CN108940786A - 一种紫外固化装置和紫外固化方法 - Google Patents

一种紫外固化装置和紫外固化方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种紫外固化装置和紫外固化方法,其中,该装置包括:透明基台、第一支撑组件、第二支撑组件和对位组件;透明基台,被配置为支撑用于固化的掩膜版;第一支撑组件,被配置为支撑对盒基板;第二支撑组件,被配置为与边缘区域接触,支撑透明基台;对位组件,被配置为对对盒基板和/或掩膜版进行对位调节。本发明实施例提供的紫外固化装置,通过透明基板承接掩膜版上下移动的方式遮挡对盒基板中的液晶区域,解决了掩膜版的掉落和膜层脱落问题,延长了掩膜版的使用寿命,进一步的,采用对位组件实现了对盒基板与掩膜版的对位,避免紫外光照射对盒基板的液晶区,影响紫外固化的产能和品质。

Description

一种紫外固化装置和紫外固化方法
技术领域
本发明涉及液晶显示屏技术领域,特别是涉及一种紫外固化装置和紫外固化方法。
背景技术
在液晶显示行业,阵列基板与彩膜基板对盒完成后,为了防止液晶与封框胶过早接触而发生断胶和液晶泄露等工艺不良,须及时对封框胶进行固化处理,保证产品的品质。
封框胶的固化包括紫外光固化和热固化等两个步骤,紫外光固化具有固化时间短的优点,所以通常是先进行紫外光固化。因为液晶是有机高分子,高能量的紫外光会使液晶高分子发生性能劣化,因此在紫外光固化时工作基板上方需要放置一块掩膜版对液晶的活性区域进行遮光保护。这就对掩膜版及其固定方式提出要求,既不能遮挡封框胶,又必须遮挡液晶活性区。
现有的掩膜版固定方案采用石英棒吸附方式,采用高度透明的石英棒确保光可以正常透过。石英棒表面开有一条宽2mm的吸附槽,吸附槽与真空管道连接,负压由真空系统通过真空管道提供。石英棒对掩膜版的真空吸附固定方式,虽然能满足紫外光对封框胶的固化需求,但是还是存在以下不足:
掩膜版吸附在石英棒上,经过紫外光的照射后,温度升高,形变变大,石英棒之间的掩膜版下垂后,吸附槽与掩膜版之间的缝隙增大,易破真空导致掩膜版掉落;当需要吸附掩膜版的膜层时,由于吸附槽的强吸附能力,会导致掩膜版膜层的脱落,掩膜版膜层漏光,产生品质不良。该方案无法对应高光强度的生产,相同光量时需要较长的照射时间,限制设备节拍时间,主要是由于高光强时掩膜版温度变化更快,形变大,而掩膜版无法相对石英棒滑动,表面形变而脱落;掩膜版由于受热后会热胀冷缩,并且由于表面各处冷却差异会使得掩膜版表面存在温度梯度,吸附在石英棒下面的掩膜版存在表面应力,无法释放后会产生裂纹,生产中如果没有及时发现就会掉落与对盒基板贴合而导致产品与产能损失。
发明内容
本发明提供一种紫外固化装置、紫外固化设备及紫外固化方法,以解决现有的对盒基板紫外固化的方法容易对盒基板与掩膜版贴合,造成产品和产能损失的问题。
为了解决上述问题,本发明公开了一种紫外固化装置,所述装置包括透明基台、第一支撑组件、第二支撑组件和对位组件;
所述透明基台,被配置为支撑用于固化的掩膜版,所述透明基台具有中间区域及边缘区域,所述中间区域用于放置所述掩膜版;
所述第一支撑组件,被配置为支撑待固化的对盒基板;
所述第二支撑组件,设置在所述第一支撑组件的外围,被配置为与所述边缘区域接触,支撑所述透明基台;
所述对位组件,被配置为在对所述对盒基板进行固化前,对所述对盒基板和/或所述掩膜版进行对位调节。
优选的,所述第一支撑组件包括承载台、底座和底座气缸;
所述底座的第一表面上具有多个支撑杆;
所述承载台设置在所述底座的第一表面上,且所述支撑杆穿过所述承载台上的第一通孔,所述第一通孔与所述支撑杆一一对应;
所述底座气缸,设置在所述底座的第二表面上,被配置为驱动所述底座在垂直于所述第一表面的第一方向上移动;所述第二表面与所述第一表面相对,且所述第二表面位于所述第一表面下。
优选的,所述透明基台上具有多个容许所述支撑杆穿过的第二通孔。
优选的,所述第二支撑组件包括多个设置在所述承载台周边的驱动装置;所述驱动装置,被配置为驱动所述透明基台在所述第一方向上移动。
优选的,所述对位组件包括至少三个对位凸轮,所述对位凸轮被配置为控制所述承载台水平平移和/或水平旋转。
为了解决上述问题,本发明还公开了一种紫外固化方法,应用于上述紫外固化装置,所述方法用于对盒基板的紫外固化,所述方法包括:
将掩膜版置于透明基台的中间区域上;所述透明基台包括:中间区域及边缘区域;第二支撑组件支撑在所述边缘区域;
将待固化的对盒基板置于第一支撑组件上;
