CN109477797A - 光测量装置 - Google Patents

Abstract

光测量装置(1)是对试样照射激发光而检测测量光的光测量装置。光测量装置(1)具备：积分器(20)，其形成有入射激发光的入射开口(22)、及出射测量光的出射开口(23)，且配置有试样；导光部(30)，其引导自出射开口(23)出射的测量光；及光检测部(40)，其检测由导光部(30)引导的测量光。导光部(30)具有以入射端面(32a)经由出射开口(23)而朝向积分器(20)内的方式配置的多个导光构件(32)。光检测部(40)检测由多个导光构件(32)的至少一个引导的测量光。多个导光构件(32)的入射端面(32a)侧的受光区域在积分器(20)内彼此重叠。

Description

光测量装置

技术领域

本发明的一个方面涉及一种光测量装置。

背景技术

一直以来，已知有对作为测定对象的试样照射激发光并检测测量光的光测量装置。作为该种技术，例如在专利文献1、2中记载有一种光测量装置，其具备：积分器，其配置有试样；及光检测器，其检测自积分器的出射开口出射的测量光。在专利文献1、2所记载的光测量装置中，为了可进行宽波长区域上的测量，使用分光灵敏度特性彼此不同的多个光检测器。在积分器形成有与光检测器对应的多个出射开口。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/151233号

专利文献2：日本特开2006-23284号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在如上所述的光测量装置中，由于与光检测器对应的多个出射开口形成于积分器，因而积分器中的开口面积增大，因此，有积分器内的测量光的多重扩散反射特性降低的担忧。再者，由于各光检测器对来自形成于彼此不同的位置的出射开口的测量光进行检测，因而有使入射于各光检测器的测量光的强度分布产生不均的担忧。因此，在如上所述的光测量装置中，有测量光的检测精度降低的顾虑。

本发明的一个方面鉴于上述情况而完成，其目的在于，提供一种可精度良好地检测测量光的光测量装置。

解决问题的技术手段

本发明的一个方面的光测量装置是对试样照射激发光并检测测量光的光测量装置，具备：积分器，其形成有激发光被入射的入射开口、及出射测量光的出射开口，且配置有试样；导光部，其引导自出射开口出射的测量光；及光检测部，其检测由导光部引导的测量光；导光部具有以入射端面经由出射开口而朝向积分器内的方式配置的多个导光构件，光检测部检测由多个导光构件的至少一个引导的测量光，多个导光构件的入射端面侧的受光区域在积分器内彼此重叠。

在该光测量装置中，以入射端面经由出射开口而朝向积分器内的方式配置有多个导光构件，光检测部检测由多个导光构件的至少一个引导的测量光。由此，由于经由多个导光构件自共同的出射开口取出测量光，因而可减少积分器中的出射开口的形成数，并可确保积分器的多重扩散反射特性。另外，也可使由各导光构件取出的测量光的强度分布均匀化。再有，在该光测量装置中，多个导光构件的入射端面侧的受光区域在积分器内彼此重叠。由此，由于来自积分器内的共同的区域的测量光入射于多个导光构件，因而可使由各导光构件取出的测量光的强度分布进一步均匀化。因此，根据该光测量装置，可确保积分器的多重扩散反射特性且取出具有均匀的强度分布的测量光，并可精度良好地检测测量光。

在本发明的一个方面所涉及的光测量装置中，也可为多个导光构件的入射端面上的光轴在积分器内彼此相交。在该情况下，可显著地实现上述作用效果，即，由于来自积分器内的共同的区域的测量光入射于多个导光构件，因而可显著地实现能够使由各导光构件取出的测量光的强度分布进一步均匀化这样的作用效果。

本发明的一个方面所涉及的光测量装置也可还具备配置于积分器内的与出射开口相对的位置的挡板。在该情况下，可通过挡板防止来自试样的光直接入射于出射开口，可使测量光在积分器内可靠地多重扩散反射。

在本发明的一个方面所涉及的光测量装置中，也可为多个导光构件的入射端面上的光轴在出射开口与挡板之间彼此相交。在该情况下，可通过挡板防止来自试样的光直接入射于出射开口，且可将来自积分器内的共同的区域的测量光由多个导光构件取出。

在本发明的一个方面所涉及的光测量装置中，也可为挡板由配置于积分器内的上述出射开口的周边的一对支撑柱支撑，且多个导光构件排列的方向、与一对支撑柱排列的方向交叉。在该情况下，可抑制由支撑柱遮挡入射于导光构件的测量光，可使由各导光构件取出的测量光的强度分布进一步均匀化。

本发明的一个方面所涉及的光测量装置也可还具备：滤光部，其具有多个光学滤光器，可将多个光学滤光器之中的任一个作为插入滤光器而插入到入射于多个入射端面的测量光各自的光路上。在该情况下，可将与光测量装置的测定条件相应的光学滤光器插入至入射于多个入射端面的测量光各自的光路上。其结果，可实现高精度测定。

在本发明的一个方面所涉及的光测量装置中，滤光部也可包含ND滤光器、短通滤光器、长通滤光器、带通滤光器、陷波滤光器、及由光反射物质构成的滤光器的至少一种来作为光学滤光器。在该情况下，可具体实现与光测量装置的测量条件相应的测定。

在本发明的一个方面所涉及的光测量装置中，也可为滤光部具有：基底部，其设置有多个光学滤光器；驱动部，其以插入滤光器在多个光学滤光器之中进行切换的方式驱动基底部；及控制部，其控制驱动部的驱动；控制部也可选择多个光学滤光器之中的任一个作为选择滤光器，且以所选择的该选择滤光器成为插入滤光器的方式使驱动部驱动。在该情况下，可通过控制部，选择例如与光测量装置的测定条件相应的光学滤光器并插入至光路上。其结果，可使与测定条件相应的测定作业容易化。

在本发明的一个方面所涉及的光测量装置中，也可为光检测部具有与多个导光构件相同数量的多个光检测器，且多个光检测器的分光灵敏度特性互不相同。在该情况下，通过使用分光灵敏度特性彼此不同的多个光检测器，可实现宽波长区域上的测量。

发明的效果

根据本发明的一个方面，可精度良好地检测测量光。

附图说明

图1是模式性地显示一个实施方式所涉及的光测量装置的结构的图。

图2是显示图1的光测量装置的主要部分中的一个截面的概略截面图。

图3是显示图1的光测量装置的主要部分中的另一截面的概略截面图。

图4(a)是显示滤光单元的基底部的正面图。图4(b)是显示滤光单元的基底部的侧面图。

具体实施方式

以下，对于本发明的一个实施方式，参照附图进行详细的说明。另外，在以下的说明中，对相同或相当要素使用相同符号，并省略重复的说明。

图1所示的光测量装置1是用于对于作为测定对象的试样，例如通过光致发光法(PL法)测定或评估荧光特性等的光特性的装置。试样是例如有机EL(Electroluminescence(电致发光))材料、或白色LED(Light Emitting Diode(发光二极管))用或FPD(Flat PanelDisplay(平面显示器))用等的发光材料等的荧光试样。作为试样，例如，可使用粉末状、液体状(溶液状)、固体状或薄膜状的试样等。

作为光特性，可列举吸收率、内部量子效率(发光量子收率)及外部量子效率。吸收率是与被吸收的光子数相关的参数。内部量子效率是与由发光释放的光的光子数相对于吸收的光的光子数的比例相关的参数。外部量子效率是与所释放的光子数相关的参数。外部量子效率是吸收率与内部量子效率的积。吸收率和与被反射的光子数相关的参数即反射率具有正反关系。吸收率与“1-反射率”为相同含义。

光测量装置1具备激发光供给部10、积分器20、导光部30、光检测部40、解析部51、输入部52、及显示部53。激发光供给部10对积分器20供给规定波长的激发光。激发光供给部10具有激发光源11、及入射用光导12。在光测量装置1中，激发光供给部10与积分器20彼此光学连接，积分器20与导光部30彼此光学连接，导光部30与光检测部40彼此光学连接。光检测部40与解析部51彼此电连接，解析部51与输入部52彼此电连接，解析部51与显示部53彼此电连接。

激发光源11是产生激发光的光源。激发光源11包含例如氙气灯或分光器等而构成。激发光源11产生的激发光的波长也可为可变。激发光源11可将激发光的波长在例如250nm～1600nm的波长范围内设定为可变。入射用光导12将激发光源11产生的激发光向积分器20引导。作为入射用光导12，可使用例如光纤等。

