CN109234706B - 石墨舟新卡点储料箱 - Google Patents

石墨舟新卡点储料箱 Download PDF

Info

Publication number
CN109234706B
CN109234706B CN201811068731.4A CN201811068731A CN109234706B CN 109234706 B CN109234706 B CN 109234706B CN 201811068731 A CN201811068731 A CN 201811068731A CN 109234706 B CN109234706 B CN 109234706B
Authority
CN
China
Prior art keywords
storage box
new
point
graphite boat
clamping point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811068731.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109234706A (zh
Inventor
孙红彬
段波
陶龙忠
李静
杨灼坚
沙泉
唐福云
卢佩良
李宁
高顺
王存亮
高东坡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Runyang Yueda Photovoltaic Technology Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Runyang Yueda Photovoltaic Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Runyang Yueda Photovoltaic Technology Co Ltd filed Critical Jiangsu Runyang Yueda Photovoltaic Technology Co Ltd
Priority to CN201811068731.4A priority Critical patent/CN109234706B/zh
Publication of CN109234706A publication Critical patent/CN109234706A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109234706B publication Critical patent/CN109234706B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/458Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)

Abstract

本发明属于太阳能电池制造领域,尤其涉及一种石墨舟新卡点储料箱,包括供储存新卡点的储料箱体、设置在储料箱体的卡点滑道以及设置在卡点滑道下端的出料端,因而使用时可以将批量新卡点放置于所述储料箱体内,当石墨舟需要更换新卡点时,所述卡点滑道内的开闭装置打开,所述储料箱体内的新卡点经所述下料端滑落至所述卡点滑道内,最后经所述卡点滑道下端的出料端滑落至石墨舟更换机的装点工位,可以自动完成新卡点的上料,无需人工手动参与,工作效率高,由储料箱体可以储存大量新卡点,不用来回取放新卡点,更不会因卡点碰落一地而造成工作现场混乱,能够有效避免对新卡点造成损坏,具有广阔的应用前景。

