CN108554669A - 一种喷嘴、涂布机及涂布方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种喷嘴、涂布机及涂布方法，涉及涂布设备技术领域，为改善涂布机的时间稼动率，并降低基板的浪费。所述喷嘴包括：喷嘴本体，所述喷嘴本体上设置有呈狭缝状的材料吐出口；将材料引入所述喷嘴本体内的泵，所述泵设置在所述喷嘴本体上方，所述泵的出口与所述材料吐出口连通；调节所述材料吐出口的宽度的出口宽度调节器，所述出口宽度调节器设置在所述喷嘴本体上；检测膜层的膜厚的膜厚检测器，所述膜厚检测器设置在喷嘴本体上。利用该喷嘴，可以在一个基板上进行一次涂布形成膜层的过程中完成对涂布参数的调整，提高了涂布机的时间稼动率，减少基板的使用数量，减少基板的浪费。本发明提供的喷嘴用于涂布形成膜层。

Description

一种喷嘴、涂布机及涂布方法

技术领域

本发明涉及涂布设备技术领域，尤其涉及一种喷嘴、涂布机及涂布方法。

背景技术

在显示装置的制造过程中，通常需要采用涂布机在基板上形成膜层，例如，采用涂布机在基板上形成彩膜层。现有的涂布机通常包括喷嘴，其中，喷嘴为狭缝喷嘴，即喷嘴的材料吐出口呈狭缝，采用现有的涂布机正式形成膜层前，通常需要对涂布机的涂布参数进行调整，涂布参数通常包括喷嘴的材料吐出速度、喷嘴的移动速度、喷嘴的材料吐出口的宽度、喷嘴的材料吐出口与基板之间的距离等，通常为：先根据待形成膜层的目标膜厚计算初步涂布参数，并将涂布机的涂布参数调整为初步涂布参数；然后启动涂布机，涂布机则在初步涂布参数下形成膜层；然后对在初步涂布参数下形成的膜层的膜厚进行测量，并将测量得到的在初步涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚进行对比，以获得涂布参数的一次调整值，并对涂布参数进行一次调整；然后在一次调整后的涂布参数下形成膜层，并对在一次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚进行测量，并将测量得到的在一次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚进行对比，以获得涂布参数的二次调整值，并对涂布参数进行二次调整，如此，经过对涂布参数的多次调整后，使得涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚相同(需要注意的是，此处的“相同”可以指绝对相同，即涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚在数值上完全相同，也可以指相对相同，即涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚在目标膜厚的偏差范围内)，以使采用涂布机正式形成膜层时所形成的膜层的膜厚与目标膜厚相同。

因此，采用现有的涂布机形成膜层时，通常需要多次对涂布机的涂布参数进行调整，造成涂布机的时间嫁动率降低，同时，每次对涂布机的涂布参数进行调整后，均需要在基板上形成膜层，以便确认涂布机的涂布参数是否符合目标膜厚对应的涂布参数，造成基板的浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种喷嘴，用于改善涂布机的时间稼动率，并降低基板的浪费。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种喷嘴，包括：

喷嘴本体，所述喷嘴本体上设置有呈狭缝状的材料吐出口；

将材料引入所述喷嘴本体内的泵，所述泵设置在所述喷嘴本体上方，所述泵的出口与所述材料吐出口连通；

调节所述材料吐出口的宽度的出口宽度调节器，所述出口宽度调节器设置在所述喷嘴本体上；

检测膜层的膜厚的膜厚检测器，所述膜厚检测器设置在喷嘴本体上。

优选地，所述膜厚检测器包括数据处理单元和多个检测头，多个所述检测头均设置在所述喷嘴本体上，且多个所述检测头沿所述材料吐出口的长度方向均匀排布；所述数据处理单元与所述检测头连接。

