CN207031541U - 一种真空镀膜机的沉降机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机的沉降机构，包括支撑腿和安装底座，所述支撑腿的顶部固定连接有真空镀膜机，安装底座的上表面固定连接有真空泵，真空镀膜机的底端固定连通有真空沉降管，真空沉降管顶端内壁分别固定连接有定位环和定位块，定位块的上表面固定连接有密封弹簧，密封弹簧的顶端固定连接有密封球，密封球的表面与定位环的内壁滑动连接。该真空镀膜机的沉降机构，达到了利用水对粉尘进行除尘沉降的效果，真空泵对真空沉降管内的空气进行抽出，使得真空沉降管的外部气压大于内部气压，沉降水箱内的水从喷洒头内喷出对粉尘进行水式除尘的效果，从而有效的解决了粉尘影响真空泵正常作业，损坏真空泵，且不易清理的问题。

Description

一种真空镀膜机的沉降机构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机的沉降机构。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前在真空镀膜机镀膜时镀膜室中在蒸镀，镀膜室中残留部分未蒸镀到薄膜上的蒸气，该蒸气遇冷形成粉尘，粉尘在负压的作用下被真空泵抽走，该粉尘不但影响真空泵正常作业，严重时甚至会损坏真空泵，而且不易清理，所以需要一种真空镀膜机的沉降机构。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机的沉降机构，解决了粉尘影响真空泵正常作业，损坏真空泵，且不易清理的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种真空镀膜机的沉降机构，包括支撑腿和安装底座，所述支撑腿的顶部固定连接有真空镀膜机，所述安装底座的上表面固定连接有真空泵，所述真空镀膜机的底端固定连通有真空沉降管，所述真空沉降管顶端内壁分别固定连接有定位环和定位块，所述定位块的上表面固定连接有密封弹簧，所述密封弹簧的顶端固定连接有密封球，所述密封球的表面与定位环的内壁滑动连接，所述真空沉降管的内壁固定连接有喷水管，所述喷水管的一端贯穿并延伸至真空沉降管的外部，所述真空镀膜机的下表面固定连接有沉降水箱，所述沉降水箱的内底壁与喷水管的一端固定连通。

所述真空沉降管的内壁固定连通有负压吸管，所述负压吸管的内壁分别固定连接有过滤网和干燥层，所述负压吸管的内壁固定连通有加热腔，所述加热腔的内部设置有电加热丝，所述负压吸管的一端与真空泵的进端固定连通。

优选的，所述密封球的直径大于定位环的内径，所述密封弹簧的弹力等于真空镀膜机的额定真空压力。

优选的，所述真空沉降管的底端固定连通有沉降箱体，所述沉降箱体的下表面分别与支撑腿和安装底座的下表面位于同一水平面上。

优选的，所述喷水管的一端固定安装有流量阀，所述沉降水箱的水平高度大于喷水管的水平高度。

优选的，所述负压吸管的表面呈V字形状，所述喷水管与负压吸管位于真空沉降管内壁的同一侧，所述喷水管的表面固定连通有喷洒头。

优选的，所述干燥层的内部设置有干燥剂，所述加热腔位于过滤网和干燥层之间。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种真空镀膜机的沉降机构，具备以下有益效果：

(1)、该真空镀膜机的沉降机构，通过设置真空镀膜机的下表面固定连接有沉降水箱，沉降水箱的内底壁与喷水管的一端固定连通，达到了利用水对粉尘进行除尘沉降的效果，真空泵对真空沉降管内的空气进行抽出，使得真空沉降管的外部气压大于内部气压，沉降水箱内的水从喷洒头内喷出对粉尘进行水式除尘的效果，从而有效的解决了粉尘影响真空泵正常作业，损坏真空泵，且不易清理的问题。

(2)、该真空镀膜机的沉降机构，通过设置负压吸管的内壁分别固定连接有过滤网和干燥层，负压吸管的内壁固定连通有加热腔，加热腔的内部设置有电加热丝，达到了对粉尘除尘后的空气中的剩余水分进行过滤干燥的效果，避免损坏真空泵，过滤网进行初级过滤水分，再经过加热腔加热蒸发，最后通过干燥层内的干燥剂进行干燥。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型真空镀膜机结构正视图。

图中：1支撑腿、2安装底座、3真空镀膜机、4真空泵、5真空沉降管、6定位环、7定位块、8密封弹簧、9密封球、10喷水管、11沉降水箱、12负压吸管、13过滤网、14干燥层、15加热腔、16电加热丝、17沉降箱体、18流量阀、19喷洒头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种真空镀膜机的沉降机构，包括支撑腿1和安装底座2，支撑腿1的顶部固定连接有真空镀膜机3，安装底座2的上表面固定连接有真空泵4，真空镀膜机3的底端固定连通有真空沉降管5，真空沉降管5的底端固定连通有沉降箱体17，沉降箱体17的下表面分别与支撑腿1和安装底座2的下表面位于同一水平面上，真空沉降管5顶端内壁分别固定连接有定位环6和定位块7，定位块7的上表面固定连接有密封弹簧8，密封弹簧8的顶端固定连接有密封球9，密封球9的直径大于定位环6的内径，密封弹簧8的弹力等于真空镀膜机3的额定真空压力，密封球9的表面与定位环6的内壁滑动连接，真空沉降管5的内壁固定连接有喷水管10，负压吸管12的表面呈V字形状，喷水管10与负压吸管12位于真空沉降管5内壁的同一侧，喷水管10的表面固定连通有喷洒头19，喷水管10的一端贯穿并延伸至真空沉降管5的外部，真空镀膜机3的下表面固定连接有沉降水箱11，沉降水箱11的内底壁与喷水管10的一端固定连通，喷水管10的一端固定安装有流量阀18，沉降水箱11的水平高度大于喷水管10的水平高度，通过设置真空镀膜机3的下表面固定连接有沉降水箱11，沉降水箱11的内底壁与喷水管10的一端固定连通，达到了利用水对粉尘进行除尘沉降的效果，真空泵4对真空沉降管5内的空气进行抽出，使得真空沉降管5的外部气压大于内部气压，沉降水箱11内的水从喷洒头19内喷出对粉尘进行水式除尘的效果。

