CN108996242A - 一种非接触式的气浮爪装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种非接触式的气浮爪装置,属于气浮输送技术领域。包括:负压壳体,负压壳体连接有一负压气管,负压壳体内设置有负压气腔,负压气腔与负压气管连通;正压壳体,正压壳体连接有一正压气管,正压壳体内设置有正压气腔,正压气腔与正压气管连通,正压壳体的下端面设置有若干负压气孔和若干正压气孔,若干正压气孔与正压气腔连通,若干负压气孔与负压气腔连通;或正压壳体的下端面设置有若干负压气孔和正压微孔透气复合材料;气浮吸盘转接件,气浮吸盘转接件布置在负压壳体的上端面。本发明提供的一种非接触式的气浮爪装置结构简单、环保清洁,解决了玻璃基板在搬运过程造成的污染划伤等问题。

Description

一种非接触式的气浮爪装置
技术领域
本发明涉及气浮输送技术领域,具体是涉及一种非接触式的气浮爪装置。
背景技术
目前随着平板显示技术的迅速发展,对传输玻璃基板的自动化设备的要求越来越高。玻璃基板的尺寸逐渐增大,厚度不断减小。玻璃基板搬运的高平稳、高速度、高洁净,能够提高生产效率,对于FPD行业的大规模生产有着极为重要的意义。
玻璃搬运机器人是PFD行业内解决玻璃基板搬运的自动化设备。然而大多数的玻璃机器人的末端执行机构都是采用接触式的方式进行抓取。这种方式能够满足玻璃基板搬运的高平稳、高速度的要求,但是在玻璃基板前后制程中接触式的抓取方式会带来一定程度上的划痕以及交叉污染,影响了玻璃基板的性能。
发明内容
针对现有技术中存在的上述问题,旨在提供一种非接触式的气浮爪装置,通过气体悬浮的方式来运输玻璃基板,解决了以往玻璃基板在搬运过程带来的交叉污染、划痕等问题。
具体技术方案如下:
一种非接触式的气浮爪装置,包括:
负压壳体,负压壳体连接有一负压气管,负压壳体内设置有负压气腔,负压气腔与负压气管连通,负压壳体的下端面与一负压转接板的上端面连接;
正压壳体,正压壳体连接有一正压气管,正压壳体内设置有正压气腔,正压气腔与正压气管连通,正压壳体的上端面与负压转接板的下端面连接,正压壳体的下端面设置有若干负压气孔和若干正压气孔,若干正压气孔与正压气腔连通,若干负压气孔与负压气腔连通;或正压壳体的下端面设置有若干负压气孔和正压微孔透气复合材料,若干负压气孔与负压气腔连通,正压微孔透气复合材料与正压气腔连通;
气浮吸盘转接件,气浮吸盘转接件布置在负压壳体的上端面。
上述的一种非接触式的气浮爪装置中,还具有这样的特征,负压壳体的下端面与负压转接板的上端面通过螺纹紧固件连接;正压壳体的上端面与负压转接板的下端面通过螺纹紧固件连接。
上述的一种非接触式的气浮爪装置中,还具有这样的特征,若干负压气孔呈矩形阵列均布在正压壳体的下端面,每相邻两行负压气孔之间设置有一行正压气孔,每相邻两列负压气孔之间设置有一列正压气孔。
上述的一种非接触式的气浮爪装置中,还具有这样的特征,正压气腔内均匀设置有若干负压节流孔,每一负压节流孔的一端与负压气孔连通,每一负压节流孔的另一端与负压气腔连通。
上述的一种非接触式的气浮爪装置中,还具有这样的特征,正压气腔的下端还均匀连通有若干正压节流孔,每一正压节流孔与一正压气孔连通,若干正压节流孔与若干负压节流孔间隔设置。
上述的一种非接触式的气浮爪装置中,还具有这样的特征,每一正压节流孔与正压气腔之间设置有一正压缓冲腔,每一正压节流孔与正压气孔之间设置有正压压力腔。
上述的一种非接触式的气浮爪装置中,还具有这样的特征,若干负压气孔呈矩形阵列均匀布置在正压壳体的下端面,且正压壳体的下端面非负压气孔的位置处均铺设有正压微孔透气复合材料。
上述的一种非接触式的气浮爪装置中,还具有这样的特征,正压气腔内均匀设置有若干负压微孔,每一负压微孔的一端与负压气腔连通,每一负压微孔的另一端与一负压气孔连通。
上述的一种非接触式的气浮爪装置中,还具有这样的特征,正压气腔内还均匀设置有若干正压微孔,若干正压微孔与若干负压微孔间隔设置。
上述的一种非接触式的气浮爪装置中,还具有这样的特征,每一正压微孔的一端与正压气腔连通,每一正压微孔的另一端与正压微孔透气复合材料连通。
上述技术方案的积极效果是:
本发明提供的一种非接触式的气浮爪装置,结构简单,采用压缩气体作为动力源环保清洁,通过在正压壳体下端面产生负压气流与正压气流的方式产生吸附力与推力,使吸附力与推力、玻璃基板重力两者之和达到平衡,实现玻璃基板的悬浮和运输,解决了以往玻璃基板在搬运过程带来的交叉污染、划痕等问题,运输过程稳定可靠。
附图说明
图1为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例的立体图;
