CN108469719A - 显影装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种显影装置及方法。显影装置包括显影腔室、传送机台、喷气构件。显影腔室用于对位于显影腔室内的显示器件进行显影处理，显影腔室内设置有喷涂构件，喷涂构件用于向位于显影腔室内的显示器件的至少一部分的表面喷涂显影液；传送机台的至少一部分设置于显影腔室内，传送机台用于将待进行显影处理的显示器件从显影腔室外传送至显影腔室内，以及用于将经过显影处理的显示器件从显影腔室内传送至显影腔室外；喷气构件用于在显示器件从显影腔室外进入到显影腔室内的过程中向显示器件喷射气流，以防止设置于显示器件位于显影腔室内的部分上的显影液流向显影腔室外。本发明能避免设置于所述显示器件上的显影液流到显影腔室外。

Description

显影装置及方法
【技术领域】
本发明涉及显示器件制造技术领域，特别涉及一种显影装置及方法。
【背景技术】
传统的显影装置用于对显示器件进行显影处理，传统的显影装置对显示器件进行显影处理的过程为：
涂布有光阻的显示器件经过曝光后，随着滚轮的转动传送至所述显影装置的显影腔室内，显影腔室内的显影液喷嘴开启，显影液均匀的撒在所述显示器件上，显影液和所述显示器件表面的光阻充分反应，显出图形，多余的显影液顺着所述显示器件流到显影液回收槽内，然后通过排液管道回流到显影液储存罐中，以回收利用。
然而，在所述显示器件从显影腔室外进入显影腔室内的过程中，所述显示器件的一部分处于显影腔室外，一部分处于显影腔室内。
所述显示器件随滚轮的转动向前运动，由于惯性的影响，显影液喷嘴喷涂在所述显示器件上的显影液不会立即随着所述显示器件以相同的速度运动，而是会随着惯性的影响向所述显示器件的运动方向相反的方向运动，因此，一部分显影液会流到显影腔室外而无法流到显影腔室内进行回收利用，同时，残留在显影腔室外的显影液中含有高浓度光阻，在长期运作的过程中，此部分光阻蒸发以后会产生光阻残留，严重影响后续的产品的品质。
故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种显影装置及方法，其能避免设置于所述显示器件上的显影液流到显影腔室外。
为解决上述问题，本发明的技术方案如下：
一种显影装置，所述显影装置包括：显影腔室，所述显影腔室用于对位于所述显影腔室内的显示器件进行显影处理，所述显影腔室内设置有喷涂构件，所述喷涂构件用于向位于所述显影腔室内的所述显示器件的至少一部分的表面喷涂显影液；传送机台，所述传送机台的至少一部分设置于所述显影腔室内，所述传送机台用于将待进行显影处理的所述显示器件从所述显影腔室外传送至所述显影腔室内，以及用于将经过显影处理的所述显示器件从所述显影腔室内传送至所述显影腔室外；喷气构件，所述喷气构件用于在所述显示器件从所述显影腔室外进入到所述显影腔室内的过程中向所述显示器件喷射气流，以防止设置于所述显示器件位于所述显影腔室内的部分上的所述显影液流向所述显影腔室外。
在上述显影装置中，所述喷气构件包括第一管道和喷嘴，所述第一管道与所述喷嘴相连接，所述第一管道用于输送所述气流，并用于通过所述喷嘴输出所述气流。
在上述显影装置中，所述喷射构件还包括第二管道和第三管道，所述第二管道和所述第三管道均与所述喷嘴相连接，所述第二管道用于输送水，并用于通过所述喷嘴输出所述水，所述第三管道用于输送清洁液，并用于通过所述喷嘴输出所述清洁液。
在上述显影装置中，所述显影装置还包括：升降器，所述升降器用于控制所述显示器件的至少一部分升高或降低，以使设置于所述显示器件上的所述显影液朝预定方向流动。
在上述显影装置中，所述升降器用于控制所述显示器件朝所述传送机台的传送方向倾斜预定角度，以使设置于所述显示器件上的所述显影液朝预定方向流动；所述预定角度处于1度至20度的范围内。
在上述显影装置中，所述喷气构件设置于所述显影腔室内。
一种显影方法，所述显影方法包括以下步骤：步骤A、传送机台将待进行显影处理的显示器件从所述显影腔室外传送至所述显影腔室内；步骤B、设置于所述显影腔室内的喷涂构件向位于所述显影腔室内的所述显示器件的至少一部分的表面喷涂显影液；步骤C、喷气构件在所述显示器件从所述显影腔室外进入到所述显影腔室内的过程中向所述显示器件喷射气流，以防止设置于所述显示器件位于所述显影腔室内的部分上的所述显影液流向所述显影腔室外；步骤D、在所述显示器件进入所述显影腔室内后，所述显影腔室对位于所述显影腔室内的显示器件进行显影处理。
在上述显影装置中，在所述步骤B之后，所述方法还包括以下步骤：步骤E、升降器控制所述显示器件的至少一部分升高或降低，以使设置于所述显示器件上的所述显影液朝预定方向流动。
在上述显影装置中，所述步骤E为：所述升降器控制所述显示器件朝所述传送机台的传送方向倾斜预定角度，以使设置于所述显示器件上的所述显影液朝预定方向流动；所述预定角度处于1度至20度的范围内。
在上述显影装置中，所述方法还包括以下步骤：步骤F、所述传送机台将经过显影处理的所述显示器件从所述显影腔室内传送至所述显影腔室外。
在本发明中，由于所述喷气构件利用所喷射的气流拦截从所述显示器件位于所述显影腔室内的部分往所述显示器件位于所述显影腔室外的部分流动的所述显影液，因此，本发明能避免设置于所述显示器件上的显影液流到显影腔室外。
为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
【附图说明】
图1为本发明的显影装置的第一实施例的示意图；
图2为本发明的显影装置的第二实施例的示意图；
图3为本发明的显影装置的第三实施例的示意图；
图4为本发明的显影方法的流程图。
【具体实施方式】
本说明书所使用的词语“实施例”意指实例、示例或例证。此外，本说明书和所附权利要求中所使用的冠词“一”一般地可以被解释为“一个或多个”，除非另外指定或从上下文可以清楚确定单数形式。
参考图1，图1为本发明的显影装置的第一实施例的示意图。
本发明的显影装置包括显影腔室101、传送机台102、喷气构件103。
所述显影腔室101用于对位于所述显影腔室101内的显示器件201进行显影处理，所述显影腔室101内设置有喷涂构件104，所述喷涂构件104用于向位于所述显影腔室101内的所述显示器件201的至少一部分的表面喷涂显影液。
所述显示器件201为适用于TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，薄膜晶体管液晶显示面板)或OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管显示面板)的显示器件。
所述喷涂构件104设置于所述显影腔室101的顶部或侧壁，所述喷涂构件104与显影液输送管连接，所述显影液输送管用于输送显影液，以向所述喷涂构件104供应所述显影液。所述显影液输送管与显影液供应罐连接，和/或所述显影液输送管与设置于所述显影腔室101内的显影液回收构件连接，所述显影液回收构件用于回收喷涂到所述显示器件201外的所述显影液和/或从所述显示器件201流出的所述显影液，所述显影液回收构件还用于将所回收的所述显影液输送给所述喷涂构件104。
所述传送机台102的至少一部分设置于所述显影腔室101内，所述传送机台102用于将待进行显影处理的所述显示器件201从所述显影腔室101外传送至所述显影腔室101内，以及用于将经过显影处理的所述显示器件201从所述显影腔室101内传送至所述显影腔室101外。
具体地，所述传送机台102用于以恒定的速度将待进行显影处理的所述显示器件201从所述显影腔室101外传送至所述显影腔室101内，或者用于以变化的速度(包括在第一预定时间内从静止加速至第一速度的情况或在第二预定时间内从第二速度加速至第三速度的情况)将待进行显影处理的所述显示器件201从所述显影腔室101外传送至所述显影腔室101内。
所述喷气构件103设置于所述显影腔室101内，具体地，所述喷气构件103设置于所述显影腔室101的入口处，所述喷气构件103固定于所述显影腔室101的顶部或侧壁。
