CN108863094A - 喷镀设备及其控制方法 - Google Patents

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李兵
杨海军
尹盛焕
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Chongqing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
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Abstract

本发明公开了一种喷镀设备及其控制方法，设备包括：喷镀室；设置于所述喷镀室顶部的风机，所述风机用于向所述喷镀室内送风；设置于喷镀室底部的出风口，所述出风口的出风面积可调；检测装置，所述检测装置用于检测所述喷镀室内的风量变化情况；控制装置，所述控制装置与所述检测装置相连，所述控制装置用于根据所述喷镀室的风量变化情况判断所述喷镀室内的气流是否出现异常，并在所述喷镀室内的气流出现异常时对所述出风面积进行调整，以使所述喷镀室内的微尘有效排出，解决了设备内部的气流问题的同时通过气流将设备内部的微尘快速的排出，避免微尘滞留在设备内污染玻璃基板，提高设备的良率，降低成产成本。

Description

喷镀设备及其控制方法
技术领域
本发明涉及喷镀技术领域，特别涉及一种喷镀设备和喷镀设备的控制方法。
背景技术
喷镀设备时TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)领域Array阶段最重要的设备之一，喷镀设备的良率对整个TFT基板的良率至关重要。但是，相关技术存在的问题是，喷镀室通常采用全密封隔板设计，造成设备内的微尘无法及时快速排出设备，而滞留在设备内污染玻璃，导致设备生产的产品良率不高。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种喷镀设备，能够使喷镀室内的微尘有效排出。
本发明的另一个目的在于提出一种喷镀设备的控制方法。
为达到上述目的，本发明一方面实施例提出的喷镀设备，包括：喷镀室；设置于所述喷镀室顶部的风机，所述风机用于向所述喷镀室内送风；设置于喷镀室底部的出风口，所述出风口的出风面积可调；检测装置，所述检测装置用于检测所述喷镀室内的风量变化情况；控制装置，所述控制装置与所述检测装置相连，所述控制装置用于根据所述喷镀室的风量变化情况判断所述喷镀室内的气流是否出现异常，并在所述喷镀室内的气流出现异常时对所述出风面积进行调整，以使所述喷镀室内的微尘有效排出。
根据本发明实施例提出的喷镀设备，通过设置于喷镀室顶部的风机，向喷镀室内送风，并通过喷镀室底部的出风口出风，控制装置根据喷镀室的风量变化情况判断喷镀室内的气流是否出现异常，并在喷镀室内的气流出现异常时对出风面积进行调整，从而使喷镀室内的微尘有效排出，解决了设备内部的气流问题的同时通过气流将设备内部的微尘快速的排出，避免微尘滞留在设备内污染玻璃基板，提高设备的良率，降低成产成本。
根据本发明的一个实施例，所述喷镀室的风量变化情况包括进风变化量和出风变化量，所述控制装置还用于：在所述喷镀室的进风变化量等于出风变化量时，判断所述喷镀室内的气流处于正常状态；在所述喷镀室的进风变化量大于出风变化量时，判断喷镀室内的气流出现异常。
根据本发明的一个实施例，所述控制装置还用于：在所述喷镀室内的气流异常时，控制所述出风面积增大。
根据本发明的一个实施例，所述喷镀室还具有微尘区，所述出风口设置于所述微尘区的底部。
根据本发明的一个实施例，所述检测装置根据如下公式计算所述喷镀室的风量变化情况：
ΔQ＝(AEFU-PT·ΔVEFU-PT+APT(EFU)·ΔVPT(EFU))-(ΔA5-PT·ΔV5-PT+ΔAPT·ΔVPT)
其中，ΔQ为所述风量变化情况，ΔVPT(EFU)为所述微尘区的进风风速，APT(EFU)为所述微尘区的进风面积；ΔVEFU-PT为非微尘区的进风风速，AEFU-PT为非微尘区的进风面积；ΔAPT为所述微尘区的出风面积，ΔVPT为所述微尘区的出风风速；ΔA5-PT为非微尘区的出风面积，ΔV5-PT为非微尘区的出风风速。
根据本发明的一个实施例，所述控制装置还用于在所述喷镀室的进风变化量小于出风变化量时，判断喷镀室的密封性出现异常。
根据本发明的一个实施例，所述出风口采用百叶窗的形式进行设计。
为达到上述目的，本发明另一方面实施例提出的一种喷镀设备的控制方法，所述喷镀设备包括喷镀室、设置于所述喷镀室顶部的风机、设置于喷镀室底部的出风口，所述风机用于向所述喷镀室内送风，所述出风口的出风面积可调，所述控制方法包括以下步骤：检测所述喷镀室内的风量变化情况；根据所述喷镀室的风量变化情况判断所述喷镀室内的气流是否出现异常；如果所述喷镀室内的气流出现异常，则对所述出风面积进行调整，以使所述喷镀室内的微尘有效排出。
根据本发明实施例提出的喷镀设备的控制方法，首先检测喷镀室内的风量变化情况，然后根据喷镀室的风量变化情况判断喷镀室内的气流是否出现异常，如果喷镀室内的气流出现异常，则对出风面积进行调整，以使喷镀室内的微尘有效排出，解决了设备内部的气流问题的同时通过气流将设备内部的微尘快速的排出，避免微尘滞留在设备内污染玻璃基板，提高设备的良率，降低成产成本。
根据本发明的一个实施例，所述喷镀室的风量变化情况包括进风变化量和出风变化量，其中，当所述喷镀室的进风变化量等于出风变化量时，判断所述喷镀室内的气流处于正常状态；当所述喷镀室的进风变化量大于出风变化量时，判断喷镀室内的气流出现异常。
根据本发明的一个实施例，当所述喷镀室内的气流异常时，控制所述出风面积增大。
根据本发明的一个实施例，所述喷镀室内还具有微尘区，并根据如下公式计算所述喷镀室的风量变化情况：
ΔQ＝(AEFU-PT·ΔVEFU-PT+APT(EFU)·ΔVPT(EFU))-(ΔA5-PT·ΔV5-PT+ΔAPT·ΔVPT)
其中，ΔQ为所述风量变化情况，ΔVPT(EFU)为所述微尘区的进风风速，APT(EFU)为所述微尘区的进风面积；ΔVEFU-PT为非微尘区的进风风速，AEFU-PT为非微尘区的进风面积；ΔAPT为所述微尘区的出风面积，ΔVPT为所述微尘区的出风风速；ΔA5-PT为非微尘区的出风面积，ΔV5-PT为非微尘区的出风风速。
根据本发明的一个实施例，当所述喷镀室的进风变化量小于出风变化量时，还判断喷镀室的密封性出现异常。
附图说明
图1为根据本发明实施例的喷镀设备的方框示意图；
图2为根据本发明一个实施例的喷镀设备的结构示意图；
图3为根据本发明一个实施例的喷镀设备的方框示意图；
图4为根据本发明实施例的喷镀设备的控制方法的流程图；
图5为根据本发明一个具体实施例的喷镀设备的控制方法的流程图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
下面参考附图来描述本发明实施例的喷镀设备和喷镀设备的控制方法。
图1为根据本发明实施例的喷镀设备的方框示意图。如图1所示，本发明实施例的喷镀设备包括：喷镀室10、风机20、出风口30、检测装置40和控制装置50。
其中，风机20设置于喷镀室10的顶部，风机20用于向喷镀室10内送风；出风口30设置于喷镀室10的底部，出风口30的出风面积可调；检测装置40用于检测喷镀室10内的风量变化情况；控制装置50与检测装置40相连，控制装置50用于根据喷镀室10的风量变化情况判断喷镀室10内的气流是否出现异常，并在喷镀室10内的气流出现异常时对出风面积进行调整，以使喷镀室10内的微尘有效排出。
根据本发明的一个实施例，出风口30采用百叶窗的形式进行设计。其中，百叶窗的每个叶片的角度可调，从而可通过调整百叶窗的角度调整出风口30的面积，同时，百叶窗的叶片安装在铁丝护栏上，以通过铁丝护栏起到安全防护的作用。
需要说明的是，如图2所示，喷镀设备还具有真空腔室60，真空腔室60与喷镀室10之间通过真空门连接，当真空门开关时，由于真空腔室60和喷镀室10之间的压强差，致使大量微尘由真空腔室进入喷镀室10内，而此时若喷镀室10内的空气无法有效排出，尤其当喷镀室10内的气体过多发生横向气流、涡流和上浮气流时，会使微尘滞留在喷镀室内，从而污染待喷镀设备，影响喷镀设备的良品率，因此，需要将喷镀室10内的微尘有效排出，以防止待喷镀设备被微尘污染。
在本发明实施例中，为了使喷镀室10内的微尘有效排出，则喷镀室10的出风口30处的出风风速不能低于0.3m/s，喷镀室10与外界空气的静压差应当大于5Pa。
基于此，检测装置40检测喷镀室10内的风量变化情况，并发送至控制装置50，控制装置50接收检测装置40发送的喷镀室10的风量变化情况，然后根据喷镀室10的风量变化情况判断喷镀室10内的气流是否出现异常，如果不出现异常，则控制装置50控制喷镀设备按照当前状态继续运行，如果出现异常，则控制装置50控制出风口30的面积进行调整，以使喷镀室内的微尘有效排出。
根据本发明的一个实施例，在喷镀室10内的气流异常时，控制出风面积增大，从而在出风风速不变时，增大喷镀室10的出风量，以使微尘有效排出。
根据本发明的一个实施例，喷镀室10的风量变化情况包括进风变化量和出风变化量，控制装置50还用于：在喷镀室10的进风变化量等于出风变化量时，判断喷镀室10内的气流处于正常状态；在喷镀室10的进风变化量大于出风变化量时，判断喷镀室10内的气流出现异常；在喷镀室10的进风变化量小于出风变化量时，判断喷镀室10的密封性出现异常。
也就是说，检测装置40可检测喷镀室10的进风变化量和出风变化量，并发送至控制装置50，控制装置50根据喷镀室10检测的进风变化量和出风变化量的大小关系对喷镀室10内的风量变化情况进行判断，当喷镀室10的进风变化量等于出风变化量时，即进入喷镀室10的气体量与排出喷镀室10的气体量平衡，则判断喷镀室10内的气流处于正常状态，喷镀室10的进风变化量大于出风变化量时，即进入喷镀室10的气体量高于排出喷镀室10的气体量，则判断喷镀室10内的气流异常，其中，气流异常可为喷镀室10内产生横向气流、涡流或上浮气流中的一种或多种；当喷镀室10的进风变化量小于出风变化量时，即进入喷镀室10的气体量小于排出喷镀室10的气体量，则判断喷镀室10的密封性出现异常。
具体地，如图2和图3所示，喷镀室10还具有微尘区11，出风口30设置与微尘区11的底部。
也就是说，当控制装置50判断喷镀室10内气流异常时，控制装置50控制设置于微尘区11底部的出风口30的面积增大，从而提高出风口的出风量，使微尘能够有效排出喷镀室。
根据本发明的一个实施例，检测装置40根据如下公式计算喷镀室10的风量变化情况：
ΔQ＝(AEFU-PT·ΔVEFU-PT+APT(EFU)·ΔVPT(EFU))-(ΔA5-PT·ΔV5-PT+ΔAPT·ΔVPT)
其中，ΔQ为风量变化情况，ΔVPT(EFU)为微尘区的进风风速，APT(EFU)为微尘区的进风面积；ΔVEFU-PT为非微尘区的进风风速，AEFU-PT为非微尘区的进风面积；ΔAPT为微尘区的出风面积，ΔVPT为微尘区的出风风速；ΔA5-PT为非微尘区的出风面积，ΔV5-PT为非微尘区的出风风速。
根据上述公式可知，微尘区11也可设置有风机，从而使喷镀室10的进风变化量包括微尘区11的进风风量和非微尘区11的进风风量，喷镀室10的出风风量包括微尘区11的出风风量和非微尘区11的出风风量。