优选地，所述检测头位于所述喷嘴本体上背向涂布方向的一侧。

优选地，所述出口宽度调节器的数量为多个，多个所述出口宽度调节器沿所述材料吐出口的长度方向均匀排布。

优选地，所述检测头的数量与所述出口宽度调节器的数量相同。

优选地，所述膜厚检测器为分光计。

优选地，所述出口宽度调节器包括出口宽度调节件和驱动部件，所述驱动部件与所述宽度调节件连接。

优选地，所述喷嘴本体包括连接在一起的前侧本体和背侧本体，所述前侧本体和所述背侧本体之间形成狭缝状的材料吐出口；

所述出口宽度调节件包括螺杆和螺母，所述螺杆的一端穿过所述背侧本体旋入所述前侧本体，所述螺杆的另一端伸出所述背侧本体外，所述螺母旋设在所述螺杆伸出所述背侧本体外的一端；

所述驱动部件为马达，所述马达与所述螺母连接。

将本发明提供的喷嘴应用于涂布机中，在基板上正式涂布形成膜层前，对涂布机的涂布参数进行调整时，喷嘴沿涂布方向移动，涂布形成膜层，膜厚检测器则对涂布形成的膜层的膜厚进行检测，然后根据膜厚检测器检测到的涂布形成膜层的膜厚以及膜层的目标膜厚，获得需要对泵或/和出口宽度调节器进行调节的调节量，并对泵或/和出口宽度调节器进行调节，以实现对涂布机的涂布参数进行调整，使得涂布机的涂布参数满足膜层的目标膜厚的要求，以便利用涂布机正式涂布形成膜层，也就是说，将本发明提供的喷嘴应用于涂布机中，在基板上正式涂布形成膜层前，对涂布机的涂布参数进行调整时，对涂布形成的膜层的膜厚的检测、对涂布参数的调整是同时进行的，因此，可以在一个基板上进行一次涂布形成膜层的过程中完成对涂布参数的调整，与现有技术中涂布形成膜层完成后，然后检测涂布形成的膜层的膜厚，然后再对涂布参数进行调整相比，避免多次涂布形成膜层，减少对涂布参数进行调整时所花费的时间，提高了涂布机的时间稼动率，同时，由于可以在一个基板上进行一次涂布形成膜层的过程中完成对涂布参数的调整，因此可以减少基板的使用数量，减少基板的浪费。

本发明的目的在于提供一种涂布机，用于改善涂布机的时间稼动率，并降低基板的浪费。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种涂布机，包括中央处理器、逻辑控制器以及如上述技术方案所述的喷嘴，所述中央处理器与所述逻辑控制器连接，所述逻辑控制器分别与所述喷嘴的泵、出口宽度调节器、膜厚检测器连接；

所述中央处理器根据膜层的目标膜厚，计算对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节的初步参数值；所述中央处理器还根据膜层的目标膜厚和所述膜厚检测器所检测的膜层的膜厚，计算需要对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节的调节量；

所述逻辑控制器根据初步参数值，对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节；所述逻辑控制器还根据调节量，对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节。

所述涂布机与上述喷嘴相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

本发明的目的在于提供一种涂布方法，用于改善涂布机的时间稼动率，并降低基板的浪费。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种应用如上述技术方案所述的涂布机的涂布方法，包括：

设定膜层的目标膜厚；

根据膜层的目标膜厚，计算对所述涂布机中喷嘴的泵或/出口宽度调节器进行调节的初步参数值；

根据初步参数值，对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节；

启动所述涂布机，所述涂布机涂布，形成膜层；

检测涂布形成的膜层的膜厚；

根据膜层的目标膜厚和检测得到的涂布形成的膜层的膜厚，计算需要对所述涂布机中喷嘴的泵或/出口宽度调节器进行调节的调节量；

根据调节量，对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节。

所述涂布方法与上述涂布机相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例提供的喷嘴的结构示意图；

图2为图1中喷嘴涂布形成膜层时的示意图；

图3为本发明实施例提供的涂布机的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的涂布方法的流程示意图。

附图标记：

10-喷嘴， 11-喷嘴本体，

111-前侧本体， 112-背侧本体，

12-泵， 13-出口宽度调节器，

131-螺杆， 132-螺母，

133-马达， 14-膜厚检测器，

141-检测头， 142-数据处理单元，

20-中央处理器， 30-逻辑控制器。

具体实施方式

为了进一步说明本发明实施例提供的喷嘴、涂布机及涂布方法，下面结合说明书附图进行详细描述。

请参阅图1，本发明实施例提供的喷嘴10包括：喷嘴本体11，喷嘴本体11上设置有呈狭缝状的材料吐出口；将材料引入喷嘴本体11内的泵12，泵12设置在喷嘴本体11上方，泵12的出口与材料吐出口连通；调节材料吐出口的宽度的出口宽度调节器13，出口宽度调节器13设置在喷嘴本体11上；检测膜层的膜厚的膜厚检测器14，膜厚检测器14设置在喷嘴本体11上。

举例来说，请继续参阅图1和图2，本发明实施例提供的喷嘴10应用于涂布机上，喷嘴10可沿涂布方向移动，将膜层的材料吐出至基板上，在基板上形成膜层，本发明实施例提供的喷嘴10包括喷嘴本体11、泵12、出口宽度调节器13以及膜厚检测器14，其中，喷嘴本体11上设置有呈狭缝状的材料吐出口，材料吐出口的长度方向与涂布方向垂直，请参阅图2，假设图2中方向A为涂布方向(Moving Direction，MD)，涂布方向为涂布时喷嘴10的移动方向，图2中方向B为横跨方向(Traverse Direction，TD)，也可以理解为材料吐出口的长度方向，涂布方向与横跨方向相互垂直，材料吐出口的开口朝下，膜层的材料经呈狭缝状的材料吐出口涂布至基板上，形成膜层；泵12位于喷嘴本体11上方，泵12的出口与材料吐出口连通，例如，喷嘴本体11内设置有至少一个管道，管道的一端与材料吐出口连通，管道的另一端从喷嘴本体11的顶部伸出，泵12的出口与管道上从喷嘴本体11的顶部伸出的一端连通，膜层的材料在泵12的作用下，经泵12的出口进入管道，然后经喷嘴10泵12体上的材料吐出口落至基板上，形成膜层，通过调节泵12的泵出压力，可以调节喷嘴10的材料吐出速度；出口宽度调节器13设置在喷嘴本体11上，通过调节出口宽度调节器13，可以调节材料吐出口的宽度；膜厚检测器14也设置在喷嘴本体11上，在涂布过程中，通过膜厚检测器14，可以检测刚涂布形成的膜层的厚度。

