CN108508639B - 离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法 - Google Patents

离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108508639B
CN108508639B CN201810259642.1A CN201810259642A CN108508639B CN 108508639 B CN108508639 B CN 108508639B CN 201810259642 A CN201810259642 A CN 201810259642A CN 108508639 B CN108508639 B CN 108508639B
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass substrate
measuring
measurement
mechanical arm
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810259642.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108508639A (zh
Inventor
李�昊
潘国辉
汪斌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201810259642.1A priority Critical patent/CN108508639B/zh
Publication of CN108508639A publication Critical patent/CN108508639A/zh
Priority to US16/467,983 priority patent/US20200180144A1/en
Priority to PCT/CN2019/077650 priority patent/WO2019184689A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108508639B publication Critical patent/CN108508639B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0084—Programme-controlled manipulators comprising a plurality of manipulators
    • B25J9/0087—Dual arms
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133351—Manufacturing of individual cells out of a plurality of cells, e.g. by dicing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Abstract

本发明提供了离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法，所述离线量测设备包括：实施量测的量测机构、拾取和转移玻璃基板的机械手臂、将玻璃基板进行方向调整的旋转机构。本发明通过在离线量测设备上增加旋转机构，以及改进机械手臂和量测机构，使旋转机构、机械手臂和量测机构相互配合，进而实现对不同类型玻璃基板的量测和流片。

Description

离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法
技术区域
本发明涉及显示技术区域，具体涉及一种离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法。
背景技术
在薄膜晶体管(简称TFT(Thin Film Transistor))液晶面板的制作过程中，阵列基板与彩膜基板经过聚酰亚胺液的配向后，在阵列基板和彩膜基板之间进行液晶滴注，并进行对组贴合切割，这一制程称为液晶盒制程(简称Cell制程)。
在Cell制程中，框胶113(Sealant)是提供阵列基板和彩膜基板贴合密封成液晶盒的基材，但是在进行框胶113涂布时易发生外溢至相邻阵列基板的外围电路区域112，造成对液晶面板的污染113a，进而导致外围电路接触不良的制程问题，如图1所示。
在玻璃基板1上，阵列基板11在玻璃基板上的排列方式为边靠边(Side By Side)规则排布,为了改善框胶113对外围电路区域112的污染问题，通常在玻璃基板1上采用阵列基板11背靠背(Back By Back)的排版设计，在现有边靠边的设计基础上，将阵列基板11短边相邻的阵列基板旋转180°，进而可以有效的改善框胶对外围驱动电路接线区的污染问题，此外验证此设计可有效增大玻璃基板的利用面积，目前ITP(In-cell Touch Panel)面板产品均采用背靠背(Back By Back)的排版设计。
在玻璃基板1上，为了提高整张玻璃基板的综合利用率，根据阵列基板11在玻璃基板1上的排布方向将玻璃基板1分为竖版和横版，竖版指的是阵列基板11的长边与玻璃基板1的长边方向平行，横版指的是阵列基板11的短边与玻璃基板1的长边方向平行。以竖版的玻璃基板1为例，在5.5吋全高清产品的阵列基板边靠边排版如图2所示，5.5吋ITP产品的阵列基板背靠背排版如图3所示。
在液晶面板的制作过程中，需要对玻璃基板1上各部件的功能进行量测，这一过程需要在离线(offline)量测设备上进行，如阵列基板电性良率量测设备。因部分离线量测设备的机构设计等原因，在对玻璃基板进行量测的时候，需将玻璃基板放置在离线量测设备上符合方向和位置的要求，外围电路区域112靠近机械手臂方向放置5a，显示区域111靠近操作台方向5b放置，以避免离线量测设备各部件之间发生相互干涉和碰撞，进而完成阵列基板11的电性良率量测。
在阵列基板电性良率量测设备对阵列基板11进行量测时，将玻璃基板正确的放置在阵列基板量测设备上，探针41与阵列基板31的测试端子313连接进而输入电信号，进而进行阵列基板亮暗像素缺陷、亮暗线缺陷、画面异常的量测，具体的量测结构示意图如图4和图5所示。
但是目前的离线量测设备主要是针对边靠边(Side By Side)式玻璃基板进行量测，并未考虑边靠边(Side By Side)式玻璃基板特殊的阵列基板分布，因此目前亟需一种离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法，能够既完成对边靠边(Side By Side)式玻璃基板的量测，也能完成背靠背(Back By Back)式玻璃基板的量测。
发明内容
本发明提供了一种离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法，以解决现有技术中对待量测玻璃基板的放置位置和方向有要求的离线量测设备，无法实现对背对背式玻璃基板进行量测和流片的问题。
为实现上述目的，本发明提供的技术方案如下：
根据本发明的一个方面，提供了一种离线量测设备，用于对玻璃基板进行自动量测，所述离线量测设备包括：量测机构、机械手臂、旋转机构；
所述量测机构用于对所述玻璃基板进行量测，所述量测机构包括：用于放置所述玻璃基板的量测平台、用于对所述玻璃基板进行量测的量测单元和第一夹板；
所述量测平台分为第一量测区域和第二量测区域，所述第一量测区域为竖版玻璃基板区域，所述第二量测区域为横版玻璃基板区域；
所述机械手臂用于拾取和转移所述玻璃基板，所述机械手臂包括：第一机械手臂和第二机械手臂；
所述旋转机构设置于所述量测机构的上方，用于将所述玻璃基板旋转至所需角度，包括：用于旋转所述玻璃基板的旋转单元、用于固定所述玻璃基板的固定单元、支撑单元以及用于接受所述指令的控制单元；
其中，所述玻璃基板上排布有阵列分布的阵列基板，所述阵列基板包括显示区域和外围电路区域，在对所述玻璃基板进行量测时，所述显示区域对应于所述量测单元方向放置，所述外围电路区域对应于所述机械手臂方向放置。
根据本发明一优选实施例，所述机械手臂包括分叉，所述第二机械手臂的分叉数大于所述第一机械手臂的分叉数；
当所述玻璃基板的长边面对所述机械手臂时，采用所述第一机械手臂操作所述玻璃基板，当所述玻璃基板的短边面对所述机械手臂时，采用所述第二机械手臂操作所述玻璃基板。
根据本发明一优选实施例，所述玻璃基板包括：横版背靠背式玻璃基板、竖版背靠背式玻璃基板、横版非背靠背式玻璃基板和竖版非背靠背式玻璃基板。
根据本发明一优选实施例，所述旋转单元为旋转电机，所述固定单元包括固定所述玻璃基板四边的第二夹板和用于吸附所述玻璃基板的真空吸附器，所述控制单元为PLC控制单元，所述支撑单元为所述旋转机构的框架。
根据本发明的另一个方面，提供了一种玻璃基板的离线量测方法，采用权利要求1-4所述的离线量测设备对所述玻璃基板进行离线量测，所述玻璃基板的离线量测方法包括：
步骤S10、CIM系统根据所述玻璃基板的类型生成所述指令传送给所述量测机构、所述机械手臂和所述旋转机构；
步骤S20、所述机械手臂在接收所述指令后将所述玻璃基板从存储设备中取出并放置在所述旋转机构处，所述旋转机构将所述玻璃基板旋转至目标角度后，再由所述机械手臂将所述玻璃基板转移至所述量测机构上，经过所述机械手臂、所述旋转机构和所述量测机构之间的相互配合，完成所述玻璃基板的量测；
步骤S30、所述机械手臂将所述玻璃基板放置在所述存储设备的指定区域。
根据本发明一优选实施例，当所述玻璃基板为竖版非背靠背式玻璃基板时，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后直接将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并放置在所述旋转机构处旋转0°或180°，再将所述玻璃基板转移至所述第一量测区域上，对所述玻璃基板进行量测，直到量测完成后，通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
根据本发明一优选实施例，当所述玻璃基板为横版非背靠背式玻璃基板时，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并放置在所述旋转机构处旋转90°或270°，再将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域上，对所述玻璃基板进行量测，直到量测完成后，通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
根据本发明一优选实施例，当所述玻璃基板为背靠背式玻璃基板时，所述背靠背式玻璃基板包括第一阵列基板和第二阵列基板，所述第一阵列基板的方向与所述量测平台对所述第一阵列基板的需求方向相同，所述第二阵列基板的方向与所述量测平台对所述第二阵列基板的需求方向相反。
根据本发明一优选实施例，当所述玻璃基板为竖版背靠背式玻璃基板时，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并直接转移至所述第一量测区域上，对所述第一阵列基板进行量测，再将所述玻璃基板放置在所述旋转机构处旋转180°，再将所述玻璃基板转移至所述第一量测区域上，对所述第二阵列基板进行量测，通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