真空沉降管5的内壁固定连通有负压吸管12，负压吸管12的内壁分别固定连接有过滤网13和干燥层14，负压吸管12的内壁固定连通有加热腔15，加热腔15的内部设置有电加热丝16，负压吸管12的一端与真空泵4的进端固定连通，干燥层14的内部设置有干燥剂，加热腔15位于过滤网13和干燥层14之间，通过设置负压吸管12的内壁分别固定连接有过滤网13和干燥层14，负压吸管12的内壁固定连通有加热腔15，加热腔15的内部设置有电加热丝16，达到了对粉尘除尘后的空气中的剩余水分进行过滤干燥的效果，避免损坏真空泵4，过滤网13进行初级过滤水分，再经过加热腔15加热蒸发，最后通过干燥层14内的干燥剂进行干燥，从而有效的解决了粉尘影响真空泵4正常作业，损坏真空泵4，且不易清理的问题。

工作原理：工作时，连接电源，启动真空镀膜机3和真空泵4，真空镀膜机3工作产生粉尘后，启动电加热丝16，通过流量阀18控制喷水管10内的水流量，水最后从喷洒头19喷出，真空泵4使得密封球9离开定位环6，粉尘从定位环6内壁进入到真空沉降管5后在喷洒头19喷洒沉降到沉降箱体17内，剩余带有水分的空气经过过滤网13初级过滤后由加热腔15加热蒸发部分，最后由干燥层14进行干燥。

综上所述，该真空镀膜机的沉降机构，通过设置真空镀膜机3的下表面固定连接有沉降水箱11，沉降水箱11的内底壁与喷水管10的一端固定连通，达到了利用水对粉尘进行除尘沉降的效果，真空泵4对真空沉降管5内的空气进行抽出，使得真空沉降管5的外部气压大于内部气压，沉降水箱11内的水从喷洒头19内喷出对粉尘进行水式除尘的效果，通过设置负压吸管12的内壁分别固定连接有过滤网13和干燥层14，负压吸管12的内壁固定连通有加热腔15，加热腔15的内部设置有电加热丝16，达到了对粉尘除尘后的空气中的剩余水分进行过滤干燥的效果，避免损坏真空泵4，过滤网13进行初级过滤水分，再经过加热腔15加热蒸发，最后通过干燥层14内的干燥剂进行干燥，从而有效的解决了粉尘影响真空泵正常作业，损坏真空泵，且不易清理的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种真空镀膜机的沉降机构，包括支撑腿(1)和安装底座(2)，所述支撑腿(1)的顶部固定连接有真空镀膜机(3)，所述安装底座(2)的上表面固定连接有真空泵(4)，其特征在于：所述真空镀膜机(3)的底端固定连通有真空沉降管(5)，所述真空沉降管(5)顶端内壁分别固定连接有定位环(6)和定位块(7)，所述定位块(7)的上表面固定连接有密封弹簧(8)，所述密封弹簧(8)的顶端固定连接有密封球(9)，所述密封球(9)的表面与定位环(6)的内壁滑动连接，所述真空沉降管(5)的内壁固定连接有喷水管(10)，所述喷水管(10)的一端贯穿并延伸至真空沉降管(5)的外部，所述真空镀膜机(3)的下表面固定连接有沉降水箱(11)，所述沉降水箱(11)的内底壁与喷水管(10)的一端固定连通；

所述真空沉降管(5)的内壁固定连通有负压吸管(12)，所述负压吸管(12)的内壁分别固定连接有过滤网(13)和干燥层(14)，所述负压吸管(12)的内壁固定连通有加热腔(15)，所述加热腔(15)的内部设置有电加热丝(16)，所述负压吸管(12)的一端与真空泵(4)的进端固定连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的沉降机构，其特征在于：所述密封球(9)的直径大于定位环(6)的内径，所述密封弹簧(8)的弹力等于真空镀膜机(3)的额定真空压力。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的沉降机构，其特征在于：所述真空沉降管(5)的底端固定连通有沉降箱体(17)，所述沉降箱体(17)的下表面分别与支撑腿(1)和安装底座(2)的下表面位于同一水平面上。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的沉降机构，其特征在于：所述喷水管(10)的一端固定安装有流量阀(18)，所述沉降水箱(11)的水平高度大于喷水管(10)的水平高度。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的沉降机构，其特征在于：所述负压吸管(12)的表面呈V字形状，所述喷水管(10)与负压吸管(12)位于真空沉降管(5)内壁的同一侧，所述喷水管(10)的表面固定连通有喷洒头(19)。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的沉降机构，其特征在于：所述干燥层(14)的内部设置有干燥剂，所述加热腔(15)位于过滤网(13)和干燥层(14)之间。