当将上述喷嘴10应用于涂布机中，在基板上正式涂布形成膜层前，对涂布机的涂布参数进行调整时，涂布参数包括喷嘴10的材料吐出速度、喷嘴10的移动速度、喷嘴10的材料吐出口的宽度、喷嘴10的材料吐出口与基板之间的距离等，其中，喷嘴10的吐出速度包括喷嘴起步时段(在此时段内，喷嘴10的移动速度由0逐渐升高，泵12引入的膜层的材料的量由0逐渐增加)的材料吐出速度、喷嘴匀速移动时段(此时段内，喷嘴10匀速移动，泵12引入的膜层的材料的量基本固定)的材料吐出速度、喷嘴停止时段(在此时段内，喷嘴10的移动速度由喷嘴10匀速移动时段内的速度逐渐降低至0，泵12引入的膜层的材料的量由喷嘴10匀速移动时段内的固定量逐渐降低至0)，也就是说，对涂布机的涂布参数进行调整，主要针对喷嘴10的相关参数进行调整，此时，可以先根据膜层的目标膜厚，计算初步涂布参数，并将涂布机的涂布参数调整为初步涂布参数，即，将喷嘴10的相关参数调整为初步涂布参数；然后启动涂布机，喷嘴10沿涂布方向移动，例如，喷嘴10沿图2中方向A移动，膜层的材料在泵12的作用下被引入喷嘴本体11内，并经喷嘴本体11上的材料吐出口落至基板上，形成膜层；膜厚检测器14检测涂布形成的膜层的膜厚；根据膜厚检测器14检测到的涂布形成的膜层的膜厚以及膜层的目标膜厚，计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，此时，可以仅计算对泵12进行调节的调节量，调节时仅对泵12进行调节而不对出口宽度调节器13进行调节，也可以仅计算对出口宽度调节器13进行调节的调节量，调节时仅对出口宽度调节器13进行调节而不对泵12进行调节，也可以同时计算对泵12和出口宽度调节器13分别进行调节的调节量，调节时同时对泵12和出口宽度调节器13进行调节；然后，根据计算得到的对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节；喷嘴10继续沿着涂布方向移动，在基板上涂布形成膜层，膜厚检测器14继续检测刚涂布形成的膜层的膜厚，根据膜厚检测器14检测到的刚涂布形成的膜层的膜厚以及膜层的目标膜厚，计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，并对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节。如此，在喷嘴10沿涂布方向移动，在基板上涂布形成膜层的过程中，膜厚检测器14检测刚涂布形成的膜层的膜厚，根据膜厚检测器14检测到的刚涂布形成的膜层的膜厚以及膜层的目标膜厚，计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节，以使喷嘴10的材料吐出速度、喷嘴10的材料吐出口的宽度等涂布参数相互匹配，且与膜层的目标膜厚相匹配，即，使涂布机在经调节后的喷嘴10的材料吐出速度、喷嘴10的材料吐出口的宽度等涂布参数下，在基板上涂布形成的膜层的膜厚与膜层的目标膜厚相同(需要注意的是，此处的“相同”可以指绝对相同，即涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚在数值上完全相同，也可以指相对相同，即涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚在目标膜厚的偏差范围内)，以便利用涂布机在基板上正式涂布形成膜层。

由上述可知，将本发明实施例提供的喷嘴10应用于涂布机中，在基板上正式涂布形成膜层前，对涂布机的涂布参数进行调整时，喷嘴10沿涂布方向移动，涂布形成膜层，膜厚检测器14则对涂布形成的膜层的膜厚进行检测，然后根据膜厚检测器14检测到的涂布形成膜层的膜厚以及膜层的目标膜厚，获得需要对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，并对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节，以实现对涂布机的涂布参数进行调整，使得涂布机的涂布参数满足膜层的目标膜厚的要求，以便利用涂布机正式涂布形成膜层，也就是说，将本发明实施例提供的喷嘴10应用于涂布机中，在基板上正式涂布形成膜层前，对涂布机的涂布参数进行调整时，对涂布形成的膜层的膜厚的检测、对涂布参数的调整是同时进行的，因此，可以在一个基板上进行一次涂布形成膜层的过程中完成对涂布参数的调整，即可以在一个基板上进行依次涂布形成膜层的过程中完成对膜层的膜厚的调整，与现有技术中涂布形成膜层完成后，然后检测涂布形成的膜层的膜厚，然后再对涂布参数进行调整相比，避免多次涂布形成膜层，减少对涂布参数进行调整时所花费的时间，提高了涂布机的时间稼动率，同时，由于可以在一个基板上进行一次涂布形成膜层的过程中完成对涂布参数的调整，因此可以减少基板的使用数量，减少基板的浪费。

值得一提的是，上述实施例中，主要从将本发明实施例提供的喷嘴10应用于涂布机中，在基板上正式涂布形成膜层前，对涂布机的涂布参数进行调整的过程进行了详细描述，在实际应用中，当将本发明实施例提供的喷嘴10应用于涂布机中，对涂布机的涂布参数完成调整后，在基板上正式涂布形成膜层时，喷嘴10沿涂布方向移动，在基板上涂布形成膜层，此时，膜厚检测器14检测涂布形成的膜层的膜厚，根据膜厚检测器14检测到的涂布形成的膜层的膜厚，获得对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，并对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节，以对涂布机的涂布参数进行调整，使得涂布形成膜层的膜厚均匀分布，提高膜层的膜厚的均匀性。如此，可以提升产品的品质，提高产品竞争力。

