CN108645959A - 监控剥离液中胺类浓度变化的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，通过酸碱滴定的原理来监控剥离液的碱度，从而监控剥离液中胺类浓度的变化，若发现剥离液的碱度改变到无法有效进行剥离的数值，工作人员可以及时进行调整，避免所述剥离液的胺类成分的损耗造成液晶显示面板的异常。
Description
技术领域
本发明涉及液晶显示面板，尤其涉及一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法。
背景技术
薄膜晶体管(TFT，ThinFilmTransistor)是阵列基板的重要元件之一，薄膜晶体管技术是液晶显示技术的核心，对液晶显示面板的质量有着重大的影响。随着平板显示(FlatPanelDisplay，FPD)技术的发展，人们对显示器分辨率和画面刷新速率的追求越来越高，因此新材料和新工艺的发展也迫在眉睫。
目前，在液晶显示器(TFTLCD)的加工制造领域，导电层金属的材料主要以铝和钼为主，铝和钼的优点在于成膜工艺简单，黏附性和平坦性较好，较柔软且不容易发生爬坡断线以及不容易扩散(扩散导致膜层污染)。对于小尺寸和低分辨率的面板而言，铝是首选的理想导电金属材料。但由于铝的电阻率相对较大，因此对于大尺寸和高分辨率面板而言，就不能满足需求了。
作为导电金属材料，铜的导电率要远远优于铝，对于15.0寸的UXGA(UltraeXtendedGraphicsArray)显示屏，采用铜取代铝作为导电金属材料，其面板分辨率可以提升35.2％，亮度可以提高32％，同时画面闪烁(flicker)和线负载都能大大降低。因此，针对目前高分辨率面板的市场需求，将使用铜取代铝应用到未来的显示面板中。
在基底上制作薄膜晶体管的金属走线时，由于铜的电阻率较小，更适合用于制作大尺寸液晶显示装置的金属线电路，因此一般采用铜材料制作薄膜晶体管的电极。而在采用铜材料制作薄膜晶体管的电极或金属线电路时，均需要进行图案化，然后采用剥离液对图案以外的铜材料进行剥离去除，随着越来越多新技术和新工艺，不同浓度的胺类成分的剥离液对铜的剥离效果和效率均不同，而现有技术中未有任何方法可以确认剥离液的胺类浓度在使用过程中是否发生变化，当剥离液的胺类浓度下降到一定数值而无法保证剥离效果和效率时，容易造成剥离异常，进而造成液晶显示面板异常，为了避免采用不同浓度的胺类成分的剥离液进行剥离制程而造成液晶显示面板异常，亟需一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，能够监控剥离液中胺类浓度的变化，避免剥离液的胺类成分的损耗造成液晶显示面板的异常。
为实现上述目的，本发明提供了一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，包括以下步骤：提供剥离标准液，所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，分别测定所述第一、第二剥离标准液的碱度，确认出所述剥离标准液的碱度区间；提供剥离液，测定所述剥离液的碱度，确认所述剥离液的碱度是否在所述剥离标准液的碱度区间内；
所述第一、第二剥离标准液与所述剥离液均包括胺类成分，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度，所述第一剥离标准液的碱度大于所述第二剥离标准液的碱度。
所述监控剥离液中胺类浓度变化的方法具体包括以下步骤：
步骤1、提供测试液、取样容器及标准滴定溶液，所述标准滴定溶液为强酸，所述标准滴定溶液的酸度系数为1-4，所述标准滴定溶液的浓度为Ymol/L；
所述测试液包括剥离标准液和剥离液；所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度；
步骤2、移取所述测试液X mL于所述取样容器中得到液样，使用所述标准滴定溶液对所述取样容器中的液样进行酸碱滴定至终点，记录消耗所述标准滴定溶液的体积Vm，重复上述操作m次；
步骤3、计算消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm，取m次消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm的平均值为最终碱度N，所述碱度Nm的计算公式如下：
其中，Vm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积，Vm的单位为mL，Nm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积对应的碱度，M为所述标准滴定溶液的摩尔质量，X＞0，Y＞0，m为大于0的整数，所述碱度Nm的单位为g/L；
步骤4、依次使所述步骤1-3中的测试液为第一、第二剥离标准液与剥离液，通过所述步骤1-3可以得到所述第一、第二剥离标准液的最终碱度与剥离液的最终碱度，所述第一、第二剥离标准液的最终碱度分别为剥离标准液的碱度区间的上限值、下限值，确认所述剥离液的最终碱度是否介于所述第一、第二剥离标准液的最终碱度之间，从而确定所述剥离液中胺类成分是否能够满足生产需求。
所述剥离标准液与剥离液为用于液晶显示面板的铜剥离液。
所述剥离标准液与剥离液还包括NMF、BDG及添加剂。；
所述步骤1中，还包括提供移液管、指示剂与酸碱滴定管的步骤；