Description

石墨舟新卡点储料箱
技术领域
本发明属于太阳能电池制造领域,尤其涉及一种石墨舟新卡点储料箱。
背景技术
随着太阳能电池的迅猛发展,越来越多的太阳能电池进入民用领域。在太阳能电池的生产过程中,PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,等离子体增强化学气相沉积法)镀膜工艺是生产流程中的重要环节,起到举足轻重的作用。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时,需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上。目前,载片器通常采用石墨舟,具体操作过程是:将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上,然后,将载有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空镀膜设备中,采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中,石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点,由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损,需要定期对卡点进行更换,以便保证石墨舟的良好状态,进而保证硅片的镀膜质量。
传统的石墨舟卡点更换操作方法是:石墨舟卡点更换需要使用到一台简易手动压机,同时压机两边需要用泡沫板或者橡胶皮垫垫得和手动压机平台一样的高度,操作人员坐在压机面前将石墨舟片平放置于手动压机平台上面,然后依次将石墨舟的24个卡点用手动压机卸下,石墨舟卡点卸下之后操作人员将要更换的新卡点放置于对应卡孔上面,小心翼翼的用左手扶好右手往下转动压机。现有这种人工操作过程时需要事先把要更换的石墨舟新卡点放到盒子里、塑料袋里或者直接放到操作台上,用多少就去仓库拿多少,这种取放方式既容易污染卡点又容易弄坏它,并且来回取卡点很浪费时间,工作效率非常低,如果放一大桶在工作台上的话,又容易被操作人员不小心碰倒,极易造成卡点的损坏,而且掉落的满地都是的卡点又造成工作现场一片混乱,影响工作效率。
发明内容
本发明的目的是解决上述现有技术的不足,提供一种不会对工作现场造成混乱、自动化程度高、可自动加料、工作效率高、能够大量储料且不会对新卡点造成损坏的石墨舟新卡点储料箱。
本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是:
一种石墨舟新卡点储料箱,用于向石墨舟卡点更换机装点工位提供新卡点,其特征在于,包括:
储料箱体,供储存新卡点,所述储料箱体底部设有下料端;
卡点滑道,设置在所述储料箱体底部,所述卡点滑道上端设有开闭装置,所述卡点滑道经所述开闭装置与所述储料箱体相通,当所述开闭装置打开时,所述储料箱体内的新卡点经所述下料端滑落至所述卡点滑道,当所述开闭装置闭合时,所述储料箱体内的新卡点停留在所述储料箱体内;
出料端,设置在所述卡点滑道下端,所述卡点滑道内的新卡点经由所述出料端滑落至所述装点工位。
优选的,本发明中所述开闭装置是在所述卡点滑道上端的储料箱体一侧设有滑轨,所述滑轨上设有可沿其自由滑动的滑座,所述卡点滑道上端设有阀塞,所述阀塞上端设有阀柱,所述阀柱上端连接所述滑座,所述储料箱体下侧设有气缸和滑块连杆,所述滑块连杆一端连接所述气缸活塞杆,另一端连接所述滑块。
优选的,本发明中所述阀塞为橡胶阀塞。
优选的,本发明中所述滑轨远离所述卡点滑道的一端设有限位盖。
优选的,本发明中所述限位盖上设有限位调节螺丝。
优选的,本发明中所述气缸上设有电磁阀,所述电磁阀连接石墨舟卡点更换机的控制机构。
优选的,本发明中所述储料箱体底部为漏斗形。
优选的,本发明中所述储料箱体上端设有箱盖。
优选的,本发明中所述卡点滑道与水平面的夹角为29°。
本发明的有益效果是,由于本发明石墨舟新卡点储料箱包括供储存新卡点的储料箱体、设置在储料箱体的卡点滑道以及设置在卡点滑道下端的出料端,因而使用时可以将批量新卡点放置于所述储料箱体内,当石墨舟需要更换新卡点时,所述卡点滑道内的开闭装置打开,所述储料箱体内的新卡点经所述下料端滑落至所述卡点滑道内,最后经所述卡点滑道下端的出料端滑落至石墨舟卡点更换机的装点工位,可以自动完成新卡点的上料,无需人工手动参与,工作效率高,由储料箱体可以储存大量新卡点,不用来回取放新卡点,更不会因卡点碰落一地而造成工作现场混乱,能够有效避免对新卡点造成损坏,具有广阔的应用前景。
附图说明
图1、图2为本发明石墨舟新卡点储料箱的一种实施例结构示意图,也是一种优选实施例示意图。
具体实施方式
以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例,本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
图1、图2示出了本发明石墨舟新卡点储料箱的一种实施例结构示意图,也是一种优选实施例示意图。如图1、图2所示,本实施例所述的石墨舟新卡点储料箱,用于向石墨舟更换机装点工位提供新卡点,包括:储料箱体10、卡点滑道20、出料端30,其中,所述储料箱体10供储存新卡点,所述储料箱体10底部设有下料端11;所述卡点滑道20设置在所述储料箱体10底部,所述卡点滑道20上端设有开闭装置,所述卡点滑道经所述开闭装置与所述储料箱体相通,当所述开闭装置打开时,所述储料箱体内的新卡点经所述下料端滑落至所述卡点滑道,当所述开闭装置闭合时,所述储料箱体内的新卡点停留在所述储料箱体内;所述出料端30设置在所述卡点滑道下端,所述卡点滑道内的新卡点经由所述出料端滑落至所述装点工位。
作为优选实施方式,如图1、图2所示,本实施例中所述开闭装置是在所述卡点滑道20上端的储料箱体一侧设有滑轨21,所述滑轨上设有可沿其自由滑动的滑座,所述卡点滑道上端设有阀塞22,所述阀塞上端设有阀柱23,所述阀柱上端连接所述滑座,所述储料箱体下侧设有气缸24和滑块连杆25,所述滑块连杆一端连接所述气缸活塞杆,另一端连接所述滑块,气缸24启动工作后,气缸活塞杆带动滑块连杆、滑块连杆带动滑块向上位移,滑块向上位移同时带动阀柱向上位移,阀柱向上位移带动阀塞由卡点滑道上端脱离,阀塞打开,储料箱体内的新卡点经下料端滑落至卡点滑道内,最后经所述卡点滑道下端的出料端滑落至石墨舟更换机的装点工位,可以自动完成新卡点的上料,无需人工手动参与,工作效率高,由储料箱体可以储存大量新卡点,不用来回取放新卡点,更不会因卡点碰落而造成工作现场混乱,有效避免对新卡点造成损坏。当装点工位中的新卡点已经上料好时,气缸反向工作,气缸活塞杆带动滑块连杆、滑块连杆带动滑块、滑块带动阀柱、阀柱带动阀塞向下位移,使阀塞与卡点滑道闭合,新卡点不再由储料箱体继续滑落至卡点滑道内,实现自动加料、定量加料,提高工作效率。
作为优选实施方式,本实施例中所述阀塞为橡胶阀塞,密闭效果好,且能够防止对新卡点造成划损,使用安全性高。优选的,如图1所示,本实施例所述滑轨远离所述卡点滑道的一端设有限位盖26,所述限位盖上设有限位调节螺丝27,可以对阀柱的运动行程进行限位,进一步提高使用安全性。优选的,如图1所示,本实施例中所述气缸上设有电磁阀28,所述电磁阀连接石墨舟卡点更换机的控制机构,可以根据工作过程自动控制气缸的开启,灵活性高,操作便利。
作为优选实施方式,如图1所示,本实施例中所述储料箱体10底部为漏斗形,便于新卡点的滑落,提高作业流程顺畅度。优选的,本实施例中所述储料箱体上端设有箱盖12,防止灰尘落入,保持新卡点清洁。优选的,本实施例中所述卡点滑道与水平面的夹角为29°,既能使新卡点滑落顺畅,提高工作效率,又不会因新卡点滑落速度过快而造成新卡点损坏,使用安全性高。
本领域的技术人员应理解,上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的目的已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明,在没有背离所述原理下,本发明的实施方式可以有任何变形或修改。