其中，检测装置40可进一步用于检测微尘区11的进风风速ΔVPT(EFU)，微尘区11的进风面积APT(EFU)，非微尘区12的进风风速ΔVEFU-PT，非微尘区12的进风面积AEFU-PT；微尘区11的出风面积ΔAPT，微尘区11的出风风速ΔVPT；非微尘区12的出风面积ΔA5-PT，非微尘区12的出风风速ΔV5-PT。具体地，微尘区11的进风面积APT(EFU)，非微尘区12的进风面积AEFU-PT；非微尘区12的出风面积ΔA5-PT在喷镀设备运行时保持不变，可提前预设在检测装置40内。
当喷镀室10的进风风量等于出风风量时，ΔQ等于0，此时喷镀室10内的气流处于正常状态；当喷镀室10的进风风量大于出风风量时，ΔQ大于0，此时喷镀室10内的气流出现异常，控制装置50控制微尘区11的出风面积ΔAPT增大喷镀室的出风风量等于进风风量，从而加大喷镀室的出风风量，以使喷镀室内的气流尽快恢复正常。
当喷镀室10的进风风量小于出风风量时，ΔQ小于0，此时喷镀室10的密封性出现异常，应当提醒工作人员进行检查维修，以保证喷镀操作的正常进行。
应当理解的是，在喷镀设备工作过程中，应当实施例检测喷镀设备的风量变化情况，以保证喷镀设备运行时喷镀室内的洁净度。
综上所述，根据本发明实施例提出的喷镀设备，通过设置于喷镀室顶部的风机，向喷镀室内送风，并通过喷镀室底部的出风口出风，控制装置根据喷镀室的风量变化情况判断喷镀室内的气流是否出现异常，并在喷镀室内的气流出现异常时对出风面积进行调整，从而使喷镀室内的微尘有效排出，解决了设备内部的气流问题的同时通过气流将设备内部的微尘快速的排出，避免微尘滞留在设备内污染玻璃基板，提高设备的良率，降低成产成本。
图4为根据本发明实施例的喷镀设备的控制方法的流程图。喷镀设备包括喷镀室、设置于喷镀室顶部的风机、设置于喷镀室底部的出风口，风机用于向喷镀室内送风，出风口的出风面积可调。
如图4所示，本发明实施例的喷镀设备的控制方法包括：
S1：检测喷镀室内的风量变化情况。
需要说明的是，可通过检测装置检测喷镀室内的风量变化情况。
S2：根据喷镀室的风量变化情况判断喷镀室内的气流是否出现异常。
S3：如果喷镀室内的气流出现异常，则对出风面积进行调整，以使喷镀室内的微尘有效排出。
需要说明的是，如图2所示，喷镀设备还具有真空腔室，真空腔室60与喷镀室之间通过真空门连接，当真空门开关时，由于真空腔室和喷镀室之间的压强差，致使大量微尘由真空腔室进入喷镀室内，而此时若喷镀室内的空气无法有效排出，尤其当喷镀室内的气体过多发生横向气流、涡流和上浮气流时，会使微尘滞留在喷镀室内，从而污染待喷镀设备，影响喷镀设备的良品率，因此，需要将喷镀室内的微尘有效排出，以防止待喷镀设备被微尘污染。
在本发明实施例中，为了使喷镀室内的微尘有效排出，则喷镀室的出风口处的出风风速不能低于0.3m/s，喷镀室与外界空气的静压差应当大于5Pa。
基于此，可通过检测装置检测喷镀室内的风量变化情况，然后根据喷镀室的风量变化情况判断喷镀室内的气流是否出现异常，如果不出现异常，则控制喷镀设备按照当前状态继续运行，如果出现异常，则控制出风口的面积进行调整，以使喷镀室内的微尘有效排出。
根据本发明的一个实施例，喷镀室的风量变化情况包括进风变化量和出风变化量，其中，当喷镀室的进风变化量等于出风变化量时，判断喷镀室内的气流处于正常状态；当喷镀室的进风变化量大于出风变化量时，判断喷镀室内的气流出现异常，当喷镀室的进风变化量小于出风变化量时，还判断喷镀室的密封性出现异常。
根据本发明的一个实施例，当喷镀室内的气流异常时，控制出风面积增大，从而在出风风速不变时，增大喷镀室的出风量，以使微尘有效排出。