所述步骤2中，采用移液管移取所述测试液X mL于所述取样容器中得到液样，向所述取样容器滴加指示剂并摇匀得到混合溶液，向所述酸碱滴定管加入所述标准滴定溶液，通过装有标准滴定溶液的酸碱滴定管对所述取样容器中的混合溶液进行酸碱滴定。
所述指示剂为甲基橙指示剂，所述混合溶液的滴定终点为使所述混合溶液由黄色变为橙红色之时。
所述每次消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm与所述最终碱度N之间的允许差不超过0.15g/L。
所述步骤1中，所述标准滴定溶液为盐酸标准滴定溶液，所述盐酸标准滴定溶液的浓度为0.1-1mol/L。
所述步骤2中，所述m为5。
所述剥离液中，胺类浓度和碱度值呈正相关关系。
本发明的有益效果：本发明提供的一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，通过酸碱滴定的原理来监控剥离液的碱度，若发现剥离液的碱度改变到无法有效进行剥离的数值，工作人员可以及时进行调整，从而监控剥离液中胺类浓度的变化，避免所述剥离液的胺类浓度的损耗造成液晶显示面板的异常。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的监控剥离液中胺类浓度变化的方法的流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
本发明提供一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，包括以下步骤：提供剥离标准液，所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，分别测定所述第一、第二剥离标准液的碱度，确认出所述剥离标准液的碱度区间；提供剥离液，测定所述剥离液的碱度，确认所述剥离液的碱度是否在所述剥离标准液的碱度区间内；
所述第一、第二剥离标准液与所述剥离液均包括胺类成分，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度，所述第一剥离标准液的碱度大于所述第二剥离标准液的碱度。
所述碱度为每升剥离液中能与强酸即H+发生中和作用的物质总量，剥离液中的胺类成分呈碱性，所述胺类成分能与强酸中的H+发生中和作用，不同胺类浓度的剥离液中的碱度也不同，胺类浓度和碱度值呈正相关关系，随着剥离制程的进行，剥离液中的胺类成分会减少，也即随着剥离制程的进行剥离液中的胺类成分的浓度会减小，相应地，由于剥离液中的胺类成分会减少，剥离液对应的碱度也会减小，本发明通过酸碱滴定原理对剥离液的碱度值的测量确认从而起到监控配方中的胺类浓度的作用，从而可以确定是否需要更换或补充剥离液，进而确保剥离制程的正常进行。通过该方法能够有效监控剥离液中胺类浓度的变化，工作人员可以及时对剥离液进行调整，避免所述剥离液的胺类浓度的损耗造成液晶显示面板的异常。
具体地，请参阅图1，所述监控剥离液中胺类浓度变化的方法具体包括以下步骤：
步骤1、提供测试液、取样容器及标准滴定溶液，所述标准滴定溶液为强酸，所述标准滴定溶液的酸度系数为1-4，所述标准滴定溶液的浓度为Ymol/L；
所述测试液包括剥离标准液和剥离液；所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度；
步骤2、移取所述测试液X mL于所述取样容器中得到液样，使用所述标准滴定溶液对所述取样容器中的液样进行酸碱滴定至终点，记录消耗所述标准滴定溶液的体积Vm，重复上述操作m次；
步骤3、计算消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm，取m次消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm的平均值为最终碱度N，所述碱度Nm的计算公式如下：
其中，Vm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积，Vm的单位为mL，Nm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积对应的碱度，M为所述标准滴定溶液的摩尔质量，X＞0，Y＞0，m为大于0的整数，所述碱度Nm的单位为g/L；
步骤4、依次使所述步骤1-3中的测试液为第一、第二剥离标准液与剥离液，通过所述步骤1-3可以得到所述第一、第二剥离标准液的最终碱度与剥离液的最终碱度，所述第一、第二剥离标准液的最终碱度分别为剥离标准液的碱度区间的上限值、下限值，确认所述剥离液的最终碱度是否介于所述第一、第二剥离标准液的最终碱度之间，从而确定所述剥离液中胺类成分是否能够满足生产需求。
若剥离液的最终碱度在第一、第二剥离标准液的最终碱度之间内，则剥离液的胺类浓度满足生产需求，不需要调整；若剥离液的最终碱度比第二剥离标准液的最终碱度还小，则需补充胺类的成分，直到剥离液的碱度调整到第一、第二剥离标准液的最终碱度之间内；若剥离液的最终碱度比第一剥离标准液的最终碱度还大，则需补充NMF、BDG和添加剂的成分，直到剥离液的碱度调整到第一、第二剥离标准液的最终碱度之间内。在补充胺类的成分或者补充NMF、BDG和添加剂的成分时，可以通过步骤2-3测定补充完成分的剥离液的最终碱度是否能够满足介于第一、第二剥离标准液的最终碱度之间内的条件，若不满足则相应进行调整。
具体地，所述剥离标准液与所述剥离液为用于显示面板的铜剥离液。进一步地，所述剥离标准液与所述铜剥离液包括N-甲基甲酰胺(NMF)、二乙二醇单丁醚(BDG)、胺类成分及添加剂。；
具体地，所述步骤3中，所述最终碱度N的计算公式为：
其中，m为大于0的整数，所述最终碱度N的单位为g/L。
具体地，所述步骤1中，还包括提供移液管、指示剂与酸碱滴定管的步骤；
所述步骤2中，采用移液管移取所述测试液X mL于所述取样容器中得到液样，向所述取样容器滴加指示剂并摇匀得到混合溶液，向所述酸碱滴定管加入所述标准滴定溶液，通过装有标准滴定溶液的酸碱滴定管对所述取样容器中的混合溶液进行酸碱滴定。
具体地，所述指示剂为甲基橙指示剂，所述混合溶液的滴定终点为使所述混合溶液由黄色变为橙红色之时。
具体地，所述每次消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm与所述最终碱度N之间的允许差不超过0.15g/L，保证滴定结果的准确性，避免人为操作对滴定结果造成的影响。
具体地，所述碱度Nm与所述最终碱度N之间的允许差的计算公式为：
允许差＝|Nm-N|；
其中，m为大于0的整数。
具体地，所述步骤1中，所述取样容器为100mL锥形瓶，当然，根据实际情况的使用，所述取样容器也可以为烧杯或其他容器，这并不影响本发明的实施。
具体地，所述步骤1中，所述标准滴定溶液为盐酸标准滴定溶液，所述盐酸标准滴定溶液的浓度为0.1-1mol/L，即0.1≤Y≤1。优选地，所述盐酸标准滴定溶液的浓度为0.1mol/L，即Y＝0.1。
具体地，所述步骤1中，所述移液管为10mL移液管。进一步地，所述步骤2中，移取所述剥离液的液样10mL于所述取样容器中。当然，根据实际情况的实施，所述移液管可以根据取样容器的规格选择其他规格的移液管。
具体地，所述步骤2中，所述m为5，即重复5次上述操作，分别得到消耗所述标准滴定溶液的体积V1、V2、V3、V4及V5，通过重复滴定5次能够保证滴定的准确性，有效避免滴定终点的误差。当然，根据实际情况的实施，所述步骤2中，所述m也可相应的进行选择，这不影响本发明的实施。
需要说明的是，随着剥离制程的进行，所述剥离液的胺类浓度减小，其最终碱度N也随着减小，本发明是通过酸碱滴定的原理来监控剥离液的最终碱度N，进而监控剥离液中胺类浓度的变化，若发现同一款液晶显示面板采用的剥离液的最终碱度N改变到无法有效进行剥离的数值，那么工作人员可以及时进行调整，避免所述剥离液的胺类浓度的损耗造成液晶显示面板的异常。
综上所述，本发明的监控剥离液中胺类浓度变化的方法通过酸碱滴定的原理来监控剥离液的碱度，从而监控剥离液中胺类浓度的变化，若发现剥离液的碱度改变到无法有效进行剥离的数值，工作人员可以及时进行调整，避免所述剥离液的胺类浓度的损耗造成液晶显示面板的异常。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供剥离标准液，所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，分别测定所述第一、第二剥离标准液的碱度，确认出所述剥离标准液的碱度区间；提供剥离液，测定所述剥离液的碱度，确认所述剥离液的碱度是否在所述剥离标准液的碱度区间内，从而确定所述剥离液中胺类成分是否能够满足生产需求；
所述第一、第二剥离标准液与所述剥离液均包括胺类成分，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度，所述第一剥离标准液的碱度大于所述第二剥离标准液的碱度。
2.如权利要求1所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，具体包括以下步骤：
步骤1、提供测试液、取样容器及标准滴定溶液，所述标准滴定溶液为强酸，所述标准滴定溶液的酸度系数为1-4，所述标准滴定溶液的浓度为Ymol/L；
步骤2、移取所述测试液X mL于所述取样容器中得到液样，使用所述标准滴定溶液对所述取样容器中的液样进行酸碱滴定至终点，记录消耗所述标准滴定溶液的体积Vm，重复上述操作m次；
步骤3、计算消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm，取m次消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm的平均值为最终碱度N，所述碱度Nm的计算公式如下：
其中，Vm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积，Vm的单位为mL，Nm为第m次滴定消耗所述标准滴定溶液的体积对应的碱度，M为所述标准滴定溶液的摩尔质量，X＞0，Y＞0，m为大于0的整数，所述碱度Nm的单位为g/L；
步骤4、依次使所述步骤1-3中的测试液为第一、第二剥离标准液与剥离液，通过所述步骤1-3可以得到所述第一、第二剥离标准液的最终碱度与剥离液的最终碱度，所述第一、第二剥离标准液的最终碱度分别为剥离标准液的碱度区间的上限值、下限值，确认所述剥离液的最终碱度是否介于所述第一、第二剥离标准液的最终碱度之间，从而确定所述剥离液中胺类成分是否能够满足生产需求。
3.如权利要求1所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，所述剥离标准液与剥离液为用于液晶显示面板的铜剥离液。
4.如权利要求3所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，所述剥离标准液与剥离液还包括NMF、BDG及添加剂。
5.如权利要求2所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，所述步骤1中，还包括提供移液管、指示剂与酸碱滴定管的步骤；