所述喷气构件103用于在所述显示器件201从所述显影腔室101外进入到所述显影腔室101内的过程中向所述显示器件201喷射气流，以防止设置于所述显示器件201位于所述显影腔室101内的部分上的所述显影液流向所述显影腔室101外，即，所述喷气构件103用于利用所喷射的气流拦截从所述显示器件201位于所述显影腔室101内的部分往所述显示器件201位于所述显影腔室101外的部分流动的所述显影液，一方面，有利于使得显影液能够得到充分利用，另一方面，有利于防止流到所述显影腔室101外的含有高浓度的光阻的所述显影液因蒸发而残留在后续的其它显示器件上，影响其它显示器件的品质。
此外，由于利用气流来拦截所述显影液，因此，施加至所述显影液中的拦截作用力是非接触式的，有利于避免因与所述显影液直接接触而导致所述显影液在所述显示器件201上的量减少。
所述喷气构件103喷射所述气流的喷射方向垂直于所述显示器件201的表面，或者，所述喷射方向与所述显示器件201的表面具有第一预定夹角，即，所述喷射方向自与所述显示器件201的表面垂直的方向向所述显示器件201的传送方向倾斜。
同样，所述喷涂构件104喷涂所述显影液的喷涂方向垂直于所述显示器件201的表面，或者，所述喷涂方向与所述显示器件201的表面具有第二预定夹角，即，所述喷涂方向自与所述显示器件201的表面垂直的方向向所述显示器件201的传送方向或其反方向倾斜。
在本实施例中，所述喷气构件103包括第一管道1031和喷嘴1032，所述第一管道1031与所述喷嘴1032相连接，所述第一管道1031用于输送所述气流，并用于通过所述喷嘴1032输出所述气流。
所述喷嘴1032设置有阀门，所述阀门用于控制所述喷嘴1032的开启或关闭，以及用于控制从所述喷嘴1032喷射的所述气流的流速。
参考图2，图2为本发明的显影装置的第二实施例的示意图。本实施例与上述第一实施例相似，不同之处在于：
在本实施例中，所述喷射构件还包括第二管道1033和第三管道1034，所述第二管道1033和所述第三管道1034均与所述喷嘴1032相连接，所述第二管道1033用于输送水，并用于通过所述喷嘴1032输出所述水，所述第三管道1034用于输送清洁液，并用于通过所述喷嘴1032输出所述清洁液。
其中，所述水为纯水。
所述第二管道1033和所述第三管道1034用于将所述第二管道1033所输送的所述水与所述第三管道1034所输送的所述清洁液混合，以对所述第一管道1031和/或所述喷嘴1032进行清洁，所述第二管道1033中所输送的所述水以及所述第三管道1034所输送的所述清洁液用于防止所述第一管道1031和/或所述喷嘴1032堵塞。
参考图3，图3为本发明的显影装置的第三实施例的示意图。本实施例与上述第一实施例或第二实施例相似，不同之处在于：
在本实施例中，所述显影装置还包括升降器。所述传送机台102至少包括第一子机台1021和第二子机台1022。所述第一子机台1021用于独立传送放置于所述第一子机台1021的表面的所述显示器件201，所述第二子机台1022用于独立传送放置于所述第二子机台1022的表面的所述显示器件201，所述第一子机台1021与所述第二子机台1022拼接成用于连续传送所述显示器件201的所述传送机台102。
所述升降器设置于所述第一子机台1021和所述第二子机台1022之间。
所述升降器用于控制所述显示器件201的至少一部分升高或降低，以使设置于所述显示器件201上的所述显影液朝预定方向流动。
所述传送机台102中的所述第一子机台1021还用于将所述显示器件201传送至所述升降器上。
所述升降器包括活动板105和升降柱106，所述活动板105的第一侧部与所述第一子机台1021铰接，所述活动板105的第二侧部与所述升降柱106连接，所述升降柱106用于控制所述活动板105的所述第二侧部升高或降低，以使传送至所述升降器(所述活动板105)上的所述显示器件201的至少一部分升高或降低，从而使设置于所述显示器件201上的所述显影液朝预定方向流动，这样有利于使得所述显影液与所述显示器件201中的光阻充分反应。
所述升降器用于控制所述显示器件201朝所述传送机台102的传送方向倾斜预定角度，以使设置于所述显示器件201上的所述显影液朝预定方向流动。具体地，所述升降柱106用于通过控制所述活动板105的所述第二侧部升高或降低，来控制传送至所述升降器(所述活动板105)上的所述显示器件201朝所述传送机台102的传送方向倾斜预定角度，从而使设置于所述显示器件201上的所述显影液朝预定方向流动。
