CN108545955A - 一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法 - Google Patents
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- 230000009975 flexible effect Effects 0.000 title claims abstract description 54
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 10
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 3
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 claims description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 claims description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/02—Details
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
- H05B3/146—Conductive polymers, e.g. polyethylene, thermoplastics
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/20—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater
- H05B3/34—Heating elements having extended surface area substantially in a two-dimensional plane, e.g. plate-heater flexible, e.g. heating nets or webs
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
- C03C2218/156—Deposition methods from the vapour phase by sputtering by magnetron sputtering
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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Abstract
本发明属于电加热领域，具体涉及一种曲面玻璃真空柔性加热方法。本发明采用在柔性加热膜或柔性加热套能贴合各种异型玻璃进行曲面加热，使得在大型曲面玻璃上进行高温镀膜不再受限于形状和尺寸。柔性加热的优势在于可实现均匀、可控的加热，解决了其他加热方法中存在的加热不均匀、温度控制不准确问题，保证了高温镀膜的质量。本发明有益效果还在于其中涉及的装置和方法可推广至其他镀膜设备，如电子束蒸镀，热喷涂等镀膜设备，同时还能原位对生长于基材的薄膜进行真空热处理。
Description
技术领域
本发明属于电加热领域，具体涉及一种曲面玻璃真空柔性加热方法。
背景技术
在工业生产中，常常需要给曲面玻璃进行镀膜。大型磁控溅射镀膜仪、热蒸镀、电子束蒸镀等镀膜设备是常用的镀膜设备。已有的研究表明，提高基材的温度能够有效去除表面的水汽，同时提高薄膜的生长质量。通常镀膜设备的基材加热装置都集成在基片台，仅对面积较小的平面件具有加热效果，但对汽车、航天航空领域用到的各种异型曲面玻璃基材的不适用。在镀制大型曲面玻璃时，往往需要对整体镀膜设备进行加热，耗费大量资源和有可能造成安全隐患，同时存在加热不均匀，温度控制不均匀等情况。为此，针对大型曲面玻璃基材，研究一种具有简单的、普适性的真空柔性加热方法很有必要。
发明内容
本发明的目的是克服曲面玻璃难以实现高温镀膜的问题，提出一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法。
本发明的技术解决方案是，加热方法为如下之一：
1)采用柔性加热膜无缝贴合于玻璃背面，放入真空室内，并将柔性加热膜上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，柔性加热膜的加热温度区间为50～180℃，真空腔体抽真空；在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜；需要时，可在基材周边布置温度传感器，增强对加热温度的准确监控。
2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面并与玻璃良好贴合，将可拆卸式柔性加热套上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，可拆卸式柔性加热套的加热温度区间约为180～350℃，真空腔体抽真空；在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜。
所述柔性加热膜包括但不限于聚酰亚胺柔性加热膜。需要时，可在基材周边布置温度传感器，增强对加热温度的准确监控。
所述可拆卸式柔性加热套包括但不限于玻璃纤维包覆的电阻丝等耐高温柔性加热装置。
所述真空加热方法不仅适用于磁控溅射高温镀膜，也适用于各种需要对曲面玻璃真空加热的装置，如热蒸镀、电子束蒸镀，同时还能原位对生长于基材的薄膜进行真空热处理。
本发明具有的优点在柔性加热膜或柔性加热套能贴合各种异型玻璃进行曲面加热，使得在大型曲面玻璃上进行高温镀膜不再受限于形状和尺寸。柔性加热的优势在于可实现均匀、可控的加热，解决了其他加热方法中存在的加热不均匀、温度控制不准确问题，保证了高温镀膜的质量。本发明有益效果还在于其中涉及的装置和方法可推广至其他镀膜设备，如电子束蒸镀，热喷涂等镀膜设备，同时还能原位对生长于基材的薄膜进行真空热处理。
附图说明
图1曲面玻璃真空柔性加热示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施方式作进一步的详细说明
本发明提供的一种曲面玻璃真空柔性加热的方法，具体有以下两种实施方式：
1)采用柔性加热膜贴于玻璃背面，与玻璃实现无缝贴合，该方法适合的加热温度区间约为50～180℃；
2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面，与玻璃实现良好贴合。由于可拆卸式柔性加热所用的电阻丝外包裹的是耐高温的玻璃纤维，因此该方法适合的加热温度区间约为180～350℃。
本发明实施真空加热的前提条件是通过真空法兰连接外部温控器，控制上述柔性加热膜或者可拆卸式柔性加热套，实现对温度的控制。本发明对温度实施精准控制的前提是在加热基材上布置若干传感器，以获得基材的准确温度。
本发明的实施步骤如下：
步骤1、清洗曲面玻璃后放入真空腔体1；
步骤2、将上述柔性加热膜或者柔性加热套2贴敷于基材3后面，实现与基材3的密切贴合，同时基材3各处布置若干温度传感器4；柔性加热膜或者柔性加热套2通过真空法兰5与外部的温度控制器6连通；
步骤3、真空腔体通过真空泵组7进行抽真空；
步骤4、镀膜前，通过温度控制器6对温度进行调节。设定某一镀膜温度后，需等待半小时待稳定后，利用磁控溅射电源8控制靶材9进行镀膜。
具体的，步骤2所述的柔性加热膜可加热温度区间约为50～180℃；可拆卸式柔性加热套可加热温度区间约为180～350℃。
再进一步的，步骤2所述的柔性加热膜或者可拆卸式柔性加热套需要与玻璃密切贴合，因为其柔性的特点，因而可以与任何曲面玻璃贴合良好。
实施例
在真空腔体1中安装好曲面玻璃件后，将柔性加热膜或者柔性加热套2均匀地贴在基材3的背面。同时基材3各处布置若干温度传感器4；柔性加热膜或者柔性加热套2通过真空法兰5与外部的温度控制器6连通；通过真空泵组7对真空腔体1进行抽真空，达到镀膜所需的真空度。如图1所示外接温控器的对紧贴的柔性加热膜或者柔性加热套2进行加热，通过温度控制器6实现对其温度的控制。待温度稳定在设定值100℃时，测试布置在基材3各处的温度传感器4，发现其温度为96.5℃，102.5℃，99.4℃，97.7℃，99.4℃,101.3℃,102.3℃，基本在设定温度±3.5℃左右，证明温度控制的稳定性。温度稳定后，进行镀膜操作。按照此方法可以对曲面玻璃进行高温磁控溅射镀膜，高温镀制的薄膜对常温镀制的薄膜晶体质量更好。
Claims (4)
1.一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，加热方法为如下之一：
1)采用柔性加热膜无缝贴合于玻璃背面，放入真空室内，并将柔性加热膜上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，柔性加热膜的加热温度区间为50～180℃，真空腔体抽真空；当同时需要对曲面玻璃镀膜时，在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜；
2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面并与玻璃良好贴合，将可拆卸式柔性加热套上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，可拆卸式柔性加热套的加热温度区间约为180～350℃，真空腔体抽真空；当同时需要对曲面玻璃镀膜时，在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜。
2.根据权利要求1所述的一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，所述柔性加热膜为聚酰亚胺柔性加热膜。
3.根据权利要求1所述的一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，所述可拆卸式柔性加热套为玻璃纤维包覆的电阻丝等耐高温柔性加热装置。
4.根据权利要求1所述的一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，所述真空加热方法不仅适用于磁控溅射高温镀膜，也适用于各种需要对曲面玻璃真空加热的装置，如热蒸镀、电子束蒸镀，同时还能对生长于玻璃的薄膜进行真空热处理。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810694523.9A CN108545955B (zh) | 2018-06-29 | 2018-06-29 | 一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810694523.9A CN108545955B (zh) | 2018-06-29 | 2018-06-29 | 一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108545955A true CN108545955A (zh) | 2018-09-18 |
| CN108545955B CN108545955B (zh) | 2020-12-29 |
Family
ID=63494141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810694523.9A Active CN108545955B (zh) | 2018-06-29 | 2018-06-29 | 一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108545955B (zh) |
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |