CN109440079B - 用于制备光学镜片的真空镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了用于制备光学镜片的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体底部的四角均固定连接有支撑柱，所述真空镀膜机本体的底部连通有沉降管，所述沉降管的底部固定连接有粉尘收集箱，所述粉尘收集箱的顶部与沉降管的底部相连通，所述沉降管内壁的顶部设置有自密封机构，所述沉降管右侧的底部连通有真空管。本发明通过自密封机构能够实时对沉降管进行密封，同时再通过烘干回收机构将粉尘收集箱内部的靶材粉尘进行烘干回收使用，解决了现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收的问题，该用于制备光学镜片的真空镀膜机，具备靶材粉尘可回收的优点，缩减了生产成本，提高了节能生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜机设备技术领域，具体为用于制备光学镜片的真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
目前真空镀膜机在镀膜过程中，蒸发室中会残留有较多的粉尘，粉尘在负压的作用下被真空泵抽走，该粉尘不但影响真空泵正常作业，严重时甚至会损坏真空泵，而且不易清理，同时现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收，增大了靶材的消耗量和生产成本。
发明内容
本发明的目的在于提供用于制备光学镜片的真空镀膜机，具备靶材粉尘可回收的优点，解决了现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：用于制备光学镜片的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体底部的四角均固定连接有支撑柱，所述真空镀膜机本体的底部连通有沉降管，所述沉降管的底部固定连接有粉尘收集箱，所述粉尘收集箱的顶部与沉降管的底部相连通，所述沉降管内壁的顶部设置有自密封机构，所述沉降管右侧的底部连通有真空管，所述真空镀膜机本体底部的右侧设置有安装座，所述安装座的顶部固定连接有真空泵，所述真空泵的输出端与真空管的右侧相连通，所述粉尘收集箱的内部设置有烘干回收机构，所述真空管内部的左侧固定连接有防尘棉，所述防尘棉的左侧设置有过滤网，所述过滤网的表面与真空管的内壁固定连接，所述真空镀膜机本体的底部固定连接有水箱，所述水箱的底部连通有水管，所述水管远离水箱的一端贯穿沉降管并延伸至沉降管的内部连通有喷淋管，所述喷淋管的左侧连通有喷雾头。
优选的，所述自密封机构包括限位环，所述限位环的顶部设置有密封球，所述密封球的外侧固定连接有挡板，所述沉降管内壁的顶部固定连接有与密封球配合使用的密封板，所述挡板底部的两侧均固定连接有弹簧，所述弹簧的底端与限位环的顶部固定连接。
优选的，所述烘干回收机构包括加热丝，所述粉尘收集箱的内部设置有粉尘收集盒，所述粉尘收集盒的表面与加热丝的表面接触，所述粉尘收集盒的正面固定连接有把手，所述粉尘收集盒正面的左侧设置有观察窗。
优选的，所述真空管内壁的左侧固定连接有固定块，所述固定块的内部固定连接有滤网板，所述滤网板呈上下错开状固定，所述固定块和滤网板的数量均设置有八个，且八个固定块和滤网板的规格相同。
优选的，所述挡板的表面开设有第一通孔，所述限位环的表面开设有第二通孔。
优选的，所述挡板的两侧均固定连接有限位滑块，所述沉降管内壁的顶部均开设有与限位滑块滑动连接的滑动槽。
优选的，所述喷雾头的数量不少与五个，且多个喷雾头呈等距离设置，所述沉降管内壁的右侧固定连接有位于喷淋管顶部的斜挡块。
优选的，所述水箱与外设的水泵相连通，所述粉尘收集盒为导热材质制成。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
1、本发明通过自密封机构能够实时对沉降管进行密封，同时再通过烘干回收机构将粉尘收集箱内部的靶材粉尘进行烘干回收使用，解决了现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收的问题，该用于制备光学镜片的真空镀膜机，具备靶材粉尘可回收的优点，缩减了生产成本，提高了节能生产效率。
2、本发明因自密封机构包括限位环，限位环的顶部设置有密封球，密封球的外侧固定连接有挡板，沉降管内壁的顶部固定连接有与密封球配合使用的密封板，挡板底部的两侧均固定连接有弹簧，弹簧的底端与限位环的顶部固定连接，该设计通过限位环、密封球、挡板、密封板和弹簧的设置，相比专利号CN201720897345.0的密封性更加稳定，上下密封时通过挡板的设置使其不会左右晃动，不会错位，同时弹簧的弹力与真空镀膜机本体的额定真空压力相同，当真空泵启动时将密封球向下吸落，与密封板分离后可使其粉尘下落，密封球向下带动挡板向下移动，挡板向下使弹簧的顶端向下移动受力压缩，当真空泵关闭时弹簧弹力复位向上弹动，与密封板进行接触密封，从而达到自密封效果。
3、本发明因烘干回收机构包括加热丝，粉尘收集箱的内部设置有粉尘收集盒，粉尘收集盒的表面与加热丝的表面接触，粉尘收集盒的正面固定连接有把手，粉尘收集盒正面的左侧设置有观察窗，该设计通过加热丝、粉尘收集盒、把手和观察窗的设置，相比现有市面常见的真空镀膜机该真空镀膜机本体可通过加热将被水雾喷淋而下的靶材粉尘进行烘干，同时再通过粉尘收集盒将其烘干的靶材粉尘进行收集，使用者再通过把手将其粉尘收集盒向正面抽出，同时观察窗的设置能够便于使用者观察其粉尘收集盒内部的粉尘量，能够及时观察粉尘的烘干程度。
4、本发明因真空管内壁的左侧固定连接有固定块，固定块的内部固定连接有滤网板，滤网板呈上下错开状固定，固定块和滤网板的数量均设置有八个，且八个固定块和滤网板的规格相同，该设计通过固定块和滤网板的设置，便于使用者通过固定块将其滤网板进行固定，同时多组滤网板能够通过上下错开状的设置使其过滤效率较高，同时能够通过错开状使其任意一个滤网板堵塞后依然不会影响真空泵运作，但现有的真空镀膜机本体的滤网堵塞将直接影响真空泵正常运作。
5、本发明因挡板的表面开设有第一通孔，限位环的表面开设有第二通孔，该设计通过第一通孔使其沉降管内的靶材粉尘能够便于下落，不易堆积堵塞，同时第二通孔能够使其限位环上掉落的靶材粉尘快速掉落。
6、本发明因挡板的两侧均固定连接有限位滑块，沉降管内壁的顶部均开设有与限位滑块滑动连接的滑动槽，该设计通过限位滑块和滑动槽的设置，便于使用者通过限位滑块与滑动槽的滑动连接使其挡板的上下移动被限位，防止挡板上下滑动不稳定，同时提高密封球的密封稳定性。
7、本发明因喷雾头的数量不少与五个，且多个喷雾头呈等距离设置，沉降管内壁的右侧固定连接有位于喷淋管顶部的斜挡块，该设计通过多个喷雾头的设置使其靶材粉尘能够通过水雾向下喷淋使其顺应沉降管掉落至粉尘收集盒的内部进行收集，同时在通过斜挡块的设置使其粉尘不会堆积在喷雾头的顶部，同时不会使其粉尘堵塞喷雾头。
8、本发明因水箱与外设的水泵相连通，粉尘收集盒为导热材质制成，该设计通过水箱与外设的水泵相连通，使其水箱内的水具有水压，通过其水压使其水箱内的水通过喷雾头进行强力的喷淋，同时导热材质的粉尘收集盒便于发热丝导热，使其粉尘收集盒内部的粉尘进行快速烘干。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明沉降管的俯视剖面图；
图3为本发明挡板的俯视剖面图；
图4为本发明粉尘收集箱的放大结构示意图；
图5为本发明A处的放大图；
图6为本发明B处的放大图；
图7为本发明粉尘收集盒的立体结构示意图。
图中：1真空镀膜机本体、2支撑柱、3沉降管、4粉尘收集箱、5自密封机构、51限位环、52密封球、53挡板、54密封板、55弹簧、6真空管、7安装座、8真空泵、9烘干回收机构、91加热丝、92粉尘收集盒、93把手、94 观察窗、10防尘棉、11过滤网、12水箱、13水管、14喷淋管、15喷雾头、 16固定块、17滤网板、18第一通孔、19第二通孔、20限位滑块、21滑动槽、 22斜挡块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-7，用于制备光学镜片的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体1，真空镀膜机本体1底部的四角均固定连接有支撑柱2，真空镀膜机本体1的底部连通有沉降管3，沉降管3的底部固定连接有粉尘收集箱4，粉尘收集箱4 