CN108636086A - 一种净化半导体制程废气的供热装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种净化半导体制程废气的供热装置，涉及供热装置技术领域。该净化半导体制程废气的供热装置，包括热反应室，所述热反应室的内部固定安装有内腔，所述热反应室的上端外表面固定安装有废气入口，所述热反应室的右侧外表面固定安装有废气出口，所述热反应室的内部表面设置有滤板，所述热反应室的内壁固定安装有回流管道，所述废气入口的左侧固定安装有第一水泵。该净化半导体制程废气的供热装置，让水资源得到了循环利用，有利于可持续发展，同时配合水蒸气对废气中的有害物质进行净化，提高了对有害物质的净化效率，防止在热反应室内部积累过多粉尘和杂质，影响该供热装置的运作。
Description
技术领域
本发明涉及供热装置技术领域，具体为一种净化半导体制程废气的供热装置。
背景技术
在半导体生产的过程中，会产生大量的工业废气，这些废气分为酸性、碱性、有机和有毒废气，一般采用水洗、氧化、燃烧、吸附、解离和冷凝等方法，如果不经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅危害人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染。
而传统的半导体制程废气供热装置一般是采用热空气净化废气的方式，从外界引入高温热空气，让高温热空气与废气产生反应，对其中有害物质加以净化，不具有循环利用的效果，对资源造成了一定的浪费。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种净化半导体制程废气的供热装置，解决了上述背景技术提出的热空气净化废气不具有循环利用效果的问题。
技术方案
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种净化半导体制程废气的供热装置，包括热反应室，所述热反应室的内部固定安装有内腔，所述热反应室的上端外表面固定安装有废气入口，所述热反应室的右侧外表面固定安装有废气出口，所述热反应室的内部表面设置有滤板，所述热反应室的内壁固定安装有回流管道，所述废气入口的左侧固定安装有第一水泵，所述热反应室的右侧固定安装有热源室，所述热源室的内部底端固定安装有制热机，所述制热机的上方固定安装有水腔，所述热源室的顶部固定安装有抽风机，所述抽风机的下端外表面固定安装有吸气管，所述热反应室的内壁顶端固定安装有出气管，所述热源室的内部左侧位置固定安装有出水口，所述热源室的左侧外表面固定安装有第二水泵，所述滤板的一侧外表面固定安装有滑块，所述热反应室的内壁固定安装有滑槽，所述滤板的前端外表面固定安装有握把，所述热反应室的外表面活动安装有安全门，所述安全门的右侧外表面活动安装有锁扣。
进一步的，所述第一水泵与回流管道之间固定连接，所述回流管道与第二水泵之间固定连接，且回流管道与热源室之间固定连接，所述出水口与回流管道之间固定连接。
进一步的，所述水腔的上端外表面连通有进水口，且水腔与制热机之间固定安装有导热层。
进一步的，所述出气管与抽风机之间固定连接，所述抽风机的后端固定安装有电机。
进一步的，所述滑块与滑槽之间活动连接，所述滤板的外表面开设有过滤孔，过滤孔的数量为若干组。
进一步的，所述安全门的内表面边缘处固定安装有密封圈，所述锁扣与热反应室之间活动连接。
进一步的，所述热反应室的左侧外表面固定安装有控制器，所述热源室的内部固定安装有温度传感器，控制器的输出端与温度传感器的输入端电性连接。
有益效果
相比较现有技术：
1、该净化半导体制程废气的供热装置，通过内腔、回流管道、第一水泵、制热机、水腔、抽风机、吸气管、出气管和第二水泵的配合，制热机对水腔进行加热，然后当温度达到设定值后，温度传感器感应并发送信号给控制器，接着水腔内部产生水蒸气，控制器控制抽风机打开，然后将蒸汽抽到热反应室，同时第二水泵将热水输送进入回流管道，在热反应室内壁处循环一圈后，由第一水泵将热水输送回水腔内，继续加热，如此循环，对热反应室内部的温度进行了提高，让水资源得到了循环利用，有利于可持续发展，同时配合水蒸气对废气中的有害物质进行净化，提高了对有害物质的净化效率。
2、该净化半导体制程废气的供热装置，通过滤板、滑块、滑槽、安全门和锁扣的配合，在对废气净化过程中会产生固体粉尘和有害物质的固体残留物，滤板对其进行收集，然后维护人员对该供热装置进行定期维护的同时，打开安全门将滤板拉出滑槽，对滤板进行清洗，防止在热反应室内部积累过多粉尘和杂质，影响该供热装置的运作。
附图说明
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明的热反应室主视图；
图3为本发明的滤板结构图。
图中：1热反应室、2内腔、3废气入口、4废气出口、5滤板、6回流管道、7第一水泵、8热源室、9制热机、10水腔、11抽风机、12吸气管、13出气管、14出水口、15第二水泵、16滑块、17滑槽、18握把、19安全门、20锁扣。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-3所示，本发明实施例提供一种净化半导体制程废气的供热装置，包括热反应室1，热反应室1的左侧外表面固定安装有控制器，热源室8的内部固定安装有温度传感器，控制器的输出端与温度传感器的输入端电性连接，热反应室1的内部固定安装有内腔2，热反应室1的上端外表面固定安装有废气入口3，热反应室1的右侧外表面固定安装有废气出口4，热反应室1的内部表面设置有滤板5，热反应室1的内壁固定安装有回流管道6，废气入口3的左侧固定安装有第一水泵7，第一水泵7与回流管道6之间固定连接，回流管道6与第二水泵15之间固定连接，且回流管道6与热源室8之间固定连接，出水口14与回流管道6之间固定连接，热反应室1的右侧固定安装有热源室8，热源室8的内部底端固定安装有制热机9，制热机9的上方固定安装有水腔10，水腔10的上端外表面连通有进水口，且水腔10与制热机9之间固定安装有导热层，热源室8的顶部固定安装有抽风机11，抽风机11的下端外表面固定安装有吸气管12，热反应室1的内壁顶端固定安装有出气管13，出气管13与抽风机11之间固定连接，抽风机11的后端固定安装有电机，出气管13与抽风机11之间固定连接，抽风机11的后端固定安装有电机，热源室8的内部左侧位置固定安装有出水口14，热源室8的左侧外表面固定安装有第二水泵15，通过内腔2、回流管道6、第一水泵7、制热机9、水腔10、抽风机11、吸气管12、出气管13和第二水泵15的配合，废气从废气入口3进入内腔2中，制热机9对水腔10进行加热，然后当温度达到设定值后，温度传感器感应并发送信号给控制器，接着水腔10内部产生水蒸气，控制器控制抽风机11打开，然后将蒸汽抽到热反应室1，同时第二水泵15将热水输送进入回流管道6，在热反应室1内壁处循环一圈后，由第一水泵7将热水输送回水腔10内，继续加热，如此循环，对热反应室1内部的温度进行了提高，让水资源得到了循环利用，有利于可持续发展，同时配合水蒸气对废气中的有害物质进行净化，提高了对有害物质的净化效率，滤板5的一侧外表面固定安装有滑块16，滑块16与滑槽17之间活动连接，滤板5的外表面开设有过滤孔，过滤孔的数量为若干组，热反应室1的内壁固定安装有滑槽17，滤板5的前端外表面固定安装有握把18，热反应室1的外表面活动安装有安全门19，安全门19的内表面边缘处固定安装有密封圈，锁扣20与热反应室1之间活动连接，安全门19的右侧外表面活动安装有锁扣20，通过滤板5、滑块16、滑槽17、安全门19和锁扣20的配合，在对废气净化过程中会产生固体粉尘和有害物质的固体残留物，滤板5对其进行收集，然后维护人员对该供热装置进行定期维护的同时，打开安全门19将滤板5拉出滑槽17，对滤板5进行清洗，防止在热反应室1内部积累过多粉尘和杂质，影响该供热装置的运作，净化完成后，达到排放标准后，打开废气出口4将废气排出。
