CN108885151A - 压电传感器 - Google Patents

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Abstract

从前的压电传感器使用的切断配线图案或者可调激光电阻的放大率调节方法在传感器为成品的状态下不能调节放大率，因此引起了制造工序的复杂与制造成本的上升。另外，在与成品的状态不同的状态进行放大率调节，因此也会发生无法正确地设定成品的放大率的问题。通过在集成了压电传感器的电路元件的集成电路(110)内置非易失性存储器(111)并且从写入端子(114)写入数据，使放大电阻(a107)变化来进行放大率的调节。

Description

压电传感器
技术领域
本发明涉及压电传感器，是涉及通过压电元件检测物理量，对检测结果的电流信号积分、放大并且输出的压电传感器。
背景技术
使用了根据物理变形量发生电荷的压电元件的压电传感器，因为灵敏度优异、另外在高温环境下精度也不会降低，所以常被用作检测发动机的燃烧压力的传感器。
图3是表示从前的压电传感器的结构的一例的图。在图3中，分别以301表示压电元件，302表示直流断流电容，303表示放电电阻，304表示充电电容，305表示积分用运算放大器，312表示反馈端子，313表示信号输出端子，315表示信号输入端子，306表示基准电压源，307表示放大电阻a，308表示放大电阻b，309表示放大用运算放大器，310表示集成电路。
压电元件301在该压电元件301的表面具有一对电极，并且根据施加于压电元件301的应力从该电极输出电荷信号。因为从所述电极引绕配线而输入到电路区块的结构非常复杂，如图3所示，压电元件301普遍采用使电极的一方接地，并且从另一方的电极取得信号的结构。另一方的电极通过直流断流电容302被连接于积分用运算放大器305的负侧输入端子。
积分用运算放大器305在负侧输入端子与输出端子之间并联了充电电容304与放电电阻303，在积分用运算放大器305的正侧输入端子连接了基准电压源306，由积分用运算放大器305、充电电容304以及放电电阻303构成了积分电路。
从压电元件301输出的交流电荷信号经由用于阻断直流成分的直流断流电容302，在设置在积分用运算放大器305的输入输出之间的充电电容304被积累，并且被转换为被积分的电压信号Vo1。在此，通过在积分用运算放大器305使用高输入阻抗，从而即使在压电元件301的电荷信号为微弱的情况下也能够正确地进行检测。设置放电电阻303，该放电电阻303用于防止在交流电荷信号的正负平衡不均等的情况下的充电电容304的饱和，通过充电电容304与放电电阻303被确定的充放电时间常数与检测信号的周期相比需要具有足够的长度。
基准电压源306用于向积分电路以及放大电路提供预定的偏压，普遍使用利用了晶体管的带隙电压的稳压(调压)电路等。
在积分用运算放大器305的后段设置了放大电路，该放大电路放大积分用运算放大器305的输出信号Vo1，并且输出作为压电传感器的输出信号Vout。放大电路由放大用运算放大器309、放大电阻a307以及放大电阻b308构成，为在放大用运算放大器309的负侧输入端子与输出端子之间连接放大电阻b308，在正侧输入端子通过放大电阻a307连接基准电压源306的结构。
电路区块也能够由分立元件构成，但考虑到空间、成本，制成在单一的集成电路中是有益的。在图3所示的从前的例子中，使积分用运算放大器305、放大用运算放大器309，基准电压源306、放大电阻a307以及放大电阻b308集成电路化而构成集成电路310。即使在使电路区块单一集成电路化的情况下，通常也把充电电容304与放电电阻303设置于集成电路310的外部。这是因为在通常的情况下充电电容304与放电电阻303的值是大的，难以制成于集成电路310的内部。在集成电路310与该集成电路310的外部的连接部位设置了输入输出端子，在积分用运算放大器305与压电元件301的连接部位具备信号输入端子315；在积分用运算放大器305的输出与放电电阻303、充电电容304的连接部位具备反馈端子312；在运算放大器309的输出与外部的连接部位具备信号输出端子313。