Claims (7)

1.一种石墨舟新卡点储料箱,用于向石墨舟更换机装点工位提供新卡点,其特征在于,包括:
储料箱体,供储存新卡点,所述储料箱体底部设有下料端;
卡点滑道,设置在所述储料箱体底部,所述卡点滑道上端设有开闭装置,所述卡点滑道经所述开闭装置与所述储料箱体相通,当所述开闭装置打开时,所述储料箱体内的新卡点经所述下料端滑落至所述卡点滑道,当所述开闭装置闭合时,所述储料箱体内的新卡点停留在所述储料箱体内;所述卡点滑道与水平面的夹角为29°;
出料端,设置在所述卡点滑道下端,所述卡点滑道内的新卡点经由所述出料端滑落至所述装点工位。
2.根据权利要求1所述的石墨舟新卡点储料箱,其特征在于,所述开闭装置是在所述卡点滑道上端的储料箱体一侧设有滑轨,所述滑轨上设有可沿其自由滑动的滑座,所述卡点滑道上端设有阀塞,所述阀塞上端设有阀柱,所述阀柱上端连接所述滑座,所述储料箱体下侧设有气缸和滑块连杆,所述滑块连杆一端连接气缸活塞杆,另一端连接所述滑块;所述滑轨远离所述卡点滑道的一端设有限位盖。
3.根据权利要求2所述的石墨舟新卡点储料箱,其特征在于,所述阀塞为橡胶阀塞。
4.根据权利要求2所述的石墨舟新卡点储料箱,其特征在于,所述限位盖上设有限位调节螺丝。
5.根据权利要求2所述的石墨舟新卡点储料箱,其特征在于,所述气缸上设有电磁阀,所述电磁阀连接石墨舟卡点更换机的控制机构。
6.根据权利要求1所述的石墨舟新卡点储料箱,其特征在于,所述储料箱体底部为漏斗形。
7.根据权利要求6所述的石墨舟新卡点储料箱,其特征在于,所述储料箱体上端设有箱盖。
CN201811068731.4A 2018-09-13 2018-09-13 石墨舟新卡点储料箱 Active CN109234706B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811068731.4A CN109234706B (zh) 2018-09-13 2018-09-13 石墨舟新卡点储料箱