工作原理：首先制热机9对水腔10内部进行加热，当水达到合适温度后，温度传感器感应到信号并发送给控制器，然后控制器控制抽风机打开，将热水产生的水蒸气输送进入内腔2中，同时废气从废气入口3进入内腔2中，水蒸气与废气互相反应，对废气中的有害物质进行净化，同时第二水泵15将热水从水腔10抽进回流管道6中，然后第一水泵7再将热水抽出回流管道6重新灌入水腔10中进行加热，如此循环，热水在循环过程中对热反应室1内部温度进行进一步的加热，加快废气的净化效率，让水资源得到了循环利用，有利于可持续发展，在废气净化过程中会产生许多固态有害物质残留和粉尘，滤板5对其进行收集，维护人员在定期对该供热装置进行维护的同时，通过打开安全门19，安全门19内侧的密封圈对热反应室1内部具有很好的密封性，将滤板5从滑槽17中抽出，对其进行清理，防止在热反应室内部积累过多粉尘和杂质，影响废气的净化效率以及影响该供热装置的运作，净化完成后，达到排放标准后，打开废气出口4将废气排出。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种净化半导体制程废气的供热装置，包括热反应室(1)，其特征在于：所述热反应室(1)的内部固定安装有内腔(2)，所述热反应室(1)的上端外表面固定安装有废气入口(3)，所述热反应室(1)的右侧外表面固定安装有废气出口(4)，所述热反应室(1)的内部表面设置有滤板(5)，所述热反应室(1)的内壁固定安装有回流管道(6)，所述废气入口(3)的左侧固定安装有第一水泵(7)，所述热反应室(1)的右侧固定安装有热源室(8)，所述热源室(8)的内部底端固定安装有制热机(9)，所述制热机(9)的上方固定安装有水腔(10)，所述热源室(8)的顶部固定安装有抽风机(11)，所述抽风机(11)的下端外表面固定安装有吸气管(12)，所述热反应室(1)的内壁顶端固定安装有出气管(13)，所述热源室(8)的内部左侧位置固定安装有出水口(14)，所述热源室(8)的左侧外表面固定安装有第二水泵(15)，所述滤板(5)的一侧外表面固定安装有滑块(16)，所述热反应室(1)的内壁固定安装有滑槽(17)，所述滤板(5)的前端外表面固定安装有握把(18)，所述热反应室(1)的外表面活动安装有安全门(19)，所述安全门(19)的右侧外表面活动安装有锁扣(20)。
2.根据权利要求1所述的一种净化半导体制程废气的供热装置，其特征在于：所述第一水泵(7)与回流管道(6)之间固定连接，所述回流管道(6)与第二水泵(15)之间固定连接，且回流管道(6)与热源室(8)之间固定连接，所述出水口(14)与回流管道(6)之间固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种净化半导体制程废气的供热装置，其特征在于：所述水腔(10)的上端外表面连通有进水口，且水腔(10)与制热机(9)之间固定安装有导热层。
4.根据权利要求1所述的一种净化半导体制程废气的供热装置，其特征在于：所述出气管(13)与抽风机(11)之间固定连接，所述抽风机(11)的后端固定安装有电机。
5.根据权利要求1所述的一种净化半导体制程废气的供热装置，其特征在于：所述滑块(16)与滑槽(17)之间活动连接，所述滤板(5)的外表面开设有过滤孔，过滤孔的数量为若干组。
6.根据权利要求1所述的一种净化半导体制程废气的供热装置，其特征在于：所述安全门(19)的内表面边缘处固定安装有密封圈，所述锁扣(20)与热反应室(1)之间活动连接。
7.根据权利要求1所述的一种净化半导体制程废气的供热装置，其特征在于：所述热反应室(1)的左侧外表面固定安装有控制器，所述热源室(8)的内部固定安装有温度传感器，控制器的输出端与温度传感器的输入端电性连接。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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Application publication date: 20181012 |