图5是表示从前的压电传感器的其它的结构例的图。压电传感器具备：压电元件501；积分电路，该积分电路由积分用运算放大器505、放电电阻503以及充电电容504构成；基准电压源506；和放大用运算放大器509。在图3所示的从前的例子中，充电电容304与放电电阻303被设置在积分用运算放大器305的输入输出之间，图5所示的压电传感器为把充电电容504与放电电阻503设置在积分用运算放大器505的正侧输入端子与基准电压源506之间的结构。另外，图3的放大电路为一级结构的正转放大电路，但在图5的例子中，由如下的一级结构的反转放大电路构成：积分用运算放大器505的输入信号经由放大电阻a507输入到放大用运算放大器509的负侧输入端子，把放大电阻b508连接在负侧输入端子与输出端子之间，正侧输入端子与基准电压源506相连接。放大电路也能够为多级结构。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开第2009-115484号公报
发明内容
发明要解决的问题
有必要尽可能抑制各个产品的压电传感器的输出信号Vout的检测灵敏度的差异。但是，从压电元件产生的电荷信号的大小，由于压电元件结晶的生成过程的很小的差异或者加工精度，产生的电荷会发生较大的差异，压电传感器的输出信号Vout难以达到被要求的精度。
为此，在放大电路中设置调节放大率的装置、在组装传感器的工序中进行放大率的调节来确保输出信号Vout的精度是被普遍实施的。
图4是用于调节放大率的梯形电阻的一例，由与电阻Rf串联的四段电阻电路(R1至R4)构成。通过切断各段的电阻电路的P1至P4的配线，能够设定为从最小的Rf到最大的Rf+R1+R2+R3+R4范围的十六种电阻值。该梯形电阻被使用于放大电阻a或放大电阻b，或者被使用于放大电阻a和放大电阻b的双方，通过激光或者立铣刀切断P1至P4的配线，能够进行放大率的调节。
另外，也可以为以下的调节方法，即，在放大电阻a或放大电阻b、或者放大电阻a和放大电阻b的双方使用市场上出售的可调激光电阻，并通过激光进行电阻值的调节。
但是，上述调节方法存在在传感器的成品的状态下无法调节放大率的问题。图6是表示为压电传感器的一例的燃烧压力传感器的结构的分解立体图。在前壳体603的前端部设置了用于向压电元件604传达燃烧压力的隔膜头601，另外在前壳体603的中间部分设置了用于把燃烧压力传感器固定于发动机的固定螺纹602。压电元件604与导线605、电路基板606以及电路箱607被收纳于前壳体603与后壳体609内，并且前壳体603与后壳体609被焊接从而构成燃烧压力传感器。
在通过上述的切断基板配线或者可调激光电阻的方式进行放大率的调节的情况下，电路基板606需要露出于外部，在没有安装后壳体609的半成品的状态下进行放大率调节后，再安装后壳体609并且进行焊接。
上述的制造流程造成工序复杂，引起制造成本的上升。另外，因为在与成品不同的状态下进行放大率的调节，会发生在成品的状态下的放大率与调节时是不同的情况，也会发生没有正确地设定所预定的放大率的问题。
另外，在对传感器实际施加压力等后的输出进行监控的同时进行对放大率的调节为普遍的，在上述方法的情况下，切断了的图案或者写入了的可调电阻无法还原，因此也存在难以进行高精度的调节的问题。
本发明的目的在于：提供一种能够解决上述问题的，能够在成品的状态下，在短时间内高精度地进行放大率等的调节的压电传感器。
用于解决问题的手段
用于解决上述的问题，本发明的压电传感器，其特征在于，具备：压电元件，其用于检测压力；积分电路，其将从所述压电元件输出的电流信号积分并转换为电压信号；放大电路，其对所述积分电路的输出进行放大，并且向外部输出；基准电压源，其规定从所述放大电路输出的输出信号的补偿电压；能够写入的存储器，其存储设定所述放大电路的放大率的信息；和写入端子，其用于把所述信息写入所述存储器，所述积分电路、所述放大电路、所述基准电压源以及所述存储器被集成在单一的集成电路中。
另外，设为如下压电传感器：其特征在于，所述写入端子设置在将所述单一的集成电路与外部相连接的外部连接用连接器。
另外，本发明的压电传感器，其特征在于，具备：压电元件，其用于检测压力；积分电路，其将从所述压电元件输出的电流信号积分并转换为电压信号；放大电路，其对所述积分电路的输出进行放大，并且向外部输出；基准电压源，其规定从所述放大电路输出的输出信号的补偿电压；能够写入的存储器，其存储设定所述基准电压源的所述补偿电压的信息；和写入端子，其用于把所述信息写入所述存储器，所述积分电路、所述放大电路、所述基准电压源以及所述存储器被集成在单一的集成电路中。
另外，设为如下压电传感器：其特征在于，所述写入端子设置在将所述单一的集成电路与外部相连接的外部连接用连接器。
另外，本发明的压电传感器，其特征在于，具备：压电元件，其用于检测压力；积分电路，其将从所述压电元件输出的电流信号积分并转换为电压信号；放大电路，其对所述积分电路的输出进行放大，并且向外部输出；基准电压源，其规定从所述放大电路输出的输出信号的补偿电压；削波电路，其用于将所述放大电路的输出限制为规定范围；能够写入的存储器，其存储设定所述削波电路的削波电压的信息；和写入端子，其用于把所述信息写入所述存储器，所述积分电路、所述放大电路、所述基准电压源、所述削波电路以及所述存储器被集成在单一的集成电路中。
另外，设为如下压电传感器：其特征在于，所述写入端子设置在将所述单一的集成电路与外部相连接的外部连接用连接器。
发明效果
根据本发明的构成，能够提供一种在成品的状态下，能够在短时间内进行高精度的放大率调节的压电传感器。
附图说明
图1是表示本发明的压电传感器的一个实施例的图(实施例1)。
图2是表示根据存储内容改变电阻值的构成例的图。
图3是表示从前的燃烧压力传感器的构成例的图。
图4是表示从前的放大率调节用电阻的例子的图。
图5是表示从前的燃烧压力传感器的其它的构成例的图。
图6是表示燃烧压力传感器的机械结构例的分解立体图。
图7的(a)以及(b)是表示本发明的压电传感器与外部的连接端子部的图。
图8是表示把写入端子兼用为用户端子的情况的构成例的图。
图9是表示本发明的压电传感器的一个实施例的图(实施例2)。
图10是表示使基准电压可变的构成例的图。
图11的(a)以及(b)是用于说明具有削波功能的燃烧压力传感器的图。
图12是表示本发明的压电传感器的一个实施例的图(实施例3)。
具体实施方式
参照附图对本发明的压电传感器的具体的实施方式进行说明。
[实施例1]
图1是表示本发明的一个实施例的图。省略与图3所示的从前的例子的相同的结构的一部分的说明进行说明。在图1中，分别以101表示压电元件，102表示直流断流电容，103表示放电电阻，104表示充电电容，105表示积分用运算放大器，112表示反馈端子，113表示信号输出端子，115表示信号输入端子，106表示基准电压源，107表示放大电阻a，108表示放大电阻b，109表示放大用运算放大器，110表示集成电路，111表示非易失性存储器。
压电元件101在该压电元件101的表面具有一对电极，根据施加于压电元件101的应力从该电极输出电荷信号。压电元件101的电极的一方被接地，另一方的电极通过直流断流电容102被连接于积分用运算放大器105的负侧输入端子。
积分用运算放大器105在负侧输入端子与输出端子之间并联了充电电容104与放电电阻103，在正侧输入端子连接了基准电压源106，由积分用运算放大器105与充电电容104、放电电阻103构成了积分电路。
从压电元件101输出的交流电荷信号经由用于阻断直流成分的直流断流电容102，在设置在积分用运算放大器105的输入输出之间的充电电容104被积累，并且被转换为被积分的电压信号Vo1。
基准电压源106用于向积分电路以及放大电路提供预定的偏压。
在积分用运算放大器105的后段设置了放大电路，该放大电路对积分用运算放大器105的输出信号Vo1进行放大，并且输出作为压电传感器的输出信号Vout。放大电路由放大用运算放大器109、放大电阻a107以及放大电阻b108构成，为在放大用运算放大器109的负侧输入端子与输出端子之间连接放大电阻b108，在正侧输入端子通过放大电阻a107连接基准电压源106的结构。
在本实施例中，积分用运算放大器105、放大用运算放大器109、基准电压源106、放大电阻a107以及放大电阻b108被集成电路化而构成集成电路110。另外，集成电路110具备非易失性存储器111，存储设定放大电路的放大率的信息。在集成电路110与其外部的连接部位设置了输入输出端子，在积分用运算放大器105与压电元件101的连接部位具备信号输入端子115；在积分用运算放大器105的输出与放电电阻103、充电电容104的连接部位具备反馈端子112；在放大用运算放大器109的输出与外部的连接部位具备信号输出端子113；在非易失性存储器111还具备用于从外部写入信息的写入端子114。
本实施例的特征是在集成电路110内具备非易失性存储器111，该非易失性存储器111存储设定放大电路的放大率的信息，信息经由写入端子114被输入于非易失性存储器111，通过该信息能够控制放大电阻a107的值而使检测信号的放大率可变。放大电阻a107通过梯形电阻构成，以使得放大电阻a107的值可变。通过把非易失性存储器111内置于集成电路110，能够确保电路区块的实装面积的紧凑。
在本实施例中，通过非易失性存储器111来控制值的电阻是放大电阻a107，也可以构成为控制放大电阻b108的值，还可以构成为控制放大电阻a107和放大电阻b108的双方的值。
存储于非易失性存储器111的信息从连接于非易失性存储器111的写入端子114输入并且写入串行数据。串行数据的写入格式只要从现有的被普及的各种类型中适当地选择即可。根据格式的类型，写入端子114的根数被改变，在一般情况下端子数量越多的写入格式则写入速度越快。
在图2表示通过非易失性存储器111使电阻值变化的构成例。从写入端子114被写入的信息通过地址数据控制电路202被解码，并且被写入于目标存储单元203。而且，根据存储单元203的输出电平，使半导体开关204开闭，放大电阻a107变化为预定的电阻值。
非易失性存储器111可以为EEPROM、闪存(FLASH ROM)等可重写存储器，或者OTPROM、熔丝ROM等一次性写入存储器，本发明可以使用上述任意一种类型。
在使用一次性写入存储器的情况下，通过做成组合了可重写的易失性存储器和非易失性存储器的结构，能够正确地调节放大率。即，为在放大率调节工序中，一边在易失性存储器中写入信息一边监控输出电压进行调节，在决定了适当的放大率的时间点，把该放大率的值写入非易失性存储器的方法。
易失性存储器与非易失性存储器相比写入数据的速度非常的快速，因此，上述的组合易失性存储器与非易失性存储器的结构在使用可重写的非易失性存储器的情况下也是有用的。
图7是表示本发明的压电传感器与外部的连接端子部的图，是在图6所示的燃烧压力传感器的后壳体609侧的端部设置连接端子部的例子。如图7的(a)所示，传感器的连接端子部具备设有用户端子703(一般多为具有供给电源、供给GND和输出信号这三条接线的情况。)的外部连接用连接器702。通过同时在该外部连接用连接器702设置写入端子114，能够在传感器的成品的状态下写入放大率的数据。
即，在制造时的放大率调节工序中，将与用户端子703以及写入端子114都取得了导通的阴连接器与外部连接用连接器702相结合，一边从用户端子703对在对传感器施加压力的情况下的输出信号进行监控，一边在写入端子114写入数据，来进行放大率的调节。
写入端子114仅在制造的放大率调节工序中被使用，但在为图7的(a)的连接器的情况下，用户使用的阴插口也需要有对应于写入端子114的非导通的结合孔。因此，存在用户阴插口的端子数增加，成本上升的问题。
图7的(b)所示的连接器结构解决了上述问题。写入端子114被设置在比用户端子703的终端深的位置，用户能够照原样使用仅结合于用户端子703的三个端子的阴连接器。在制造的放大率调节工序中被使用的阴连接器设置有结合孔，该结合孔能够与写入端子114导通结合、比用户端子结合用的长，该阴连接器与写入端子114电导通而能够进行放大率的调节。
此外，以上对传感器侧为阳连接器的情况进行了说明，在传感器侧为阴连接器的情况下也能够完全同样地适用。另外，在图7的(a)以及图7的(b)中的写入端子为一根，为多根也能够完全同样地适用。
作为解决端子数量的另外的方法可以举出使写入端子兼用为用户端子，不需要专用的写入端子的结构。在图8中表示对应于该方法的集成电路的构成例。图8是表示本实施例的放大电路后段的另外的例子的图，放大电路的前段与图1所表示的压电传感器为同样的结构因此省略放大电路的前段。在由放大用运算放大器109、放大电阻a107以及放大电阻b108构成的放大电路的后段中设置了电子开关818，电子开关818与放大用运算放大器109的输出和非易失性存储器111可切换地连接，并且与兼用端子813相连接。另外，集成电路110具备电源监控电路816，该电源监控电路816通过电源端子815从外部总是被提供电源电压Vdd、总是与该电源电压Vdd相连接。电源监控电路816总是监控电源电压Vdd，在电源电压Vdd低于规定值的情况下，将电子开关818切换到连接放大用运算放大器109的输出与兼用端子813的方向，相反地，在电源电压Vdd为规定值以上的情况下，将电子开关818切换到连接非易失性存储器111的写入端子与兼用端子813的方向。
通过把上述的规定电压设定得比用户使用的电源电压的范围稍高(例如，在用户电源电压为4.5V至5.5V的情况下，使规定电压为6.0V)，用户能够一直把兼用端子813作为输出端子使用。而且，在制造的放大率调节工序中，首先把电源电压Vdd调高到规定值以上，在非易失性存储器111写入信息，接着把电源电压Vdd调低到小于规定值的用户电源电压，监控输出信号Vout的值，以这样的流程能够进行放大率的调节。
此外，以上对写入端子为一根的情况进行了叙述，但通过使电源端子自身为兼用端子，写入端子为两根的情况也同样地适用。
[实施例2]
接着，对本发明的压电传感器的其它的实施例进行说明。图9是表示本发明的压电传感器的其它的实施例的图。在下文中，省略与图1所表示的实施例1共同的部分的说明，对本实施例的特征结构进行说明。另外，对与图1所表示的实施例1共同的结构采用相同的标记进行说明。
在本实施例中，在集成电路110内具备非易失性存储器911，该非易失性存储器911被连接于放大电阻a107与基准电压源906，存储决定放大电路的放大率的信息以及决定基准电压源906的补偿电压的信息，通过写入于非易失性存储器911的信息，能够控制放大电阻a107的值和基准电压源906的补偿电压中的至少一方，使检测信号的放大率可变。
从基准电压源906输出的基准电压VR规定了输出信号Vout的直流补偿电压。通常该基准电压VR为定值，但是如图9所示，能够根据非易失性存储器911的内容使基准电压VR的值可变，由此能够提供附加价值高的燃烧压力传感器。
使基准电压VR可变的目的之一是因为有根据不同的用户或者机型而需要的直流补偿电压是不同的情况。在一开始就明确了补偿电压值的情况下，也能够或是准备与该值相符的集成电路，或是通过可变电阻调节基准电压值，但是如果能够通过内置于集成电路110的非易失性存储器911来适应补偿电压值，则即使对应不同的机型也能够使用同一集成电路，另外，无须耗费通过手动操作进行可变电阻调节的功夫。
使基准电压VR可变的另一个目的是对基准电压的微调节。一般来说，基准电压源多为由不易受到半导体的制造的偏差的影响的带隙调节器构成，但是即使这样，各批次集成电路之间或者每批次集成电路内也会发生从几毫伏到几十毫伏的电压的偏差。
在用户不容许上述补偿电压的偏差的情况下，需要微调节基准电压来抑制偏差。在没有输入压力信号的情况下，输出信号Vout输出直流补偿电压，所以能够通过一边监控输出信号Vout一边把数据写入非易失性存储器911来对基准电压进行微调节。