积分器20是积分球，呈中空的球状。积分器20通过对其内面20a实施硫酸钡等的高扩散反射物质的涂布来形成、或由PTFE或Spectraron(注册商标)等反射率接近1的高反射物质形成。在积分器20，分别逐一地设置有用于导入试样的试样导入窗即试样导入开口21、激发光被入射的入射窗即入射开口22、及出射测量光的出射窗即出射开口23。试样导入开口21、入射开口22及出射开口23也可分别设置多个。

在试样导入开口21，插入并安装有试样容器保持器24。试样容器保持器24保持收纳有试样的试样容器2(参照图3)，将试样配置于积分器20内。由入射用光导12引导的激发光入射于入射开口22。在积分器20内，自入射开口22入射的激发光被多重扩散反射。再有，在积分器20内，由对试样照射激发光而产生的产生光被多重扩散反射。包含这些激发光及产生光的测量光自出射开口23出射。自出射开口23出射的测量光由导光部30向后段的光检测部40引导。

导光部30具有多个(在该例中为2个)导光构件32、32，通过多个导光构件32分别引导测量光。光检测部40检测由导光部30引导的测量光。光检测部40具有与多个导光构件32相同数量(在该例中为2个)的多个分光检测器41、41。各分光检测器41包含：分光器42，其将测量光按波长成分分解；及光检测器43，其检测由分光器42分解的测量光。

包含于光检测部40的多个光检测器43、43的分光灵敏度特性彼此不同。作为光检测器43，例如，可使用BT(Back-Thinned(背照式))-CCD线性图像传感器、CMOS线性图像传感器、InGaAs线性图像传感器等。各光检测器43将检测的测量光的波长光谱数据输出至后段的解析部51。另外，利用多个分光检测器41、41的测量光的检测可并行进行，也可彼此错开时机地进行。或者，也可仅进行利用一部分的分光检测器41的检测，而不进行利用其他分光检测器41的检测。并行进行检测包含同时、同时期、同时机、或同时并列地进行检测。

解析部51是例如计算机。解析部51例如包含处理器即CPU(Central ProcessingUnit(中央处理单元))、存储介质即RAM(Random Access Memory(随机存取存储器))或ROM(Read Only Memory(只读存储器))等而构成。解析部51通过在CPU及ROM等的硬件上使程序等读入而动作。解析部51通过CPU而对光检测部40所生成的波长光谱数据进行必要的数据解析，并取得关于试样的信息。解析部51通过CPU进行RAM中的数据的读取及写入。另外，解析部51也可为FPGA(Field-Programmable Gate Array(现场可编程门阵列))、微型计算机、智能设备、或云服务器。在解析部51，电连接有输入部52与显示部53。输入部52用于关于数据解析等的指示的输入、及解析条件或测定条件等的输入等。输入部52是例如鼠标、键盘或触控面板等的输入设备。显示部53用于获得的数据解析结果的显示等。显示部53是例如显示器等。

接着，参照图2及图3，对积分器20及导光部30进一步进行说明。积分器20通过例如安装螺丝(未图示)等安装于台座3。试样导入开口21、入射开口22及出射开口23各自的中心线通过积分器20的中央，并彼此正交。

如上所述，在试样导入开口21，插入并安装有试样容器保持器24。试样容器保持器24定位并保持收纳有试样的试样容器2。在该例中，试样配置于积分器20的中央部。

在入射开口22，插入并安装有将入射用光导12(参照图1)连接于积分器20的入射用光导保持器220。入射用光导保持器220具有定位且保持入射用光导12的光导保持部221。自入射用光导12出射的激发光L在积分器20内被照射于试样。

在出射开口23，插入并安装有安装部31。安装部31具有使自积分器20内朝向导光构件32的入射端面32a的测量光通过的开口31a。开口31a的截面例如呈以规定方向D为长边方向的长圆形状或椭圆形状。该规定方向D是与入射开口22的中心线平行的方向，且如后面所述与多个导光构件32排列的方向一致。开口31a在出射开口23形成测量光通过的光通过区域。

在积分器20内，在与出射开口23相对的位置配置有挡板25。挡板25呈圆锥状，以顶部25a朝向出射开口23侧的方式配置。挡板25的顶部25a例如位于出射开口23的中心线上。挡板25位于试样容器2与出射开口23之间，防止来自试样的光(一次反射光)直接入射于出射开口23。由此，可使测量光在积分器20内可靠地多重扩散反射。

挡板25由配置于积分器20内的出射开口23的周边的一对支撑柱26支撑。在该例中，一对支撑柱26立设于安装部31中的开口31a的周缘部，且隔着开口31a(出射开口23的光通过区域)而彼此相对。更具体而言，一对支撑柱26沿与规定方向D正交的方向排列配置，且隔着出射开口23的中心线而彼此相对。

挡板25及支撑柱26为了确保积分器20内的测量光的多重扩散反射特性而与积分器20的内面20a同样地，在其外表面实施高扩散反射物质的涂布来形成、或由高反射物质形成。

多个导光构件32分别以入射端面32a经由出射开口23而朝向积分器20内的方式配置。多个导光构件32沿规定方向D排列设置。即，多个导光构件32排列的方向与一对支撑柱26排列的方向正交。各导光构件32将通过安装部31的开口31a并入射于入射端面32a的测量光向后段的光检测部40引导。作为导光构件32，可使用例如光纤束或单光纤。

导光构件32的入射端面32a侧的端部经由固定构件33而相对于台座3固定。固定构件33具有：主体部34，其设置有凹部34a；及套筒35，其配置于凹部34a内。主体部34固定于台座3。凹部34a呈例如截面圆形状。凹部34a在主体部34中，向与出射开口23相反侧开口，并延伸至接近出射开口23侧的表面的位置。凹部34a设置有与多个导光构件32相同数量。在该例中，凹部34a在夹着出射开口23的中心线而彼此相对的位置设置有2个。2个凹部34a在以其各轴越靠近出射开口23侧越彼此靠近的方式相对于出射开口23的中心线倾斜的状态下，沿着规定方向D并置。在凹部34a的底面，形成有贯通至主体部34的出射开口23侧的表面的开口34b。

套筒35呈例如圆筒状。套筒35通过以同轴插入到凹部34a，并抵接于凹部34a的底面，而相对于主体部34定位。套筒35通过螺丝34c固定于主体部34。由此，套筒35仿照凹部34a如下所述设置于主体部34。即，套筒35设置有与多个导光构件32相同数量。在该例中，套筒35在夹着出射开口23的中心线而彼此相对的位置设置有2个。2个套筒35在以其各轴越靠近出射开口23侧越彼此靠近的方式相对于出射开口23的中心线倾斜的状态下，沿着规定方向D并置。

导光构件32的入射端面32a侧的端部以同轴配置于套筒35内，并沿着套筒35笔直地延伸。导光构件32的该端部以入射端面32a与套筒35的出射开口23侧的端面成为同一面的方式设置于套筒35内。导光构件32的入射端面32a经由开口34b而露出。导光构件32的该端部通过例如粘结剂而固定于套筒35内。

导光构件32可使入射端面32a侧的受光区域的光入射并引导。此处，可入射于导光构件32的入射端面32a的光是入射端面32a侧的视角(即，可入射于入射端面32a的光的最大入射角)内的区域的光。即，导光构件32的受光区域是指导光构件32的入射端面32a侧的视角内的区域(检测视野)。导光构件32的受光区域的大小根据入射端面32a上的数值孔径(NA)规定。例如导光构件32的受光区域是以入射端面32a为顶点侧的圆锥状的区域。在图2、3中，以两点划线显示导光构件32的受光区域的范围。

如图2所示，多个导光构件32的受光区域在积分器20内彼此重叠。具体而言，多个导光构件32的入射端面32a侧的各光轴X在挡板25的顶部25a彼此相交。多个导光构件32的受光区域分别以光轴X为中心轴自入射端面32a放射状地扩展。多个导光构件32的受光区域在顶部25a的周边的规定区域彼此重叠。由此，来自积分器20内的共同的区域的测量光入射于多个导光构件32。

如图2、图3及图4所示，光测量装置1还具备滤光单元(滤光部)60。滤光单元60具有：多个光学滤光器61；基底部62，其设置有多个光学滤光器61；驱动部63，其驱动基底部62；及控制部64，其控制驱动部63的驱动。驱动部63与控制部64彼此电连接。

基底部62呈圆形板状。在基底部62的周缘部以沿周向等间隔地排列的方式设置有多个配置孔62a。配置孔62a呈例如截面圆形状，且沿厚度方向贯通基底部62。在多个配置孔62a之中的一部分，配置有光学滤光器61，多个配置孔62a之中的其他部分未配置光学滤光器61而成为开口部66。即，在基底部62，除过滤测量光的光学滤光器61外，还设置有使测量光直接通过的开口部66。

配置于配置孔62a的光学滤光器61可设为与规格相应的任意滤光器。作为光学滤光器61，例如可使用ND(Neutral Density(中性密度))滤光器、短通滤光器、长通滤光器、带通滤光器、陷波滤光器、及由光反射物质构成的滤光器等。作为光反射物质，可使用设置于积分器20的内面20a的反射率高且扩散性优异的材料即Spectraron(注册商标)。即，作为光学滤光器61，可使用将遍及可视区域至近红外区域的宽波长区域而具有大致一定的反射率的Spectraron设为片状的Spectraron滤光器。

光学滤光器61及开口部66的配置可设为与规格相应的任意配置。例如，在图4所示的配置例中，基底部62包含多个第1组A1、多个第2组A2、及一个第3组A3而构成。第1组A1由沿周向相邻的2个光学滤光器61构成。第2组A2由沿周向相邻的光学滤光器61与开口部66构成。第3组A3由沿周向相邻的2个开口部66构成。在多个第1组A1间，所含的光学滤光器61的种类的组合彼此不同。在多个第2组A2间，所含的光学滤光器61的种类彼此不同。对于一个第1组A1所包含的2个光学滤光器61的各种类，只要在多个第1组A1间该各种类的组合不同，可彼此不同，也可相同。另外，也可在一个配置孔62a重叠配置有多种滤光器。

基底部62经由轴部62b而连接于支撑部67，且以轴部62b作为旋转轴相对于支撑部67旋转自如。支撑部67呈例如长方形板状。支撑部67的长边方向的一端构成自基底部62的外周缘突出的突出部67a。突出部67a呈前端变细形状。将基底部62自突出部67a侧插入至台座3内的滤光部配置空间S时，可使突出部67a抵接于台座3且通过基底部62引导该插入。由此，可使基底部62及支撑部67的插入作业容易化。另外，通过使突出部67a自基底部62的外周缘突出，可抑制插入时的基底部62的干涉甚至损伤等。

在支撑部67的长边方向的另一端，设置有抵接部67b。抵接部67b在基底部62及支撑部67配置于滤光部配置空间S的状态下，抵接于台座3的支撑面3a。支撑部67通过使抵接部67b抵接于支撑面3a且背面(抵接部67b侧的面)与台座3接触，而相对于台座3定位。在支撑部67，设置有开口67c。开口67c设置于入射于多个导光构件32的入射端面32a的测量光分别通过的各位置。开口67c设置有与多个导光构件32相同数量的多个。开口67c的截面形状与配置孔62a的截面形状相同。例如将开口67c的截面形状设为截面圆形状。

在支撑部67相对于台座3定位的状态下，通过使基底部62相对于支撑部67旋转，可在入射于多个导光构件32的入射端面32a的测量光各自的光路上，插入多个光学滤光器61之中的任一个来作为插入滤光器F。另外，如本实施方式那样在基底部62设置有开口部66的情况下，也可在该各光路的至少一个上配置开口部66。

驱动部63是例如马达，通过连接于驱动轴的齿轮63a与形成于基底部62的外周面的齿轮部(未图示)的啮合，可对基底部62传递旋转驱动力。驱动部63根据来自控制部64的信号，以插入滤光器F在多个光学滤光器61之中进行切换的方式驱动基底部62。

控制部64例如由包含CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、及RAM(Random Access Memory)等的计算机构成。另外，控制部64也可为FPGA(Field-Programmable Gate Array)或微型计算机。控制部64也可与解析部51、输入部52及显示部53分开设置，也可与解析部51、输入部52及显示部53的至少任一个一体地构成。

控制部64根据光测量装置1的测定条件，选择多个光学滤光器61之中的任一个来作为选择滤光器。控制部64以选择的该选择滤光器成为插入滤光器F的方式使驱动部63驱动。以下，对控制部64的更具体的动作进行说明。

控制部64例如与输入部52可通信地连接，且接收输入至输入部52的测定条件。测定条件是例如试样的种类、测定的光特性、激发光的种类、波长、强度、或光检测器43的分光灵敏度特性等。例如，一个光检测器43为BT-CCD线性图像传感器，另一个光检测器43为InGaAs线性图像传感器，在激发光为激光的情况下，在由一个光检测器43检测的测量光的光路上，配置作为光学滤光器61的短通滤光器，在通过另一个光检测器43检测的测量光的光路上配置开口部66。

