JP4375330B2 - 金属粉末製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、溶融金属から金属粉末を製造する金属粉末製造装置に関する。

従来、金属粉末を製造するには、溶融金属をアトマイズ法により粉末化する金属粉末製造装置（アトマイザ）が用いられている。この金属粉末製造装置としては、例えば、特許文献１に記載された「溶融金属の噴霧微粉化装置」が知られている。
この溶融金属の噴霧微粉化装置は、溶湯（溶融金属）を下方に向けて吐出する溶湯ノズルと、溶湯ノズルから吐出された溶湯が通過する流路と該流路に開口するスリットとを有するノズルとを備えている。このノズルのスリットからは、水が噴射される。特許文献１の装置は、スリットから噴射された水に、流路を通過する溶湯を衝突させることにより、当該溶湯を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造するよう構成されている。

しかしながら、特許文献１の装置は、スリットを通過する水の圧力により、当該スリットの間隔が過剰に拡大してしまい、結果、スリットから噴射される水の流速が過剰に低下するという問題があった。水圧低下により当然吐出水の流速低下が生じ、高速水の粉砕能力が低下することで、生成する金属粉末の微細化が阻害され、目的とする粒度の微細粉末が得られない。

特公平３−５５５２２号公報

本発明の目的は、オリフィスから噴射される液体の流速を確実にほぼ一定に維持することができる金属粉末製造装置を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の金属粉末製造装置は、溶融金属を供給する供給部と、
前記供給部の下方に設置され、該供給部から供給された溶融金属が通過可能であり、内径が下方に向って漸減する内径漸減部を有する流路と、該流路の下端部に開口し、前記流路に液体を噴射するオリフィスと、液体を一時的に貯留する貯留部と、該貯留部から前記オリフィスに液体を導入する導入路とが形成されたノズルとを有し、
前記オリフィスから噴射された液体に前記流路を通過する溶融金属を接触させることにより、該溶融金属を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造する金属粉末製造装置であって、
前記ノズルは、前記オリフィス、前記貯留部および前記導入路を画成する、第１の部材と、該第１の部材の下方に間隙を介して設置された第２の部材とを備え、
前記第１の部材には、その一部が欠損した第１の凹部と、該第１の凹部により物理的強度が低下して容易に変形可能な第１の易変形部とが形成されており、
前記第２の部材には、その一部が欠損した第２の凹部と、該第２の凹部により物理的強度が低下して容易に変形可能な第２の易変形部とが形成されており、
前記ノズルは、少なくとも前記オリフィスを通過する液体の圧力により、前記第１の部材の前記第１の易変形部より前記流路の中心軸側の第１の中心部が、前記第１の易変形部を中心として変位し、かつ、前記第２の部材の前記第２の易変形部より前記流路の中心軸側の第２の中心部が、前記変位した第１の中心部に追従するように変位し、これにより、前記オリフィスを通過する液体の圧力による前記オリフィスの拡大が規制されることを特徴とする。
これにより、オリフィスから噴射される液体の流速を確実にほぼ一定に維持することができる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記オリフィスは、前記流路の内周面の全周にわたって、スリット状に開口したものであることが好ましい。
これにより、液体は、その外形形状が、確実に、頂部が下方に位置するほぼ円錐形状をなすように噴射される。
本発明の金属粉末製造装置では、前記オリフィスは、その内周面が前記第１の部材で画成され、外周面が前記第２の部材で画成されていることが好ましい。
これにより、オリフィスを容易かつ確実に形成することができ、また、間隙の大きさに応じてオリフィスの大きさを適宜設定することができる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記オリフィスは、液体を、その外形形状が、頂部が下方に位置するほぼ円錐形状をなすように噴射するよう構成されていることが好ましい。
これにより、外形形状が円錐形状をなすように噴射された液体の内側で、溶融金属が飛散されて、確実に微細な多数の液滴となる。
本発明の金属粉末製造装置では、前記導入路は、その縦断面形状がくさび状をなすものであることが好ましい。
これにより、液体の流速を徐々に高めることができ、また、この流速が高まった状態の液体をオリフィスから安定して噴射することができる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記内径漸減部は、収斂形状をなしていることが好ましい。
これにより、オリフィスから噴射した液体の流れにより、ノズルの上方の気体が内径漸減部に流れ込み（引き込まれ）、当該流れ込んだ空気は、内径漸減部の内径が最小径となる部分付近で流速が最大となる。この流速が最大となった空気により、溶融金属が飛散されて、確実に微細な多数の液滴となる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記第１の凹部は、前記内径漸減部に、その全周にわたって円環状に形成されていることが好ましい。
これにより、第１の易変形部が内径漸減部の周方向に沿って形成されることとなり、よって、第１の中心部は、その周方向のいかなる部分において均等に変位することができる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記第１の凹部は、前記貯留部の前記導入路近傍に、前記内径漸減部の周方向に沿って円環状に形成されていることが好ましい。
これにより、第１の易変形部が内径漸減部の周方向に沿って形成されることとなり、よって、第１の中心部は、その周方向のいかなる部分において均等に変位することができる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記第２の凹部は、前記第２の部材の下部の前記オリフィス近傍に、前記内径漸減部の周方向に沿って円環状に形成されていることが好ましい。
これにより、第２の易変形部が内径漸減部の周方向に沿って形成されることとなり、よって、第２の中心部は、その周方向のいかなる部分において均等に変位することができる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記第２の凹部は、前記貯留部の前記導入路近傍に、前記内径漸減部の周方向に沿って円環状に形成されていることが好ましい。
これにより、第２の易変形部が内径漸減部の周方向に沿って形成されることとなり、よって、第２の中心部は、その周方向のいかなる部分において均等に変位することができる。
本発明の金属粉末製造装置では、前記第１の凹部および／または前記第２の凹部の縦断面形状は、ほぼ三角形をなしていることが好ましい。
これにより、オリフィスから噴射される液体の流速をより確実にほぼ一定に維持することができる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記第１の凹部は、前記貯留部と前記導入路との境界に対して、内側または外側に位置していることが好ましい。

