CN108914090B - 半自动化石墨舟卡点更换机 - Google Patents

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Abstract

本发明属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种半自动化石墨舟卡点更换机，包括机架主体、石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组、控制模组，本发明使用时首先由操作人员将待更换的石墨舟片放置在石墨舟片模组上，然后在控制模组的控制下，利用装卸模组完成对石墨舟片旧卡点的卸载，然后下点料斗模组向卡点滑板模组输送新卡点，卡点滑板模组将新卡点位移至装点工位，由装卸模组对装点工位中的新卡点进行装配，完成石墨舟片卡点的更换，操作过程主要在控制模组的控制下自动完成，操作简便、省时省力、更换质量高、不会对卡点造成损坏、工作效率高，且由于本发明采用半自动化方式，因而制造成本低，适于大范围推广使用，应用前景广阔。

Description

半自动化石墨舟卡点更换机
技术领域
本发明属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种半自动化石墨舟卡点更换机。
背景技术
随着太阳能电池的迅猛发展，越来越多的太阳能电池进入民用领域。在太阳能电池的生产过程中，PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积法）镀膜工艺是生产流程中的重要环节，起到举足轻重的作用。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上。目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空镀膜设备中，采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点，由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损，需要定期对卡点进行更换，以便保证石墨舟的良好状态，进而保证硅片的镀膜质量。
传统石墨舟卡点的更换方法操作步骤复杂且繁琐、同时对装配人员技能要求比较高，如果技能操作不到位会导致更换过程中石墨舟片和石墨舟卡点损坏或装配不到位，传统的石墨舟卡点更换操作方法是：石墨舟卡点需要使用到一台简易手动压机，同时压机两边需用泡沫板或橡胶皮垫垫得和手动压机平台一样的高度，操作人员坐在压机面前将石墨舟片平放置于手动压机平台上面，然后依次将石墨舟的24个卡点用手动压机卸下，石墨舟卡点卸下之后操作人员将要更换新的卡点放置于对应卡孔上面，小心翼翼的用左手扶好右手往下转动压机，手使的力度要把握好，如果使用的力度太大会把石墨舟和卡点压坏，如果使用的力度太小就压不到位，压完一张石墨舟片的卡点后，继续下一张石墨舟片卡点的更换，一个石墨舟有27片组成，通常一天需要更换好几个这样的石墨舟卡点，人员操作复杂繁琐，常常因为来不及更换石墨舟卡点，而导致生产进度缓慢，一般情况下因为赶进度而损坏石墨舟片或卡点压不到位的情况非常多，导致硅片制作过程中损坏或脱落情况，影响产品质量。
发明内本发明的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种操作简便、省时省力、更换质量高、不会对卡点造成损坏、工作效率高且制造成本低的半自动化石墨舟卡点更换机。
本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：
一种半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，包括：
机架主体，供承载设置在其上的其它模组；
石墨舟片模组，设置在所述机架主体上，供放置待更换卡点的石墨舟片；
装卸模组，设置在所述石墨舟片模组上方，用于对所述石墨舟片中的旧卡点进行装卸；
下点料斗模组，设置在所述石墨舟片模组上方，储存并向卡点滑板模组输送新卡点；
卡点滑板模组，设置在所述下点料斗模组下方，用于承载所述下点料斗模组中的新卡点并将新卡点位移至装点工位；
控制模组，分别电性连接所述石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组，用于对所述石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组的工作过程进行控制。
优选的，本发明中所述石墨舟片模组包括石墨舟片模、第一升降气缸和第一升降气缸支撑横梁，所述第一升降气缸设置在所述第一升降气缸支撑横梁上，所述第一升降气缸的活塞杆连接所述石墨舟片模，所述石墨舟片模供放置待更换卡点的石墨舟片。
优选的，本发明中所述第一升降气缸的两侧均设有固定套管缓冲器，所述固定套管缓冲器两端分别连接所述石墨舟片模和第一升降气缸支撑横梁，所述石墨舟片模上设有第一自锁气缸，所述第一自锁气缸连接所述控制模组。
优选的，本发明中所述装卸模组包括第二升降气缸、装卸模和固定板，所述第二升降气缸的活塞杆连接所述装卸模，所述固定板设置在所述装卸模两端，所述固定板上均设有竖直轨道，所述竖直轨道上均设有可沿其自由滑动的竖直滑座，所述装卸模两端分别连接所述竖直滑座。
优选的，本发明中所述固定板上设有第二自锁气缸，所述第二自锁气缸连接所述控制模组。
优选的，本发明中所述装卸模下侧设有若干定位柱。
优选的，本发明中所述下点料斗模组包括下点料斗模和下点料斗模挡板，所述下点料斗模挡板设置在所述下点料斗模的四周，所述下点料斗模和所述下点料斗模挡板之间形成储存新卡点的储存仓，所述储存仓外侧设有震动泵，所述下点料斗模下端设有下点口，所述储存仓中的新卡点在所述震动泵的驱动下经所述下点口下点至其下方的卡点滑板模组。
优选的，本发明中所述卡点滑板模组包括卡点滑板、卡点滑板伸缩气缸、卡点滑板连接支架、轨道支架、水平轨道，所述轨道支架设置在所述机架主体两侧，所述水平轨道平行设置在所述轨道支架上，所述水平轨道均上设有可沿其自由滑动的水平滑座，所述卡点滑板两端分别连接所述水平滑座，所述卡点滑板伸缩气缸的活塞杆经所述卡点滑板连接支架连接所述卡点滑板，所述卡点滑板上设有若干卡点装点孔。
优选的，本发明中所述轨道支架上设有卡点滑板调节支架，对卡点滑板的位置进行调节。
优选的，本发明中所述更换机还包括旧卡点回收箱，所述旧卡点回收箱设置在所述石墨舟片模组下方，对卸载下来的旧卡点进行回收。
本发明的有益效果是，由于本发明半自动化石墨舟卡点更换机包括机架主体、石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组、控制模组，本发明在使用时首先由操作人员将待更换的石墨舟片放置在石墨舟片模组上，然后在控制模组的控制下，利用装卸模组完成对石墨舟片旧卡点的卸载，然后下点料斗模组向卡点滑板模组输送新卡点，卡点滑板模组将新卡点位移至装点工位，由装卸模组对装点工位中的新卡点进行装配，完成石墨舟片卡点的更换，操作过程主要在控制模组的控制下自动完成，操作简便、省时省力、更换质量高、不会对卡点造成损坏、工作效率高，且由于本发明采用半自动化方式，因而制造成本低，便于大范围推广使用。
附图说明
图1为本发明半自动化石墨舟卡点更换机的一种实施例结构示意图，也是一种优选实施例示意图。
图2为本发明石墨舟片模组的一种实施例结构示意图。
图3为本发明装卸模组的一种实施例结构示意图。
图4为图3的仰视图。
图5为本发明下点料斗模组的一种实施例结构示意图。
图6为图的俯视图。
图7为本发明卡点滑板模组的一种实施例结构示意图。
具体实施方式
以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
图1-图7示出了本发明半自动化石墨舟卡点更换机的一种实施例结构示意图，也是一种优选实施例示意图。如图1-图7所示，本实施例所述的半自动化石墨舟卡点更换机包括：机架主体10、石墨舟片模组20、装卸模组30、下点料斗模组40、卡点滑板模组50、控制模组60，其中，所述机架主体10供承载设置在其上的其它模组，所述石墨舟片模组20设置在所述机架主体上，供放置待更换卡点的石墨舟片；所述装卸模组30设置在所述石墨舟片模组上方，用于对所述石墨舟片中的旧卡点进行装卸；所述下点料斗模组40设置在所述石墨舟片模组上方，储存并向卡点滑板模组输送新卡点；所述卡点滑板模组50设置在所述下点料斗模组下方，用于承载所述下点料斗模组中的新卡点并将新卡点位移至装点工位；所述控制模组60分别电性连接所述石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组，用于对所述石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组的工作过程进行控制。
作为优选实施方式，如图2所示，本实施例中所述石墨舟片模组20包括石墨舟片模21、第一升降气缸22和第一升降气缸支撑横梁23，所述第一升降气缸22设置在所述第一升降气缸支撑横梁23上，所述第一升降气缸的活塞杆连接所述石墨舟片模，所述石墨舟片模供放置待更换卡点的石墨舟片。优选的，如图2所示，本实施例中所述第一升降气缸22的两侧均设有固定套管缓冲器24，所述固定套管缓冲器两端分别连接所述石墨舟片模21和第一升降气缸支撑横梁23，所述石墨舟片模上设有第一自锁气缸25，所述第一自锁气缸连接所述控制模组。
作为优选实施方式，如图3、图4所示，本实施例中所述装卸模组30包括第二升降气缸31、装卸模32和固定板33，所述第二升降气缸31的活塞杆连接所述装卸模32，所述固定板33设置在所述装卸模32两端，所述固定板33上均设有竖直轨道34，所述竖直轨道上均设有可沿其自由滑动的竖直滑座35，所述装卸模32两端分别连接所述竖直滑座35。优选的，如图3所示，本实施例中所述固定板上设有第二自锁气缸36，所述第二自锁气缸连接所述控制模组。优选的，如图4所示，本实施例中所述装卸模32下侧设有若干定位柱37。
作为优选实施方式，如图5、图6所示，本实施例中所述下点料斗模组40包括下点料斗模41和下点料斗模挡板42，所述下点料斗模挡板设置在所述下点料斗模的四周，所述下点料斗模和所述下点料斗模挡板之间形成储存新卡点的储存仓，所述储存仓外侧设有震动泵43，所述下点料斗模下端设有下点口44，所述储存仓中的新卡点在所述震动泵的驱动下经所述下点口下点至其下方的卡点滑板模组。
作为优选实施方式，如图7所示，本实施例中所述卡点滑板模组50包括卡点滑板51、卡点滑板伸缩气缸52、卡点滑板连接支架53、轨道支架54、水平轨道55，所述轨道支架54设置在所述机架主体10两侧，所述水平轨道55平行设置在所述轨道支架54上，所述水平轨道均上设有可沿其自由滑动的水平滑座56，所述卡点滑板51两端分别连接所述水平滑座56，所述卡点滑板伸缩气缸52的活塞杆经所述卡点滑板连接支架53连接所述卡点滑板51，所述卡点滑板上设有若干卡点装点孔57，下点料斗模组中的新卡点经所述卡点装点孔下落至装点工位。优选的，如图7所示，本实施例中所述轨道支架上设有卡点滑板调节支架58，对卡点滑板的位置进行调节。
作为优选实施方式，如图1所示，本实施例中所述更换机还包括旧卡点回收箱70，所述旧卡点回收箱设置在所述石墨舟片模组下方，对卸载下来的旧卡点进行回收。
作为优选实施方式，如图1所示，本实施例中所述控制模组60包括设置在机架主体一侧的人体交互终端61、控制电柜62以及控制电柜内的控制器，所述控制器为可编程控制器PLC（Programmable Logic Controller），PLC控制器分别电性连接所述石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组，用于对所述石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组的工作过程进行控制。
本发明所述更换机在使用时，首先由操作人员将待更换的石墨舟片放置在石墨舟片模组上，然后在控制模组的控制下，利用装卸模组完成对石墨舟片旧卡点的卸载，自动化程度高，可一次性卸载掉所有旧卡点，工作效率高，而且旧卡点可以掉落进中模模组下方设置的旧卡点回收箱，对旧卡点进行回收，防止对工作现场造成混乱，保持工作环境整洁。旧卡点卸载完之后下点料斗模组向卡点滑板模组输送新卡点，卡点滑板模组将新卡点位移至装点工位，由装卸模组对装点工位中的新卡点进行装配，完成石墨舟片卡点的更换，操作简便、省时省力、更换质量高、不会对卡点造成损坏、工作效率高，且由于本发明采用半自动化方式，因而制造成本低。
本发明在使用过程中大大提高了工作效率、提高了产品质量、缓解了操作人员的劳动强度、降低了维修制造成本和维修难度、提高了维修效率、改善了工作空间和工作环境：1、提高了工作效率，以前8个石墨舟换卡点需要同时3个人8小时完成，现在使用本发明一个人操作1个小时即可轻松完成工作，工作效率提高了近百倍；2、提高了产品质量，以前人工用手动压机操作时，经常压坏石墨舟片和卡点，或者压不到位，而导致碎片率和产品的不合格率的增加，现在使用本发明可以杜绝类似问题的出现；3、缓解了操作人员的劳动强度，以前需要3个人不停的工作，现在使用本发明一个人即可轻松完成更换石墨舟卡点的工作；4、降低了维修制造成本和维修难度、提高了维修效率，以前制造一台全自动化更换机需要三十万左右，现在制造一台本发明半自动化更换机仅需二十万左右，不仅节约了制造成本，同时也减少了日常维护的成本，因其结构简单，所以能快速维修好设备；5、改善了工作空间和工作环境，以前3个人坐一排同时工作占地面积是4.5平方米，现在使用本发明只要2.46336平方米，节省了2.03664平方米的工作空间；6、改善了工作环境，以前需要人工完成更换石墨舟卡点的工作，现在使用本发明可自动完成，能够很好的保持现场6s。
本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的目的已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。

Claims (10)

1.一种半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，包括：
机架主体，供承载设置在其上的其它模组；
石墨舟片模组，设置在所述机架主体上，供放置待更换卡点的石墨舟片；
装卸模组，设置在所述石墨舟片模组上方，用于对所述石墨舟片中的旧卡点进行装卸；
下点料斗模组，设置在所述石墨舟片模组上方，储存并向卡点滑板模组输送新卡点；
卡点滑板模组，设置在所述下点料斗模组下方，用于承载所述下点料斗模组中的新卡点并将新卡点位移至装点工位；
控制模组，分别电性连接所述石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组，用于对所述石墨舟片模组、装卸模组、下点料斗模组、卡点滑板模组的工作过程进行控制。
2.根据权利要求1所述的半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，所述石墨舟片模组包括石墨舟片模、第一升降气缸和第一升降气缸支撑横梁，所述第一升降气缸设置在所述第一升降气缸支撑横梁上，所述第一升降气缸的活塞杆连接所述石墨舟片模，所述石墨舟片模供放置待更换卡点的石墨舟片。
3.根据权利要求2所述的半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，所述第一升降气缸的两侧均设有固定套管缓冲器，所述固定套管缓冲器两端分别连接所述石墨舟片模和第一升降气缸支撑横梁，所述石墨舟片模上设有第一自锁气缸，所述第一自锁气缸连接所述控制模组。
4.根据权利要求1所述的半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，所述装卸模组包括第二升降气缸、装卸模和固定板，所述第二升降气缸的活塞杆连接所述装卸模，所述固定板设置在所述装卸模两端，所述固定板上均设有竖直轨道，所述竖直轨道上均设有可沿其自由滑动的竖直滑座，所述装卸模两端分别连接所述竖直滑座。
5.根据权利要求4所述的半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，所述固定板上设有第二自锁气缸，所述第二自锁气缸连接所述控制模组。
6.根据权利要求4或5所述的半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，所述装卸模下侧设有若干定位柱。
7.根据权利要求1所述的半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，所述下点料斗模组包括下点料斗模和下点料斗模挡板，所述下点料斗模挡板设置在所述下点料斗模的四周，所述下点料斗模和所述下点料斗模挡板之间形成储存新卡点的储存仓，所述储存仓外侧设有震动泵，所述下点料斗模下端设有下点口，所述储存仓中的新卡点在所述震动泵的驱动下经所述下点口下点至其下方的卡点滑板模组。
8.根据权利要求1所述的半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，所述卡点滑板模组包括卡点滑板、卡点滑板伸缩气缸、卡点滑板连接支架、轨道支架、水平轨道，所述轨道支架设置在所述机架主体两侧，所述水平轨道平行设置在所述轨道支架上，所述水平轨道上均设有可沿其自由滑动的水平滑座，所述卡点滑板两端分别连接所述水平滑座，所述卡点滑板伸缩气缸的活塞杆经所述卡点滑板连接支架连接所述卡点滑板，所述卡点滑板上设有若干卡点装点孔。
9.根据权利要求8所述的半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，所述轨道支架上设有卡点滑板调节支架，对卡点滑板的位置进行调节。
10.根据权利要求1所述的半自动化石墨舟卡点更换机，其特征在于，所述更换机还包括旧卡点回收箱，所述旧卡点回收箱设置在所述石墨舟片模组下方。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111370356A (zh) * 2020-04-15 2020-07-03 盐城恒华智造科技有限公司 一种石墨舟卡点自动更换机
CN112030142B (zh) * 2020-08-20 2022-06-28 湖南华鑫晶造电气科技有限公司 石墨舟卡点自动装卸装置

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007067218A (ja) * 2005-08-31 2007-03-15 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置および基板処理システム
CN203683661U (zh) * 2013-12-31 2014-07-02 上海索日新能源科技有限公司 一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置
CN203774265U (zh) * 2014-03-18 2014-08-13 衡水英利新能源有限公司 石墨舟片卡点更换工装桌
CN104465877A (zh) * 2014-12-15 2015-03-25 浙江鸿禧能源股份有限公司 一种石墨钉装卸台
CN205211720U (zh) * 2015-12-11 2016-05-04 上海弘枫实业有限公司 石墨舟片销钉快速压合及拆卸装置
CN105951059A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 全自动管式pecvd石墨舟工艺点安装装置
CN105951060A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 管式pecvd石墨舟工艺点拆卸装置
CN105957922A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 管式pecvd石墨舟工艺点上料装置
CN205856603U (zh) * 2016-06-27 2017-01-04 常州亿晶光电科技有限公司 全自动管式pecvd石墨舟工艺点安装装置
CN106736408A (zh) * 2017-02-13 2017-05-31 揭阳中诚集团有限公司 石墨舟工艺点自动装卸机
CN108364895A (zh) * 2018-04-27 2018-08-03 深圳市石金科技股份有限公司 一种石墨舟压点机
CN208965036U (zh) * 2018-09-14 2019-06-11 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 半自动化石墨舟卡点更换机

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007067218A (ja) * 2005-08-31 2007-03-15 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置および基板処理システム
CN203683661U (zh) * 2013-12-31 2014-07-02 上海索日新能源科技有限公司 一种用于高温扩散炉的石墨舟卡点装卸装置
CN203774265U (zh) * 2014-03-18 2014-08-13 衡水英利新能源有限公司 石墨舟片卡点更换工装桌
CN104465877A (zh) * 2014-12-15 2015-03-25 浙江鸿禧能源股份有限公司 一种石墨钉装卸台
CN205211720U (zh) * 2015-12-11 2016-05-04 上海弘枫实业有限公司 石墨舟片销钉快速压合及拆卸装置
CN105951059A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 全自动管式pecvd石墨舟工艺点安装装置
CN105951060A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 管式pecvd石墨舟工艺点拆卸装置
CN105957922A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 管式pecvd石墨舟工艺点上料装置
CN205856603U (zh) * 2016-06-27 2017-01-04 常州亿晶光电科技有限公司 全自动管式pecvd石墨舟工艺点安装装置
CN106736408A (zh) * 2017-02-13 2017-05-31 揭阳中诚集团有限公司 石墨舟工艺点自动装卸机
CN108364895A (zh) * 2018-04-27 2018-08-03 深圳市石金科技股份有限公司 一种石墨舟压点机
CN208965036U (zh) * 2018-09-14 2019-06-11 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 半自动化石墨舟卡点更换机

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