图2为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例的正视图;
图3为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例一的剖视图;
图4为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例一的仰视图;
图5为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例二的剖视图;
图6为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例二的仰视图。
附图中:1、负压气管;2、正压气管;3、气浮吸盘转接件;4、负压壳体;5、负压转接板;6、螺纹紧固件;7、螺纹紧固件;8、正压壳体;9、玻璃基板;10、负压气腔;11、负压节流孔;12、负压气流;13、正压气流;14、正压气腔;15、正压缓冲腔;16、正压节流孔;17、正压压力腔;18、负压气孔;19、正压气孔;20、负压气腔;21、负压微孔;22、负压气流;23、正压气流;24、正压微孔;25、正压微孔透气复合材料;26、负压气孔;27、正压气腔。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,以下实施例结合附图1至附图6对本发明提供的一种非接触式的气浮爪装置作具体阐述。
实施例一:
图1为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例的立体图;图2为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例的正视图;图3为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例一的剖视图;图4为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例一的仰视图。在本实施例中,该非接触式的气浮爪装置主要包括负压气管1、正压气管2、气浮吸盘转接件3、负压壳体4、负压转接板5、螺纹紧固件6、螺纹紧固件7、正压壳体8、玻璃基板9、负压气腔10、负压节流孔11、负压气流12、正压气流13、正压气腔14、正压缓冲腔15、正压节流孔16、正压压力腔17、负压气孔18、正压气孔19。
负压壳体4连接有一负压气管1,负压气管1还连接有一负压产生装置,负压壳体4内设置有负压气腔10,负压气腔10与负压气管1连通,负压产生装置工作时,负压气腔10内保持有一定负压,负压壳体4的下端面与一负压转接板5的上端面连接,负压转接板5用于将负压气腔10与正压气腔14分隔开,正压壳体8连接有一正压气管2,正压气管2还连接有一正压产生装置,正压壳体8内设置有正压气腔14,正压气腔14与正压气管2连通,正压产生装置工作时,正压气腔14内保持有一定正压,正压壳体8的上端面与负压转接板5的下端面连接,正压壳体8的下端面设置有若干负压气孔18和若干正压气孔19,若干正压气孔19与正压气腔14连通,若干负压气孔18与负压气腔10连通,若干负压气孔18处产生负压气流12,若干正压气孔19处产生正压气流13,玻璃基板9被吸附在若干负压气孔18和若干正压气孔19的下方,气浮吸盘转接件3布置在负压壳体4的上端面。
在一种优选的实施方式中,如图2所示,负压壳体4的下端面与负压转接板5的上端面通过螺纹紧固件7连接;正压壳体8的上端面与负压转接板5的下端面通过螺纹紧固件6连接,方便负压壳体4与正压壳体8在负压转接板5的拆卸。
在一种优选的实施方式中,如图4所示,若干负压气孔18呈矩形阵列均布在正压壳体8的下端面,每相邻两行负压气孔18之间设置有一行正压气孔19,每相邻两列负压气孔18之间设置有一列正压气孔19,若干负压气孔18与若干正压气孔19均匀间隔设置,使负压气流12和正压气流13对玻璃基板9的吸附力更加均匀。
在一种优选的实施方式中,如图3所示,正压气腔14内均匀设置有若干负压节流孔11,每一负压节流孔11的一端与负压气孔18连通,每一负压节流孔11的另一端与负压气腔10连通。负压气流12从负压气孔18进入,经过负压节流孔11到负压气腔10中,每个负压气孔18处产生有吸附力。
在一种优选的实施方式中,如图3所示,正压气腔14的下端还均匀连通有若干正压节流孔16,每一正压节流孔16与一正压气孔19连通,若干正压节流孔16与若干负压节流孔11间隔设置。正压气流13从正压气腔14出来后,经过正压节流孔16,从正压气孔19排出,每个正压气孔19处产生有推力。
在一种优选的实施方式中,如图3所示,每一正压节流孔16与正压气腔14之间设置有一正压缓冲腔15,每一正压节流孔16与正压气孔19之间设置有正压压力腔17。正压缓冲腔15使正压气流13进入正压节流孔16内的气体气压更加平稳,从而使正压气流13对玻璃基板9的推力更加稳定。
以下,以一种具体的实施方式进行说明,需要指出的是,以下实施方式中所描述之结构、工艺、选材仅用以说明实施方式的可行性,并无限制本发明保护范围之意图。
本发明的工作原理是:来自空气压缩的气体分别通过正压气管2、负压气管1进入正压气腔14和负压气腔10。正压气管2、正压缓冲腔15、正压节流孔16、正压压力腔17以及正压气腔14形成装置的正压系统。负压气管1、负压节流孔11以及负压气腔10形成装置的负压系统。当负压气腔10形成的气压力等于正压气腔14形成的气压力与玻璃基板9的重力之和时,整个系统达到平衡,于是实现了玻璃基板9的悬浮与运输。其中,正压系统中的正压缓冲腔15能够使得进入正压节流孔16的气压变得平稳。正压压力腔17的存在使得气体压力降低,更加有利于系统的平衡。正压气孔19、负压气孔18交错均布排列在气浮盘的表面。这种交错排列能提高该气浮爪的抗干扰能力,在玻璃基板9的运送过程中,不会因为外界的干扰使得玻璃基板9掉落。
本实施例提供的一种非接触式的气浮爪装置中负压气孔18和若干正压气孔19分别均匀布置在正压壳体8的下端面,其中每一负压气孔18通过负压节流孔11与负压气腔10连通,每一正压气孔19通过正压节流孔16与正压气腔14连通,使得负压气孔18处产生的吸附力与正压气孔19处产生的推力更加均匀,该非接触式的气浮爪装置结构简单、环保清洁,通过气体悬浮的方式来运输玻璃基板,解决了以往玻璃基板在搬运过程带来的交叉污染、划痕等问题。
实施例二:
图1为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例的立体图;图2为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例的正视图;图5为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例二的剖视图;图6为本发明的一种非接触式的气浮爪装置的实施例二的仰视图。在本实施例中,该非接触式的气浮爪装置主要包括负压气管1、正压气管2、气浮吸盘转接件3、负压壳体4、负压转接板5、螺纹紧固件6、螺纹紧固件7、正压壳体8、玻璃基板9、负压气腔20、负压微孔21、负压气流22、正压气流23、正压微孔24、正压微孔透气复合材料25、负压气孔26、正压气腔27。
负压壳体4连接有一负压气管1,负压气管1还连接有一负压产生装置,负压壳体4内设置有负压气腔10,负压气腔10与负压气管1连通,负压产生装置工作时,负压气腔10内保持有一定负压,负压壳体4的下端面与一负压转接板5的上端面连接。正压壳体8连接有一正压气管2,正压气管2还连接有一正压产生装置,正压壳体8内设置有正压气腔27,正压气腔27与正压气管2连通,正压产生装置工作时,正压气腔27内保持有一定正压,正压壳体4的上端面与负压转接板5的下端面连接,正压壳体8的下端面设置有若干负压气孔26和正压微孔透气复合材料25,若干负压气孔26与负压气腔20连通,正压微孔透气复合材料25与正压气腔27连通。若干负压气孔26处产生负压气流22,正压微孔透气复合材料25处产生正压气流23,玻璃基板9被吸附在若干负压气孔26和正压微孔透气复合材料25的下方,气浮吸盘转接件3布置在负压壳体4的上端面。
在一种优选的实施方式中,如图2所示,负压壳体4的下端面与负压转接板5的上端面通过螺纹紧固件7连接;正压壳体4的上端面与负压转接板5的下端面通过螺纹紧固件6连接,方便负压壳体4与正压壳体8在负压转接板5的拆卸。
在一种优选的实施方式中,如图6所示,若干负压气孔26呈矩形阵列均匀布置在正压壳体8的下端面,且正压壳体8的下端面非负压气孔的位置处均铺设有正压微孔透气复合材料25,使负压气流22和正压气流23对玻璃基板9的吸附力更加均匀。
在一种优选的实施方式中,如图5所示,正压气腔27内均匀设置有若干负压微孔21,每一负压微孔21的一端与负压气腔20连通,每一负压微孔21的另一端与一负压气孔26连通。负压气流22从负压气孔26进入,经过负压微孔21到负压气腔20中,每个负压气孔26处产生有吸附力。
在一种优选的实施方式中,如图5所示,正压气腔27内还均匀设置有若干正压微孔24,若干正压微孔24与若干负压微孔21间隔设置。正压气流23从正压气腔27出来后,经过正压微孔24,从正压微孔透气复合材料25处排出,正压微孔透气复合材料25处产生有推力。
在一种优选的实施方式中,如图5所示,每一正压微孔24的一端与正压气腔27连通,每一正压微孔24的另一端与正压微孔透气复合材料25连通,正压微孔透气复合材料25具体多孔的性质,能够保证正压气流23出去的气体的平稳性。
本发明的工作原理是:来自空气压缩的气体分别通过正压气管2、负压气管1进入正压气腔27和负压气腔20。正压气管2、正压气腔27、正压微孔24以及正压微孔透气复合材料25形成装置的正压系统。负压气管1、负压微孔21以及负压气腔20形成负压系统。当负压气腔20形成的气压力等于正压气腔27形成的气压力与玻璃基板9的重力之和时,整个系统达到平衡,于是实现了玻璃基板9的悬浮和运输。其中,正压微孔透气复合材料25具有多孔的性质,能够保证正压系统出去的气体的平稳性。整个气浮吸盘平面,除去负压气孔26,其余位置均为复合材料。
本实施例提供的一种非接触式的气浮爪装置中负压气孔26和正压微孔透气复合材料25均匀布置在负压壳体4的下端面,负压气孔26通过负压微孔21与负压气腔20连通,正压微孔透气复合材料25通过正压微孔24与正压气腔27连通,使得负压气孔26处产生的吸附力和正压微孔透气复合材料25处产生的推力更加均匀,该非接触式的气浮爪装置结构简单、环保清洁,通过气体悬浮的方式来运输玻璃基板,解决了以往玻璃基板在搬运过程带来的交叉污染、划痕等问题。
以上仅为本发明较佳的实施例,并非因此限制本发明的实施方式及保护范围,对于本领域技术人员而言,应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案,均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,包括:
负压壳体,所述负压壳体连接有一负压气管,所述负压壳体内设置有负压气腔,所述负压气腔与所述负压气管连通,所述负压壳体的下端面与一负压转接板的上端面连接;
正压壳体,所述正压壳体连接有一正压气管,所述正压壳体内设置有正压气腔,所述正压气腔与所述正压气管连通,所述正压壳体的上端面与所述负压转接板的下端面连接,所述正压壳体的下端面设置有若干负压气孔和若干正压气孔,若干所述正压气孔与所述正压气腔连通,若干所述负压气孔与所述负压气腔连通;或所述正压壳体的下端面设置有若干所述负压气孔和正压微孔透气复合材料,若干所述负压气孔与所述负压气腔连通,所述正压微孔透气复合材料与所述正压气腔连通;
气浮吸盘转接件,所述气浮吸盘转接件布置在所述负压壳体的上端面。
2.根据权利要求1所述的一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,所述负压壳体的下端面与所述负压转接板的上端面通过螺纹紧固件连接;所述正压壳体的上端面与所述负压转接板的下端面通过螺纹紧固件连接。
3.根据权利要求1所述的一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,若干所述负压气孔呈矩形阵列均布在所述正压壳体的下端面,每相邻两行所述负压气孔之间设置有一行所述正压气孔,每相邻两列所述负压气孔之间设置有一列所述正压气孔。
4.根据权利要求3所述的一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,所述正压气腔内均匀设置有若干负压节流孔,每一所述负压节流孔的一端与所述负压气孔连通,每一所述负压节流孔的另一端与所述负压气腔连通。
5.根据权利要求4所述的一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,所述正压气腔的下端还均匀连通有若干正压节流孔,每一所述正压节流孔与一所述正压气孔连通,若干所述正压节流孔与若干所述负压节流孔间隔设置。
6.根据权利要求5所述的一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,每一所述正压节流孔与所述正压气腔之间设置有一正压缓冲腔,每一所述正压节流孔与所述正压气孔之间设置有正压压力腔。
7.根据权利要求1所述的一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,若干所述负压气孔呈矩形阵列均匀布置在所述正压壳体的下端面,且所述正压壳体的下端面非所述负压气孔的位置处均铺设有所述正压微孔透气复合材料。
8.根据权利要求7所述的一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,所述正压气腔内均匀设置有若干负压微孔,每一所述负压微孔的一端与所述负压气腔连通,每一所述负压微孔的另一端与一所述负压气孔连通。
9.根据权利要求8所述的一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,所述正压气腔内还均匀设置有若干正压微孔,若干所述正压微孔与若干所述负压微孔间隔设置。
10.根据权利要求9所述的一种非接触式的气浮爪装置,其特征在于,每一所述正压微孔的一端与所述正压气腔连通,每一所述正压微孔的另一端与所述正压微孔透气复合材料连通。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110980280A (zh) * 2019-11-28 2020-04-10 东莞理工学院 一种非接触多点式气浮抓取装置
CN111017556A (zh) * 2019-11-28 2020-04-17 东莞理工学院 一种非接触环面式吸浮装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6387439A (ja) * 1986-09-29 1988-04-18 Hitachi Ltd 板状体の保持装置
JP2007073876A (ja) * 2005-09-09 2007-03-22 V Technology Co Ltd ワークステージ及び露光装置
US20070195653A1 (en) * 2004-04-14 2007-08-23 Yuval Yassour Non-contact support platforms for distance adjustment
CN101101856A (zh) * 2006-07-04 2008-01-09 大日本网目版制造株式会社 基板处理装置
US20080229811A1 (en) * 2007-03-20 2008-09-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Stabilizing a substrate using a vacuum preload air bearing chuck
CN101894781A (zh) * 2009-05-21 2010-11-24 由田新技股份有限公司 悬吊式气浮工作平台
CN102639415A (zh) * 2009-07-22 2012-08-15 齐默尔曼和席尔普搬运技术有限责任公司 无接触式真空夹持器

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6387439A (ja) * 1986-09-29 1988-04-18 Hitachi Ltd 板状体の保持装置
US20070195653A1 (en) * 2004-04-14 2007-08-23 Yuval Yassour Non-contact support platforms for distance adjustment
JP2007073876A (ja) * 2005-09-09 2007-03-22 V Technology Co Ltd ワークステージ及び露光装置
CN101101856A (zh) * 2006-07-04 2008-01-09 大日本网目版制造株式会社 基板处理装置
US20080229811A1 (en) * 2007-03-20 2008-09-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Stabilizing a substrate using a vacuum preload air bearing chuck
CN101894781A (zh) * 2009-05-21 2010-11-24 由田新技股份有限公司 悬吊式气浮工作平台
CN102639415A (zh) * 2009-07-22 2012-08-15 齐默尔曼和席尔普搬运技术有限责任公司 无接触式真空夹持器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110980280A (zh) * 2019-11-28 2020-04-10 东莞理工学院 一种非接触多点式气浮抓取装置
CN111017556A (zh) * 2019-11-28 2020-04-17 东莞理工学院 一种非接触环面式吸浮装置

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