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811068731.4A CN109234706B (zh) 2018-09-13 2018-09-13 石墨舟新卡点储料箱

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109234706A CN109234706A (zh) 2019-01-18
CN109234706B true CN109234706B (zh) 2024-02-06

Family

ID=65058624

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811068731.4A Active CN109234706B (zh) 2018-09-13 2018-09-13 石墨舟新卡点储料箱

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109234706B (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000025956A (ja) * 1998-07-09 2000-01-25 Sony Corp 粉体供給装置
CN204124769U (zh) * 2014-09-03 2015-01-28 奉化市精华轴业有限公司 一种轴校直机自动上料装置
CN205203899U (zh) * 2015-10-30 2016-05-04 中山市乾润精密钢球制造有限公司 钢球活塞供料装置
CN105951059A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 全自动管式pecvd石墨舟工艺点安装装置
CN206177427U (zh) * 2016-11-08 2017-05-17 绥阳县海红铸造有限责任公司 一种熔炉称量加料装置
CN107416476A (zh) * 2017-08-16 2017-12-01 重庆长江电工工业集团有限公司 一种缓存上料机构
CN208965032U (zh) * 2018-09-13 2019-06-11 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 石墨舟新卡点储料箱

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000025956A (ja) * 1998-07-09 2000-01-25 Sony Corp 粉体供給装置
CN204124769U (zh) * 2014-09-03 2015-01-28 奉化市精华轴业有限公司 一种轴校直机自动上料装置
CN205203899U (zh) * 2015-10-30 2016-05-04 中山市乾润精密钢球制造有限公司 钢球活塞供料装置
CN105951059A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 全自动管式pecvd石墨舟工艺点安装装置
CN206177427U (zh) * 2016-11-08 2017-05-17 绥阳县海红铸造有限责任公司 一种熔炉称量加料装置
CN107416476A (zh) * 2017-08-16 2017-12-01 重庆长江电工工业集团有限公司 一种缓存上料机构
CN208965032U (zh) * 2018-09-13 2019-06-11 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 石墨舟新卡点储料箱

Also Published As

Publication number Publication date
CN109234706A (zh) 2019-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108866512B (zh) 自动化石墨舟卡点更换机
CN205763192U (zh) 一种片料件自动压型设备
CN202985009U (zh) 自动安装塑封座装置
CN105945111A (zh) 一种片料件自动压型设备
CN201855777U (zh) 一种晶片涂胶设备
CN109161872B (zh) 自动化石墨舟卡点更换机模具
CN109234706B (zh) 石墨舟新卡点储料箱
CN106670041B (zh) 一种全自动喷涂机及其喷涂方法
CN109979638B (zh) 真空换靶机构
CN108914090B (zh) 半自动化石墨舟卡点更换机
CN208965032U (zh) 石墨舟新卡点储料箱
CN108914089B (zh) 自动化石墨舟卡点装点器
CN208965036U (zh) 半自动化石墨舟卡点更换机
CN215278106U (zh) 一种喷涂均匀的镀膜装置
CN203284452U (zh) 一种带有传片腔的单反应腔薄膜沉积设备
CN207595987U (zh) 一种镜片基板翻转装置
CN216607857U (zh) 一种石墨片卡点自动装卸设备
CN205904525U (zh) 一种双面倒角机
CN204355714U (zh) 一种光学零件倒棱自动化供片装置
CN211182387U (zh) 一种电池加工电解液浸润机构
CN208965034U (zh) 自动化石墨舟卡点更换机
CN208853418U (zh) 一种气动吹瓶机构及应用该气动吹瓶机构的气动挖瓶机
CN208965035U (zh) 自动化石墨舟卡点装点器
CN103394627A (zh) 一种铆钉半自动装入装置
CN219930220U (zh) 蒸发装置及真空镀膜设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant