CN109551312A - 一种钛宝石的表面冷加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种钛宝石的表面冷加工方法,分为热胶粘结上盘、粗磨、高速抛光、精细抛光、超声清洗等工序。使用棕榈蜡粘结16片直Ф10mm*10mm的钛宝石,再分别用W28和W14的碳化硼在铁盘上研磨钛宝石端面,然后使用3.0微米的氧化铝抛光液在树脂铜盘上高速抛光钛宝石端面,之后使用80纳米的硅溶胶抛光液在沥青抛光盘上精抛钛宝石端面,在200倍显微镜下检测钛宝石表面质量后,逐次使用石蜡油、氧乙烯醚以及超纯水等溶剂超声清洗钛宝石,最后使用专用甩干机甩干钛宝石表面残留纯水。本发明提供一种钛宝石的表面冷加工方法,适用于钛宝石晶体工业化批量生产,能得到表面质量S/D 10/5和平面度λ/8的钛宝石光学产品。
Description
技术领域
本发明涉及一种钛宝石的表面冷加工方法,属于光学晶体冷加工技术领域。
背景技术
掺钛蓝宝石(Ti:Al2O3),具有发射带宽、发射面积大、热导率高、物化性能优良等优点,广泛应用于可调谐激光晶体和超强超快高功率激光器中。由于掺钛蓝宝石莫氏硬度大,为9Mohs,属于坚硬晶体,所以要达到S/D10/5、平面度λ/8的表面质量,大部分只有实验阶段能获得,批量工业化生产难以有效的抛光工艺得以推进。《掺钛蓝宝石晶体激光棒的表面加工方法》一文讲述了实验室单片掺钛蓝宝石(Ti:Al2O3)的酸化腐蚀达到原子级光滑、晶格完整的表面。但是,该文从研磨端面W10(约为89微米)直接进入化学机械抛光和酸蚀,来去除压损伤层。随着技术发展,钛宝石表面加工已经开始阶梯使用更小粒径的表面加工辅料,从微米级别逐步过渡到纳米级。本文,在端面研磨后,逐步梯度使用化学抛光液,即从微米级别到纳米级别的化学机械抛光液抛光钛宝石表面,在OLYMPUS51的 200倍显微镜下查看研磨亚损伤层,定量去除二十微米的端面厚度,保证亚损伤层的全面去除。此外,本文将说明工业化批量生产高质量的钛宝石表面冷加工工艺,从粘结固定到最后的清洗工艺。
发明内容
本发明所要解决的技术问题:提供一种钛宝石(Ti:Al2O3)的表面冷加工方法,为钛宝石(Ti:Al2O3)工业化生产提供方案。
本发明所采用的技术方案如下:
一种钛宝石(Ti:Al2O3)的表面冷加工方法包括热胶粘结上盘、粗磨、抛光、超声清洗。
所述的热胶粘结上盘,是使用棕榈蜡在加热熔化,将钛宝石粘结,使用棕榈蜡粘结钛宝石晶体的效果图如图1。
所述的粗磨是分别使用W28和W14的碳化硼在铁盘上研磨钛宝石端面,使切割引起的压损伤层被前道工序彻底去除。
所述的高速抛光,是指使用PH值为9.5、粒径为3.0微米的氧化铝抛光液,在树脂铜盘2上抛光钛宝石端面。高速抛光工序,转速调整到30rpm。使用显微镜在200倍放大倍数下检测钛宝石表面,表面只有划痕,没有沙粒坑点,说明粗磨引起的压损伤层去除完毕。
所述的精细抛光,是使用80纳米的硅溶胶抛光液在沥青抛光盘3上精抛钛宝石,在显微镜在200倍放大倍数下检测不到任何划痕、坑点,如图2。使用Zygo干涉仪检测显示平面度λ/ 8,如图3。
所述的超声清洗,逐次使用石蜡油、聚氧乙烯醚以及超纯水等溶剂,在超声槽内清洗钛宝石,依次清洗掉钛宝石表面的热胶残余、抛光粉以及杂尘等,然后在专用甩干机甩干钛宝石表面残留纯水,得到表面质量S/D 10/5和平面度λ/ 8的钛宝石光学产品。
本发明提供一种钛宝石工业化加工工艺,详述钛宝石在工业化批量生产过程中的各道工序、以及所使用的关键耗材和检测方法。该方法还能得到S/D为10/5和平面度为λ/ 8的高质量钛宝石表面,确保了其在光路传播和器件应用方面的表面质量要求。
附图说明:
图1.使用棕榈蜡粘结钛宝石晶体
图2.精细抛光后,200倍显微镜下钛宝石表面质量
图3.钛宝石的平面度。
具体实施方式
以下通过具体实施例对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
一种钛宝石(0.3%Ti:Al2O3)的表面冷加工方法,所述方法步骤如下:
(1)加工尺寸为Ф13*15mm的钛宝石(2%Ti:Al2O3),使用棕榈蜡制成的热胶,在加热板上90°熔化,均匀涂抹在16片钛宝石侧面,将该16片钛宝石粘结,然后冷却至常温,粘结后的效果图如图1。
(2)分别使用W28和W14的碳化硼在铁盘上研磨钛宝石端面,每个端面分别去除至少30丝的尺寸,使切割引起的压损伤层被前道工序彻底去除,使用10倍放大镜检测不到裂纹。
(3)指使用3.0微米的氧化铝抛光液,在树脂铜盘2上高速抛光钛宝石端面。氧化铝粉内添加氢氧化钠,调节氧化铝抛光液PH到9.5。高速抛光工序,转速调整到30rpm,每个端面分别去除2丝尺寸,使用显微镜在200倍放大倍数下检测钛宝石表面,表面只有划痕,没有沙粒坑点,说明粗磨引起的压损伤层去除完毕。
(4)使用80纳米的硅溶胶抛光液在沥青抛光盘3上精抛钛宝石,每个端面分别去除2微米以上尺寸。酒精汽油擦拭干净钛宝石端面后,在200倍显微镜下检测不到任何划痕,表面质量达到如图2。使用Zygo干涉仪检测显示平面度λ/ 8,如图3。
(5)超声清洗阶段,逐次使用石蜡油、聚氧乙烯醚以及超纯水等溶剂,在超声槽内清洗钛宝石,依次清洗掉钛宝石表面的热胶残余、抛光粉以及杂尘等,然后在专用甩干机甩干钛宝石表面残留纯水,得到表面质量S/D 10/5和平面度λ/ 8的钛宝石光学产品。
Claims (1)
1.一种钛宝石的表面冷加工方法,包括粘结上盘、粗磨、抛光和超声清洗等步骤,其特征在于,使用棕榈蜡加热至于90°c熔化,将多片钛宝石粘结固定在一起;然后分别使用W28和W14的碳化硼在铁盘上研磨钛宝石端面,每个端面去除30丝尺寸;之后使用PH 9.5、粒径为3.0微米的氧化铝抛光液,在树脂铜盘上抛光钛宝石端面;随后使用80纳米的硅溶胶抛光液在沥青抛光盘上精抛钛宝石端面;最后逐次使用石蜡油、聚氧乙烯醚以及超纯水等溶剂,分别在三个超声槽内清洗钛宝石,然后用甩干机甩干钛宝石表面残余超纯水。
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