所述步骤2中，采用移液管移取所述测试液X mL于所述取样容器中得到液样，向所述取样容器滴加指示剂并摇匀得到混合溶液，向所述酸碱滴定管加入所述标准滴定溶液，通过装有标准滴定溶液的酸碱滴定管对所述取样容器中的混合溶液进行酸碱滴定。
6.如权利要求5所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，所述指示剂为甲基橙指示剂，所述混合溶液的滴定终点为使所述混合溶液由黄色变为橙红色之时。
7.如权利要求2所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，所述每次消耗所述标准滴定溶液的体积Vm对应的碱度Nm与所述最终碱度N之间的允许差不超过0.15g/L。
8.如权利要求2所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，所述步骤1中，所述标准滴定溶液为盐酸标准滴定溶液，所述盐酸标准滴定溶液的浓度为0.1-1mol/L。
9.如权利要求2所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，所述步骤2中，所述m为5。
10.如权利要求1所述的监控剥离液中胺类浓度变化的方法，其特征在于，所述剥离液中，胺类浓度和碱度值呈正相关关系。
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| CN108645959A true CN108645959A (zh) | 2018-10-12 |
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ID=63749989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201810679364.5A Pending CN108645959A (zh) | 2018-06-27 | 2018-06-27 | 监控剥离液中胺类浓度变化的方法 |
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| CN (1) | CN108645959A (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1108767A (zh) * | 1993-12-29 | 1995-09-20 | 株式会社平间理化研究所 | 光刻胶剥离液管理装置 |
| CN1215850A (zh) * | 1997-10-27 | 1999-05-05 | 株式会社平间理化研究所 | 抗蚀剂剥离液控制装置 |
| CN1308256A (zh) * | 2000-02-10 | 2001-08-15 | 三菱电机株式会社 | 抗蚀剂剥离装置和抗蚀剂剥离液管理方法以及半导体装置 |
| JP2007155559A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Yamamoto Denki Instrument Kk | 剥離液濃度測定装置 |
| KR20160051184A (ko) * | 2014-10-31 | 2016-05-11 | 엘티씨에이엠 주식회사 | 포스트-에칭 포토레지스트 에칭 중합체 및 잔류물을 제거하기 위한 스트리퍼 조성물 |
| CN107328729A (zh) * | 2017-08-28 | 2017-11-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种剥离药液成分量测方法及系统 |
-
2018
- 2018-06-27 CN CN201810679364.5A patent/CN108645959A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1108767A (zh) * | 1993-12-29 | 1995-09-20 | 株式会社平间理化研究所 | 光刻胶剥离液管理装置 |
| CN1215850A (zh) * | 1997-10-27 | 1999-05-05 | 株式会社平间理化研究所 | 抗蚀剂剥离液控制装置 |
| CN1308256A (zh) * | 2000-02-10 | 2001-08-15 | 三菱电机株式会社 | 抗蚀剂剥离装置和抗蚀剂剥离液管理方法以及半导体装置 |
| JP2007155559A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Yamamoto Denki Instrument Kk | 剥離液濃度測定装置 |
| KR20160051184A (ko) * | 2014-10-31 | 2016-05-11 | 엘티씨에이엠 주식회사 | 포스트-에칭 포토레지스트 에칭 중합체 및 잔류물을 제거하기 위한 스트리퍼 조성물 |
| CN107328729A (zh) * | 2017-08-28 | 2017-11-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种剥离药液成分量测方法及系统 |
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