所述预定角度处于1度至20度的范围内。例如，所述预定角度为1度、1.3度、1.5度、1.8度、2度、2.3度、2.5度、2.8度、3度、3.3度、3.5度、3.8度、4度、4.3度、4.5度、4.8度、5度、5.3度、5.5度、5.8度、6度、6.3度、6.5度、6.8度、7度、7.3度、7.5度、7.8度、8度、8.3度、8.5度、8.8度、9度、9.3度、9.5度、9.8度、10度、10.3度、10.5度、10.8度、11度、11.3度、11.5度、11.8度、12度、12.3度、12.5度、12.8度、13度、13.3度、13.5度、13.8度、14度、14.3度、14.5度、14.8度、15度、15.3度、15.5度、15.8度、16度、16.3度、16.5度、16.8度、17度、17.3度、17.5度、17.8度、18度、18.3度、18.5度、18.8度、19度、19.3度、19.5度、19.8度、20度。
优选地，所述预定角度处于1度至5度的范围内，特别地，所述预定角度为5度。
参考图4，图4为本发明的显影方法的流程图。
本发明的显影方法包括以下步骤：
步骤A(401)、传送机台102将待进行显影处理的显示器件201从所述显影腔室101外传送至所述显影腔室101内。具体地，所述传送机台102以恒定的速度将待进行显影处理的所述显示器件201从所述显影腔室101外传送至所述显影腔室101内，或者以变化的速度(包括在第一预定时间内从静止加速至第一速度的情况或在第二预定时间内从第二速度加速至第三速度的情况)将待进行显影处理的所述显示器件201从所述显影腔室101外传送至所述显影腔室101内。
所述传送机台102至少包括第一子机台1021和第二子机台1022。所述第一子机台1021用于独立传送放置于所述第一子机台1021的表面的所述显示器件201，所述第二子机台1022用于独立传送放置于所述第二子机台1022的表面的所述显示器件201，所述第一子机台1021与所述第二子机台1022拼接成用于连续传送所述显示器件201的所述传送机台102。
步骤B(402)、设置于所述显影腔室101内的喷涂构件104向位于所述显影腔室101内的所述显示器件201的至少一部分的表面喷涂显影液。其中，所述喷涂构件104设置于所述显影腔室101的顶部或侧壁，所述喷涂构件104与显影液输送管连接。
所述喷涂构件104喷涂所述显影液的喷涂方向垂直于所述显示器件201的表面，或者，所述喷涂方向与所述显示器件201的表面具有第二预定夹角，即，所述喷涂方向自与所述显示器件201的表面垂直的方向向所述显示器件201的传送方向或其反方向倾斜。
步骤C(403)、所述喷气构件103在所述显示器件201从所述显影腔室101外进入到所述显影腔室101内的过程中向所述显示器件201喷射气流，以防止设置于所述显示器件201位于所述显影腔室101内的部分上的所述显影液流向所述显影腔室101外。其中，所述喷气构件103设置于所述显影腔室101的入口处，所述喷气构件103固定于所述显影腔室101的顶部或侧壁。
所述喷气构件103利用所喷射的气流拦截从所述显示器件201位于所述显影腔室101内的部分往所述显示器件201位于所述显影腔室101外的部分流动的所述显影液，一方面，有利于使得显影液能够得到充分利用，另一方面，有利于防止流到所述显影腔室101外的含有高浓度的光阻的所述显影液因蒸发而残留在后续的其它显示器件上，影响其它显示器件的品质。
此外，由于利用气流来拦截所述显影液，因此，施加至所述显影液中的拦截作用力是非接触式的，有利于避免因与所述显影液直接接触而导致所述显影液在所述显示器件201上的量减少。
所述喷气构件103喷射所述气流的喷射方向垂直于所述显示器件201的表面，或者，所述喷射方向与所述显示器件201的表面具有第一预定夹角，即，所述喷射方向自与所述显示器件201的表面垂直的方向向所述显示器件201的传送方向倾斜。
所述喷气构件103包括第一管道1031和喷嘴1032，所述第一管道1031与所述喷嘴1032相连接。