在图10表示使基准电压可变的电路构成例。基准电压源906由带隙调节器1001、运算放大器1002和两个可变电阻1003、1004构成。带隙调节器1001的输出通过运算放大器1002的正侧输入端子以及可变电阻1003与GND电位相连接，在运算放大器1002的负侧输入端子与输出端子之间连接了可变电阻1004。可变电阻1003、1004与非易失性存储器911相连接。
从带隙调节器1001输出的电压VB通过运算放大器1002与两个可变电阻1003、1004被转换为基准电压VR。通过由来自非易失性存储器911的信号控制可变电阻1003以及1004的电阻值，能够调节基准电压VR的值。
在改变上述的直流补偿电压的两个目的、即、按各个机型的变更以及微调节中，调节的精度以及调节的幅度大不相同。因此，为了能够对两者进行调节，优选准备两组可变电阻并且能够分别控制粗调和微调。
[实施例3]
在作为压电传感器的车辆用发动机燃烧压力传感器中，会有被要求输出电压的削波功能的情况。削波功能为对于超出预定的上限以及下限电压的电压，使电压削波控制启动，使传感器输出的电压为一定在电压的下限到上限的范围内的功能，被用于传感器的故障诊断。在由接受传感器输出的发动机侧ECU监控到削波电压范围外的电压的情况下，推断为传感器的故障或者线缆的断线等的异常事态的发生。
图11是用于说明具有削波功能的燃烧压力传感器的图，图11的(a)是表示了具有削波功能的燃烧压力传感器的输出电压的例子的图表，图11的(b)是表示了电压削波电路的一例的图。在图11的(a)中，实线表示输出电压，示出了在波形超过削波上限电压的情况下电压被上限电压削波而输出的情形。
图11的(b)是表示使用了双极型晶体管的电压削波电路的一例的电路图，相对于放大电路输出的图中上段表示上限削波电路，下段表示下限削波电路。
上限削波电路在电源电压Vdd(未图示)与GND之间串联的电阻1105、1106的连接点连接npn晶体管的栅极，npn晶体管的集电极被连接在电源电压Vdd，发射极通过电阻与GND相连接。npn晶体管的发射极被连接于pnp晶体管的基极。而且，pnp晶体管的集电极被连接于GND，发射极被连接于放大电路的输出线。为把电阻1105、1106的分压电压减去npn晶体管的基极与发射极之间的电压，加上pnp晶体管的基极与发射极之间的电压所得的值作为最大规定电压的结构。
另外，下限削波电路在电源电压Vdd(未图示)与GND之间串联的电阻1107、1108的连接点连接pnp晶体管的栅极，pnp晶体管的集电极被连接在GND，发射极通过电阻与电源电压Vdd相连接。pnp晶体管的发射极被连接于npn晶体管的基极。而且，npn晶体管的集电极被连接于电源电压Vdd，发射极被连接于放大电路的输出线。为电阻1107、1108的分压电压几乎与最小规定电压相等的结构。
通常削波电压是定值，但是与在实施例2叙述的补偿电压一样，通过根据非易失性存储器的内容可变，能够提供附加价值更高的燃烧压力传感器。在图12中表示构成例。
使削波电压可变的目的与在实施例2叙述的补偿电压是相同的，为对机型的不同引起的设置的不同进行补偿和微调节的对应。在图11的(b)所示的削波电路的情况下，通过改变电阻1105、1006、1107、1108的值，能够使削波电压变化。图12是表示本发明的压电传感器的另一个实施例的图。在下文中，省略与在图1、图9所示的实施例1、实施例2的共通的部分的说明，对本实施例的特征性的结构进行说明。另外，对与在图1所示的实施例1的共通的结构采用同一标记进行说明。在本实施例中，在集成电路110内的放大电路的后段设置了削波电路1215和非易失性存储器1211。非易失性存储器1211与放大电阻a107、基准电压源906以及削波电路1215相连接，存储决定放大电路的放大率的信息、决定基准电压源906的补偿电压的信息以及决定削波电路1215的削波电压的信息，能够根据写入于非易失性存储器1211的信息，控制放大电阻a107的值、基准电压源906的补偿电压以及削波电路1215的削波电压中的至少一个，使检测信号的放大率可变。为了控制削波电路1215的削波电压，只要对于削波电路1215将在图11的(b)中所示的电压削波电路的电阻1105、1106、1107以及1108中的任意一个做成可变电阻，根据存储于非易失性存储器1211的信息改变削波电路1215内的电阻值即可。