根据本发明一优选实施例，当所述玻璃基板为横版背靠背式玻璃基板时，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并转移至所述旋转机构处旋转90°，将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域上，对所述第一阵列基板进行量测，随后将所述玻璃基板转移至所述旋转机构处旋转180°，即相对于所述玻璃基板的初始位置旋转了270°，将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域上，通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
本发明的优点是，提供了离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法，通过在离线量测设备上增加旋转机构，以及改进机械手臂和量测机构，使旋转机构、机械手臂和量测机构相互配合，进而实现对不同类型玻璃基板的量测和流片。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本区域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为框胶外溢对外围驱动电路的污染示意图；
图2为竖版边靠边式玻璃基板的机构示意图；
图3为竖版背靠背式玻璃基板结构示意图；
图4为阵列基板离线量测设备部分结构的左视图；
图5为玻璃基板进行离线量测时在离线量测设备的放置方向的俯视图；
图6为本发明实施例中旋转机构的结构示意图；
图7为本发明实施例中机械手臂的部分结构示意图；
图8为本发明实施例中机械手臂的整体结构示意图；
图9为本发明实施例中量测机构的结构示意图；
图10为本发明实施例中玻璃基板的离线量测方法的流程示意图；
图11为本发明实施例中背对背式玻璃基板在量测过程中旋转角度的示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明针现有技术中对待量测玻璃基板的放置位置和方向有要求的离线量测设备，无法实现对背对背式玻璃基板进行量测和流片的问题，提出了一种离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法
下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明：
图6为本发明实施例中旋转机构的结构示意图；图7为本发明实施例中机械手臂的部分结构示意图；图8为本发明实施例中机械手臂的整体结构示意图；图9为本发明实施例中量测机构的结构示意图；图10为本发明实施例中玻璃基板的离线量测方法的流程示意图；图11为本发明实施例中背对背式玻璃基板在量测过程中旋转角度的示意图。
如图6、图8和图9所示，本发明提供了一种离线量测设备6，用于对玻璃基板进行自动量测，所述离线量测设备6包括：量测机构63、旋转机构61、机械手臂62；
如图9所示，所述量测机构63用于对所述玻璃基板进行量测，所述量测机构63包括：用于放置所述玻璃基板的量测平台631、用于对所述玻璃基板进行量测的量测单元632和第一夹板633；
所述量测平台分为第一量测区域631a和第二量测区域631b，所述第一量测区域631a为竖版玻璃基板区域，所述第二量测区域631b为横版玻璃基板区域；
所述机械手臂62用于拾取和转移所述玻璃基板，所述机械手臂62包括：第一机械手臂621和第二机械手臂622，所述机械手臂62用于拾取和转移所述玻璃基板；
所述旋转机构61设置于所述量测机构63的上方，用于将所述玻璃基板旋转至所需角度，包括：用于旋转所述玻璃基板的旋转单元611、用于固定所述玻璃基板的固定单元612、支撑单元613以及用于接受所述指令的控制单元614；
其中，所述玻璃基板上排布有阵列分布的阵列基板11，所述阵列基板11包括显示区域111和外围电路区域112，在对所述玻璃基板11进行量测时，所述显示区域111对应于操作台方向放置5b，所述外围电路区域112对应于所述机械手臂方向5a放置。
如图7所示，所述机械手臂62包括分叉，所述第二机械手臂622的分叉数大于所述第一机械手臂621的分叉数；
当所述玻璃基板的长边面对所述机械手臂时，采用所述第一机械手臂操621作所述玻璃基板，当所述玻璃基板的短边面对所述机械手臂时，采用所述第二机械手臂622操作所述玻璃基板，这样设置的好处在于，通过将分叉数多的第二机械手臂622拾取玻璃基板可以能够提升机械手臂在抓取转移过程的稳定性，针对玻璃基板量测过程中的需旋转的特性，进而有效地防止玻璃基板的滑落。
具体的，所述玻璃基板包括：横版背靠背式玻璃基板、竖版背靠背式玻璃基板、横版非背靠背式玻璃基板和竖版非背靠背式玻璃基板，在本发明中控制机构可以通过识别不同玻璃基板进而输出相对应的指令，进而实现对不用玻璃基板的量测和流片。
在一实施例中，所述旋转单元611为旋转电机，所述固定单元612包括固定所述玻璃基板四边的第二夹板6121和用于吸附所述玻璃基板的真空吸附器6122，所述控制单元614为PLC控制单元，所述支撑单元613为所述旋转机构61的框架。
如图10所示，根据本发明的另一方面，还提供了一种玻璃基板的离线量测方法，采用权利要求1-4所述的离线量测设备6对所述玻璃基板进行离线量测，所述玻璃基板的离线量测方法包括：
步骤S10、CIM系统根据所述玻璃基板的类型生成所述指令传送给所述量测机构、所述机械手臂和所述旋转机构；
步骤S20、所述机械手臂62在接收所述指令后将所述玻璃基板从存储设备中取出并放置在所述旋转机构61处，所述旋转机构61将所述玻璃基板旋转至目标角度后，所述机械手臂62将所述玻璃基板转移至所述量测机构61上，经过所述机械手臂62、所述旋转机构61和所述量测机构63之间的相互配合，完成所述玻璃基板的量测；
步骤S30、所述机械手臂62将所述玻璃基板放置在所述存储设备的指定区域。
其中，CIM系统为计算机集成制造系统，用于通过指令统一控制玻璃基板生产量测过程中各个设备的实际运行。
具体的，在实施例2中，所述玻璃基板为竖版非背靠背式玻璃基板，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后直接将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并放置在所述旋转机构61处旋转0°或180°，再将所述玻璃基板转移至所述第一量测区域631a上，对所述玻璃基板进行量测，直到量测完成后，通过所述旋转机构61将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂62实现。
在实施例3中，所述玻璃基板为横版非背靠背式玻璃基板，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并放置在所述旋转机构61处旋转90°或270°，再将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域631b上，对所述玻璃基板进行量测，直到量测完成后，通过所述旋转机构61将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂62实现。
当所述玻璃基板为背靠背式玻璃基板时，所述背靠背式玻璃基板包括第一阵列基板11a和第二阵列基板11b，所述第一阵列基板11a的方向与所述量测平台对所述第一阵列基板的需求方向相同，所述第二阵列基板11b的方向与所述量测平台对所述第二阵列基板的需求方向相反。
在实施例4中，所述玻璃基板为竖版背靠背式玻璃基板时，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并直接转移至所述第一量测区域631a上，对所述第一阵列基板11a进行量测，再将所述玻璃基板放置在所述旋转机构61处旋转180°，再将所述玻璃基板转移至所述第一量测区域631a上，对所述第二阵列基板11b进行量测，通过所述旋转机构61将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂62实现。
在实施例5中，所述玻璃基板为横版背靠背式玻璃基板，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并转移至所述旋转机构62处旋转90°，将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域631b上，对所述第一阵列基板11a进行量测，随后将所述玻璃基板转移至所述旋转机构61处旋转180°，即相对于所述玻璃基板的初始位置旋转了270°，将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域631b上，通过所述旋转机构61将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测,上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂62实现。
进一步的，实施例5中的背对背式玻璃基板在量测过程中旋转角度如图11所示。
本发明实施例中玻璃基板的离线量测方法的工作原理跟所述离线量测设备的工作原理一致，具体可参考所述离线量测设备的工作原理，此处不再做赘述。
本发明提供了离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法，通过在离线量测设备上增加旋转机构，以及改进机械手臂和量测机构，使旋转机构、机械手臂和量测机构相互配合，进而实现对不同类型玻璃基板的量测和流片。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本区域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种离线量测设备，用于对玻璃基板进行自动量测，其特征在于，所述离线量测设备包括：量测机构、机械手臂、旋转机构；
所述量测机构用于对所述玻璃基板进行量测，所述量测机构包括：用于放置所述玻璃基板的量测平台、用于对所述玻璃基板进行量测的量测单元和第一夹板；
所述量测平台分为第一量测区域和第二量测区域，所述第一量测区域为竖版玻璃基板区域，所述第二量测区域为横版玻璃基板区域；
所述机械手臂用于拾取和转移所述玻璃基板，所述机械手臂包括：第一机械手臂和第二机械手臂；
所述旋转机构设置于所述量测机构的上方，用于将所述玻璃基板旋转至所需角度，包括：用于旋转所述玻璃基板的旋转单元、用于固定所述玻璃基板的固定单元、支撑单元以及用于接受指令的控制单元；
其中，所述玻璃基板上排布有阵列分布的阵列基板，所述阵列基板包括显示区域和外围电路区域，在对所述玻璃基板进行量测时，所述显示区域对应于操作台方向放置，所述外围电路区域对应于所述机械手臂方向放置。
2.根据权利要求1所述的离线量测设备，其特征在于，所述机械手臂包括分叉，所述第二机械手臂的分叉数大于所述第一机械手臂的分叉数；
当所述玻璃基板的长边面对所述机械手臂时，采用所述第一机械手臂操作所述玻璃基板，当所述玻璃基板的短边面对所述机械手臂时，采用所述第二机械手臂操作所述玻璃基板。
3.根据权利要求1所述的离线量测设备，其特征在于，所述玻璃基板包括：横版背靠背式玻璃基板、竖版背靠背式玻璃基板、横版非背靠背式玻璃基板和竖版非背靠背式玻璃基板。
4.根据权利要求1所述的离线量测设备，其特征在于，所述旋转单元为旋转电机，所述固定单元包括固定所述玻璃基板四边的第二夹板和用于吸附所述玻璃基板的真空吸附器，所述控制单元为PLC控制单元，所述支撑单元为所述旋转机构的框架。
5.一种玻璃基板的离线量测方法，采用权利要求1-4任一项所述的离线量测设备对所述玻璃基板进行量测，其特征在于，所述玻璃基板的离线量测方法包括：
步骤S10、CIM系统根据所述玻璃基板的类型生成所述指令传送给所述量测机构、所述机械手臂和所述旋转机构；
步骤S20、所述机械手臂在接收所述指令后将所述玻璃基板从存储设备中取出并放置在所述旋转机构处，所述旋转机构将所述玻璃基板旋转至目标角度后，再由所述机械手臂将所述玻璃基板转移至所述量测机构上，经过所述机械手臂、所述旋转机构和所述量测机构之间的相互配合，完成所述玻璃基板的量测；
步骤S30、所述机械手臂将所述玻璃基板放置在所述存储设备的指定区域。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板的离线量测方法，其特征在于，当所述玻璃基板为竖版非背靠背式玻璃基板时，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后直接将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并放置在所述旋转机构处旋转0°或180°，再将所述玻璃基板转移至所述第一量测区域上，对所述玻璃基板进行量测，直到量测完成后，通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
7.根据权利要求5所述的玻璃基板的离线量测方法，其特征在于，当所述玻璃基板为横版非背靠背式玻璃基板时，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并放置在所述旋转机构处旋转90°或270°，再将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域上，对所述玻璃基板进行量测，直到量测完成后，通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
8.根据权利要求5所述的玻璃基板的离线量测方法，其特征在于，当所述玻璃基板为背靠背式玻璃基板时，所述背靠背式玻璃基板包括第一阵列基板和第二阵列基板，所述第一阵列基板的方向与所述量测平台对所述第一阵列基板的需求方向相同，所述第二阵列基板的方向与所述量测平台对所述第二阵列基板的需求方向相反。
9.根据权利要求8所述的玻璃基板的离线量测方法，其特征在于，当所述玻璃基板为竖版背靠背式玻璃基板时，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并直接转移至所述第一量测区域上，对所述第一阵列基板进行量测，再将所述玻璃基板放置在所述旋转机构处旋转180°，再将所述玻璃基板转移至所述第一量测区域上，对第二阵列基板进行量测，通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
10.根据权利要求8所述的玻璃基板的离线量测方法，其特征在于，当所述玻璃基板为横版背靠背式玻璃基板时，所述步骤S20的具体操作为：
在接收所述指令后将所述玻璃基板从所述存储设备中取出并转移至所述旋转机构处旋转90°，将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域上，对所述第一阵列基板进行量测，随后将所述玻璃转移至所述旋转机构处旋转180°，即相对于所述玻璃基板的初始位置旋转了270°，将所述玻璃基板转移至所述第二量测区域上，通过所述旋转机构将所述玻璃基板恢复至原始角度，完成对所述玻璃基板的量测，上述步骤中涉及到玻璃基板的拾取和转移的过程中均由所述机械手臂实现。
CN201810259642.1A 2018-03-27 2018-03-27 离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法 Active CN108508639B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810259642.1A CN108508639B (zh) 2018-03-27 2018-03-27 离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法
US16/467,983 US20200180144A1 (en) 2018-03-27 2019-03-11 Measuring apparatus and substrate measuring method
PCT/CN2019/077650 WO2019184689A1 (zh) 2018-03-27 2019-03-11 量测设备及基板的量测方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810259642.1A CN108508639B (zh) 2018-03-27 2018-03-27 离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108508639A CN108508639A (zh) 2018-09-07
CN108508639B true CN108508639B (zh) 2020-02-11

