CN109564119A - 压力式流量控制装置、其流量算出方法以及流量控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种压力式流量控制装置(1)，在将流孔(5)的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下，构成混合气体的两种气体的混合比为X:(1‑X)，使用以混合比率对两种气体的密度、比热比以及气体常数进行加权而算出的混合气体的平均密度ρ、平均比热比κ以及平均气体常数R，通过FF＝(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ‑1)[κ/{(κ+1)R}]1/2算出混合气体的流量系数FF，将流孔截面积设为S、流孔的上游侧的混合气体的压力设为P1、温度设为T1，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2算出通过流孔的混合气体的流量Q。

Description

压力式流量控制装置、其流量算出方法以及流量控制方法
技术领域
本发明涉及在半导体制造设备或化工厂等使用的压力式流量控制装置、其流量算出方法以及流量控制方法，特别是涉及为了供给混合有多种气体的混合气体而使用的压力式流量控制装置、其流量算出方法以及流量控制方法。
背景技术
在半导体制造设备或化工厂等中，要求高精度地供给气体。作为气体流量的控制装置，已知有一种质量流量控制器(热式质量流量控制器)。
另外，根据其他原理，作为结构比热式质量流量控制器更为简单的气体流量的控制装置，已知有一种压力式流量控制系统。例如，在下述专利文献1和2中，公开了一种通过控制阀调节输入的气体流量并经由流孔排出的压力式流量控制装置。该压力式流量控制装置通过测定上游侧的压力P1来控制在流孔上游侧的压力P1与下游侧的压力P2的关系满足规定条件的情况下的气体流量Q。在流孔流出时的气体流速达到该气体温度下的声速的假定下，即，在流孔上游侧的压力P1与下游侧的压力P2的关系满足临界膨胀条件P1/P2≥约2的情况下，流速Q以Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2表示，且与上游侧的压力P1成比例。在此，FF是以FF＝(k/γs){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2表示的流量系数(m3K1/2/kg秒)。
k为常数(将g设为重力加速度(m/秒2)，k＝(2g)1/2＝4.429)，Q(m3/秒)为标准状态下的体积流量，S(m2)为流孔截面积，P1(kg/m2绝对值)为上游侧绝对压力，T1(K)为上游侧气体温度，γs(kg/m3)为气体在标准状态下的密度，κ(无因次)为气体的比热比，R(m/K)为气体常数。
因此，测定上游侧的压力P1并算出流量Q，且以算出的流量Q成为所期望的流量的方式对控制阀进行控制，由此能够实现所期望的流量。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开平8-338546号公报
专利文献2：日本专利特开2000-322130号公报
专利文献1和2中公开的通过测定流孔上游侧的压力P1来计算气体流量来实现所期望的流量的控制方法能够适用于单一种类的气体，而不能适用于混合气体。这是因为流量系数FF包含各气体的特性值(密度γs、比热比κ、气体常数R)。
考虑了将构成混合气体的各气体的流量系数FF以混合的气体的比率进行加权处理(以下亦称为“相乘”)所得的值作为混合气体的流量系数FF。例如，考虑关于气体A和B的混合气体，将气体A的比例设为X(0≤X≤1)、气体B的比例设为(1-X)(气体A:气体B＝1:(1-X))、气体A和B的流量系数FF分别设为FF(A)和FF(B)，通过FF(AB)＝X·FF(A)+(1-X)·FF(B)算出混合气体的流量系数FF(AB)，通过Q＝FF(AB)·S·P1(1/T1)1/2算出流量Q。但是，在该方法中，存在与实测结果的误差大的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种解决上述问题、高精度地算出混合气体的流量且使用该算出值将混合气体的流量控制为所期望的值的压力式流量控制装置、其流量算出方法以及流量控制方法。
为了达到上述目的，本发明的实施方式所涉及的压力式流量控制装置是在将流孔的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下根据流量系数FF算出通过所述流孔的混合气体的流量Q的压力式流量控制装置，所述混合气体由第一气体和第二气体构成，所述第一气体与所述第二气体的混合比为第一气体:第二气体＝X:(1-X)，所述压力式流量控制装置具备：第一运算单元，所述第一运算单元使用所述第一气体的密度ρ(A)、所述第二气体的密度ρ(B)、所述第一气体的比热比κ(A)、所述第二气体的比热比κ(B)、所述第一气体的气体常数R(A)以及所述第二气体的气体常数R(B)，通过：
ρAV＝X·ρ(A)+(1-X)·ρ(B)、
κAV＝X·κ(A)+(1-X)·κ(B)以及
RAV＝X·R(A)+(1-X)·R(B)计算所述混合气体的平均密度ρAV、平均比热比κAV以及平均气体常数RAV；第二运算单元，所述第二运算单元将k设为常数，使用所述平均密度ρAV、所述平均比热比κAV(κAV)以及所述平均气体常数RAV，通过FF＝(k/ρAV){2/(κAV+1)}1/(κAV-1)[κAV/{(κAV+1)RAV}]1/2算出所述混合气体的流量系数FF；以及第三运算单元，所述第三运算单元使用所述混合气体的流量系数FF，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2(其中，流孔截面积S、所述流孔的上游侧的气体温度T1)算出从所述流孔输出的所述混合气体的流量Q。
上述压力式流量控制装置可以进一步具备：调节单元，所述调节单元配置在所述流孔的上游侧，用于调节被输入的所述混合气体的对所述流孔的供给量；以及控制单元，所述控制单元以算出的所述混合气体的所述流量Q成为规定的目标流量Q0的方式，通过所述调节单元控制供给量。
上述压力式流量控制装置可以进一步具备：存储单元，所述存储单元对于三种以上的气体分别存储密度、比热比以及气体常数；以及接收单元，所述接收单元从外部接收指定所述第一气体和所述第二气体的指定信息，所述第一运算单元从所述存储单元读取与所述指定信息对应的所述气体的所述密度ρ(A)和ρ(B)、所述比热比κ(A)和κ(B)以及所述气体常数R(A)和R(B)，计算所述混合气体的所述平均密度ρAV、所述平均比热比κAV以及所述平均气体常数RAV。
本发明的实施方式所涉及的压力式流量控制装置的流量算出方法在将流孔的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下根据流量系数FF算出通过所述流孔的混合气体的流量Q，所述混合气体由第一气体和第二气体构成，所述第一气体与所述第二气体的混合比为第一气体:第二气体＝X:(1-X)，所述压力式流量控制装置的流量算出方法具备：第一步骤，所述第一步骤使用所述第一气体的密度ρ(A)、所述第二气体的密度ρ(B)、所述第一气体的比热比κ(A)、所述第二气体的比热比κ(B)、所述第一气体的气体常数R(A)以及所述第二气体的气体常数R(B)，通过：
ρAV＝X·ρ(A)+(1-X)·ρ(B)、
κAV＝X·κ(A)+(1-X)·κ(B)以及
RAV＝X·R(A)+(1-X)·R(B)计算所述混合气体的平均密度ρAV、平均比热比κAV以及平均气体常数RAV；第二步骤，所述第二步骤将k设为常数，使用所述平均密度ρAV、所述平均比热比κAV(κAV)以及所述平均气体常数RAV，通过FF＝(k/ρAV){2/(κAV+1)}1/(κAV-1)[κAV/{(κAV+1)RAV}]1/2算出所述混合气体的流量系数FF；以及第三步骤，所述第三步骤使用所述混合气体的流量系数FF，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2(其中，流孔截面积S、所述流孔的上游侧的气体温度T1)算出从所述流孔输出的所述混合气体的流量Q。
本发明的实施方式所涉及的压力式流量控制装置的流量控制方法是在混合气体通过的流孔的上游侧配置有流量调节单元的压力式流量控制装置的流量控制方法，其具备：通过上述的流量算出方法，算出通过所述流孔的所述混合气体的流量Q的步骤；以及以算出的所述流量Q成为规定的目标流量Q0的方式调整所述流量调节单元的步骤。