的顶部与沉降管3的底部相连通，沉降管3内壁的顶部设置有自密封机构5，因自密封机构5包括限位环51，限位环51的顶部设置有密封球52，密封球 52的外侧固定连接有挡板53，沉降管3内壁的顶部固定连接有与密封球52配合使用的密封板54，挡板53底部的两侧均固定连接有弹簧55，弹簧55的底端与限位环51的顶部固定连接，该设计通过限位环51、密封球52、挡板 53、密封板54和弹簧55的设置，相比专利号CN201720897345.0的密封性更加稳定，上下密封时通过挡板53的设置使其不会左右晃动，不会错位，同时弹簧55的弹力与真空镀膜机本体1的额定真空压力相同，当真空泵8启动时将密封球52向下吸落，与密封板54分离后可使其粉尘下落，密封球52向下带动挡板53向下移动，挡板53向下使弹簧55的顶端向下移动受力压缩，当真空泵8关闭时弹簧55弹力复位向上弹动，与密封板54进行接触密封，从而达到自密封效果，因挡板53的表面开设有第一通孔18，限位环51的表面开设有第二通孔19，该设计通过第一通孔18使其沉降管3内的靶材粉尘能够便于下落，不易堆积堵塞，同时第二通孔19能够使其限位环51上掉落的靶材粉尘快速掉落，因挡板53的两侧均固定连接有限位滑块20，沉降管3内壁的顶部均开设有与限位滑块20滑动连接的滑动槽21，该设计通过限位滑块 20和滑动槽21的设置，便于使用者通过限位滑块20与滑动槽21的滑动连接使其挡板53的上下移动被限位，防止挡板53上下滑动不稳定，同时提高密封球52的密封稳定性，沉降管3右侧的底部连通有真空管6，因真空管6内壁的左侧固定连接有固定块16，固定块16的内部固定连接有滤网板17，滤网板17呈上下错开状固定，固定块16和滤网板17的数量均设置有八个，且八个固定块16和滤网板17的规格相同，该设计通过固定块16和滤网板17 的设置，便于使用者通过固定块16将其滤网板17进行固定，同时多组滤网板17能够通过上下错开状的设置使其过滤效率较高，同时能够通过错开状使其任意一个滤网板17堵塞后依然不会影响真空泵8运作，但现有的真空镀膜机本体1的滤网堵塞将直接影响真空泵8正常运作，真空镀膜机本体1底部的右侧设置有安装座7，安装座7的顶部固定连接有真空泵8，真空泵8的输出端与真空管6的右侧相连通，粉尘收集箱4的内部设置有烘干回收机构9，因烘干回收机构9包括加热丝91，粉尘收集箱4的内部设置有粉尘收集盒92，粉尘收集盒92的表面与加热丝91的表面接触，粉尘收集盒92的正面固定连接有把手93，粉尘收集盒92正面的左侧设置有观察窗94，该设计通过加热丝91、粉尘收集盒92、把手93和观察窗94的设置，相比现有市面常见的真空镀膜机该真空镀膜机本体1可通过加热91将被水雾喷淋而下的靶材粉尘进行烘干，同时再通过粉尘收集盒92将其烘干的靶材粉尘进行收集，使用者再通过把手93将其粉尘收集盒92向正面抽出，同时观察窗94的设置能够便于使用者观察其粉尘收集盒92内部的粉尘量，能够及时观察粉尘的烘干程度，真空管6内部的左侧固定连接有防尘棉10，防尘棉10的左侧设置有过滤网11，过滤网11的表面与真空管6的内壁固定连接，真空镀膜机本体1的底部固定连接有水箱12，因水箱12与外设的水泵相连通，粉尘收集盒92为导热材质制成，该设计通过水箱12与外设的水泵相连通，使其水箱12内的水具有水压，通过其水压使其水箱12内的水通过喷雾头15进行强力的喷淋，同时导热材质的粉尘收集盒92便于发热丝导热，使其粉尘收集盒92内部的粉尘进行快速烘干，水箱12的底部连通有水管13，水管13远离水箱12的一端贯穿沉降管3并延伸至沉降管3的内部连通有喷淋管14，喷淋管14的左侧连通有喷雾头15，因喷雾头15的数量不少与五个，且多个喷雾头15呈等距离设置，沉降管3内壁的右侧固定连接有位于喷淋管14顶部的斜挡块22，该设计通过多个喷雾头15的设置使其靶材粉尘能够通过水雾向下喷淋使其顺应沉降管3掉落至粉尘收集盒92的内部进行收集，同时在通过斜挡块22的设置使其粉尘不会堆积在喷雾头15的顶部，同时不会使其粉尘堵塞喷雾头15。