本発明の金属粉末製造装置では、前記第２の凹部は、前記貯留部と前記導入路との境界に対して、内側または外側に位置していることが好ましい。

以下、本発明の金属粉末製造装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の金属粉末製造装置の第１実施形態を示す縦断面図、図２は、図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ａ］の拡大詳細図である。

なお、以下では、説明の都合上、図１および図２中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。
図１に示す金属粉末製造装置（アトマイザ）１Ａは、溶融金属Ｑをアトマイズ法により粉末化して、多数の金属粉末Ｒを得るものである。この金属粉末製造装置１Ａは、溶融金属Ｑを供給する供給部２と、供給部２の下方に設置されたノズル３Ａと、ノズル３Ａ（第２の部材５Ａ）の下端面５１に設置されたカバー７とを備えている。
なお、本実施形態では、金属粉末製造装置１Ａが、ステンレス鋼（例えば、３０４Ｌ、３１６Ｌ、１７−４ＰＨ、４４０Ｃ等）やＦｅ−Ｓｉ系磁性粉末からなる金属粉末Ｒを製造する場合を例にする。

以下、各部の構成について説明する。
図１に示すように、供給部２は、有底筒状をなす部分を有している。この供給部２の内部空間（内腔部）２２には、所定のモル比（例えば１：２のモル比）でＣｏ単体とＳｎ単体とを混合・溶融した溶融金属Ｑ（溶融物）が一時的に収納される。
また、供給部２の底部２１の中央部には、吐出口２３が設けられている。この吐出口２３からは、内部空間２２内の溶融金属Ｑが下方に向って吐出される。

供給部２の下方には、ノズル３Ａが設置されている。ノズル３Ａには、供給部２から供給された（吐出された）溶融金属Ｑが通過する第１の流路（流路）３１と、流体（本実施形態では、水（液体）Ｓ）を供給する給水源（図示せず）からの水Ｓが通過する第２の流路３２とが形成されている。
第１の流路３１は、横断面形状が円形をなしており、ノズル３Ａの中央部に、鉛直方向に沿って形成されている。
この第１の流路３１は、ノズル３Ａ（第１の部材４Ａ）の上端面４１から内径が下方に向って漸減する、すなわち、収斂形状をなす内径漸減部３３を有している。

これにより、後述するオリフィス３４から噴射した水Ｓの流れにより、ノズル３Ａの上方の空気（気体）Ｇが内径漸減部３３（第１の流路３１）に流れ込み（引き込まれ）、当該流れ込んだ空気Ｇは、内径漸減部３３の内径が最小径となる部分３３１（オリフィス３４が開口する部分）付近で流速が最大となる。この流速が最大となった空気Ｇにより、溶融金属Ｑが飛散されて、確実に微細な多数の液滴Ｑ１となる。

図２に示すように、第２の流路３２は、第１の流路３１の下端部（部分３３１近傍）に開口するオリフィス３４と、水Ｓを一時的に貯留する貯留部３５と、貯留部３５からオリフィス３４に水Ｓを導入する導入路（中継路）３６とで構成されている。
貯留部３５は、前記給水源に接続され、当該給水源から水Ｓが供給される部位である。
この貯留部３５は、導入路３６を介して、オリフィス３４と連通している。

また、貯留部３５の縦断面形状は、長方形（または正方形）をなしている。
導入路３６は、その縦断面形状がくさび状をなす部位である。これにより、貯留部３５から流入した水Ｓの流速を徐々に高めることができ、また、この流速が高まった状態の水Ｓをオリフィス３４から安定して噴射することができる。
オリフィス３４は、貯留部３５、導入路３６を順に通過した水Ｓを第１の流路３１に噴射（噴出）する部位である。

このオリフィス３４は、第１の流路３１の内周面の全周にわたってスリット状に開口している。また、オリフィス３４は、第１の流路３１の中心軸Ｏに対して傾斜する方向に開口している。
このように形成されたオリフィス３４により、水Ｓは、その外形形状が、確実に、頂部Ｓ２が下方に位置するほぼ円錐形状をなすような液体ジェットＳ１として噴射される（図１参照）。これにより、液体ジェットＳ１およびその内側で、溶融金属Ｑが飛散されて、確実に微細な多数の液滴Ｑ１となる。

また、前述したように、内径漸減部３３の内径が最小径となる部分３３１付近で流速が最大となった空気（気体）Ｇにより、溶融金属Ｑが飛散されて、確実に微細な多数の液滴Ｑ１となる。これによる相乗効果で、溶融金属Ｑが確実に飛散されて、より確実に微細な多数の液滴Ｑ１となる。
また、多数の液滴Ｑ１となった溶融金属Ｑは、液体ジェットＳ１に接触して、冷却固化される。これにより、多数の金属粉末Ｒが製造される。このように製造された多数の金属粉末Ｒは、金属粉末製造装置１Ａの下部に設置された容器（図示せず）に収納される。

このような第１の流路３１および第２の流路３２が形成されたノズル３Ａは、円盤状（リング状）の第１の部材４Ａと、第１の部材４Ａと同心的に設置された円盤状（リング状）の第２の部材５Ａとで構成されている（図１および図２参照）。第２の部材５Ａは、第１の部材４Ａの下方に間隙３７を介して設置されている。
このように配置された第１の部材４Ａと第２の部材５Ａとにより、オリフィス３４、導入路３６および貯留部３５がそれぞれ画成される。すなわち、第１の部材４Ａと第２の部材５Ａとの間に形成された間隙３７により、第２の流路３２が構成される。

図２に示すように、オリフィス３４は、その内周面３４１が第１の部材４Ａの下部４２により画成され、外周面３４２が第２の部材５Ａの上部５２により画成されている。
また、導入路３６は、その上面３６１が第１の部材４Ａの下部４２により画成され、下面３６２が第２の部材５Ａの上部５２により画成されている。
また、貯留部３５は、その上面３５１および導入路３６より上方の内周面３５２が第１の部材４Ａの下部４２により画成され、下面３５３および導入路３６より下方の内周面３５４が第２の部材５Ａの上部５２により画成されている。
このように、オリフィス３４、導入路３６および貯留部３５がそれぞれ画成されていることにより、オリフィス３４、導入路３６および貯留部３５をそれぞれノズル３Ａに容易かつ確実に形成することができる。また、間隙３７の大きさに応じて、オリフィス３４、導入路３６および貯留部３５の大きさを適宜設定することができる。

なお、第１の部材４Ａおよび第２の部材５Ａの構成材料としては、特に限定されないが、例えば、各種金属材料を用いることができ、特に、ステンレス鋼を用いるのが好ましい。
図１に示すように、第２の部材５Ａの下端面５１には、筒体で構成されたカバー７が固定されている。このカバー７は、第１の流路３１と同心的に設けられている。
このカバー７により、下方に落下する金属粉末Ｒの飛散を防止することができ、よって、金属粉末Ｒを前記容器に確実に収納することができる。

さて、図２（図１も同様）に示すように、第１の部材４Ａには、第１の凹部４３Ａと、第１の易変形部４４Ａとが形成されている。また、第２の部材５Ａには、第２の凹部５３Ａと、第２の易変形部５４Ａとが形成されている。
第１の凹部４３Ａは、内径漸減部３３（第１の部材４Ａ）の一部が欠損することにより形成されている。
この第１の凹部４３Ａにより、第１の部材４Ａの厚さが減少し、当該厚さが減少した部分は、その物理的強度が低下して容易に変形可能となり、第１の易変形部４４Ａとなる。

また、このように第１の易変形部４４Ａが容易に変形可能であるため、第１の易変形部４４Ａより第１の流路３１の中心軸Ｏ側（図２中の右側）の第１の中心部４５は、第１の易変形部４４Ａを中心として容易かつ確実に変位することができる（図２中の二点鎖線で示す第１の中心部４５’参照）。
また、第１の凹部４３Ａは、内径漸減部３３の全周にわたって、円環状に形成されている。これにより、第１の易変形部４４Ａが内径漸減部３３の周方向に沿って形成されることとなり、よって、第１の中心部４５は、その周方向のいかなる部分において均等に変位することができる。

図２に示すように、第１の凹部４３Ａは、貯留部３５と導入路３６との境界３８に対して、内側（中心軸Ｏ側）、すなわち、図２中の右側に位置している。
また、第１の凹部４３Ａの縦断面形状は、三角形をなしている。これにより、第１の凹部４３Ａの２つの斜面４３１および４３２が接近する、すなわち、第１の凹部４３Ａの頂部４３３の頂角が減少するように、第１の易変形部４４Ａが変形し、よって、第１の中心部４５が容易かつ確実に変位することができる。

なお、第１の凹部４３Ａは、図示の構成では境界３８に対して内側に位置しているが、これに限定されず、境界３８に対して外側に位置してもよい。
また、第１の凹部４３Ａの縦断面形状は、図示の構成では三角形をなしているが、これに限定されず、例えば、Ｕ字状をなしていてもよい。
第２の凹部５３Ａは、第２の部材５Ａの下部５５のオリフィス３４近傍の一部が欠損することにより形成されている。
この第２の凹部５３Ａにより、第２の部材５Ａの厚さが減少し、当該厚さが減少した部分は、その物理的強度が低下して容易に変形可能となり、第２の易変形部５４Ａとなる。

また、このように第２の易変形部５４Ａが容易に変形可能であるため、第２の部材５Ａの第２の易変形部５４Ａより第１の流路３１の中心軸Ｏ側の第２の中心部５６は、第１の中心部４５’に追従するように変位することができる（図２中の二点鎖線で示す第２の中心部５６’参照）。
また、第２の凹部５３Ａは、内径漸減部３３の周方向に沿って、円環状に形成されている。これにより、第２の易変形部５４Ａが内径漸減部３３の周方向に沿って形成されることとなり、よって、第２の中心部５６は、その周方向のいかなる部分において均等に変位することができる。

図２に示すように、第２の凹部５３Ａは、境界３８に対して、内側、すなわち、図２中の右側に位置している。
また、第２の凹部５３Ａの縦断面形状は、三角形をなしている。これにより、第２の凹部５３Ａの２つの斜面５３１および５３２が離間する、すなわち、第２の凹部５３Ａの頂部５３３の頂角が増加するように、第２の易変形部５４Ａが変形し、よって、第２の中心部５６が容易かつ確実に変位することができる。

なお、第２の凹部５３Ａは、図示の構成では境界３８に対して内側に位置しているが、これに限定されず、境界３８に対して外側に位置してもよい。
また、第２の凹部５３Ａの縦断面形状は、図示の構成では三角形をなしているが、これに限定されず、例えば、Ｕ字状をなしていてもよい。
以上のような構成の金属粉末製造装置１Ａでは、オリフィス３４から水Ｓが噴射されたとき、当該オリフィス３４を通過する水Ｓの圧力により、内周面３４１および外周面３４２が押圧される。このため、オリフィス３４は、拡大しようとする。

しかしながら、金属粉末製造装置１Ａでは、オリフィス３４から水Ｓが噴射されたとき、境界３８付近、導入路３６およびオリフィス３４を通過する水Ｓの圧力により、第１の中心部４５が第１の易変形部４４Ａを中心として変位して、第１の中心部４５’となる（図２参照）。また、第１の中心部４５と同様に前記水Ｓの圧力により、第２の中心部５６が第１の中心部４５’（変位した第１の中心部４５）に追従するように変位して、第２の中心部５６’となる。

このように金属粉末製造装置１Ａでは、第１の中心部４５（第１の部材４Ａ）および第２の中心部５６（第２の部材５Ａ）がそれぞれ変位（変形）する。すなわち、金属粉末製造装置１Ａでは、貯留部３５から流れる水Ｓの方向への圧力による第２の部材５Ａへの加圧と、第２の部材５Ａにより水Ｓの流れる方向を制御し、該制御された水Ｓの流れにより第１の部材４Ａが加圧される。
これにより、前述したオリフィス３４の径の拡大が規制される。従って、オリフィス３４の大きさを一定に維持することができ、よって、オリフィス３４から噴射される水Ｓの流速を確実に一定に維持することができる。

＜第２実施形態＞
図３は、本発明の金属粉末製造装置の第２実施形態を示す縦断面図である。なお、以下では、説明の都合上、図３中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。

以下、この図を参照して本発明の金属粉末製造装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、第１の凹部および第２の凹部の形成箇所が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
図３に示す金属粉末製造装置１Ｂのノズル３Ｂでは、第１の部材４Ｂに、第１の凹部４３Ｂと、第１の易変形部４４Ｂとが形成されており、第２の部材５Ｂに、第２の凹部５３Ｂと、第２の易変形部５４Ｂとが形成されている。

第１の凹部４３Ｂは、貯留部３５の上面３５１の導入路３６（内周面３５２）近傍に、内径漸減部３３の周方向に沿って円環状に形成されている。これにより、第１の易変形部４４Ｂが内径漸減部３３の周方向に沿って形成されることとなり、よって、第１の中心部４５は、その周方向のいかなる部分において均等に変位することができる。
また、第１の易変形部４４Ｂは、第１の凹部４３Ｂの２つの斜面４３１および４３２が離間する、すなわち、第１の凹部４３Ｂの頂部４３３の頂角が増加するように、変形する。これにより、第１の中心部４５が容易かつ確実に変位することができる。

また、第１の凹部４３Ｂは、境界３８に対して、外側、すなわち、図２中の左側に位置している。
なお、第１の凹部４３Ｂは、図示の構成では境界３８に対して外側に位置しているが、これに限定されず、境界３８に対して内側、すなわち、導入路３６の上面３６１に位置して（設けられて）もよい。

第２の凹部５３Ｂは、貯留部３５の下面３５３の導入路３６（内周面３５４）近傍に、内径漸減部３３の周方向に沿って円環状に形成されている。これにより、第２の易変形部５４Ｂが内径漸減部３３の周方向に沿って形成されることとなり、よって、第２の中心部５６は、その周方向のいかなる部分において均等に変位することができる。
また、第２の易変形部５４Ｂは、第２の凹部５３Ａの２つの斜面５３１および５３２が接近する、すなわち、第２の凹部５３Ａの頂部５３３の頂角が減少するように、変形する。これにより、第２の中心部５６が容易かつ確実に変位することができる。

また、第２の凹部５３Ｂは、境界３８に対して、外側に位置している。
なお、第２の凹部５３Ｂは、図示の構成では境界３８に対して外側に位置しているが、これに限定されず、境界３８に対して内側、すなわち、導入路３６の下面３６２に位置して（設けられて）もよい。
このような構成の金属粉末製造装置１Ｂでは、前記第１実施形態の金属粉末製造装置１Ａと同様に第１の中心部４５および第２の中心部５６がそれぞれ変位する。これにより、オリフィス３４の拡大が規制される。従って、オリフィス３４の大きさを一定に維持することができ、よって、オリフィス３４から噴射される水Ｓの流速を確実に一定に維持することができる。

以上、本発明の金属粉末製造装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、金属粉末製造装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の金属粉末製造装置は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

例えば、第１実施形態の第２の凹部として、第２実施形態の第２の凹部と同様のものを形成してもよい。
また、第１実施形態の第１の凹部として、第２実施形態の第１の凹部と同様のものを形成してもよい。
また、ノズルから噴出するもの（流体）は、水であるが、これに限定されず、例えば、油脂類や溶媒であってもよい。

本発明の金属粉末製造装置の第１実施形態を示す縦断面図である。 図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ａ］の拡大詳細図である。 本発明の金属粉末製造装置の第２実施形態を示す縦断面図である。