所述显影方法还包括以下步骤：
所述第一管道1031输送所述气流，并通过所述喷嘴1032输出所述气流。
所述喷气构件103的喷嘴1032设置有阀门，所述显影方法还包括以下步骤：
所述阀门控制所述喷嘴1032的开启或关闭。
所述阀门控制从所述喷嘴1032喷射的所述气流的流速。
进一步地，所述喷射构件还包括第二管道1033和第三管道1034，所述第二管道1033和所述第三管道1034均与所述喷嘴1032相连接。
所述显影方法还包括以下步骤：
所述第二管道1033输送水，并通过所述喷嘴1032输出所述水。其中，所述水为纯水。
所述第三管道1034输送清洁液，并通过所述喷嘴1032输出所述清洁液。
所述第二管道1033和所述第三管道1034将所述第二管道1033所输送的所述水与所述第三管道1034所输送的所述清洁液混合，以对所述第一管道1031和/或所述喷嘴1032进行清洁，以防止所述第一管道1031和/或所述喷嘴1032堵塞。
步骤D(405)、在所述显示器件201进入所述显影腔室101内后，所述显影腔室101对位于所述显影腔室101内的显示器件201进行显影处理。
在所述步骤B之后，所述显影方法还包括以下步骤：
步骤E(404)、升降器控制所述显示器件201的至少一部分升高或降低，以使设置于所述显示器件201上的所述显影液朝预定方向流动。
在所述步骤B之前，所述显影方法还包括以下步骤：
所述传送机台102中的所述第一子机台1021将所述显示器件201传送至所述升降器上。
所述升降器包括活动板105和升降柱106，所述活动板105的第一侧部(靠近所述显影腔室101的入口一侧的部分)与所述第一子机台1021铰接，所述活动板105的第二侧部(远离所述显影腔室101的入口一侧的部分)与所述升降柱106连接。
所述步骤E包括：
所述升降柱106控制所述活动板105的所述第二侧部升高或降低，以使传送至所述升降器(所述活动板105)上的所述显示器件201的至少一部分升高或降低，从而使设置于所述显示器件201上的所述显影液朝预定方向流动，这样有利于使得所述显影液与所述显示器件201中的光阻充分反应。
所述步骤E为：
所述升降器控制所述显示器件201朝所述传送机台102的传送方向倾斜预定角度，以使设置于所述显示器件201上的所述显影液朝预定方向流动。
具体地，所述升降柱106通过控制所述活动板105的所述第二侧部升高或降低，来控制传送至所述升降器(所述活动板105)上的所述显示器件201朝所述传送机台102的传送方向倾斜预定角度，从而使设置于所述显示器件201上的所述显影液朝预定方向流动。
所述预定角度处于1度至20度的范围内。
例如，所述预定角度为1度、1.3度、1.5度、1.8度、2度、2.3度、2.5度、2.8度、3度、3.3度、3.5度、3.8度、4度、4.3度、4.5度、4.8度、5度、5.3度、5.5度、5.8度、6度、6.3度、6.5度、6.8度、7度、7.3度、7.5度、7.8度、8度、8.3度、8.5度、8.8度、9度、9.3度、9.5度、9.8度、10度、10.3度、10.5度、10.8度、11度、11.3度、11.5度、11.8度、12度、12.3度、12.5度、12.8度、13度、13.3度、13.5度、13.8度、14度、14.3度、14.5度、14.8度、15度、15.3度、15.5度、15.8度、16度、16.3度、16.5度、16.8度、17度、17.3度、17.5度、17.8度、18度、18.3度、18.5度、18.8度、19度、19.3度、19.5度、19.8度、20度。
优选地，所述预定角度处于1度至5度的范围内，特别地，所述预定角度为5度。
所述方法还包括以下步骤：
步骤F(406)、所述传送机台102将经过显影处理的所述显示器件201从所述显影腔室101内传送至所述显影腔室101外。
在所述步骤B之前，所述显影方法还包括以下步骤：
所述显影液输送管输送显影液，以向所述喷涂构件104供应所述显影液。
所述显影液输送管与显影液供应罐连接，和/或所述显影液输送管与设置于所述显影腔室101内的显影液回收构件连接。
所述显影方法还包括以下步骤：
所述显影液回收构件回收喷涂到所述显示器件201外的所述显影液和/或从所述显示器件201流出的所述显影液，并将所回收的所述显影液输送给所述喷涂构件104。
在本发明中，由于所述喷气构件103利用所喷射的气流拦截从所述显示器件201位于所述显影腔室101内的部分往所述显示器件201位于所述显影腔室101外的部分流动的所述显影液，因此，本发明能避免设置于所述显示器件上的显影液流到显影腔室外。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种显影装置，其特征在于，所述显影装置包括：
显影腔室，所述显影腔室用于对位于所述显影腔室内的显示器件进行显影处理，所述显影腔室内设置有喷涂构件，所述喷涂构件用于向位于所述显影腔室内的所述显示器件的至少一部分的表面喷涂显影液；
传送机台，所述传送机台的至少一部分设置于所述显影腔室内，所述传送机台用于将待进行显影处理的所述显示器件从所述显影腔室外传送至所述显影腔室内，以及用于将经过显影处理的所述显示器件从所述显影腔室内传送至所述显影腔室外；
喷气构件，所述喷气构件用于在所述显示器件从所述显影腔室外进入到所述显影腔室内的过程中向所述显示器件喷射气流，以防止设置于所述显示器件位于所述显影腔室内的部分上的所述显影液流向所述显影腔室外。
2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述喷气构件包括第一管道和喷嘴，所述第一管道与所述喷嘴相连接，所述第一管道用于输送所述气流，并用于通过所述喷嘴输出所述气流。
3.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述喷射构件还包括第二管道和第三管道，所述第二管道和所述第三管道均与所述喷嘴相连接，所述第二管道用于输送水，并用于通过所述喷嘴输出所述水，所述第三管道用于输送清洁液，并用于通过所述喷嘴输出所述清洁液。
4.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述显影装置还包括：
升降器，所述升降器用于控制所述显示器件的至少一部分升高或降低，以使设置于所述显示器件上的所述显影液朝预定方向流动。
5.根据权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述升降器用于控制所述显示器件朝所述传送机台的传送方向倾斜预定角度，以使设置于所述显示器件上的所述显影液朝预定方向流动；
所述预定角度处于1度至20度的范围内。
6.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述喷气构件设置于所述显影腔室内。
7.一种显影方法，其特征在于，所述显影方法包括以下步骤：
步骤A、传送机台将待进行显影处理的显示器件从所述显影腔室外传送至所述显影腔室内；
步骤B、设置于所述显影腔室内的喷涂构件向位于所述显影腔室内的所述显示器件的至少一部分的表面喷涂显影液；
步骤C、喷气构件在所述显示器件从所述显影腔室外进入到所述显影腔室内的过程中向所述显示器件喷射气流，以防止设置于所述显示器件位于所述显影腔室内的部分上的所述显影液流向所述显影腔室外；
步骤D、在所述显示器件进入所述显影腔室内后，所述显影腔室对位于所述显影腔室内的显示器件进行显影处理。
8.根据权利要求7所述的显影方法，其特征在于，在所述步骤B之后，所述方法还包括以下步骤：
步骤E、升降器控制所述显示器件的至少一部分升高或降低，以使设置于所述显示器件上的所述显影液朝预定方向流动。
9.根据权利要求8所述的显影方法，其特征在于，所述步骤E为：
所述升降器控制所述显示器件朝所述传送机台的传送方向倾斜预定角度，以使设置于所述显示器件上的所述显影液朝预定方向流动；
所述预定角度处于1度至20度的范围内。
10.根据权利要求7所述的显影方法，其特征在于，所述方法还包括以下步骤：
步骤F、所述传送机台将经过显影处理的所述显示器件从所述显影腔室内传送至所述显影腔室外。
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