上述喷嘴10应用于涂布机后，该涂布机可以用于涂布形成多种膜层，例如彩膜层、光刻胶、钝化层等。

请继续参阅图1和图2，在本发明实施例中，膜厚检测器14包括多个检测头141，多个检测头141均设置在喷嘴本体11上，且多个检测头141沿材料吐出口的长度方向均匀排布。膜厚检测器14检测膜层的膜厚时，检测头141负责检测膜层中与该检测头141对应的部分的膜厚，以检测膜层在材料吐出口的长度方向上的膜厚是否均匀，即检测膜层在图2中方向B上的膜厚是否均匀，以便对材料吐出口各部分的宽度进行调整，从而提高涂布形成的膜层在垂直于涂布方向的方向上的膜厚的均匀性。

通常，膜厚检测器14可以采用光学检测的方式对膜层的膜厚进行检测，例如，膜厚检测器14可以为分光计，此时，检测头141输出的检测数据为模拟数据，为防止膜厚检测器14检测到的膜层的膜厚的数据在传输过程中出现失真等现象，膜厚检测器14还包括数据处理单元142，数据处理单元142与检测头141连接，检测头141输出的检测数据输入至数据处理单元142，数据处理单元142则对检测头141输出的检测数据进行处理，例如去除检测头141输出的检测数据中的干扰、将检测头141输出的检测数据由模拟数据转为数字数据，以方便后续数据的传输、显示、计算等。

在上述实施例中，检测头141设置喷嘴本体11上，检测头141在喷嘴本体11上的设置位置可以根据实际情况设定，优选地，检测头141位于喷嘴本体11上背向涂布方向的一侧，例如，请参阅图2，图2中方向A为涂布方向，图2中方向B为横跨方向，涂布方向与横跨方向垂直，喷嘴本体11包括朝向涂布方向的一侧(也可以理解为喷嘴本体11的前侧)和背向涂布方向的一侧(也可以理解为喷嘴本体11的背侧)，检测头141位于喷嘴本体11上背向涂布方向的一侧，即检测头141位于喷嘴本体11的背侧，如此，可以方便检测头141对刚涂布形成的膜层的膜厚进行检测，且可以防止喷嘴本体11对检测头141检测刚涂布形成的膜层的膜厚时产生干扰。

在上述实施例中，喷嘴本体11上设置有用于调节材料吐出口的宽度的出口宽度调节器13，其中，出口宽度调节器13的数量可以根据实际需要进行设定，例如，出口宽度调节器13的数量可以为一个、两个、三个或三个以上，在本发明实施例中，请参阅图1或图2，出口宽度调节器13的数量优选为多个，多个出口宽度调节器13沿材料吐出口的长度方向均匀排布，每个出口宽度调节器13调节材料吐出口与每个出口宽度调节器13对应的部分的宽度，如此，可以使得材料吐出口各部分的宽度均得到调节和控制，从而改善涂布形成的膜层的膜厚在材料吐出口的长度方向的均匀性。

在上述实施例中，检测头141的数量为多个，多个检测头141沿材料吐出口的长度方向均匀排布，出口宽度调节器13的数量也为多个，多个出口宽度调节器13也沿材料吐出口的长度方向均匀排布，其中，检测头141的数量与出口宽度调节器13的数量可以不相同，也可以相同，在本发明实施例中，请继续参阅图1或图2，检测头141的数量与出口宽度调节器13的数量优选相同，如此设计，当某检测头141检测得到的数据显示膜层中与该检测头141对应的部分的膜厚出现偏差(例如相对其它部分膜层的膜厚较厚或较薄)，则只需要对与该检测头141对应的出口宽度调节器13进行调节，以调节材料吐出口中与该出口宽度调节器13对应的部分的宽度，从而可以方便对材料吐出口中与膜厚出现偏差的部分进行定位，并方便对材料吐出口的宽度的调节。

请继续参阅图1，在本发明实施例中，出口宽度调节器13包括出口宽度调节件和驱动部件，驱动部件与宽度调节件连接。其中，喷嘴本体11可以包括连接在一起的前侧本体111和背侧本体112，前侧本体111和背侧本体112之间形成狭缝状的材料吐出口，前侧本体111相对背侧本体112靠近喷嘴本体11的前侧，背侧本体112相对前侧本体111靠近喷嘴本体11的背侧；出口宽度调节件可以包括螺杆131和螺母132，螺杆131的一端穿过背侧本体112旋入前侧本体111内，螺杆131的另一端伸出背侧本体112外，即螺杆131伸出背侧本体112外的一端位于喷嘴本体11的背侧，螺杆131伸出背侧本体112外的一端位于喷嘴本体11背向涂布方向的一侧，螺母132旋设在螺杆131伸出背侧本体112外的一端，通过调节螺母132的旋转量，可以调节螺杆131伸出背侧本体112外的距离，从而调节材料吐出口的宽度；驱动部件为马达133，马达133与螺母132连接，通过马达133驱动螺母132的旋转，以调节螺母132的旋转量，进而调节螺杆131伸出背侧本体112外的距离，从而调节材料吐出口的宽度。如此设计，通过马达133驱动螺母132旋转，以调节材料吐出口的宽度，因而可以实现自动调节材料吐出口的宽度，而无需手动旋转螺母132，以调节材料吐出口的宽度。

请参阅图3，本发明实施例还提供一种涂布机，所述涂布机包括中央处理器20、逻辑控制器30以及如上述实施例所述的喷嘴10，中央处理器20与逻辑控制器30连接，逻辑控制器30分别与喷嘴10的泵12、出口宽度调节器13、膜厚检测器14连接；中央处理器20根据膜层的目标膜厚，计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的初步参数值；中央处理器20还根据膜层的目标膜厚和膜厚检测器14所检测的膜层的膜厚，计算需要对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量；逻辑控制器30根据初步参数值，对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节；逻辑控制器30还根据调节量，对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节。

具体地，请继续参阅图3，本发明实施例提供的涂布机可以包括中央处理器20、逻辑控制器30和如上述实施例所述的喷嘴10，中央处理器20可以为电脑(PersonalComputer，PC)，逻辑控制器30可以为可编程逻辑控制器30(Programmable LogicController，PLC)，中央处理器20与逻辑控制器30连接，逻辑控制器30分别与喷嘴10的泵12、出口宽度调节器13、膜厚检测器14连接，具体地，逻辑控制器30与喷嘴10的泵12中的电机连接，逻辑控制器30与每个出口宽度调节器13的驱动部件即马达133连接，逻辑控制器30还与膜厚检测器14的数据处理单元142连接。

中央处理器20根据膜层的目标膜厚，计算对泵12或/出口宽度调节器13进行调节的初步参数值，即中央处理器20根据膜层的目标膜厚，计算泵12的泵出压力或/和出口宽度调节器13中螺母132的旋转量，即计算喷嘴10在不同的移动时段内喷嘴10的材料吐出量、喷嘴10的材料吐出口的宽度等，逻辑控制器30则根据初步参数值，对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节，即逻辑控制器30根据初步参数值，调节泵12的泵出压力，调节出口宽度调节器13中螺母132的旋转量；中央处理器20还根据膜层的目标膜厚和膜厚检测器14所检测的膜层的膜厚，计算需要对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，逻辑控制器30则根据调节量，对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节。