发明效果
根据本发明的实施方式所涉及的压力式流量控制装置，能够高精度地算出混合气体的流量，因此能够使用该算出值将混合气体的流量高精度地控制为所期望的值。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式所涉及的压力式流量控制装置的概略结构的框图。
图2是表示图1的控制部的内部结构的框图。
图3是表示图1的压力式流量控制装置的操作的流程图。
符号说明
1 压力式流量控制装置
2 混合气体供给路径
3 控制阀
4 上游侧流路
5 流孔
6 排出流路
7 压力检测器
8 温度检测器
9 驱动部
10 控制部
20 CPU
21 ROM
22 RAM
23 I/O部
24 总线
具体实施方式
以下一边参照附图一边对本发明所涉及的压力式流量控制装置的实施方式进行说明。另外，在所有的图以及所有的实施方式中，对于相同或类似的结构部分标注了相同的符号。
图1表示本发明的实施方式所涉及的压力式流量控制装置。压力式流量控制装置1构成为具备：混合气体供给路径2、控制阀3、上游侧流路4、流孔5、排出流路6、压力检测器7、温度检测器8、驱动部9、控制部10。控制阀3在流孔5的上游侧作为流量调节单元而设置，接收驱动部9的控制，控制从压力式流量控制装置1的外部经由混合气体供给路径2供给的气体的供给量，并且排出至上游侧流路4。
混合气体供给路径2、上游侧流路4以及排出流路6可以由配管形成，也可以形成于安装有控制阀3等的主体框内。控制阀3使用隔膜，例如使用直接接触型的金属隔膜阀。驱动部9使用例如压电元件型驱动装置(压电致动器)。并不限于此，驱动部9可以使用磁致伸缩元件型驱动装置、螺线管型驱动装置、马达型驱动装置、气压型驱动装置或者热膨胀型驱动装置。
流孔5将从上游侧流路4输入的气体一边进行节流一边控制其流量，并且输出至下游侧的排出流路6。排出流路6与供给气体的对象装置(反应炉等)连接。流孔5使用例如通过切削加工在板状的金属薄板制垫片上设置孔部的部件。此外，可以使用通过蚀刻或放电加工而在金属膜上形成孔的流孔。再者，流孔5也包含有以声速喷嘴或元件等将流路节流的流量限制器。气体的流量取决于流孔5。
压力检测器7测定上游侧流路4内的气体压力。压力检测器7使用例如半导体应变型压力传感器。并不限于此，压力检测器7可以使用金属箔应变型压力传感器、静电电容型压力传感器或磁电阻型压力传感器等。
温度检测器8测定上游侧流路4内的气体温度。温度检测器8使用例如热敏电阻。并不限于此，可以使用热电偶型温度传感器或测温电阻型温度传感器等公知的各种温度传感器。
控制部10控制压力式流量控制装置1整体。参照图2，控制部10构成为具备：CPU(Central Processing Unit)20、ROM(Read Only Memory)21、RAM(Random Access Memory)22、I/O部23以及总线24。需要注意的是，在图2中，在图1所示的压力式流量控制装置1的构成要素中，省略了压力检测器7以及温度检测器8以外的构成要素。
CPU20通过执行被记录在ROM21的程序，实现压力式流量控制装置1的功能。ROM21例如是可电写入的非挥发性存储器，存储有规定的程序和执行程序时所需的数据(参数等)。RAM22是挥发性存储器，作为CPU20执行程序时的工作区域，并且，用于一次性存储运算结果的值。
I/O部23是用于与外部交换数据的接口。I/O部23具备A/D转换器(未图示)，该A/D转换器用于将从压力检测器7和温度检测器8输出的模拟信号转换成CPU20能够处理的数字信号。A/D转换器以规定的周期生成数字信号，且存储于缓冲器(未图示)。因此，缓冲器的数据以规定的周期更新。被存储于缓冲器的数据以规定的时序由CPU20读取，且被用于后述的运算。另外，也可以在A/D转换器的输入侧，具备用于将从压力检测器7以及温度检测器8输出的模拟信号放大为规定水平的放大器(amplifier)等。I/O部23也可以输出驱动部9的控制信号。
另外，虽未图示，但I/O部23也可以具备用于与计算机等外部装置交换信息的接口。由此，能够通过与外部装置的接口，对ROM21写入程序以及数据。在不具备与外部装置的接口的情况下，若将ROM21构成为装卸式，则通过将ROM21交换成新品，能够更新程序以及参数。另外，也可以使用外部装置来更新ROM21的数据。
总线24是用于在CPU20、ROM21、RAM22以及I/O部23之间相互交换数据的总线。另外，在图1以及图2中虽未图示，但压力式流量控制装置1还具备用于使各部分同步操作的时钟信号发生器、电源电路等在操作上必须的构成要素。另外，控制部10的构成要素(CPU20等)并不需要在装置内一体地构成，也可以是将CPU20等一部分构成要素配置在其他场所(装置外)，以总线24相互连接的结构。此时，也可以是将装置内与装置外以无线而非仅以有线来进行通信的结构。
通过这样构成，压力式流量控制装置1在流孔5的上游侧的压力P1与下游侧的压力P2的关系满足临界膨胀条件P1/P2≥约2的情况下，能够使用由压力检测器7测定的混合气体的压力P1算出经由混合气体供给路径2从外部供给的、通过控制阀3以及流孔5而被输出至排出流路6的混合气体的流量Q，以流量Q成为预先设定的流量Q0的方式控制驱动部9来调节控制阀3。
参照图3的流程图，更加具体说明压力式流量控制装置1的操作。图3的流程图的各步骤通过使压力式流量控制装置1的电源接通且CPU20执行从ROM21读取的规定程序来实现。
在此，向混合气体供给路径2供给的混合气体设为两种气体A和B以X:(1-X)的比率予以混合的气体。流量Q的算出式使用Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2。在ROM21中，作为算出流量Q所需参数，存储有：气体A的比例X、气体A和B各自的密度ρ(A)和ρ(B)(kg/m3)、气体比热比κ(A)和κ(B)(无因次)以及气体常数R(A)和R(B)(m/K)。另外，在ROM21中还存储有流孔5的流孔截面积S(m2)。
在步骤40中，从ROM21读取气体A的混合比X、目标流量Q0、气体A和B各自的密度ρ(A)和ρ(B)、气体比热比κ(A)和κ(B)以及气体常数R(A)和R(B)。
在步骤41中，通过压力检测器7测定上游侧流路4的混合气体压力，通过温度检测器8测定上游侧流路4的混合气体温度。具体而言，将从压力检测器7以及温度检测器8输出的、经A/D转换的数字数据即压力P1(kg/m2绝对值)以及温度T1(K)存储于RAM22。
在步骤42中，通过下式计算平均密度ρAV、平均比热比κAV(或κAV)以及平均气体常数RAV。
ρAV＝X·ρ(A)+(1-X)·ρ(B)
κAV＝X·κ(A)+(1-X)·κ(B)
RAV＝X·R(A)+(1-X)·R(B)
在步骤43中，通过FF＝(k/ρAV){2/(κAV+1)}1/(κAV-1)[κAV/{(κAV+1)RAV}]1/2算出混合气体的流量系数FF，使用算出的流量系数FF、在步骤40中读取的流孔截面积S、在步骤41中取得的压力P1以及温度T1，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2，计算流量Q(m3/秒)。
在此，k为常数(k＝4.429)，使用在步骤42中算出的混合气体的平均密度ρAV、平均比热比κAV以及平均气体常数RAV，算出流量系数FF以及流量Q。
在步骤44中，通过D＝Q-Q0计算在步骤43中算出的流量Q与在步骤40中读取的目标流量Q0的差分D。
在步骤45中，判定在步骤44中算出的D的绝对值是否小于规定的阈值D0，若小于D0，则控制返回至步骤41，若为D0以上，则控制转移至步骤46。
在步骤46中，确定用于对控制阀3进行控制的控制值。确定与D的大小相应的控制值，以使现状的控制阀3的开闭状态在D为正时则向关闭的方向，D为负时则向打开的方向。需要注意的是，若根据D的正负正确地设定控制阀3的开闭方向，则如何根据D的大小确定控制值是任意的。例如，若D大，则能够使控制值大幅变化，若D小，则能够使控制值小幅变化。另外，也可以不取决于D的大小，而每次仅以规定量使其变化。不管怎样，通过反复进行步骤41～46，能够将流量Q设为目标流量Q0。
在步骤47中，将确定的控制值输出至驱动部9。由此，调节控制阀3的开闭状态。