也就是说，检测装置可检测喷镀室的进风变化量和出风变化量，根据喷镀室检测的进风变化量和出风变化量的大小关系对喷镀室内的风量变化情况进行判断，当喷镀室的进风变化量等于出风变化量时，即进入喷镀室的气体量与排出喷镀室的气体量平衡，则判断喷镀室内的气流处于正常状态，喷镀室的进风变化量大于出风变化量时，即进入喷镀室的气体量高于排出喷镀室的气体量，则判断喷镀室内的气流异常，其中，气流异常可为喷镀室内产生横向气流、涡流或上浮气流中的一种或多种；当喷镀室的进风变化量小于出风变化量时，即进入喷镀室的气体量小于排出喷镀室的气体量，则判断喷镀室的密封性出现异常。
根据本发明的一个实施例，喷镀室内还具有微尘区，并根据如下公式计算喷镀室的风量变化情况：
ΔQ＝(AEFU-PT·ΔVEFU-PT+APT(EFU)·ΔVPT(EFU))-(ΔA5-PT·ΔV5-PT+ΔAPT·ΔVPT)
其中，ΔQ为风量变化情况，ΔVPT(EFU)为微尘区的进风风速，APT(EFU)为微尘区的进风面积；ΔVEFU-PT为非微尘区的进风风速，AEFU-PT为非微尘区的进风面积；ΔAPT为微尘区的出风面积，ΔVPT为微尘区的出风风速；ΔA5-PT为非微尘区的出风面积，ΔV5-PT为非微尘区的出风风速。
根据上述公式可知，微尘区也可设置有风机，从而使喷镀室的进风变化量包括微尘区的进风风量和非微尘区的进风风量，喷镀室的出风风量包括微尘区的出风风量和非微尘区的出风风量。
其中，检测装置可进一步用于检测微尘区的进风风速ΔVPT(EFU)，微尘区的进风面积APT(EFU)，非微尘区的进风风速ΔVEFU-PT，非微尘区的进风面积AEFU-PT；微尘区的出风面积ΔAPT，微尘区的出风风速ΔVPT；非微尘区的出风面积ΔA5-PT，非微尘区的出风风速ΔV5-PT。具体地，微尘区的进风面积APT(EFU)，非微尘区的进风面积AEFU-PT；非微尘区的出风面积ΔA5-PT在喷镀设备运行时保持不变，可提前预设在检测装置内。
当喷镀室的进风风量等于出风风量时，ΔQ等于0，此时喷镀室内的气流处于正常状态；当喷镀室的进风风量大于出风风量时，ΔQ大于0，此时喷镀室内的气流出现异常，控制微尘区的出风面积ΔAPT增大使喷镀室的出风风量等于进风风量，从而加大喷镀室的出风风量，以使喷镀室内的气流尽快恢复正常。
当喷镀室的进风风量小于出风风量时，ΔQ小于0，此时喷镀室的密封性出现异常，应当提醒工作人员进行检查维修，以保证喷镀操作的正常进行。
应当理解的是，在喷镀设备工作过程中，应当实施例检测喷镀设备的风量变化情况，以保证喷镀设备运行时喷镀室内的洁净度。
根据本发明的一个具体实施例，如图5所示，本发明实施例的喷镀设备的控制方法，包括以下步骤：
S101：检测喷镀室内的进风风量和出风风量。
S102：判断喷镀室内的进风风量和出风风量之间的关系。
如果进风风量等于出风风量，则执行步骤S103；
如果进风风量大于出风风量，则执行步骤S104；
如果进风风量小于出风风量，则执行步骤S105。
S103：控制喷镀设备继续运行，并返回步骤S101。
S104：控制微尘区的面积增大，并返回步骤S101。
S105：密封性异常提醒，并停止运行。
综上所述，根据本发明实施例提出的喷镀设备的控制方法，首先检测喷镀室内的风量变化情况，然后根据喷镀室的风量变化情况判断喷镀室内的气流是否出现异常，如果喷镀室内的气流出现异常，则对出风面积进行调整，以使喷镀室内的微尘有效排出，解决了设备内部的气流问题的同时通过气流将设备内部的微尘快速的排出，避免微尘滞留在设备内污染玻璃基板，提高设备的良率，降低成产成本。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (12)

1.一种喷镀设备，其特征在于，包括：
喷镀室；
设置于所述喷镀室顶部的风机，所述风机用于向所述喷镀室内送风；