当在利用本发明实施例提供的涂布机正式涂布形成膜层前，对涂布机的涂布参数进行调整时，可以先往中央处理器20中输入膜层的目标膜厚，中央处理器20则根据膜层的目标膜厚计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的初步参数值；初步参数值被传输至逻辑控制器30，逻辑控制器30则根据初步参数值，对泵12的泵出压力进行设定，启动出口宽度调节器13中的马达133，旋转螺母132，实现对泵12或/和出口宽度调节器13的调节，使泵12的泵出压力和螺母132的旋转量均与初步参数值匹配；然后其中涂布机，喷嘴10沿涂布方向移动，泵12将膜层的材料引入喷嘴本体11内，膜层的材料经材料吐出口落至基板上，形成膜层；膜厚检测器14的各检测头141则检测涂布形成的膜层中与各检测头141对应的部分的膜厚，各检测头141检测获得的数据则传输至数据处理单元142，数据处理单元142对各检测头141检测获得的数据进行处理；经数据处理单元142处理后的数据则经逻辑控制器30传输至中央处理器20，中央处理器20根据各检测头141检测得到的膜层的厚度以及膜层的目标膜厚，计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量；调节量传输至逻辑控制器30，逻辑控制器30根据调节量，对泵12的泵出压力进行设定，启动出口宽度调节器13中的马达133，旋转螺母132，实现对泵12或/和出口宽度调节器13的调节；喷嘴10继续沿着涂布方向移动，在基板上涂布形成膜层，膜厚检测器14继续检测刚涂布形成的膜层的膜厚，中央处理器20根据膜厚检测器14检测到的刚涂布形成的膜层的膜厚以及膜层的目标膜厚，计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，逻辑控制器30对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节。如此，在喷嘴10沿涂布方向移动，在基板上涂布形成膜层的过程中，膜厚检测器14检测刚涂布形成的膜层的膜厚，中央处理器20根据膜厚检测器14检测到的刚涂布形成的膜层的膜厚以及膜层的目标膜厚，计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，逻辑控制器30对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节，以使喷嘴10的材料吐出速度、喷嘴10的材料吐出口的宽度等涂布参数相互匹配，且与膜层的目标膜厚相匹配，即，使涂布机在经调节后的喷嘴10的材料吐出速度、喷嘴10的材料吐出口的宽度等涂布参数下，在基板上涂布形成的膜层的膜厚与膜层的目标膜厚相同(需要注意的是，此处的“相同”可以指绝对相同，即涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚与目标膜厚在数值上完全相同，也可以指相对相同，即涂布机在经多次调整后的涂布参数下形成的膜层的膜厚在目标膜厚的偏差范围内)，以便利用涂布机在基板上正式涂布形成膜层。

当利用本发明实施例提供的涂布机在基板上正式涂布形成膜层时，喷嘴10沿涂布方向移动，在基板上涂布形成膜层，此时，膜厚检测器14检测涂布形成的膜层的膜厚，中央处理器20则根据膜厚检测器14检测到的涂布形成的膜层的膜厚，计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的调节量，逻辑控制器30对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节，以对涂布机的涂布参数进行调整，使得涂布形成膜层的膜厚均匀分布，提高膜层的膜厚的均匀性。

所述涂布机与上述喷嘴10相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

值得一提的是，在本发明实施例提供的涂布机中，利用中央处理器20根据膜层的目标膜厚计算对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的初步参数值，与现有技术中通过工作人员根据膜层的目标膜厚预估对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的初步参数值相比，可以提高对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的初步参数值的预估准确性，减少后续对泵12或/和出口宽度调节器13进行调节的次数，节省时间，提高效率，减少基板的不良率。

请参阅图4，本发明实施例还提供一种涂布方法，应用如上述实施例所述的涂布机，所述涂布方法包括：

步骤S1、设定膜层的目标膜厚。具体地，可以直接手动向中央处理器即PC中输入膜层的目标膜厚。

步骤S2、根据膜层的目标膜厚，计算对涂布机中喷嘴的泵或/出口宽度调节器进行调节的初步参数值。具体地，中央处理器则根据膜层的目标膜厚，计算对泵或/和出口宽度调节器进行调节的初步参数值。

步骤S3、根据初步参数值，对泵或/和出口宽度调节器进行调节。具体地，逻辑控制器则根据初步参数值，设定泵的泵出压力，对出口宽度调节器中螺母的旋转量进行调节，以对泵或/和出口宽度调节器进行调节。

步骤S4、启动涂布机，涂布机涂布，形成膜层。

步骤S5、检测涂布形成的膜层的膜厚。即膜厚检测器中各检测头对涂布形成的膜层中对应于各检测头的部分的膜厚进行检测，膜厚检测器的数据处理单元则对各检测头检测到的数据进行处理。

步骤S6、根据膜层的目标膜厚和检测得到的涂布形成的膜层的膜厚，计算需要对涂布机中喷嘴的泵或/出口宽度调节器进行调节的调节量。具体地，中央处理器根据膜层的目标膜厚和膜厚检测器所检测得到的涂布形成的膜层的膜厚，计算需要对泵或/和出口宽度调节器进行调节的调节量。

步骤S7、根据调节量，对泵或/和出口宽度调节器进行调节。具体地，逻辑控制器则根据调节量，对泵或/和出口宽度调节器进行调节。

需要说明的是，利用涂布机涂布形成膜层的过程中，重复步骤S5至步骤S7，对泵或/和出口宽度调节器进行调节，以使得利用涂布机涂布形成的膜层的膜厚均匀。

所述涂布方法与上述涂布机相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种喷嘴，其特征在于，包括：

喷嘴本体，所述喷嘴本体上设置有呈狭缝状的材料吐出口；

将材料引入所述喷嘴本体内的泵，所述泵设置在所述喷嘴本体上方，所述泵的出口与所述材料吐出口连通；

调节所述材料吐出口的宽度的出口宽度调节器，所述出口宽度调节器设置在所述喷嘴本体上；

检测膜层的膜厚的膜厚检测器，所述膜厚检测器设置在喷嘴本体上。

2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述膜厚检测器包括数据处理单元和多个检测头，多个所述检测头均设置在所述喷嘴本体上，且多个所述检测头沿所述材料吐出口的长度方向均匀排布；所述数据处理单元与所述检测头连接。

3.根据权利要求2所述的喷嘴，其特征在于，所述检测头位于所述喷嘴本体上背向涂布方向的一侧。

4.根据权利要求2所述的喷嘴，其特征在于，所述出口宽度调节器的数量为多个，多个所述出口宽度调节器沿所述材料吐出口的长度方向均匀排布。

5.根据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，所述检测头的数量与所述出口宽度调节器的数量相同。

6.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述膜厚检测器为分光计。

7.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述出口宽度调节器包括出口宽度调节件和驱动部件，所述驱动部件与所述宽度调节件连接。

8.根据权利要求7所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴本体包括连接在一起的前侧本体和背侧本体，所述前侧本体和所述背侧本体之间形成狭缝状的材料吐出口；

所述出口宽度调节件包括螺杆和螺母，所述螺杆的一端穿过所述背侧本体旋入所述前侧本体，所述螺杆的另一端伸出所述背侧本体外，所述螺母旋设在所述螺杆伸出所述背侧本体外的一端；

所述驱动部件为马达，所述马达与所述螺母连接。

9.一种涂布机，其特征在于，包括中央处理器、逻辑控制器以及如权利要求1～8任一所述的喷嘴，所述中央处理器与所述逻辑控制器连接，所述逻辑控制器分别与所述喷嘴的泵、出口宽度调节器、膜厚检测器连接；

所述中央处理器根据膜层的目标膜厚，计算对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节的初步参数值；所述中央处理器还根据膜层的目标膜厚和所述膜厚检测器所检测的膜层的膜厚，计算需要对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节的调节量；

所述逻辑控制器根据初步参数值，对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节；所述逻辑控制器还根据调节量，对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节。

10.一种应用如权利要求9所述的涂布机的涂布方法，其特征在于，包括：

设定膜层的目标膜厚；

根据膜层的目标膜厚，计算对所述涂布机中喷嘴的泵或/出口宽度调节器进行调节的初步参数值；

根据初步参数值，对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节；

启动所述涂布机，所述涂布机涂布，形成膜层；

检测涂布形成的膜层的膜厚；

根据膜层的目标膜厚和检测得到的涂布形成的膜层的膜厚，计算需要对所述涂布机中喷嘴的泵或/出口宽度调节器进行调节的调节量；

根据调节量，对所述泵或/和所述出口宽度调节器进行调节。