CN109305824A - 一种干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法 - Google Patents

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Abstract

本发明揭示了一种干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法，陶瓷层损伤包括缺损损伤，当出现缺损损伤时，将环氧树脂液体封孔剂与Al2O3粉末按照2‑3:1的质量比进行混合，将混合的溶剂涂抹在缺损损伤部位，待涂抹的溶剂固化后进行打磨抛光。本发明是一种快捷而方便的局部改善方法，通过液体胶充分包裹粉末颗粒的形式，相互交织，硬化后结构致密，不仅修复了损伤，使得内部缺陷消除和局部结构更为结实，极大的减少了全面翻新的巨额成本和缩短了制作时间，降低了能源、人力耗费；能够提升本公司的生产效益。

Description

一种干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法
技术领域
本发明涉及干法刻蚀领域，尤其涉及干法刻蚀部件陶瓷层损伤修复的方法。
背景技术
干法刻蚀主要设备分为上部电极和下部电极，及陶瓷部件和铝合金壁板部件。由于陶瓷硬、脆和结构致密的属性，在搬运，运输，安装和卸载的过程中，不可避免的会造成棱线，边角的部位出现接触挤压、震动、碰撞等损伤，会引起外观不良，甚至导致功能属性异常，对于下部电极结构较为复杂，基体上有大量的陶瓷粘结，总体结构为三明治结构，在不锈钢或者铝基上部有从下往上依次为，第一绝缘层，导电层，第二绝缘层；此外，还有从基材下端平面延伸到导电层DC port(直流电源端)。当下部电极表面陶瓷层发生破损或局部击穿时，外观和结构出现不良，如果整体翻新需要耗费大量的人力物力资源，周期2～3月，阻碍了原本正常运行的生产。
目前，对于小缺陷采用的是环氧树脂成分的固体真空胶涂抹的方式修补；大缺陷采用的是涂层部分去除，进行表面再生；或者涂层完全去除，进行全面再生的方式修复。制作时间长，成本高，而且增加了大量的搬运和行吊过程，增加了新缺陷出现的机会。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是实现一种快捷、高效、可靠的干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：一种干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法，陶瓷层损伤包括缺损损伤，当出现缺损损伤时，将环氧树脂液体封孔剂与Al2O3粉末按照2-3:1的质量比进行混合，将混合的溶剂涂抹在缺损损伤部位，待涂抹的溶剂固化后进行打磨抛光。
当所述缺损损伤面积大且凹陷浅难以附着混合的溶剂时，预先制作能够覆盖在缺损损伤上方的模具，将混合的溶剂涂抹在缺损损伤部位后使用模具覆盖，待溶剂固化后模具会自动脱离。
陶瓷层损伤还包括电弧损伤，当出现电弧损伤时，将电弧损伤外围贴上遮蔽胶带，再对电弧损伤部位进行喷砂，直至黑色的印记和/或污染物去掉，将环氧树脂液体封孔剂与Al2O3粉末按照2-3:1的质量比进行混合，将混合的溶剂涂抹在电弧损伤部位，待涂抹的溶剂固化后进行打磨抛光。
所述遮蔽胶带的宽度为0.2-0.4m。
所述喷砂采用100-220目的白刚玉，喷砂压力0.25-0.3Mpa，喷射口距离电弧损伤部位0.2-0.4m。
喷砂结束后需要用气枪吹净被喷砂部位。
本发明是一种快捷而方便的局部改善方法，通过液体胶充分包裹粉末颗粒的形式，相互交织，硬化后结构致密，不仅修复了损伤，使得内部缺陷消除和局部结构更为结实，极大的减少了全面翻新的巨额成本和缩短了制作时间，降低了能源、人力耗费；能够提升本公司的生产效益。
具体实施方式
金属氧化物陶瓷Y2O3纯度99.9％以上，颗粒尺寸为63±10um,硬度可达(耐磨性)6.0GPa，介电损耗低，等离子体阻抗高，具有优异的耐热、耐腐蚀、化学稳定性；更高的耐等离子体侵蚀的性能，表现为优秀的等离子抗性；主要用途为制程腔体零部件，根据不同的使用环境，制作相应的功能涂层。
金属氧化物陶瓷Al2O3具有良好的机械强度；电绝缘性、高频损耗；导热性和耐热性、耐磨性；Al2O3纯度99.9％以上，介电层硬度(耐磨性)15.2GPa，耐腐蚀性,常作为功能涂层。
高性能环氧树脂液体封孔剂产品本身具有适宜的操作时间，有高流动性，高渗透性；固化后耐黄变，耐高低温，耐水及化学性能优异，固化后产物具有高硬度、高透明、良好的粘结力、良好的机械性能及电性能，高绝缘阻抗；气密性良好；抗腐蚀性能优异。
对于部件结构完全为陶瓷，如果出现边角损伤时；采用高性能环氧树脂液体封孔剂同喷涂专用粉末Al2O3按2～3:1的比例进行复配，然后用牙签涂抹在缺陷部位，如果缺陷处较浅且大，可制作辅助的塑料模具(将喷涂粉末的内层密封盖沿平面中间裁剪，两片90°粘结即可制作出直角面)，固定在该部分，固化完成后，模具会脱离；接着对固化后的部位进行手动打磨及抛光处理，到达相应的光洁度和外观形状即可。
对于下部电极上面的陶瓷涂层，如果出现arcing(电弧损伤)引起的外观出现黑色印记及局部击穿时，需要在该部位外围贴合0.2～0.4m宽的遮蔽胶带，采用白刚玉100～220目，压力0.25～0.3Mpa；高度为0.2～0.4m，即手动喷砂的方式，将黑色的印记及污染物去掉，用气枪将该处吹干净，如果陶瓷涂层成分为Al2O3时，采用高性能环氧树脂液体封孔剂同喷涂专用粉末Al2O3按2～3:1的比例进行复配，如果陶瓷涂层成分为Y2O3时，采用高性能环氧树脂液体封孔剂同喷涂粉末Al2O3按2～3:1的比例进行复配然后用牙签涂抹在缺陷部位，如果缺陷较浅且大，可制作辅助的塑料模具(将喷涂粉末的内层密封盖沿平面中间裁剪，两片90°粘结即可制作出直角面)，固定在改部分，固化完成后，模型会脱离；接着对固化后的部位进行手动打磨及抛光处理，到达相应的光洁度和外观形状即可。

Claims (6)

1.一种干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法，陶瓷层损伤包括缺损损伤，其特征在于：当出现缺损损伤时，将环氧树脂液体封孔剂与Al2O3粉末按照2-3:1的质量比进行混合，将混合的溶剂涂抹在缺损损伤部位，待涂抹的溶剂固化后进行打磨抛光。
2.根据权利要求1所述的干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法，其特征在于：当所述缺损损伤面积大且凹陷浅难以附着混合的溶剂时，预先制作能够覆盖在缺损损伤上方的模具，将混合的溶剂涂抹在缺损损伤部位后使用模具覆盖，待溶剂固化后模具会自动脱离。
3.根据权利要求1或2所述的干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法，其特征在于：陶瓷层损伤还包括电弧损伤，当出现电弧损伤时，将电弧损伤外围贴上遮蔽胶带，再对电弧损伤部位进行喷砂，直至黑色的印记和/或污染物去掉，将环氧树脂液体封孔剂与Al2O3粉末按照2-3:1的质量比进行混合，将混合的溶剂涂抹在电弧损伤部位，待涂抹的溶剂固化后进行打磨抛光。
4.根据权利要求3所述的干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法，其特征在于：所述遮蔽胶带的宽度为0.2-0.4m。
5.根据权利要求4所述的干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法，其特征在于：所述喷砂采用100-220目的白刚玉，喷砂压力0.25-0.3Mpa，喷射口距离电弧损伤部位0.2-0.4m。
6.根据权利要求5所述的干法刻蚀部件陶瓷层损伤的修复方法，其特征在于：喷砂结束后需要用气枪吹净被喷砂部位。
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