设置于喷镀室底部的出风口，所述出风口的出风面积可调；
检测装置，所述检测装置用于检测所述喷镀室内的风量变化情况；
控制装置，所述控制装置与所述检测装置相连，所述控制装置用于根据所述喷镀室的风量变化情况判断所述喷镀室内的气流是否出现异常，并在所述喷镀室内的气流出现异常时对所述出风面积进行调整，以使所述喷镀室内的微尘有效排出。
2.如权利要求1所述的喷镀设备，其特征在于，所述喷镀室的风量变化情况包括进风变化量和出风变化量，所述控制装置还用于：
在所述喷镀室的进风变化量等于出风变化量时，判断所述喷镀室内的气流处于正常状态；
在所述喷镀室的进风变化量大于出风变化量时，判断喷镀室内的气流出现异常。
3.如权利要求2所述的喷镀设备，其特征在于，所述控制装置还用于：
在所述喷镀室内的气流异常时，控制所述出风面积增大。
4.如权利要求1-3中任意一项所述的喷镀设备，其特征在于，所述喷镀室还具有微尘区，所述出风口设置于所述微尘区的底部。
5.如权利要求4中任意一项所述的喷镀设备，其特征在于，所述检测装置根据如下公式计算所述喷镀室的风量变化情况：
ΔQ＝(AEFU-PT·ΔVEFU-PT+APT(EFU)·ΔVPT(EFU))-(ΔA5-PT·ΔV5-PT+ΔAPT·ΔVPT)
其中，ΔQ为所述风量变化情况，ΔVPT(EFU)为所述微尘区的进风风速，APT(EFU)为所述微尘区的进风面积；ΔVEFU-PT为非微尘区的进风风速，AEFU-PT为非微尘区的进风面积；ΔAPT为所述微尘区的出风面积，ΔVPT为所述微尘区的出风风速；ΔA5-PT为非微尘区的出风面积，ΔV5-PT为非微尘区的出风风速。
6.如权利要求2所述的喷镀设备，其特征在于，所述控制装置还用于在所述喷镀室的进风变化量小于出风变化量时，判断喷镀室的密封性出现异常。
7.如权利要求4项所述的喷镀设备，其特征在于，所述出风口采用百叶窗的形式进行设计。
8.一种喷镀设备的控制方法，其特征在于，所述喷镀设备包括喷镀室、设置于所述喷镀室顶部的风机、设置于喷镀室底部的出风口，所述风机用于向所述喷镀室内送风，所述出风口的出风面积可调，所述控制方法包括以下步骤：
检测所述喷镀室内的风量变化情况；
根据所述喷镀室的风量变化情况判断所述喷镀室内的气流是否出现异常；
如果所述喷镀室内的气流出现异常，则对所述出风面积进行调整，以使所述喷镀室内的微尘有效排出。
9.如权利要求8所述的喷镀设备的控制方法，其特征在于，所述喷镀室的风量变化情况包括进风变化量和出风变化量，其中，
当所述喷镀室的进风变化量等于出风变化量时，判断所述喷镀室内的气流处于正常状态；
当所述喷镀室的进风变化量大于出风变化量时，判断喷镀室内的气流出现异常。
10.如权利要求8所述的喷镀设备的控制方法，其特征在于，当所述喷镀室内的气流异常时，控制所述出风面积增大。
11.如权利要求8所述的喷镀设备的控制方法，其特征在于，所述喷镀室内还具有微尘区，并根据如下公式计算所述喷镀室的风量变化情况：
ΔQ＝(AEFU-PT·ΔVEFU-PT+APT(EFU)·ΔVPT(EFU))-(ΔA5-PT·ΔV5-PT+ΔAPT·ΔVPT)
其中，ΔQ为所述风量变化情况，ΔVPT(EFU)为所述微尘区的进风风速，APT(EFU)为所述微尘区的进风面积；ΔVEFU-PT为非微尘区的进风风速，AEFU-PT为非微尘区的进风面积；ΔAPT为所述微尘区的出风面积，ΔVPT为所述微尘区的出风风速；ΔA5-PT为非微尘区的出风面积，ΔV5-PT为非微尘区的出风风速。
12.如权利要求8所述的喷镀设备的控制方法，其特征在于，当所述喷镀室的进风变化量小于出风变化量时，还判断喷镀室的密封性出现异常。
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