符号の説明

１Ａ、１Ｂ……金属粉末製造装置（アトマイザ） ２……供給部 ２１……底部 ２２……内部空間（内腔部） ２３……吐出口 ３Ａ、３Ｂ……ノズル ３１……第１の流路 ３２……第２の流路 ３３……内径漸減部 ３３１……部分 ３４……オリフィス ３４１……内周面 ３４２……外周面 ３５……貯留部 ３５１……上面 ３５２……内周面 ３５３……下面 ３５４……内周面 ３６……導入路（中継路） ３６１……上面 ３６２……下面 ３７……間隙 ３８……境界 ４Ａ、４Ｂ……第１の部材 ４１……上端面 ４２……下部 ４３Ａ、４３Ｂ……第１の凹部 ４３１、４３２……斜面 ４３３……頂部 ４４Ａ、４４Ｂ……第１の易変形部 ４５、４５’……第１の中心部 ４６……部位 ５Ａ、５Ｂ……第２の部材 ５１……下端面 ５２……上部 ５３Ａ、５３Ｂ……第２の凹部 ５３１、５３２……斜面 ５３３……頂部 ５４Ａ、５４Ｂ……第２の易変形部 ５５……下部 ５６、５６’……第２の中心部 ５７……部位 ７……カバー Ｇ……空気（気体） Ｏ……中心軸 Ｑ……溶融金属 Ｑ１……液滴 Ｒ……金属粉末 Ｓ……水（液体） Ｓ１……液体ジェット Ｓ２……頂部

Claims (13)

1. 溶融金属を供給する供給部と、
   前記供給部の下方に設置され、該供給部から供給された溶融金属が通過可能であり、内径が下方に向って漸減する内径漸減部を有する流路と、該流路の下端部に開口し、前記流路に液体を噴射するオリフィスと、液体を一時的に貯留する貯留部と、該貯留部から前記オリフィスに液体を導入する導入路とが形成されたノズルとを有し、
   前記オリフィスから噴射された液体に前記流路を通過する溶融金属を接触させることにより、該溶融金属を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造する金属粉末製造装置であって、
   前記ノズルは、前記オリフィス、前記貯留部および前記導入路を画成する、第１の部材と、該第１の部材の下方に間隙を介して設置された第２の部材とを備え、
   前記第１の部材には、その一部が欠損した第１の凹部と、該第１の凹部により物理的強度が低下して容易に変形可能な第１の易変形部とが形成されており、
   前記第２の部材には、その一部が欠損した第２の凹部と、該第２の凹部により物理的強度が低下して容易に変形可能な第２の易変形部とが形成されており、
   前記ノズルは、少なくとも前記オリフィスを通過する液体の圧力により、前記第１の部材の前記第１の易変形部より前記流路の中心軸側の第１の中心部が、前記第１の易変形部を中心として変位し、かつ、前記第２の部材の前記第２の易変形部より前記流路の中心軸側の第２の中心部が、前記変位した第１の中心部に追従するように変位し、これにより、前記オリフィスを通過する液体の圧力による前記オリフィスの拡大が規制されることを特徴とする金属粉末製造装置。
2. 前記オリフィスは、前記流路の内周面の全周にわたって、スリット状に開口したものである請求項１に記載の金属粉末製造装置。
3. 前記オリフィスは、その内周面が前記第１の部材で画成され、外周面が前記第２の部材で画成されている請求項２に記載の金属粉末製造装置。
4. 前記オリフィスは、液体を、その外形形状が、頂部が下方に位置するほぼ円錐形状をなすように噴射するよう構成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
5. 前記導入路は、その縦断面形状がくさび状をなすものである請求項１ないし４のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
6. 前記内径漸減部は、収斂形状をなしている請求項１ないし５のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
7. 前記第１の凹部は、前記内径漸減部に、その全周にわたって円環状に形成されている請求項１ないし６のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
8. 前記第１の凹部は、前記貯留部の前記導入路近傍に、前記内径漸減部の周方向に沿って円環状に形成されている請求項１ないし６のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
9. 前記第２の凹部は、前記第２の部材の下部の前記オリフィス近傍に、前記内径漸減部の周方向に沿って円環状に形成されている請求項１ないし８のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
10. 前記第２の凹部は、前記貯留部の前記導入路近傍に、前記内径漸減部の周方向に沿って円環状に形成されている請求項１ないし８のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
11. 前記第１の凹部および／または前記第２の凹部の縦断面形状は、ほぼ三角形をなしている請求項１ないし１０のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
12. 前記第１の凹部は、前記貯留部と前記導入路との境界に対して、内側または外側に位置している請求項１ないし１１のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
13. 前記第２の凹部は、前記貯留部と前記導入路との境界に対して、内側または外側に位置している請求項１ないし１２のいずれかに記載の金属粉末製造装置。

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