使用时，使用者启动真空泵8时，真空泵8的吸力将其密封球52向下吸落，密封球52向下带动挡板53向下移动，密封球52向下与密封板54风离后，其内部的靶材粉尘会被真空泵8的吸力向下吸落，靶材粉尘通过第一通孔18和第二通孔19使靶材粉尘快速向下落下，同时通过外设的水泵使其水箱12内的水源通过水管13向喷淋管14的内部进行注水，同时喷淋管14再通过多个喷雾头15使其靶材粉尘被冲向沉降管3内壁的左侧，粉尘被水冲下后成液态顺应其沉降管3向下滑落，滑落至粉尘收集盒92的内部，再通过吸力的作用下部分粉尘会被吸入真空管6，再通过多组滤网板17对其被吸入真空管6内部的粉尘进行过滤，最后再通过过滤网11将粉尘杂质进行过滤防止其杂质损伤真空泵8，同时再通过防尘棉10对其湿气较大的空气进行干躁处理，关闭真空泵8后，使用者再通过观察窗94观察其粉尘收集量，再通过加热丝91将其粉尘收集盒92内的粉尘进行烘干回收，烘干完成后使用者通过把手93将粉尘收集盒92向正面拉出将其烘干后的粉尘进行回收，减少其生产成本，便于使用者使用。
综上所述：该用于制备光学镜片的真空镀膜机，通过自密封机构5能够实时对沉降管3进行密封，同时再通过烘干回收机构9将粉尘收集箱4内部的靶材粉尘进行烘干回收使用，解决了现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收的问题。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (1)
1.用于制备光学镜片的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体(1)，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)底部的四角均固定连接有支撑柱(2)，所述真空镀膜机本体(1)的底部连通有沉降管(3)，所述沉降管(3)的底部固定连接有粉尘收集箱(4)，所述粉尘收集箱(4)的顶部与沉降管(3)的底部相连通，所述沉降管(3)内壁的顶部设置有自密封机构(5)，所述沉降管(3)右侧的底部连通有真空管(6)，所述真空镀膜机本体(1)底部的右侧设置有安装座(7)，所述安装座(7)的顶部固定连接有真空泵(8)，所述真空泵(8)的输出端与真空管(6)的右侧相连通，所述粉尘收集箱(4)的内部设置有烘干回收机构(9)，所述真空管(6)内部的左侧固定连接有防尘棉(10)，所述防尘棉(10)的左侧设置有过滤网(11)，所述过滤网(11)的表面与真空管(6)的内壁固定连接，所述真空镀膜机本体(1)的底部固定连接有水箱(12)，所述水箱(12)的底部连通有水管(13)，所述水管(13)远离水箱(12)的一端贯穿沉降管(3)并延伸至沉降管(3)的内部连通有喷淋管(14)，所述喷淋管(14)的左侧连通有喷雾头(15)；所述自密封机构(5)包括限位环(51)，所述限位环(51)的顶部设置有密封球(52)，所述密封球(52)的外侧固定连接有挡板(53)，所述沉降管(3)内壁的顶部固定连接有与密封球(52)配合使用的密封板(54)，所述挡板(53)底部的两侧均固定连接有弹簧(55)，所述弹簧(55)的底端与限位环(51)的顶部固定连接；所述烘干回收机构(9)包括加热丝(91)，所述粉尘收集箱(4)的内部设置有粉尘收集盒(92)，所述粉尘收集盒(92)的表面与加热丝(91)的表面接触，所述粉尘收集盒(92)的正面固定连接有把手(93)，所述粉尘收集盒(92)正面的左侧设置有观察窗(94)；所述真空管(6)内壁的左侧固定连接有固定块(16)，所述固定块(16)的内部固定连接有滤网板(17)，所述滤网板(17)呈上下错开状固定，所述固定块(16)和滤网板(17)的数量均设置有八个，且八个固定块(16)和滤网板(17)的规格相同；所述挡板(53)的表面开设有第一通孔(18)，所述限位环(51)的表面开设有第二通孔(19)；所述挡板(53)的两侧均固定连接有限位滑块(20)，所述沉降管(3)内壁的顶部均开设有与限位滑块(20)滑动连接的滑动槽(21)；所述喷雾头(15)的数量不少与五个，且多个喷雾头(15)呈等距离设置，所述沉降管(3)内壁的右侧固定连接有位于喷淋管(14)顶部的斜挡块(22)；所述水箱(12)与外设的水泵相连通，所述粉尘收集盒(92)为导热材质制成。
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