Family

ID=63378672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810259642.1A Active CN108508639B (zh) 2018-03-27 2018-03-27 离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20200180144A1 (zh)
CN (1) CN108508639B (zh)
WO (1) WO2019184689A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108508639B (zh) * 2018-03-27 2020-02-11 武汉华星光电技术有限公司 离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3290288B2 (ja) * 1994-03-23 2002-06-10 株式会社指月電機製作所 表示盤
JPH10115575A (ja) * 1996-10-11 1998-05-06 Micronics Japan Co Ltd 液晶表示パネルの検査装置
JP5107514B2 (ja) * 2005-09-15 2012-12-26 株式会社シライテック 分断された基板の仕分け取り上げ装置
CN101672626A (zh) * 2008-09-12 2010-03-17 家登精密工业股份有限公司 薄基板间距量测装置
JP2011007851A (ja) * 2009-06-23 2011-01-13 Micronics Japan Co Ltd 表示パネルの受け渡し装置及び検査装置
KR101234088B1 (ko) * 2010-12-30 2013-02-19 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
CN102650941B (zh) * 2011-02-23 2016-08-17 罗普特（厦门）科技集团有限公司 影像离线编程系统及方法
CN105549338B (zh) * 2016-02-18 2018-02-16 武汉华星光电技术有限公司 曝光量测装置及其量测平台
CN206696560U (zh) * 2017-05-09 2017-12-01 东莞技研新阳电子有限公司 一种基于aoi的液晶面板检测设备
CN108508639B (zh) * 2018-03-27 2020-02-11 武汉华星光电技术有限公司 离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20200180144A1 (en) 2020-06-11
CN108508639A (zh) 2018-09-07
WO2019184689A1 (zh) 2019-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7300084B2 (en) Apparatus for conveying liquid crystal display panel
CN101197255B (zh) 用于刻蚀基板的装置和使用其制造液晶显示器的生产线
CN102472901B (zh) 液晶显示装置的制造装置和液晶显示装置的制造方法
KR101234088B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR101265277B1 (ko) 패널 부착장치
CN103972137A (zh) 交接位置示教方法、交接位置示教装置及基板处理装置
US20090247053A1 (en) Substrate production apparatus for producing a substrate for a display device
CN108508639B (zh) 离线量测设备及玻璃基板的离线量测方法
TW201112201A (en) Panel substrate conveyor equipment and display panel module assembly equipment
CN107155261A (zh) 制造电子装置的方法
KR100884585B1 (ko) 기판 이송 시스템
CN104730871A (zh) 异空间异尺寸基材对位方法
CN103545236A (zh) 装片机的自动对位机构、包括它的装片机及方法
CN103852938A (zh) 光配向光源系统及光配向工艺
JP3383956B2 (ja) 液晶用基板の位置決め装置
CN103645743A (zh) 视觉对位控制系统及方法
KR101902604B1 (ko) 디스플레이 셀 검사 장치
KR20120053852A (ko) 액정표시장치의 진공 척
KR100781536B1 (ko) 도포장치 및 도포방법
KR101500950B1 (ko) 터치스크린 모듈에 백 테이프 및 보호필름을 부착하는 부착장치
KR20090111254A (ko) 기판 이송 시스템 및 기판 이송 방법
KR100785507B1 (ko) 부품 실장장치 및 그 방법
KR101351250B1 (ko) 기판 검사 장비용 얼라인 스테이지 장치
CN110888246B (zh) 偏光片对位系统及提高偏光片光学对位精度的方法
KR101543784B1 (ko) 터치스크린 모듈 로딩 장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant