CN109055898B - 一种薄膜蒸镀装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及镀膜加工设备技术领域，具体的说是一种薄膜蒸镀装置，包括燃烧炉、加工箱、封堵机构、液压杆、真空泵、流通板、工件安装机构以及夹持机构，本发明安装板与安装座之间为可拆卸连接，并且每个安装板的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构，每个夹持机构都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便；在流通板向上运动的过程中，流通板能够始终对流通板的底部进行封堵，从而保证流通板的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱内的空气进入量，减少后期真空泵的工作量。

Description

一种薄膜蒸镀装置
技术领域
本发明涉及镀膜加工设备技术领域，具体的说是一种薄膜蒸镀装置。
背景技术
蒸发镀膜常称真空镀膜，其特点是在真空条件下，材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜，再经高温热处理后，在玻璃表面形成附着力很强的膜层。
在进行薄膜蒸镀加工时，需要保证加工箱内处于真空状态，而当加工人员更换加工件时，外界空气便会充满整个加工箱内并且还可使得内部蒸发分子流失，使得后续加工时真空泵的工作量较大，还需要再次加热蒸发补充新的蒸发气体；单次加工的工件数目较少，并且更换过程更为费时费力。鉴于此，本发明提供了一种薄膜蒸镀装置，其具有以下特点：
(1)本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，安装板与安装座之间为可拆卸连接，并且每个安装板的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构，每个夹持机构都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便。
(2)本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，在流通板向上运动的过程中，流通板能够始终对流通板的底部进行封堵，从而保证流通板的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱内的空气进入量，减少后期真空泵的工作量，并且流通板还可对其底部区域的蒸发气体进行封堵，避免其流失。
(3)本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，转动电机可带动基板转动，使得基板的各个面均能够与蒸发出来的原子或分子充分接触，使得镀膜效果更好，镀膜更为均匀。
发明内容
针对现有技术中的问题，本发明提供了一种薄膜蒸镀装置，安装板与安装座之间为可拆卸连接，并且每个安装板的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构，每个夹持机构都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便；在流通板向上运动的过程中，流通板能够始终对流通板的底部进行封堵，从而保证流通板的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱内的空气进入量，减少后期真空泵的工作量；转动电机可带动基板转动，使得基板的各个面均能够与蒸发出来的原子或分子充分接触，使得镀膜效果更好，镀膜更为均匀。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种薄膜蒸镀装置，包括燃烧炉、加工箱、封堵机构、液压杆、真空泵、流通板、工件安装机构以及夹持机构，所述燃烧炉的顶部设有所述加工箱，所述加工箱的顶部两侧壁设有所述液压杆，所述液压杆的端部连接所述封堵机构；所述封堵机构用以对所述加工箱的顶端进行封堵控制，所述液压杆用以带动所述封堵机构上下运动；所述封堵机构的侧壁连接有所述工件安装机构，所述工件安装机构的底面设有所述夹持机构，所述夹持机构用以固定工件；所述封堵机构的底端转动连接所述流通板，所述流通板用以方便蒸汽流通；所述燃烧炉的侧壁与所述真空泵连通。
具体的，所述加工箱的内部底层设有储料槽，所述加工箱的侧壁配合连接有加料板，所述加料板位于所述储料槽的顶部。
