CN109382521B - 金属粉末制造装置和金属粉末的制造方法 - Google Patents

金属粉末制造装置和金属粉末的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种能够制造高质量的金属粉末的金属粉末制造装置和使用其的金属粉末的制造方法。金属粉末制造装置(10)具有：喷出熔融金属的熔融金属供给部(20)；设置于熔融金属供给部(20)的下方的筒体(32)；以及沿着筒体的内周面形成冷却液的液流的冷却液层形成部(36)，其中上述冷却液冷却从熔融金属供给部(20)喷出的熔融金属。冷却液层形成部(36)具有将从内周面(33)朝向半径方向的内侧的冷却液的液流改变成沿着筒体(32)的内周面(33)流动的方向的框体(38)。

Description

金属粉末制造装置和金属粉末的制造方法
技术领域
本发明涉及金属粉末制造装置和金属粉末的制造方法。
背景技术
例如如专利文献1所示，已知有使用所谓的气体雾化法制造金属粉末的金属粉末制造装置和使用了该装置的制造方法。现有的装置具有：喷出熔融金属的熔融金属供给容器、设置于该熔融金属供给容器的下方的筒体、以及沿着筒体的内周面形成冷却液的液流的冷却液层形成部，上述冷却液的液流冷却从熔融金属供给部喷出的熔融金属。
冷却液层形成部向冷却用筒体的内周面的切线方向喷射冷却液，一边使冷却液沿着冷却容器的内周面旋转一边流下，由此，形成冷却液层。期待能够通过使用冷却液层，将溶滴骤冷并制造高功能性的金属粉末。
但是，现有的装置中，即使向冷却用筒体的内周面的切线方向喷射冷却液，冷却液也在筒体的内周面进行反射，产生从内周面朝向半径方向的内侧的液流。因此，现有的装置中，存在会沿着筒体的内周面在表面上形成波且难以形成均匀的厚度的冷却液层，并难以制造均质的(粒径，结晶状态，形状等为均匀的)金属粉末的技术问题。特别是如果增大冷却液的流量，或增大挤出冷却液的泵的压力而增大冷却液的速度时，该倾向变强。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平11-80812号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
本发明是鉴于这样的实际状况而完成的，其目的在于，提供一种能够制造高质量的金属粉末的金属粉末制造装置和使用该金属粉末制造装置的金属粉末的制造方法。
用于解决技术问题的手段
为了达成上述目的，本发明提供一种金属粉末制造装置，其特征在于，具有：
熔融金属供给部，其喷出熔融金属；
筒体，其设置于上述熔融金属供给部的下方；以及
冷却液层形成部，其沿着上述筒体的内周面形成冷却液的液流，该冷却液的液流冷却从上述熔融金属供给部喷出的上述熔融金属，
上述冷却液层形成部具有框体，该框体将从上述内周面朝向半径方向的内侧的上述冷却液的液流改变成沿着上述筒体的上述内周面流动的方向。
为了达到上述目的，本发明提供一种金属粉末的制造方法，其特征在于，具有：
沿着设置于熔融金属供给部的下方的筒体的内周面形成冷却液的液流的工序；以及
将熔融金属从上述熔融金属供给部向上述冷却液的液流进行喷出的工序，
使从上述内周面朝向半径方向的内侧的上述冷却液的液流与上述筒体的上部所具备的框体相撞，从而改变成沿着上述筒体的上述内周面流动的方向。
在本发明的金属粉末制造装置及金属粉末的制造方法中，在从熔融金属供给部喷出的熔融金属与冷却液接触的位置的上游侧具备框体。因此，能够抑制通过从内周面朝向半径方向的内侧的冷却液的液流产生的表面的波并改变成沿着筒体的内周面流动的方向。因此，即使在增大冷却液的流量，或增大冷却液的速度的情况下，也可抑制沿着筒体的内周面从内周面朝向半径方向的内侧的冷却液的液流表面的波，容易沿着筒体的内周面形成均匀的厚度的冷却液层，并生产高质量的金属粉末。
优选的是，上述框体的内径比上述筒体的内周面的内径小，
上述框体与上述内周面之间的间隙构成用于使上述冷却液沿着上述内周面流动的冷却液喷出部。通过这样构成，即使在增大冷却液的流量，或增大冷却液的速度的情况下，也容易沿着筒体的内周面形成均匀的厚度的冷却液层。
上述框体的内径朝向所述框体的轴方向的下端可以大致相同，但也可以锥形状地变大地构成。通过使框体的内径朝向轴方向的下端而锥形状地增大，从而作用将冷却液向内周面挤压的方向的力，容易沿着筒体的内周面形成均匀的厚度的冷却液层。
优选上述框体安装于上述筒体的上方。通过这样构成，容易在从熔融金属供给部喷出的熔融金属与冷却液接触的位置的上游侧配置框体。
优选上述冷却液层形成部具有朝向上述框体使上述冷却液冲撞为螺旋状的螺旋液流形成部。螺旋液流形成部通过例如将向筒体的内周面的切线方向喷射冷却液的喷嘴安装于筒体而形成。通过在从螺旋液流形成部向筒体的内周面的切线方向喷出冷却液的位置的内侧安装框体，从而容易沿着筒体的内周面形成均匀的厚度的冷却液层。
更具体而言，本发明的第一观点提供一种金属粉末制造装置，其特征在于，具有：
熔融金属供给部，其喷出熔融金属；
筒体，其设置于上述熔融金属供给部的下方；以及
冷却液层形成部，其沿着上述筒体的内周面形成冷却液的液流，上述冷却液的液流冷却从上述熔融金属供给部喷出的上述熔融金属，
上述冷却液层形成部具有：
喷嘴，其制作从上述内周面朝向半径方向的内侧的上述冷却液的液流；以及
框体，其设置于上述内周面的半径方向的内侧，从上述喷嘴朝向半径方向的内侧的上述冷却液的液流冲撞，而改变成沿着上述筒体的上述内周面流动的方向，
上述框体的内径比上述筒体的内周面的内径小，
上述框体与上述内周面之间的间隙构成用于使上述冷却液沿着上述内周面流动的冷却液喷出部。
本发明的第一观点提供一种金属粉末的制造方法，其特征在于，具有：
沿着设置于熔融金属供给部的下方的筒体的内周面形成冷却液的液流的工序；以及
将熔融金属从上述熔融金属供给部向上述冷却液的液流进行喷出的工序，
该金属粉末的制造方法使用上述金属粉末制造装置，使从上述内周面朝向半径方向的内侧的上述冷却液的液流与上述筒体的上部所具备的框体相撞，从而改变成沿着上述筒体的上述内周面流动的方向。
本发明的第二观点提供一种金属粉末制造装置，其特征在于，具有：
熔融金属供给部，其喷出熔融金属；
筒体，其设置于上述熔融金属供给部的下方；以及
冷却液层形成部，其沿着所述筒体的内周面形成冷却液的液流，上述冷却液的液流冷却从上述熔融金属供给部喷出的上述熔融金属，
上述冷却液层形成部具有：
喷嘴，其制作从上述内周面朝向半径方向的内侧的螺旋状的上述冷却液的液流；以及
框体，其设置于上述内周面的半径方向的内侧，从上述喷嘴朝向半径方向的内侧的上述冷却液的螺旋状的液流冲撞，从而改变成沿着上述筒体的上述内周面流动的方向，
上述框体的内径比上述筒体的内周面的内径小，
上述框体与上述内周面之间的间隙构成用于使上述冷却液沿着上述内周面流动的冷却液喷出部。
本发明的第二观点提供一种金属粉末的制造方法，其特征在于，具有：
沿着设置于熔融金属供给部的下方的筒体的内周面形成冷却液的液流的工序；以及
从所述熔融金属供给部将熔融金属向所述冷却液的液流进行喷出的工序，
该金属粉末的制造方法使用上述记载的金属粉末制造装置，使从上述内周面朝向半径方向的内侧的上述冷却液的螺旋状的液流与上述筒体的上部所具备的框体相撞，从而改变成沿着上述筒体的上述内周面流动的方向。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式所涉及的金属粉末制造装置的概略截面图。
图2是本发明的另一实施方式所涉及的金属粉末制造装置的概略截面图。
图3是本发明的又一实施方式所涉及的金属粉末制造装置的概略截面图。
符号说明
10、110、210……金属粉末制造装置
20……熔融金属供给部
21……熔融金属
22……容器
23……喷出口
24……加热用线圈
26……气体喷射喷嘴
27……气体喷射口
30、130、230……冷却部
32……筒体
33……内周面
34……排出部
37……喷嘴
37a……喷嘴孔
136、236……流路盒子
137、237……喷嘴
38、138、238……框体
238a……框前端
39……安装凸缘
50……冷却液层
52……冷却液喷出部
具体实施方式
以下，基于附图所示的实施方式说明本发明。
第一实施方式
如图1所示，本发明一个实施方式的金属粉末制造装置10是用于使熔融金属21通过雾化法(气体雾化法)进行粉末化，得到由多个金属粒子构成的金属粉末的装置。该装置10具有熔融金属供给部20、配置于金属供给部20的垂直方向的下方的冷却部30。附图中，垂直方向是沿着Z轴的方向。
熔融金属供给部20具有收容熔融金属21的耐热性容器22。在耐热性容器22的外周配置有加热用线圈24，将收容于容器22的内部的熔融金属21加热并维持为熔融状态。在容器22的底部形成有喷出口23，熔融金属21从该喷出口23朝向构成冷却部30的筒体32的内周面33作为滴下熔融金属21a被喷出。
在容器22的外底壁的外周部，以包围喷出口23的方式配置有气体喷射喷嘴26。在气体喷射喷嘴26具备有气体喷射口27。从气体喷射口27朝向从喷出口23喷出的滴下熔融金属21a喷射高压气体。高压气体从由喷出口23喷出的熔融金属的周围整周朝向斜下方向喷射，滴下熔融金属21a成为多个液滴，并沿着气体的流动朝向筒体32的内周面行进。
熔融金属21也可以含有任意元素，例如能够使用含有Ti、Fe、Si、B、Cr、P、Cu、Nb、Zr的至少任意种的金属。这些元素的活性高，含有这些元素的熔融金属21通过短时间的与空气的接触，容易氧化而形成氧化膜，而难以进行微细化。如上所述，金属粉末制造装置10通过使用惰性气体作为从气体喷嘴26的气体喷射口27喷射的气体，从而即使是容易氧化的熔融金属21，也能够容易进行粉末化。
作为从气体喷射口27喷射的气体，优选为氮气、氩气、氦气等的惰性气体或氨分解气体等的还原性气体，但如果是熔融金属21难以氧化的金属，则也可以是空气。
本实施方式中，筒体32的轴心O相对于垂直线Z以规定角度θ1倾斜。作为规定角度θ1，没有特别限定，但优选为5～45度。通过设为这种角度范围，容易使来自喷出口23的滴下熔融金属21a朝向形成于筒体32的内周面33的冷却液层50喷出。
向冷却液层50喷出的滴下熔融金属21a与冷却液层50冲撞，进一步被分断并微细化，并且被冷却固化，而成为固体状的金属粉末。沿着筒体32的轴心O在下方设置有排出部34，可将冷却液层50所包含的金属粉末与冷却液一起排出于外部。与冷却液一起被排出的金属粉末在外部的存积槽等中与冷却液分离而被取出。此外，作为冷却液，没有特别限定，可使用冷却水。
本实施方式中，在筒体32的轴芯O方向的上部具备作为冷却液层形成部的框体38。框体38通过与其一体成型的安装凸缘39而安装于筒体32的上部。框体38的安装方法没有特别限定，也可以与筒体32一体成形。框体38具有比筒体32的内周面33的内径小的内径，与筒体32的内周面配置成同芯状。本实施方式中，框体38的内周面和筒体32的内周面配置成大致平行。
在与框体38对应的筒体32的上部位置形成有作为冷却液层形成部的喷嘴孔(喷嘴)37a。喷嘴孔37a以朝向筒体32的内侧开口的方式，沿着周方向连续地(或间断地)形成。喷嘴孔37a以与框体38按照规定间隙面对面的方式形成。框体38与内周面33之间的周方向间隙的宽度(冷却液喷出部52的径方向宽度)没有特别限定，但由与冷却液层50的厚度的关系决定。另外，框体38与内周面33之间的周方向间隙的宽度也可以比冷却液层50的厚度薄。
框体38的轴方向长度L1只要为覆盖喷嘴孔37a的程度的长度即可，以在筒体32的内周面33上露出充分的轴方向长度L0的冷却液层50的液面。露出于内侧的冷却液层50的轴方向长度L0优选与框体38的轴方向长度L1相比，为5～500倍的长度。另外，筒体32的内周面33的内径没有特别限定，优选为50～500mm。
本实施方式中，框体38与筒体32的内周面33之间的间隙构成用于使冷却液沿着内周面33流动的冷却液喷出部52。本实施方式中，在筒体32的Z轴方向的上部连接作为螺旋液流形成部的喷嘴37。通过将喷嘴37连接于筒体32的切线方向，从而从喷嘴37向筒体32的内部，通过喷嘴孔37a，成为具有从内周面33朝向径向的内侧的分量的螺旋液流，与框体38的内周面冲撞，通过冷却液喷出部52，改变成沿着筒体32的内周面33流动的方向。
通过从形成于筒体32的内周面33的喷嘴口37a向框体38的内周面连续供给的冷却液的旋转液流(螺旋液流)和冷却液本身的重力，沿着筒体32的内周面33流动的冷却液成为螺旋状的液流，而形成冷却液层50。向如此形成的冷却液层50的内周侧液面入射图1所示的滴下熔融金属21a，滴下熔融金属21a在螺旋液流的冷却液层50的内部与冷却液一起流动并冷却。
本实施方式的金属粉末制造装置10和使用其的金属粉末的制造方法中，在从金属供给部20的喷出口23喷出的滴下熔融金属21a与冷却液层50接触的位置的上游侧具备框体38。因此，框体38能够通过喷嘴孔37a，将从内周面33朝向半径方向的内侧的冷却液的液流改变成沿着筒体32的内周面33的液流。因此，即使在增大冷却液的流量，或增大冷却液的速度的情况下，也可容易沿着筒体32的内周面形成均匀的厚度的冷却液层50，并生产高质量的金属粉末。
另外，框体38的内径比筒体32的内周面33的内径小，框体38与内周面33之间的间隙构成用于使冷却液沿着内周面33流动的冷却液喷出部52。通过这样构成，即使在增大冷却液的流量，或增大冷却液的速度的情况下，也容易沿着筒体32的内周面形成均匀的厚度的冷却液层50。
另外，本实施方式中，框体38安装于筒体32的轴芯O的上方。通过这样构成，容易在从金属供给部20喷出的熔融金属与冷却液接触的位置的上游侧配置框体38。
另外，本实施方式中，通过在从喷嘴孔37a向筒体32的内周面33的大致切线方向喷出冷却液的位置的内侧安装框体38，从而容易沿着筒体32的内周面33形成由均匀的厚度的螺旋液流构成的冷却液层50。
此外，上述的实施方式中，以如下方式构成，从喷嘴孔37a向框体38的内周面以螺旋液流进行冲撞，液流的方向被改变，通过冷却液喷出部52，沿着筒体32的内周面33螺旋状流动。但是，本实施方式中，不限定于这种液流。
例如也可以通过将喷嘴37与筒体32的外周面大致垂直地连接，使从形成于筒体32的内周面33的喷嘴孔37a朝向框体38的内周面的液流成为非螺旋液流(也可以在一部分中混入螺旋液流)。在该情况下，非螺旋液流与框体38的内周面冲撞，液流的方向被改变，通过冷却液喷出部52喷出，形成沿着筒体32的内周面33的非螺旋液流的冷却层50。
第二实施方式
如图2所示，本发明的第二实施方式的金属粉末制造装置110和金属粉末的制造方法除了以下所示的以外，与第一实施方式一样，对共同的部件标注共同的部件名称和符号，共同的部分的说明省略一部分。
本实施方式中，就金属粉末制造装置110而言，在冷却部130中，作为冷却液层形成部具有周方向上连续的流路盒子136。流路盒子136安装于筒体32的轴芯O方向的上部。在流路盒子136的内部形成有周方向上连续的流路。在该流路盒子136的轴芯O方向的上部(或下部)连接有多个喷嘴137。这些喷嘴137也可以以在流路盒子136的内部形成螺旋状的冷却液的液流的方式，在流路盒子136的上部(或下部)相对于轴芯O倾斜地连接于外周侧。
或者，这些喷嘴137也可以在流路盒子136的上部(或下部)相对于轴芯O平行地连接于外周侧。或者，喷嘴137也可以以在流路盒子136的内部形成螺旋状的冷却液的液流的方式，与流路盒子136的外周面连接。
在流路盒子136的内周侧，框体138(与图1所示的框体38对应)与流路盒子136一体地形成。框体138具有比筒体32的内周面33小的内径，框体138与内周面33之间的周方向间隙成为冷却液喷出部52。本实施方式中，通过在流路盒子136的下方内周侧形成周方向上不连续的孔(也可以是周方向上连续的孔)，能够形成冷却液喷出部52。冷却液喷出部52的外径与内周面33的内径一致，冷却液喷出部52的内径与框体138的内径一致。
本实施方式中，通过从喷嘴137进入流路盒子136的内部的冷却水的液流，从而从冷却液喷出部52流出的冷却液的液流成为沿着内周面33的螺旋状的液流，并形成冷却液层50。或者，从冷却液喷出部52流出的冷却液的液流成为与沿着内周面33的轴芯O平行的液流，并形成冷却液层50。
本实施方式的金属粉末制造装置110和使用其的金属粉末的制造方法中，在从金属供给部20的喷出口23喷出的滴下熔融金属21a与冷却液层50接触的位置的上游侧具备框体138。因此，能够将在流路盒子136的内部朝向半径方向的内侧的冷却液的液流利用框体138，改变成沿着筒体32的内周面33流动的方向。因此，即使在增大冷却液的流量，或增大冷却液的速度的情况下，也可容易沿着筒体32的内周面形成均匀的厚度的冷却液层50，并生产高质量的金属粉末。
第三实施方式
如图3所示，本发明一个实施方式的金属粉末制造装置210除了以下所示的以外，与第一实施方式或第二实施方式一样，对共同的部件标注共同的部件名称和符号，共同的部分的说明省略一部分。
图1～图2所示的实施方式中，框体38或138的内径向框体38或138的轴芯O方向的下端大致相同，但本实施方式中，冷却部230中，框体238的下方前端部238a沿着轴芯O朝向下侧锥形状地变大地构成。本实施方式中，构成流路盒子236的内周面的框体238的下方前端部238a与筒体32的内周面33之间的周方向上不连续的间隙(也可以连续)成为冷却液喷出部52。此外，在流路盒子236的轴芯O方向的上部(或下部)上连接有多个喷嘴237。
框体238的下方前端部238a相对于轴芯O的锥形角度θ2没有特别限定，但优选为5～45度。通过将框体238的下方前端部238a的内径朝向轴方向的下端而锥形状地变大，从而作用将从冷却液喷出部52流出的冷却液向内周面33挤压的方向的力，容易沿着筒体32的内周面33形成均匀的厚度的冷却液层50。
此外，本发明不限定于上述的实施方式，可以在本发明的范围内进行各种改变。
实施例
以下，进一步基于详细的实施例说明本发明，但本发明不限定于这些实施例。
实施例
使用图1所示的金属粉末制造装置10，制造由Fe-Si-B(实验编号6)、Fe-Si-Nb-B-Cu(实验编号7)、Fe-Si-B-P-Cu(实验编号8)、Fe-Nb-B(实验编号9)、Fe-Zr-B(实验编号10)构成的金属粉末。
各实验中，溶解温度：1500℃，喷射气体压：5MPa，使用气体种类：氩气并设为恒定，螺旋水流条件的泵压为7.5kPa。实施例中，能够制造平均粒径约25μm的金属粉末。平均粒径使用干式粒度分布测定装置(HELLOS)来求得。另外，通过粉末X射线衍射法评价实验编号6～10中制作的金属粉末的结晶分析。金属粉末的磁特性通过利用Hc仪表测定矫顽力(Oe)来进行。将结果表示于表1中。另外，观察到冷却液层50的厚度为30mm，且轴芯O方向上偏差较小。
比较例
除了不具备框体38以外，与实施例一样，使用金属粉末制造装置，以与实施例相同的方式制造金属粉末(实验编号1～5)，并进行同样的评价。将结果表示于表1中。观察到冷却液层50的厚度为30mm，且轴芯O方向上偏差较大。
将表1的实施例和比较例相比时，磁特性提高且非晶质性提高。认为这是由于，通过抑制螺旋水流的表面的波，得到均匀的冷却效果，成为冷却不足的粉末较少。另外，还存在通过粉末X射线衍射进行金属粉末的结晶分析，结果具有结晶引起的峰的比较例。对于金属粉末的磁特性，能够确认到比较例的矫顽力比全部实施例都大，实施例优异，因此，可知可得到更均匀的冷却效果。
当将上述比较例和实施例进行比较时，即使相对于以往不能制作的组成也能够确认非晶质性，还能够确认到能够进一步改善磁特性。认为这是由于，通过具备框体38，即使在泵压较高的状态下，也可抑制从筒体的内周面的喷嘴孔朝向半径方向的内侧的冷却液的液流的表面的波，将沿着内周面的冷却液的液流进行整流化，可得到均匀的冷却效果。
表1
实验No 实施例/比较例 组成 粒径(μm) 晶体结构 矫顽力(Oe)
1 比较例 Fe<sub>75</sub>Si<sub>10</sub>B<sub>15</sub> 25.3 非晶质/结晶 5.6
2 比较例 Fe<sub>73.5</sub>Si<sub>13.5</sub>B<sub>9</sub>Nb<sub>3</sub>Cu<sub>1</sub> 25.4 非晶质/结晶 10.2
3 比较例 Fe<sub>83.3</sub>Si<sub>4</sub>B<sub>8</sub>P<sub>4</sub>Cu<sub>0.7</sub> 25.8 结晶 170
4 比较例 Fe<sub>84</sub>Nb<sub>7</sub>B<sub>9</sub> 25.9 结晶 180
5 比较例 Fe<sub>90</sub>Zr<sub>7</sub>B<sub>3</sub> 25.6 结晶 253
6 实施例 Fe<sub>75</sub>Si<sub>10</sub>B<sub>15</sub> 25.4 非晶质 0.36
7 实施例 Fe<sub>73.5</sub>Si<sub>13.5</sub>B<sub>9</sub>Nb<sub>3</sub>Cu<sub>1</sub> 25.8 非晶质 1.41
8 实施例 Fe<sub>83.3</sub>Si<sub>4</sub>B<sub>8</sub>P<sub>4</sub>Cu<sub>0.7</sub> 25.7 非晶质 1.77
9 实施例 Fe<sub>84</sub>Nb<sub>7</sub>B<sub>9</sub> 25.2 非晶质 1.52
10 实施例 Fe<sub>90</sub>Zr<sub>7</sub>B<sub>3</sub> 25.3 非晶质 1.89

Claims (6)

1.一种金属粉末制造装置，其特征在于，
具有：
熔融金属供给部(20)，其喷出熔融金属；
筒体(32)，其设置于所述熔融金属供给部(20)的下方；以及
冷却液层形成部，其沿着所述筒体(32)的内周面(33)形成冷却液的液流，所述冷却液的液流冷却从所述熔融金属供给部(20)喷出的所述熔融金属，
所述冷却液层形成部具有：
喷嘴孔(37a)，其制作从所述内周面(33)朝向半径方向的内侧的所述冷却液的液流；以及
框体(38、138、238)，其以覆盖形成于所述筒体(32)的内周面(33)的所述喷嘴孔(37a)的方式设置于所述内周面(33)的半径方向的内侧，使从所述喷嘴孔(37a)朝向半径方向的内侧的所述冷却液的液流冲撞，而改变成沿着所述筒体(32)的所述内周面(33)流动的方向，
所述框体(38、138、238)以距形成有所述喷嘴孔(37a)的所述筒体(32)的内周面(33)具有间隙的方式配置，其内径比所述筒体(32)的内周面(33)的内径小，并且与所述筒体(32)的内周面(33)配置成同芯状，
所述框体(38、138、238)与所述内周面(33)之间的间隙构成用于使所述冷却液沿着所述内周面(33)流动的冷却液喷出部(52)。
2.根据权利要求1所述的金属粉末制造装置，其中，
所述框体(38、138、238)的内径以朝向所述框体(38、138、238)的轴方向的下端锥形状变大的方式构成。
3.根据权利要求1或2所述的金属粉末制造装置，其中，
所述框体(38、138、238)沿着所述筒体(32)的轴方向安装于上方。
4.一种金属粉末制造装置，其特征在于，
具有：
熔融金属供给部(20)，其喷出熔融金属；
筒体(32)，其设置于所述熔融金属供给部(20)的下方；以及
冷却液层形成部，其沿着所述筒体(32)的内周面(33)形成冷却液的液流，所述冷却液的液流冷却从所述熔融金属供给部(20)喷出的所述熔融金属，
所述冷却液层形成部具有：
喷嘴孔(37a)，其制作从所述内周面(33)朝向半径方向的内侧的螺旋状的所述冷却液的液流；以及
框体(38、138、238)，其以覆盖所述喷嘴孔(37a)的方式设置于所述内周面(33)的半径方向的内侧，使从所述喷嘴孔(37a)朝向半径方向的内侧的所述冷却液的螺旋状的液流冲撞，而改变成沿着所述筒体(32)的所述内周面(33)流动的方向，
所述框体(38、138、238)以距形成有所述喷嘴孔(37a)的所述筒体(32)的内周面(33)具有间隙的方式配置，其内径比所述筒体(32)的内周面(33)的内径小，并且与所述筒体(32)的内周面(33)配置成同芯状，
所述框体(38、138、238)与所述内周面(33)之间的间隙构成用于使所述冷却液沿着所述内周面(33)流动的冷却液喷出部(52)。
5.一种金属粉末的制造方法，其特征在于，
具有：
沿着设置于熔融金属供给部(20)的下方的筒体(32)的内周面(33)形成冷却液的液流的工序；以及
将熔融金属从所述熔融金属供给部(20)向所述冷却液的液流进行喷出的工序，
所述金属粉末的制造方法使用权利要求1～3中任一项所述的金属粉末制造装置，使从所述内周面(33)朝向半径方向的内侧的所述冷却液的液流与所述筒体(32)的上部所具备的框体(38、138、238)相撞，从而改变成沿着所述筒体(32)的所述内周面(33)流动的方向。
6.一种金属粉末的制造方法，其特征在于，
具有：
沿着设置于熔融金属供给部(20)的下方的筒体(32)的内周面(33)形成冷却液的液流的工序；以及
将熔融金属从所述熔融金属供给部(20)向所述冷却液的液流进行喷出的工序，
所述金属粉末的制造方法使用权利要求4所述的金属粉末制造装置，使从所述内周面(33)朝向半径方向的内侧的所述冷却液的螺旋状的液流与所述筒体(32)的上部所具备的框体(38、138、238)相撞，从而改变成沿着所述筒体(32)的所述内周面(33)流动的方向。
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