第二支撑组件驱动所述透明基台和所述掩膜版向所述对盒基板的方向移动;
采用对位组件对所述对盒基板和/或所述掩膜版进行对位调节;
利用所述掩膜版,对所述对盒基板进行紫外固化。
优选的,所述第一支撑组件包括承载台、底座和底座气缸;
所述底座的第一表面上具有多个支撑杆;
所述承载台上具有多个容许所述支撑杆穿过的第一通孔,所述第一通孔与所述支撑杆一一对应;
所述底座气缸,设置在所述底座的第二表面上,被配置为驱动所述底座在垂直于所述第一表面的第一方向上移动;所述第二表面与所述第一表面相对。
优选的,所述透明基台上具有多个容许所述支撑杆穿过的第二通孔;
所述将掩膜版置于透明基台的中间区域上,包括:
将所述支撑杆穿过所述透明基台的第二通孔;
将所述掩膜版置于所述支撑杆上;
采用所述第二支撑组件驱动所述透明基台沿所述第一方向,向上移动,使所述透明基台脱离所述支撑杆,并使所述透明基台的中间区域支撑所述掩膜版。
优选的,所述将待固化的对盒基板置于第一支撑组件上,包括:
当所述底座上的多个支撑杆穿过所述承载台上的第一通孔后,将所述待固化的对盒基板放置在所述支撑杆上;
采用置于所述底座第二表面上的底座气缸,驱动所述底座沿垂直所述第一表面的第一方向,向下移动,使所述承载台支撑所述对盒基板。
优选的,所述对位组件包括至少三个对位凸轮;
则所述采用对位组件对所述对盒基板和/或所述掩膜版进行对位调节,包括:
采用所述对位凸轮控制所述承载台水平平移和/或水平旋转,带动所述对盒基板水平平移和/或水平旋转,使所述对盒基板和所述掩膜版对位。
优选的,在对所述对盒基板进行紫外固化的步骤之后,还包括:
采用所述第二支撑组件驱动所述透明基台和所述掩膜版沿所述第一方向,向上移动;
采用所述底座气缸驱动所述底座沿所述第一方向,向上移动,使所述支撑杆穿过所述承载台的的第一通孔,并使所述支撑杆支撑所述对盒基板;
取出所述对盒基板。
与现有技术相比,本发明包括以下优点:
本发明实施例提供的紫外固化装置,通过透明基板承接掩膜版上下移动的方式遮挡对盒基板中的液晶区域,并实现紫外光对对盒基板中封胶框的固化,解决了掩膜版的掉落和膜层脱落问题,延长了掩膜版的使用寿命,同时可以增大紫外光的光强,实现同样光量下节拍时间的减少;
进一步的,采用对位组件实现了对盒基板与掩膜版的对位,避免紫外光照射对盒基板的液晶区,影响紫外固化的产能和品质。
附图说明
图1是本发明实施例一的一种紫外固化装置的结构示意图;
图2是本发明实施例一的第二支撑组件支撑透明基台的结构示意图;
图3是本发明实施例一的一种紫外固化装置的结构示意图;
图4是本发明实施例一的一种紫外固化装置的结构示意图;
图5是示出了本发明实施例二的一种紫外固化方法的步骤流程图;
图6是本发明实施例二的一种对位凸轮与承载台设置关系的示意图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
实施例一
参照图1和图3,示出了本发明实施例一的一种紫外固化装置的结构示意图。
参照图1和图2,所述装置包括透明基台10、第一支撑组件20、第二支撑组件30和对位组件40。
所述透明基台10,被配置为支撑用于固化的掩膜版50,所述透明基台10具有中间区域及边缘区域,所述中间区域用于放置所述掩膜版50。
在本发明实施例中,透明基台10可以选用高透光的石英板,以使紫外光可以透过透明基台10;掩膜版50上设置有不透光区和透光区,不透光区用于在紫外固化时,防止紫外光照射对盒基板60上的液晶区域。透光区用于透过紫外光。
所述第一支撑组件20,被配置为支撑待固化的对盒基板60。
所述第二支撑组件30,设置在所述第一支撑组件的外围,被配置为与所述边缘区域接触,支撑所述透明基台。
所述对位组件40,被配置为在对所述对盒基板60进行固化前,对所述对盒基板60和/或所述掩膜版50进行对位调节。
在本发明实施例中,参照图1,所述第一支撑组件20包括承载台21、底座22和底座气缸23。
参照图3,所述底座22的第一表面上具有多个支撑杆221;所述承载台21设置在所述底座22的第一表面上,且所述支撑杆221穿过所述承载台上的第一通孔211,所述第一通孔211与所述支撑杆221一一对应;所述底座气缸23,设置在所述底座22的第二表面上,被配置为驱动所述底座22在垂直于所述第一表面的第一方向上移动;所述第二表面与所述第一表面相对,且所述第二表面位于所述第一表面下。。
在本发明实施例中,参照图4,所述透明基台10上具有多个容许所述支撑杆221穿过的第二通孔11。
在本发明实施例中,第二通孔11也与支撑杆221一一对应。
在本发明实施例中,所述第二支撑组件30包括多个设置在所述承载台周边的驱动装置;所述驱动装置,被配置为驱动所述透明基台在所述第一方向上移动。
在本发明实施例中,优选的,所述驱动装置为四角气缸,可以在透明基台10的四角设置四个四角气缸,也可以根据实际需要设置多个。
在本发明实施例中,所述对位组件40包括至少三个对位凸轮,所述对位凸轮被配置为控制所述承载台水平平移和/或水平旋转。
本发明实施例提供的紫外固化装置,通过透明基板承接掩膜版上下移动的方式遮挡对盒基板中的液晶区域,并实现紫外光对对盒基板中封胶框的固化,解决了掩膜版的掉落和膜层脱落问题,延长了掩膜版的使用寿命,同时可以增大紫外光的光强,实现同样光量下节拍时间的减少。
进一步的,采用对位组件实现了对盒基板与掩膜版的对位,避免紫外光照射对盒基板的液晶区,影响紫外固化的产能和品质。
实施例二
参照图5,示出了本发明实施例三的一种紫外固化方法的步骤流程图。
本发明实施例的提供的紫外固化方法用于对盒基板的紫外固化,具体步骤如下:
步骤201:将掩膜版置50于透明基台10的中间区域上;所述透明基台10包括:中间区域及边缘区域;第二支撑组件30支撑在所述透明基台10的所述边缘区域。
在本发明实施例中,所述第一支撑组件20包括承载台21、底座22和底座气缸23;所述底座22的第一表面上具有多个支撑杆221;所述承载台21上具有多个容许所述支撑杆221穿过的第一通孔211,所述第一通孔211与所述支撑杆221一一对应;所述底座气缸23,设置在所述底座22的第二表面上,被配置为驱动所述底座22在垂直于所述第一表面的第一方向上移动;所述第二表面与所述第一表面相对。
在本发明实施例中,所述透明基台10上具有多个容许所述支撑杆221穿过的第二通孔11。
步骤201,包括:
子步骤2011,将所述透明基台放置在所述承载台上,并由所述支撑杆穿过所述透明基台的第二通孔;
子步骤2012,将所述掩膜版置于所述支撑杆上;
子步骤2013,采用所述第二支撑组件驱动所述透明基台沿所述第一方向,向上移动,使所述透明基台脱离所述支撑杆,并使所述透明基台的中间区域支撑所述掩膜版。
具体的,底座22上支撑杆221穿过承载台21的第一通孔和透明基台10的第二通孔,其中透明基台10在承载台21上。然后将掩膜版50放置在支撑杆211上;然后采用第二支撑组件30驱动透明基台10向上移动,移动到支撑掩膜版50,继续向上移动,直到第二支撑组件30脱离支撑杆221,完成掩膜版50放置在透明基台上的步骤。
步骤202:将待固化的对盒基板置于第一支撑组件上。
在本发明实施例中,步骤202,包括:
子步骤2021,当所述底座上的多个支撑杆穿过所述承载台上的第一通孔后,将所述待固化的对盒基板放置在所述支撑杆上;
子步骤2022,采用置于所述底座第二表面上的底座气缸,驱动所述底座沿垂直所述第一表面的第一方向,向下移动,使所述承载台支撑所述对盒基板。
在本发明实施例中,当完成掩膜版50放置在透明基台10上的步骤后,将对盒基板60放置在支撑杆221上,采用底座气缸23驱动底座22向下移动,直到承载台21支撑对盒基板60。在本发明实施例中,承载台21到底座气缸23底部的距离是固定不变的,其中保证承载台21的位置的方式,本发明实施例不加以限制。
步骤203:第二支撑组件驱动所述透明基台和所述掩膜版向所述对盒基板的方向移动。
在本发明实施例中,在承载台21支撑对盒基板60后,采用第二支撑组件30驱动透明基台10向下移动,直到第二支撑组件30与对盒基板60之间保持2mm-5mm的空隙。
步骤204:采用对位组件对所述对盒基板和/或所述掩膜版进行对位调节。
在本发明实施例中,所述对位组件40包括至少三个对位凸轮;
则步骤204,包括:
采用所述对位凸轮控制所述承载台21水平平移和/或水平旋转,带动所述对盒基板60水平平移和/或水平旋转,使所述对盒基板60和所述掩膜版50对位。
在本发明实施例中,对位组件40也可以包括其他可以使掩膜版水平平移和/或水平旋转的结构,来完成对盒基板60和所述掩膜版50对位,本发明实施例对此不加以限制。
在本发明实施例中,参照图6,对位组件40为,与承载台21两边水平设置的对位凸轮41,其中所述对位凸轮的截面可以是椭圆或者其他形状,只要可以实现承载台21的水平移动或者水平旋转,在本图6中,对位凸轮A和对位凸轮B使承载台沿X轴方向运动,对位凸轮C使承载台沿Y轴方向运动,对位凸轮A、对位凸轮B和对位凸轮C调整承载台21水平旋转。在承载台21位置发生变化时,对应的承载台21上的对盒基板60的位置也发生变化,进而可以使对盒基板60和掩膜版50对位。
在本发明实施例中,对盒基板60和掩膜版50对位是指,掩膜版50上的透明区域对应对盒基板60上的封框胶区域,掩膜版50上的不透明区域对应着对盒基板60上的液晶区域。
步骤205:利用所述掩膜版,对所述对盒基板进行紫外固化。
在本发明实施例中,具体的,是在掩膜版50的垂直方向上进行紫外光照射,完成对对盒基板60中的封框胶的照射。
在本发明实施例中,在步骤205之后,还包括:采用所述第二支撑组件30驱动所述透明基台10和所述掩膜版50沿所述第一方向,向上移动;采用所述底座气缸23驱动所述底座22沿所述第一方向,向上移动,使所述支撑杆221穿过所述承载台21的的第一通孔211,并使所述支撑杆221支撑所述对盒基板60;取出所述对盒基板60。
本发明实施例提供的紫外固化方法,通过透明基板承接掩膜版上下移动的方式遮挡对盒基板中的液晶区域,并实现紫外光对对盒基板中封胶框的固化,解决了掩膜版的掉落和膜层脱落问题,延长了掩膜版的使用寿命,同时可以增大紫外光的光强,实现同样光量下节拍时间的减少。
进一步的,采用对位组件实现了对盒基板与掩膜版的对位,避免紫外光照射对盒基板的液晶区,影响紫外固化的产能和品质。
对于前述的各方法实施例,为了简单描述,故将其都表述为一系列的动作组合,但是本领域技术人员应该知悉,本发明并不受所描述的动作顺序的限制,因为依据本发明,某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次,本领域技术人员也应该知悉,说明书中所描述的实施例均属于优选实施例,所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
最后,还需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上对本发明所提供的一种紫外固化装置、紫外固化设备及紫外固化方法,进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本发明的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (11)

1.一种紫外固化装置,其特征在于,所述装置包括:透明基台、第一支撑组件、第二支撑组件和对位组件;
所述透明基台,被配置为支撑用于固化的掩膜版,所述透明基台具有中间区域及边缘区域,所述中间区域用于放置所述掩膜版;
所述第一支撑组件,被配置为支撑待固化的对盒基板;
所述第二支撑组件,设置在所述第一支撑组件的外围,被配置为与所述边缘区域接触,支撑所述透明基台;
所述对位组件,被配置为在对所述对盒基板进行固化前,对所述对盒基板和/或所述掩膜版进行对位调节。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一支撑组件包括承载台、底座和底座气缸;
所述底座的第一表面上具有多个支撑杆;
所述承载台设置在所述底座的第一表面上,且所述支撑杆穿过所述承载台上的第一通孔,所述第一通孔与所述支撑杆一一对应;
所述底座气缸,设置在所述底座的第二表面上,被配置为驱动所述底座在垂直于所述第一表面的第一方向上移动;所述第二表面与所述第一表面相对,且所述第二表面位于所述第一表面下。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述透明基台上具有多个容许所述支撑杆穿过的第二通孔。
4.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述第二支撑组件包括多个设置在所述承载台周边的驱动装置;所述驱动装置,被配置为驱动所述透明基台在所述第一方向上移动。
5.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述对位组件包括至少三个对位凸轮,所述对位凸轮被配置为控制所述承载台水平平移和/或水平旋转。
6.一种紫外固化方法,其特征在于,应用于如权利要求1至5所述的紫外固化装置,所述方法用于对盒基板的紫外固化,所述方法包括:
将掩膜版置于透明基台的中间区域上;所述透明基台包括:中间区域及边缘区域;第二支撑组件支撑在所述边缘区域;
将待固化的对盒基板置于第一支撑组件上;
第二支撑组件驱动所述透明基台和所述掩膜版向所述对盒基板的方向移动;
采用对位组件对所述对盒基板和/或所述掩膜版进行对位调节;
利用所述掩膜版,对所述对盒基板进行紫外固化。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述第一支撑组件包括承载台、底座和底座气缸;
所述底座的第一表面上具有多个支撑杆;
所述承载台上具有多个容许所述支撑杆穿过的第一通孔,所述第一通孔与所述支撑杆一一对应;
所述底座气缸,设置在所述底座的第二表面上,被配置为驱动所述底座在垂直于所述第一表面的第一方向上移动;所述第二表面与所述第一表面相对。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述透明基台上具有多个容许所述支撑杆穿过的第二通孔;
所述将掩膜版置于透明基台的中间区域上,包括:
将所述支撑杆穿过所述透明基台的第二通孔;
将所述掩膜版置于所述支撑杆上;
采用所述第二支撑组件驱动所述透明基台沿所述第一方向,向上移动,使所述透明基台脱离所述支撑杆,并使所述透明基台的中间区域支撑所述掩膜版。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,
所述将待固化的对盒基板置于第一支撑组件上,包括:
当所述底座上的多个支撑杆穿过所述承载台上的第一通孔后,将所述待固化的对盒基板放置在所述支撑杆上;
采用置于所述底座第二表面上的底座气缸,驱动所述底座沿垂直所述第一表面的第一方向,向下移动,使所述承载台支撑所述对盒基板。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述对位组件包括至少三个对位凸轮;
则所述采用对位组件对所述对盒基板和/或所述掩膜版进行对位调节,包括:
采用所述对位凸轮控制所述承载台水平平移和/或水平旋转,带动所述对盒基板水平平移和/或水平旋转,使所述对盒基板和所述掩膜版对位。
11.根据权利要求10所述的方法,其特征在于,在对所述对盒基板进行紫外固化的步骤之后,还包括:
采用所述第二支撑组件驱动所述透明基台和所述掩膜版沿所述第一方向,向上移动;
采用所述底座气缸驱动所述底座沿所述第一方向,向上移动,使所述支撑杆穿过所述承载台的的第一通孔,并使所述支撑杆支撑所述对盒基板;
取出所述对盒基板。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110639779A (zh) * 2019-11-06 2020-01-03 徐州徐工精密工业科技有限公司 多线路散热型密封uv固化灯罩

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203117613U (zh) * 2013-03-15 2013-08-07 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板固定装置及紫外光固化设备
CN104772266A (zh) * 2015-05-06 2015-07-15 京东方科技集团股份有限公司 一种紫外光固化设备
CN104808368A (zh) * 2015-05-21 2015-07-29 京东方科技集团股份有限公司 一种紫外线固化装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203117613U (zh) * 2013-03-15 2013-08-07 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板固定装置及紫外光固化设备
CN104772266A (zh) * 2015-05-06 2015-07-15 京东方科技集团股份有限公司 一种紫外光固化设备
CN104808368A (zh) * 2015-05-21 2015-07-29 京东方科技集团股份有限公司 一种紫外线固化装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
D.J.埃利奥特: "《集成电路掩膜技术》", 30 November 1991, 上海交通大学出版社 *
中国科学技术情报研究所: "《出国参观考察报告 日本半导体器件技术概况》", 31 August 1974, 科学技术文献出版社 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110639779A (zh) * 2019-11-06 2020-01-03 徐州徐工精密工业科技有限公司 多线路散热型密封uv固化灯罩

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