在步骤48中，判定是否进行了结束的指示，在接收到结束的指示的情况下，结束控制，若非如此，则控制返回至步骤41。结束的指示通过例如电源的关断来进行。
通过以上，能够将从压力式流量控制装置1的排出流路6输出的混合气体的流量Q调整为目标值Q0。
流量系数FF也可以使用与作为基准的气体(例如氮(N2))的流量系数FF之比(以下亦称为FF比)。在使用FF比的情况下，只要对算出的流量Q乘以作为基准的气体流量而算出实际的混合气体流量即可。
在上述中，对将混合气体的混合比(具体而言，混合的一种气体A的比例X)预先存储于ROM21的情况进行了说明，但并不限定于此。混合比也可以从外部装置经由I/O部23而被输入控制部10。
另外，在上述中，关于规定的两种气体，对将这些参数(气体密度、气体比热比以及气体常数)预先存储于ROM21的情况进行了说明，但并不限定于此。也可以预先将三种以上气体的参数(气体密度、气体比热比以及气体常数)存储于ROM21。在这种情况下，通过将从外部供给的混合气体的种类信息及其混合比从外部装置输入控制部10，关于将存储于ROM21的任意两种气体以任意的混合比加以混合的混合气体，能够与上述同样地控制流量。
另外，控制部10的结构并不限定于图2。将CPU20、ROM21、RAM22等构成为各个半导体元件的情况也可以是：将它们的全部或一部分通过ASIC(Application SpecificIntegrated Circuit)等一体构成为一个半导体元件。
实施例
以下表示实验结果，表明本发明的有效性。
制作与图1相同结构的装置，将混合有两种气体的混合气体输入控制阀3，从规定的流孔5排出混合气体，如上所述实测上游侧流路4内的气体的压力P1以及温度T1而计算出流量系数FF。另一方面，通过公知的累加法(build-up method)，实测相同的混合气体流量Q，使用该值，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2，计算出流量系数FF。
表1是涉及各种混合气体，将实验结果加以汇总的表。
在表1的左端的“气体”一列中，在斜线(/)的左侧，将第一气体标注其比例来表示，在斜线的右侧，表示第二气体。第二气体的比例(％)是从100减去第一气体的比例的值。例如，“5％B2H6/H2”表示5％的B2H6和95％的H2的混合气体。
在“FF”的“计算”一列中，表示以本发明的方法计算出的流量系数FF的值。在此，FF是指FF比。如上所述，为算出混合气体的平均密度ρAV、平均比热比κAV以及平均气体常数RAV并且使用这些值通过FF＝(k/ρAV){2/(κAV+1)}1/(κAV-1)[κAV/{(κAV+1)RAV}]1/2计算出的FF比。
“FF”的“相乘”一列表示使用表2的FF比通过FF(AB)＝X·FF(A)+(1-X)·FF(B)计算出的值。
[表2]
气体 FF比
B<sub>2</sub>H<sub>6</sub> 1.001537
H<sub>2</sub> 3.731843
GeH<sub>4</sub> 0.427103
F<sub>2</sub> 0.859129
N<sub>2</sub> 1
Ar 0.887814
Si<sub>2</sub>H<sub>6</sub> 0.659087
“规格”一列表示额定流量，包含用于指定流孔截面积的信息。分别对应的流孔截面积利用了通过累加法来算出流量系数FF。F600、F200、F1600、F5L、F130、F20分别表示以N2计的气体流量，例如F600表示600SCCM。
“N2”以列表示作为基准气体的氮气的流量，“实际气体”一列表示混合气体通过累加法所得的测定值。“实测FF”一列表示混合气体根据实测值算出的FF比。
“误差”中的“计算”一列表示从“实测FF”值减去FF的“计算”值，并将该减算值除以“实测FF”所得的值。同样地，“误差”中的“相乘”一列为从“实测FF”值减去FF的“相乘”值，并将该减算值除以“实测FF”所得的值。
若将这些值进行对比，可知对于任何混合气体都是以本发明的方法算出的FF比误差较小，且能够高精度地计算FF比。特别是即使在混合的两种气体的FF比之差较大的情况下，也能够高精度地算出FF比，实证了本发明的有效性。
另外，可适用本发明的气体并不限定于表1以及表2所示的气体。
以上，通过说明实施方式来说明本发明，但上述实施方式为示例，本发明并不限定于上述实施方式，可以进行各种变更来实施。

Claims (5)

1.一种压力式流量控制装置，在将流孔的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下，根据流量系数FF算出通过所述流孔的混合气体的流量Q，其特征在于，
所述混合气体由第一气体和第二气体构成，所述第一气体与所述第二气体的混合比为第一气体:第二气体＝X:(1-X)，
所述压力式流量控制装置具备：
第一运算单元，使用所述第一气体的密度ρ(A)、所述第二气体的密度ρ(B)、所述第一气体的比热比κ(A)、所述第二气体的比热比κ(B)、所述第一气体的气体常数R(A)以及所述第二气体的气体常数R(B)，通过
ρAV＝X·ρ(A)+(1-X)·ρ(B)、
κAV＝X·κ(A)+(1-X)·κ(B)以及
RAV＝X·R(A)+(1-X)·R(B)
计算所述混合气体的平均密度ρAV、平均比热比κAV以及平均气体常数RAV；
第二运算单元，将k设为常数，使用所述平均密度ρAV、所述平均比热比κAV以及所述平均气体常数RAV，通过
算出所述混合气体的流量系数FF；以及
第三运算单元，使用所述混合气体的流量系数FF，通过
Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2(其中，流孔截面积S、所述流孔的上游侧的气体温度T1)
算出从所述流孔输出的所述混合气体的流量Q。
2.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，还具备：
调节单元，配置在所述流孔的上游侧，用于调节所述混合气体的向所述流孔的供给量；以及
控制单元，以算出的所述混合气体的所述流量Q成为规定的目标流量Q0的方式，通过所述调节单元控制供给量。
3.根据权利要求1或2所述的压力式流量控制装置，其特征在于，还具备：
存储单元，对于三种以上的气体分别存储密度、比热比以及气体常数；以及
接收单元，从外部接收指定所述第一气体和所述第二气体的指定信息，
所述第一运算单元从所述存储单元读取与所述指定信息对应的所述气体的所述密度ρ(A)和ρ(B)、所述比热比κ(A)和κ(B)以及所述气体常数R(A)和R(B)，计算所述混合气体的所述平均密度ρAV、所述平均比热比κAV以及所述平均气体常数RAV。
4.一种压力式流量控制装置的流量算出方法，在将流孔的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下，算出通过所述流孔的混合气体的流量Q，其特征在于，
所述混合气体由第一气体和第二气体构成，所述第一气体与所述第二气体的混合比为第一气体:第二气体＝X:(1-X)，
所述压力式流量控制装置的流量算出方法具备：
第一步骤，使用所述第一气体的密度ρ(A)、所述第二气体的密度ρ(B)、所述第一气体的比热比κ(A)、所述第二气体的比热比κ(B)、所述第一气体的气体常数R(A)以及所述第二气体的气体常数R(B)，通过
ρAV＝X·ρ(A)+(1-X)·ρ(B)、
κAV＝X·κ(A)+(1-X)·κ(B)以及
RAV＝X·R(A)+(1-X)·R(B)
计算所述混合气体的平均密度ρAV、平均比热比κAV以及平均气体常数RAV；
第二步骤，将k设为常数，使用所述平均密度ρAV、所述平均比热比κAV以及所述平均气体常数RAV，通过
算出所述混合气体的流量系数FF；以及
第三步骤，使用所述混合气体的流量系数FF，通过
Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2(其中，流孔截面积S、所述流孔的上游侧的气体温度T1)算出从所述流孔输出的所述混合气体的流量Q。
5.一种压力式流量控制装置的流量控制方法，是在混合气体通过的流孔的上游侧配置有流量调节单元的压力式流量控制装置的流量控制方法，其特征在于，具备：
通过权利要求4所述的流量算出方法，算出通过所述流孔的所述混合气体的流量Q的步骤；以及
以算出的所述流量Q成为规定的目标流量Q0的方式调整所述流量调节单元的步骤。
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