(2)顶部的隔热腔门(4)、设于所述烘烤腔室(2)内的多个均匀分布的支撑顶针(5)以及设于所述箱体(1)内且位于所述烘烤腔室(2)和冷却腔室(3)之间的承载机构(6)，所述烘烤腔室(2)、承载机构(6)及冷却腔室(3)相互间隔；
烘烤时，当基板(100)在烘烤腔室(2)内烘烤到达预设的烘烤时长时，所述隔热腔门(4)打开，所述支撑顶针(5)升起将基板(100)顶出烘烤腔室(2)，并转移至所述承载机构(6)上由所述承载机构(6)支撑，以防止过烘。
2.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述隔热腔门(4)包括第一腔门(41)、第二腔门(42)、第一驱动单元(43)及第二驱动单元(44)；
所述第一驱动单元(43)及第二驱动单元(44)分别安装于所述箱体(1)相对间隔的两侧面(11)上且所述第一驱动单元(43)及第二驱动单元(44)能够沿其所在的侧面(11)竖直升降；所述第一腔门(41)与第二腔门(42)依次排列，且所述第一腔门(41)远离所述第二腔门(42)的一侧边与第一驱动单元(43)相连，所述第二腔门(42)远离所述第一腔门(41)的一侧边与第二驱动单元(44)相连；
所述隔热腔门(4)关闭时，所述第一腔门(41)及第二腔门(42)均处于水平状态，并完全覆盖所述烘烤腔室(2)的顶部，以密封所述烘烤腔室(2)；
所述隔热腔门(4)打开时，所述第一驱动单元(43)和第二驱动单元(44)竖直上升，分别带动所述第一腔门(41)远离所述第二腔门(42)的一侧边及第二腔门(42)远离所述第一腔门(41)的一侧边竖直上升，进而带动所述第一腔门(41)靠近第二腔门(42)的一侧边向远离第二腔门(42)的方向滑动，所述第二腔门(42)靠近第一腔门(41)的一侧边向远离第一腔门(41)的方向滑动，使得所述第一腔门(41)靠近第二腔门(42)的一侧边与所述第二腔门(42)靠近第一腔门(41)的一侧边之间形成一供基板(100)出入的开口。
3.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述承载机构(6)包括多个均匀间隔排列的承载部(61)；
每一个承载部(61)均包括竖直的连接杆(611)及水平的支撑板(612)，所述连接杆(611)的一端与所述箱体(1)顶部相连，另一端与所述支撑板(612)相连；
所述支撑顶针(5)升起将基板(100)顶出烘烤腔室(2)时，在所述基板(100)到达预设的转移位置之前，各个支撑板(612)与所述基板(100)在水平面上的投影相互间隔，在所述基板(100)到达预设的转移位置后，各个支撑板(612)旋转至所述基板(100)的正下方，所述支撑顶针(5)下降回到所述烘烤腔室(2)内，所述基板(100)落在所述支撑板(612)上由所述支撑板(612)支撑。
4.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述烘烤腔室(2)的一侧面上还设有一出入口(21)，所述出入口(21)用于供机械手在所述烘烤腔室(2)内取放基板(100)；
烘烤时，当基板(100)在烘烤腔室(2)内烘烤到达预设的制程时长时，所述机械手从所述出入口(21)将基板(100)取出，并转移至冷却腔室(3)中，所述制程时长小于所述烘烤时长。
5.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述冷却腔室(3)包括依次层叠设置的多个冷却层(31)，每一个冷却层(31)用于放置一块待冷却的基板(100)。
6.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述冷却腔室(3)的外壁的材料为隔热材料。
7.如权利要求3所述的烘烤装置，其特征在于，所述承载机构(6)包括四个承载部(61)，分别对应所述基板(100)的四角设置。
8.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述第一驱动单元(43)和第二驱动单元(44)均为步进电机。
9.如权利要求2所述的烘烤装置，其特征在于，所述第一腔门(41)与第二腔门(42)的尺寸相同。
10.如权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，还包括设于所述冷却腔室(3)内的排气冷却系统，所述排气冷却系统用于对位于冷却腔室(3)的基板(100)进行降温冷却。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910009179.XA CN109581709B (zh) | 2019-01-04 | 2019-01-04 | 烘烤装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910009179.XA CN109581709B (zh) | 2019-01-04 | 2019-01-04 | 烘烤装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109581709A true CN109581709A (zh) | 2019-04-05 |
| CN109581709B CN109581709B (zh) | 2021-07-06 |
Family
ID=65916091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910009179.XA Active CN109581709B (zh) | 2019-01-04 | 2019-01-04 | 烘烤装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109581709B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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