具体的，所述封堵机构包括封闭板、连接板、橡胶塞、转动电机、安装座以及传动杆，所述连接板固定于所述液压杆的顶端，所述连接板对称设于所述封闭板的两侧壁，所述封闭板的底面设有所述橡胶塞，所述橡胶塞嵌入于所述加工箱的顶端，所述橡胶塞的底面设有所述转动电机，所述转动电机转动连接所述安装座，所述安装座的底面中心处垂直设有所述传动杆。
具体的，所述安装座的两侧壁均开有限位槽，所述限位槽的内部封闭端设有电磁铁。
具体的，所述工件安装机构包括安装板、滑柱以及把手，所述滑柱滑动嵌入于所述限位槽的内部，所述滑柱与所述电磁铁相对的一端设有磁铁，所述磁铁与所述电磁铁配合连接，所述滑柱设于所述安装板的侧壁，所述安装板与所述传动杆垂直分布，所述安装板的顶面设有所述把手。
具体的，所述夹持机构呈矩形阵列分布于所述安装板的底面，所述夹持机构包括第一固定板、第二固定板以及夹持螺钉，所述第一固定板、所述第二固定板间隔垂直设于所述安装板的底面，所述夹持螺钉贯穿于所述第一固定板，所述第一固定板、所述第二固定板之间设于基板主体，所述夹持螺钉的端部与所述基板主体的侧面贴合。
具体的，所述流通板的内部开有若干的通气孔，所述流通板的底面与所述通气孔相对安装有电磁阀，所述流通板的表面中心处转动连接所述传动杆，所述流通板的侧壁与所述加工箱的内壁紧密贴合。
本发明的有益效果：
(1)本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，安装板与安装座之间为可拆卸连接，并且每个安装板的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构，每个夹持机构都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便。
(2)本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，在流通板向上运动的过程中，流通板能够始终对流通板的底部进行封堵，从而保证流通板的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱内的空气进入量，减少后期真空泵的工作量，并且流通板还可对其底部区域的蒸发气体进行封堵，避免其流失。
(3)本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，转动电机可带动基板转动，使得基板的各个面均能够与蒸发出来的原子或分子充分接触，使得镀膜效果更好，镀膜更为均匀。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1为本发明提供的薄膜蒸镀装置的一种较佳实施例的结构示意图；
图2为图1所示的工件安装机构结构示意图；
图3为图2所示的夹持机构结构示意图；
图4为图2所示的工件安装机构与安装座连接连接结构示意图；
图5为图1所示的整体分离结构示意图；
图6为图1所示的流通板结构示意图。
图中：1、燃烧炉，2、加工箱，21、储料槽，3、封堵机构，31、封闭板，32、安装板，33、橡胶塞，34、转动电机，35、安装座，351、限位槽，352、电磁铁，36、传动杆，4、液压杆，5、真空泵，6、流通板，61、流通孔，62、电磁阀，7、加料板，8、工件安装机构，81、安装板，82、滑柱，821、磁铁，83、把手，9、夹持机构，91、第一固定板，92、第二固定板，93、夹持螺钉，9a、基板主体。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1-图6所示，本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，包括燃烧炉1、加工箱2、封堵机构3、液压杆4、真空泵5、流通板6、工件安装机构8以及夹持机构9，所述燃烧炉1的顶部设有所述加工箱2，所述加工箱2的顶部两侧壁设有所述液压杆4，所述液压杆4的端部连接所述封堵机构3；所述封堵机构3用以对所述加工箱2的顶端进行封堵控制，所述液压杆4用以带动所述封堵机构3上下运动；所述封堵机构3的侧壁连接有所述工件安装机构8，所述工件安装机构8的底面设有所述夹持机构9，所述夹持机构9用以固定工件；所述封堵机构3的底端转动连接所述流通板6，所述流通板6用以方便蒸汽流通；所述燃烧炉1的侧壁与所述真空泵5连通。
具体的，如图1所示，所述加工箱2的内部底层设有储料槽21，所述加工箱2的侧壁配合连接有加料板7，所述加料板7位于所述储料槽21的顶部；通过储料槽21能够对固体进行储存，加料板7能够快速添加新的固体原料。
具体的，如图1所示，所述封堵机构3包括封闭板31、连接板32、橡胶塞33、转动电机34、安装座35以及传动杆36，所述连接板32固定于所述液压杆4的顶端，所述连接板32对称设于所述封闭板31的两侧壁，所述封闭板31的底面设有所述橡胶塞33，所述橡胶塞33嵌入于所述加工箱2的顶端，所述橡胶塞33的底面设有所述转动电机34，所述转动电机34转动连接所述安装座35，所述安装座35的底面中心处垂直设有所述传动杆36；所述安装座35的两侧壁均开有限位槽351，所述限位槽351的内部封闭端设有电磁铁352；封闭板31能够对箱体进行封闭、橡胶塞33用以提高密封性，通过转动电机34带动安装座35转动，可使得镀膜更为均匀。
具体的，如图2和图4所示，所述工件安装机构8包括安装板81、滑柱82以及把手83，所述滑柱82滑动嵌入于所述限位槽351的内部，所述滑柱82与所述电磁铁352相对的一端设有磁铁821，所述磁铁821与所述电磁铁352配合连接，所述滑柱82设于所述安装板81的侧壁，所述安装板81与所述传动杆36垂直分布，所述安装板81的顶面设有所述把手83；通过电磁铁352与磁铁821的配合能够实现工件安装机构8的快速固定限位，以便快速更换基板。
具体的，如图2和图3所示，所述夹持机构9呈矩形阵列分布于所述安装板81的底面，所述夹持机构9包括第一固定板91、第二固定板92以及夹持螺钉93，所述第一固定板91、所述第二固定板92间隔垂直设于所述安装板81的底面，所述夹持螺钉93贯穿于所述第一固定板91，所述第一固定板91、所述第二固定板92之间设于基板主体9a，所述夹持螺钉93的端部与所述基板主体9a的侧面贴合；通过夹持机构9能够对不同厚度的基板进行夹持固定，操作简便，拆卸、安装迅速。
具体的，如图6所示，所述流通板6的内部开有若干的通气孔61，所述流通板6的底面与所述通气孔61相对安装有电磁阀62，所述流通板6的表面中心处转动连接所述传动杆36，所述流通板6的侧壁与所述加工箱2的内壁紧密贴合；通气孔61能够便于气体的流通，电磁阀62用以对流通过程进行控制。
安装板81与安装座35之间为可拆卸连接，并且每个安装板81的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构9，每个夹持机构9都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便；在流通板6向上运动的过程中，流通板6能够始终对流通板6的底部进行封堵，从而保证流通板6的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱2内的空气进入量，减少后期真空泵5的工作量；转动电机34可带动基板转动，使得基板的各个面均能够与蒸发出来的原子或分子充分接触，使得镀膜效果更好，镀膜更为均匀。具体的有：
(1)在进行镀膜前，先将基板的顶端伸入到第一固定板91、第二固定板92之间，然后拧紧夹持螺钉93，使得夹持螺钉93能够对基板进行夹持固定，同样将各个基板均固定在对应的夹持机构9底部；然后将安装板81侧壁的滑柱82伸入到限位槽351内，接通电磁铁352的电源，使得电磁铁352能够与磁铁821吸附在一起，从而对安装板81进行限位固定；
(2)启动液压杆4，带动封闭板31向下运动，橡胶塞33向下运动塞入到加工箱2内，当封闭板31与加工箱2的顶面紧密贴合时便可停止；然后启动燃烧炉1，燃烧炉1对储料槽21内的固体原料进行加热，固定原料最终被加热蒸发，蒸发出来的原子或分子能自由地弥布到流通板6、储料槽21之间，随后打开电磁阀62，使得固体蒸发气体能够通过电磁阀62、通气孔61向上运动，然后进入到橡胶塞33与流通板6之间的区域，蒸发出来的原子或分子就会吸附在基板上逐渐形成一层薄膜，并且与此同时，转动电机34带动安装座35、安装板81同步转动，使得基板能够不断的转动，基板的各个面均能够与蒸发出来的原子或分子充分接触，使得镀膜效果更好；
(3)当基板镀膜完成后，液压杆4驱动封闭板31向上运动，封闭板31不断运动的过程中，电磁阀62处于关闭状态，流通板6会在传动杆36的带动下向上运动至加工箱2的内部顶端，当基板均离开加工箱2时，液压杆4便可停止工作，断开电磁铁352的电源，然后工作人员握住把手83并拖动安装板81，使得滑柱8离开限位槽351，从而将镀膜完成的工件安装机构8拆下，然后将未镀膜的工件安装机构8固定在安装座35，实现对于基板的快速更换，能够单次对多个基板进行加工，极大的提高了生产效率；在流通板6向上运动的过程中，流通板6能够始终对流通板6的底部进行封堵，从而保证流通板6的底部区域始终处于真空状态；
(4)更换完成后，液压杆4带动封堵机构3向下运动至原位，实现对于加工箱2的再次封堵，而在此段时间内，橡胶塞33与流通板6之间会流通气体，在加工前，启动真空泵5将流入的气体抽出便可，然后打开电磁阀62，便可开始下次加工；当原料不足时，可打开加料板7放入固体原料，进行再次加热。
本发明安装板81与安装座35之间为可拆卸连接，并且每个安装板81的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构9，每个夹持机构9都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便；在流通板6向上运动的过程中，流通板6能够始终对流通板6的底部进行封堵，从而保证流通板6的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱2内的空气进入量，减少后期真空泵5的工作量，并且流通板还可对其底部区域的蒸发气体进行封堵，避免其流失；转动电机34可带动基板转动，使得基板的各个面均能够与蒸发出来的原子或分子充分接触，使得镀膜效果更好，镀膜更为均匀。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施方式和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入本发明要求保护的范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (4)

1.一种薄膜蒸镀装置，其特征在于：包括燃烧炉(1)、加工箱(2)、封堵机构(3)、液压杆(4)、真空泵(5)、流通板(6)、工件安装机构(8)以及夹持机构(9)，所述燃烧炉(1)的顶部设有所述加工箱(2)，所述加工箱(2)的顶部两侧壁设有所述液压杆(4)，所述液压杆(4)的端部连接所述封堵机构(3)；所述封堵机构(3)用以对所述加工箱(2)的顶端进行封堵控制，所述液压杆(4)用以带动所述封堵机构(3)上下运动；所述封堵机构(3)的侧壁连接有所述工件安装机构(8)，所述工件安装机构(8)的底面设有所述夹持机构(9)，所述夹持机构(9)用以固定工件；所述封堵机构(3)的底端转动连接所述流通板(6)，所述流通板(6)用以方便蒸汽流通；所述燃烧炉(1)的侧壁与所述真空泵(5)连通；
所述封堵机构(3)包括封闭板(31)、连接板(32)、橡胶塞(33)、转动电机(34)、安装座(35)以及传动杆(36)，所述连接板(32)固定于所述液压杆(4)的顶端，所述连接板(32)对称设于所述封闭板(31)的两侧壁，所述封闭板(31)的底面设有所述橡胶塞(33)，所述橡胶塞(33)嵌入于所述加工箱(2)的顶端，所述橡胶塞(33)的底面设有所述转动电机(34)，所述转动电机(34)转动连接所述安装座(35)，所述安装座(35)的底面中心处垂直设有所述传动杆(36)；
所述安装座(35)的两侧壁均开有限位槽(351)，所述限位槽(351)的内部封闭端设有电磁铁(352)；
所述工件安装机构(8)包括安装板(81)、滑柱(82)以及把手(83)，所述滑柱(82)滑动嵌入于所述限位槽(351)的内部，所述滑柱(82)与所述电磁铁(352)相对的一端设有磁铁(821)，所述磁铁(821)与所述电磁铁(352)配合连接，所述滑柱(82)设于所述安装板(81)的侧壁，所述安装板(81)与所述传动杆(36)垂直分布，所述安装板(81)的顶面设有所述把手(83)。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述加工箱(2)的内部底层设有储料槽(21)，所述加工箱(2)的侧壁配合连接有加料板(7)，所述加料板(7)位于所述储料槽(21)的顶部。
3.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述夹持机构(9)呈矩形阵列分布于所述安装板(81)的底面，所述夹持机构(9)包括第一固定板(91)、第二固定板(92)以及夹持螺钉(93)，所述第一固定板(91)、所述第二固定板(92)间隔垂直设于所述安装板(81)的底面，所述夹持螺钉(93)贯穿于所述第一固定板(91)，所述第一固定板(91)、所述第二固定板(92)之间设于基板主体(9a)，所述夹持螺钉(93)的端部与所述基板主体(9a)的侧面贴合。
4.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述流通板(6)的内部开有若干的通气孔(61)，所述流通板(6)的底面与所述通气孔(61)相对安装有电磁阀(62)，所述流通板(6)的表面中心处转动连接所述传动杆(36)，所述流通板(6)的侧壁与所述加工箱(2)的内壁紧密贴合。
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