CN108588670A - 一种节能安全真空镀膜机 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了镀膜设备技术领域的一种节能安全真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的底部中央贯穿设有真空沉降管，所述真空镀膜机本体的底部设有底座，所述底座的内腔底部设有沉降水箱，所述真空沉降管的底部延伸至沉降水箱的内腔，所述沉降水箱的底部设有排污管，所述排污管的底部延伸至底座的底部，所述底座的左侧中央设有冷凝器；本发明通过两组斜板与倒V形导板之间呈W形分布，绕线器工作使斜板向下转动，形成倒V形置物板，并将粉尘从倒V形置物板的左右两侧滑落下来，避免粉尘直接掉落带来的沉降不均问题，沉降效率高，除尘效果好，避免真空泵受粉尘影响，有效降低能耗，节能减排。

Description

一种节能安全真空镀膜机
技术领域
本发明涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种节能安全真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。目前在真空镀膜机镀膜时镀膜室中在蒸镀，镀膜室中残留部分未蒸镀到薄膜上的蒸气，该蒸气遇冷形成粉尘，粉尘在负压的作用下被真空泵抽走，该粉尘影响真空泵正常作业，增大真空泵的能耗，严重时甚至会损坏真空泵。真空镀膜设备扩散泵加热是用耗电量比较高的电阻丝通过烧红来烘烤真空锅炉(扩散泵)底部，从而加热里面的导热油来使真空泵里面的温度上升来达到设备的工作要求，导线接入区域温度过高会导致触电区域极易氧化虚接以及人身触电的的危险，安全性低。基于此，本发明设计了一种节能安全真空镀膜机，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种节能安全真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的现有装置耗能且安全性低的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种节能安全真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的底部中央贯穿设有真空沉降管，所述真空镀膜机本体的底部设有底座，所述底座的内腔底部设有沉降水箱，所述真空沉降管的底部延伸至沉降水箱的内腔，所述沉降水箱的底部设有排污管，所述排污管的底部延伸至底座的底部，所述底座的左侧中央设有冷凝器，所述冷凝器的右侧设有连接管，所述连接管贯穿底座并延伸至真空沉降管的内腔，所述连接管的右侧设有螺旋冷却管，所述螺旋冷却管的顶部延伸至真空镀膜机本体的内腔底部，所述螺旋冷却管的内腔中央设有沉降装置，所述底座的底部左右两侧均设有支撑脚；
所述真空镀膜机本体的内腔顶部左侧设有真空炉，所述真空镀膜机本体的内腔右侧设有裂解炉，所述裂解炉的顶部中央通过管道与真空炉的右侧中央连接，所述真空镀膜机本体的内腔底部中央设有蒸发炉，所述裂解炉的底部中央通过管道与蒸发炉的右侧中央连接，所述真空镀膜机本体的内壁设有防护层，所述防护层的内壁设有隔热层，所述隔热层的内壁左右两侧中央均设有风扇；
所述沉降装置包括两组支杆、倒V形导板、转动件、斜板、连线和绕线器，两组所述支杆的底部与沉降水箱的内腔底部固定连接，两组所述支杆之间固定套接有倒V形导板，所述倒V形导板的底部左右两侧均固定设有转动件，所述转动件与支杆套接，所述转动件的外侧设有斜板，所述斜板的外侧设有连线，所述真空沉降管的内壁底部左右两侧均设有绕线器，所述连线的底部与绕线器连接。
优选的，所述真空镀膜机本体的顶部设有压力表。
优选的，所述底座的内腔左右两侧均设有减震块。
优选的，所述沉降水箱的内腔底部中央设有搅拌叶。
优选的，所述螺旋冷却管的表面设有润滑涂层。
优选的，所述转动件与斜板之间设有复位弹簧。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过底座有效减震，通过真空沉降管设有沉降水箱，使得粉尘经过沉降装置进入沉降水箱，达到了利用水对粉尘进行除尘沉降的效果，两组斜板与倒V形导板之间呈W形分布，绕线器工作使斜板向下转动，形成倒V形置物板，并将粉尘从倒V形置物板的左右两侧滑落下来，避免粉尘直接掉落带来的沉降不均问题，沉降效率高，除尘效果好，将真空镀膜机本体内腔的粉尘去除，避免真空泵受粉尘影响，有效降低能耗，节能减排，冷凝器通过螺旋冷却管对真空镀膜机本体的内腔实现冷却散热，经过两组风扇对流吹风，加快散热，避免热量积累，安全性高，通过隔热层和防护层双重防护，避免真空镀膜机本体的外壁过热造成意外烫伤，保障安全。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明结构示意图。
图2为本发明真空镀膜机本体结构示意图。
图3为本发明沉降装置结构示意图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1-真空镀膜机本体，2-真空沉降管，3-底座，4-沉降水箱，5-排污管，6-冷凝器，7-连接管，8-螺旋冷却管，9-沉降装置，10-支撑脚，11-真空炉，12-裂解炉，13-蒸发炉，14-防护层，15-隔热层，16-风扇，90-支杆，91-倒V形导板，92-转动件，93-斜板，94-连线，95-绕线器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种节能安全真空镀膜机，包括真空镀膜机本体1，真空镀膜机本体1的底部中央贯穿设有真空沉降管2，真空镀膜机本体1的底部设有底座3，底座3的内腔底部设有沉降水箱4，真空沉降管2的底部延伸至沉降水箱4的内腔，沉降水箱4的底部设有排污管5，排污管5的底部延伸至底座3的底部，底座3的左侧中央设有冷凝器6，冷凝器6的右侧设有连接管7，连接管7贯穿底座3并延伸至真空沉降管2的内腔，连接管7的右侧设有螺旋冷却管8，螺旋冷却管8的顶部延伸至真空镀膜机本体1的内腔底部，螺旋冷却管8的内腔中央设有沉降装置9，底座3的底部左右两侧均设有支撑脚10；
真空镀膜机本体1的内腔顶部左侧设有真空炉11，真空镀膜机本体1的内腔右侧设有裂解炉12，裂解炉12的顶部中央通过管道与真空炉11的右侧中央连接，真空镀膜机本体1的内腔底部中央设有蒸发炉13，裂解炉12的底部中央通过管道与蒸发炉13的右侧中央连接，真空镀膜机本体1的内壁设有防护层14，防护层14的内壁设有隔热层15，隔热层15的内壁左右两侧中央均设有风扇16；
沉降装置9包括两组支杆90、倒V形导板91、转动件92、斜板93、连线94和绕线器95，两组支杆90的底部与沉降水箱4的内腔底部固定连接，两组支杆90之间固定套接有倒V形导板91，倒V形导板91的底部左右两侧均固定设有转动件92，转动件92与支杆90套接，转动件92的外侧设有斜板93，斜板93的外侧设有连线94，真空沉降管2的内壁底部左右两侧均设有绕线器95，连线94的底部与绕线器95连接。
其中，真空镀膜机本体1的顶部设有压力表，便于了解真空镀膜机本体1的内腔压力，底座3的内腔左右两侧均设有减震块，通过减震块有效缓解工作过程中产生的振动，沉降水箱4的内腔底部中央设有搅拌叶，搅拌均匀，有效提高沉降效率，螺旋冷却管8的表面设有润滑涂层，防止螺旋冷却管8上积累沉降物，转动件92与斜板93之间设有复位弹簧，便于复位。
本实施例的一个具体应用为：在真空镀膜机本体1的底部设有底座3，通过底座3有效减震，通过真空沉降管2设有沉降水箱4，使得粉尘经过沉降装置9进入沉降水箱4，达到了利用水对粉尘进行除尘沉降的效果，两组斜板93与倒V形导板91之间呈W形分布，使得粉尘落在斜板93与倒V形导板91构成的W形置物板上，绕线器95工作使斜板93向下转动，形成倒V形置物板，并将W形置物板上积累的粉尘从倒V形置物板的左右两侧滑落下来，避免粉尘直接掉落带来的沉降不均问题，沉降效率高，除尘效果好，将真空镀膜机本体1内腔的粉尘去除，避免真空泵受粉尘影响，有效降低能耗，节能减排，冷凝器6通过螺旋冷却管8对真空镀膜机本体1的内腔实现冷却散热，经过两组风扇16对流吹风，加快散热，避免热量积累，安全性高，通过隔热层15和防护层14双重防护，避免真空镀膜机本体1的外壁过热造成意外烫伤，保障安全。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (6)

1.一种节能安全真空镀膜机，包括真空镀膜机本体(1)，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)的底部中央贯穿设有真空沉降管(2)，所述真空镀膜机本体(1)的底部设有底座(3)，所述底座(3)的内腔底部设有沉降水箱(4)，所述真空沉降管(2)的底部延伸至沉降水箱(4)的内腔，所述沉降水箱(4)的底部设有排污管(5)，所述排污管(5)的底部延伸至底座(3)的底部，所述底座(3)的左侧中央设有冷凝器(6)，所述冷凝器(6)的右侧设有连接管(7)，所述连接管(7)贯穿底座(3)并延伸至真空沉降管(2)的内腔，所述连接管(7)的右侧设有螺旋冷却管(8)，所述螺旋冷却管(8)的顶部延伸至真空镀膜机本体(1)的内腔底部，所述螺旋冷却管(8)的内腔中央设有沉降装置(9)，所述底座(3)的底部左右两侧均设有支撑脚(10)；
所述真空镀膜机本体(1)的内腔顶部左侧设有真空炉(11)，所述真空镀膜机本体(1)的内腔右侧设有裂解炉(12)，所述裂解炉(12)的顶部中央通过管道与真空炉(11)的右侧中央连接，所述真空镀膜机本体(1)的内腔底部中央设有蒸发炉(13)，所述裂解炉(12)的底部中央通过管道与蒸发炉(13)的右侧中央连接，所述真空镀膜机本体(1)的内壁设有防护层(14)，所述防护层(14)的内壁设有隔热层(15)，所述隔热层(15)的内壁左右两侧中央均设有风扇(16)；
所述沉降装置(9)包括两组支杆(90)、倒V形导板(91)、转动件(92)、斜板(93)、连线(94)和绕线器(95)，两组所述支杆(90)的底部与沉降水箱(4)的内腔底部固定连接，两组所述支杆(90)之间固定套接有倒V形导板(91)，所述倒V形导板(91)的底部左右两侧均固定设有转动件(92)，所述转动件(92)与支杆(90)套接，所述转动件(92)的外侧设有斜板(93)，所述斜板(93)的外侧设有连线(94)，所述真空沉降管(2)的内壁底部左右两侧均设有绕线器(95)，所述连线(94)的底部与绕线器(95)连接。
2.根据权利要求1所述的一种节能安全真空镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)的顶部设有压力表。
3.根据权利要求1所述的一种节能安全真空镀膜机，其特征在于：所述底座(3)的内腔左右两侧均设有减震块。
4.根据权利要求1所述的一种节能安全真空镀膜机，其特征在于：所述沉降水箱(4)的内腔底部中央设有搅拌叶。
5.根据权利要求1所述的一种节能安全真空镀膜机，其特征在于：所述螺旋冷却管(8)的表面设有润滑涂层。
6.根据权利要求1所述的一种节能安全真空镀膜机，其特征在于：所述转动件(92)与斜板(93)之间设有复位弹簧。
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