在控制部64，预先存储有基底部62上的光学滤光器61及开口部66的配置关系，即第1～第3组A1～A3的配置关系。控制部64通过参照该配置关系且基于测定条件使驱动部63驱动，而将第1～第3组A1～A3之中的任一个所包含的光学滤光器61或开口部66配置于各光路上。

更具体而言，控制部64首先根据测定条件选择第1～第3组A1～A3之中的任一个。例如，控制部64选择一个第1组A1。选择一个第1组A1相当于选择插入至由一个光检测器43检测的测量光的光路上的光学滤光器61，且选择插入至由另一个光检测器43检测的测量光的光路上的光学滤光器61。其次，控制部64使驱动部63驱动，直至选择的第1组A1所含的2个光学滤光器61成为插入滤光器F的旋转位置。

或者，控制部64根据测定条件选择一个第2组A2。选择一个第2组A2相当于选择插入至由一个光检测器43检测的测量光的光路上的光学滤光器61，且选择将开口部66配置于由另一个光检测器43检测的测量光的光路上。其次，控制部64使驱动部63驱动，直至选择的第2组A2所含的光学滤光器61成为插入滤光器F且开口部66位于该光路上的旋转位置。

或者，控制部64根据测定条件选择第3组A3。选择第3组A3相当于选择将开口部66配置于由2个光检测器43检测的测量光各自的光路上。其次，控制部64使驱动部63驱动直至2个开口部66位于该各光路上的旋转位置。

在以上说明的光测量装置1中，对试样照射自入射开口22入射的激发光，使包含试样所产生的产生光的测量光在积分器20内被多重扩散反射。此时，通过利用挡板25防止来自试样的光直接入射于出射开口23，而使测量光在积分器20内可靠地被多重扩散反射。于是，被多重扩散反射并均匀化的测量光自积分器20内的共同的受光区域经由一个出射开口23而入射于多个导光构件32的入射端面32a。入射于各入射端面32a的测量光通过具有多个光检测器43的光检测部40并行或彼此错开时机地被检测，并由解析部51解析。解析部51的解析结果显示于显示部53。

以上，在光测量装置1中，以入射端面32a经由出射开口23而朝向积分器20内的方式配置有多个导光构件32，光检测部40检测由多个导光构件32引导的测量光。由此，由于经由多个导光构件32自共同的出射开口23取出测量光，因而可减少积分器20中的出射开口23的形成数，可确保积分器20的多重扩散反射特性。另外，也可使通过各导光构件32取出的测量光的强度分布均匀化。再有，在光测量装置1中，多个导光构件32的入射端面32a侧的受光区域在积分器20内彼此重叠。由此，由于来自积分器20内的共同的区域的测量光入射于多个导光构件32，因而可使通过各导光构件32取出的测量光的强度分布进一步均匀化。因此，根据光测量装置1，可确保积分器20的多重扩散反射特性，且取出具有均匀的强度分布的测量光，并可精度良好地检测测量光。

假设与不同于光测量装置1，可通过切换器等朝多个光检测器43切换并引导经由一个导光构件32取出的测量光的情况比较，在光测量装置1中，由于可检测经由多个导光构件32在相同时机取出的测量光，因而可精度良好地检测测量光。再有，也可不需要切换器等而使装置结构简易化。另外，在光测量装置1中，由于自共同的出射开口23经由多个导光构件32取出测量光，因而在预先决定例如积分器20中的开口的形成数的情况下，也不易产生开口不足而无法取出多个测量光的情况。

在光测量装置1中，多个导光构件32的入射端面32a上的光轴X在积分器20内彼此相交。由此，可显著地实现上述作用效果，即，由于来自积分器20内的共同的区域的测量光入射于多个导光构件32，因而可显著地实现能够使由各导光构件32取出的测量光的强度分布进一步均匀化这样的上述作用效果。

光测量装置1还具备配置于积分器20内的与出射开口23相对的位置的挡板25。由此，可利用挡板25防止来自试样的光直接入射于出射开口23，可使测量光在积分器20内可靠地多重扩散反射。

在光测量装置1中，多个导光构件32的入射端面32a上的光轴X在出射开口23与挡板25之间彼此相交。由此，可利用挡板25防止来自试样的光直接入射于出射开口23，并通过多个导光构件32取出来自积分器20内的共同的区域的测量光。

在光测量装置1中，通过配置于积分器20内的出射开口23的周边的一对支撑柱26支撑挡板25，且多个导光构件32排列的方向与一对支撑柱26排列的方向正交。由此，可抑制入射于导光构件32的测量光被支撑柱26遮蔽，且可使由各导光构件32取出的测量光的强度分布进一步均匀化。

光测量装置1具备：滤光单元60，其具有多个光学滤光器61，可将多个光学滤光器61之中的任一个作为插入滤光器F而插入到入射于多个入射端面32a的测量光各自的光路上。由此，可将与光测量装置1的测定条件相应的光学滤光器61插入到入射于多个入射端面32a的测量光各自的光路上。其结果，可实现高精度的测定。

在光测量装置1中，滤光单元60包含ND滤光器、短通滤光器、长通滤光器、带通滤光器、陷波滤光器、及由光反射物质构成的滤光器的至少一种来作为光学滤光器61。由此，可具体地实现与光测量装置1的测定条件相应的测定。

在光测量装置1中，滤光单元60具有：基底部62，其设置有多个光学滤光器61；驱动部63，其以插入滤光器F在多个光学滤光器61之中进行切换的方式驱动基底部62；及控制部64，其控制驱动部63的驱动。于是，控制部64选择多个光学滤光器61之中的任一个来作为选择滤光器，以选择的该选择滤光器成为插入滤光器F的方式使驱动部63驱动。由此，可利用控制部64，选择例如与光测量装置1的测定条件相应的光学滤光器61并插入至光路上。其结果，与例如手动切换插入滤光器F的情况比较，可使与测定条件相应的测定作业容易化。

在光测量装置1中，光检测部40具有与多个导光构件32相同数量的多个光检测器43，且多个光检测器43的分光灵敏度特性彼此不同。在该情况下，通过使用分光灵敏度特性彼此不同的多个光检测器43，可进行宽波长区域上的测量。

以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明并未限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，使用了积分球作为积分器20，但只要为将其内部的光空间性地进行积分的单元(光学要素)即可，也可使用例如日本特开2009-103654号公报所公开的那样的积分半球。

在上述实施方式中，光检测部40也可具有较多个导光构件32的配置数更少数量的光检测器43(分光检测器41)。在该情况下，例如，光检测部40也可仅检测由一部分的导光构件32引导的测量光，而不检测由其他导光构件32引导的测量光。对于未进行测量光的检测的导光构件32，例如，也可以不使光进入积分器20内的方式通过棒状构件等进行堵塞。即，光检测部40只要为检测由多个导光构件32的至少一个引导的测量光的光检测部即可。

在上述实施方式中，光测量装置1也可具备3个以上的导光构件32。在该情况下，多个导光构件32可排列配置成一列，也可排列配置成多列，可排列配置成圆形状，也可排列配置成矩形状。在上述实施方式中，多个导光构件32排列的方向与一对支撑柱26排列的方向正交，但也可以垂直以外的角度交叉。或者，也可使多个导光构件32排列的方向不与一对支撑柱26排列的方向交叉。

在上述实施方式中，多个导光构件32的入射端面32a侧的光轴X在挡板25的顶部25a彼此相交，但只要在积分器20内彼此相交即可，也可例如在出射开口23与挡板25之间的其他位置彼此相交。在上述实施方式中，只要是多个导光构件32的受光区域在积分器20内彼此重叠即可，也可不使多个导光构件32的光轴X在积分器20内彼此相交。

在上述实施方式中，也可不在基底部62设置开口部66。在该情况下，在全部的配置孔62a配置光学滤光器61。在上述实施方式中，基底部62包含第1组A1、第2组A2及第3组A3而构成，但也可仅包含第1组A1及第2组A2而构成，也可仅包含第1组A1及第3组A3而构成。基底部62也可为任意形状，例如也可为矩形板状。基底部62也可通过相对于支撑部67的滑动移动而切换插入滤光器F。滤光单元60也可不具有驱动部63，基底部62也可例如能够手动地旋转而构成。