在上文中，基于三个实施例对本发明进行了说明，但是本发明的压电传感器并不局限于上述实施例，本发明的压电传感器包含在不超过本发明的思想的范围内的对上述实施例进行各种变更的发明。
附图标记说明
101、301、501…压电元件，102、302…直流断流电容，103、303、503…放电电阻，104、304、504…充电电容，105、305、505…积分用运算放大器，106、306、506、906…基准电压源，107、307、507…放大电阻a，108、308、508…放大电阻b，109、309、509…放大用运算放大器，110、310…集成电路，111、911、1211…非易失性存储器，112、312…反馈端子，113、313…信号输出端子，114…写入端子，115、315…信号输入端子，202…地址数据控制电路，203…存储单元，204…半导体开关，601…隔膜头，602…固定螺纹，603…前壳体，604…压电元件，605…导线，606…电路基板，607…电路箱，609…后壳体，702…外部连接用连接器，703…用户端子，813…兼用端子，815…电源端子，816…电源监控电路，818…电子开关，1001…带隙调节器，1002…运算放大器，1003、1004…可变电阻，1105、1106、1107、1108…电阻，1215…削波电路。

Claims (6)

1.一种压电传感器，其特征在于，具备：
压电元件，其用于检测压力；
积分电路，其将从所述压电元件输出的电流信号积分并转换为电压信号；
放大电路，其对所述积分电路的输出进行放大，并且向外部输出；
基准电压源，其规定从所述放大电路输出的输出信号的补偿电压；
能够写入的存储器，其存储设定所述放大电路的放大率的信息；和
写入端子，其用于把所述信息写入所述存储器，
所述积分电路、所述放大电路、所述基准电压源以及所述存储器被集成在单一的集成电路中。
2.根据权利要求1所述的压电传感器，其特征在于，
所述写入端子设置在将所述单一的集成电路与外部连接的外部连接用连接器。
3.一种压电传感器，其特征在于，具备：
压电元件，其用于检测压力；
积分电路，其将从所述压电元件输出的电流信号积分并转换为电压信号；
放大电路，其对所述积分电路的输出进行放大，并且向外部输出；
基准电压源，其规定从所述放大电路输出的输出信号的补偿电压；
能够写入的存储器，其存储设定所述基准电压源的所述补偿电压的信息；和
写入端子，其用于把所述信息写入所述存储器，
所述积分电路、所述放大电路、所述基准电压源以及所述存储器被集成在单一的集成电路中。
4.根据权利要求3所述的压电传感器，其特征在于，
所述写入端子设置在将所述单一的集成电路与外部相连接的外部连接用连接器。
5.一种压电传感器，其特征在于，具备：
压电元件，其用于检测压力；
积分电路，其将从所述压电元件输出的电流信号积分并转换为电压信号；
放大电路，其对所述积分电路的输出进行放大，并且向外部输出；
基准电压源，其规定从所述放大电路输出的输出信号的补偿电压；
削波电路，其用于将所述放大电路的输出限制为规定范围；
能够写入的存储器，其存储设定所述削波电路的削波电压的信息；和
写入端子，其用于把所述信息写入所述存储器，
所述积分电路、所述放大电路、所述基准电压源、所述削波电路以及所述存储器被集成在单一的集成电路中。
6.根据权利要求5所述的压电传感器，其特征在于，
所述写入端子设置在将所述单一的集成电路与外部相连接的外部连接用连接器。
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