在上述实施方式中，滤光单元60也可具有彼此相对地配置的2个基底部62。在该情况下，可将一个基底部62的光学滤光器61与另一个基底部62的光学滤光器61在测量光的光路上重叠使用，可使能够选择的光学滤光器61的组合增加。光测量装置1也可不具备滤光单元60。

在上述实施方式中，安装部31的开口31a也可为截面圆形状。但是，在如上述实施方式那样多个导光构件32沿规定方向D排列配置的情况下，优选为开口31a的横截面呈以规定方向D为长边方向的长圆形状或椭圆形状。这是因为在该情况下可减少关于通过开口31a的测量光的未入射于多个导光构件32的入射端面32a的光的比例。

在上述实施方式中，试样也可配置于积分器20的中央部以外的位置，例如也可以载置于积分器20内与试样导入开口21相反侧的方式配置。在该情况下，挡板也可在积分器20的内面上立设于所载置的试样与出射开口23之间，且位于自出射开口23的中心线上脱离的位置。在设置有这样的挡板的情况下，为了抑制入射于多个导光构件32的入射端面32a的测量光由挡板而被遮蔽，多个导光构件32排列的方向优选为与出射开口23与挡板排列的方向交叉。

在上述实施方式中，支撑柱26设置于安装部31，但也可设置于积分器20的内面20a。或者，也可不设置支撑柱26，而将挡板25直接设置于积分器20的内面20a。挡板25的形状只要为可防止来自试样的光直接入射于出射开口23的形状即可，例如也可为平板状等。

符号的说明

1…光测量装置、20…积分器、22…入射开口、23…出射开口、25…挡板、26…支撑柱、30…导光部、32…导光构件、32a…入射端面、40…光检测部、43…光检测器、60…滤光单元(滤光部)、61…光学滤光器、62…基底部、63…驱动部、64…控制部、F…插入滤光器、L…激发光、X…光轴。

Claims (9)

1.一种光测量装置，其特征在于，

是对试样照射激发光并检测测量光的光测量装置，

具备：

积分器，其形成有所述激发光被入射的入射开口、及出射所述测量光的出射开口，且配置有所述试样；

导光部，其引导自所述出射开口出射的所述测量光；及

光检测部，其检测由所述导光部引导的所述测量光，

所述导光部具有以入射端面经由所述出射开口而朝向所述积分器内的方式配置的多个导光构件，

所述光检测部检测由多个所述导光构件的至少一个引导的所述测量光，

多个所述导光构件的所述入射端面侧的受光区域在所述积分器内彼此重叠。

2.如权利要求1所述的光测量装置，其特征在于，

多个所述导光构件的所述入射端面上的光轴在所述积分器内彼此相交。

3.如权利要求1或2所述的光测量装置，其特征在于，

还具备配置于所述积分器内的与所述出射开口相对的位置的挡板。

4.如权利要求3所述的光测量装置，其特征在于，

多个所述导光构件的所述入射端面上的光轴在所述出射开口与所述挡板之间彼此相交。

5.如权利要求3或4所述的光测量装置，其特征在于，

所述挡板由配置于所述积分器内的所述出射开口的周边的一对支撑柱支撑，

多个所述导光构件排列的方向、与一对所述支撑柱排列的方向交叉。

6.如权利要求1～5中任一项所述的光测量装置，其特征在于，

还具备：滤光部，其具有多个光学滤光器，能够将多个所述光学滤光器之中的任一个作为插入滤光器而插入到入射于多个所述入射端面的所述测量光各自的光路上。

7.如权利要求6所述的光测量装置，其特征在于，

所述滤光部包含ND滤光器、短通滤光器、长通滤光器、带通滤光器、陷波滤光器、及由光反射物质构成的滤光器的至少一种来作为所述光学滤光器。

8.如权利要求6或7所述的光测量装置，其特征在于，

所述滤光部具有：

基底部，其设置有多个所述光学滤光器；

驱动部，其以所述插入滤光器在多个所述光学滤光器之中进行切换的方式驱动所述基底部；及

控制部，其控制所述驱动部的驱动，

所述控制部选择多个所述光学滤光器之中的任一个来作为选择滤光器，并以所选择的该选择滤光器成为所述插入滤光器的方式使所述驱动部驱动。

9.如权利要求1～8中任一项所述的光测量装置，其特征在于，

所述光检测部具有与多个所述导光构件相同数量的多个光检测器，多个所述光检测器的分光灵敏度特性互不相同。