CN208494635U - 喷涂光阻的系统 - Google Patents

Abstract

一种喷涂光阻的系统，包括控制模块、回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置；所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装置用于连接光阻瓶加压端，用于向光阻瓶中泵送气体。节省制程与研发试验使用消耗的光阻，提高试验效率节省人力资源，提高安全性能。

Description

喷涂光阻的系统

技术领域

本实用新型涉及微缩光阻喷涂领域，尤其涉及一种改进的光阻喷涂机台系统。

背景技术

因制程与研发实验所使用的微缩光阻AZ-R200为亲水性光阻，如果在原有的Coater机台使用，Coater机台中的化学物质会对微缩光阻的化学性质产生影响，在Developer机台使用时，无法通过已有的装置进行喷涂光阻，只能通过手动进行喷涂。在手动喷涂微缩光阻时会产生气泡且喷量不能准确把握，导致膜面状况和膜厚会和需求的规格产生偏差，从而使制程与研发的实验增加更多不确定的因素，影响实验的进度。同时也会浪费更多的消耗品，降低生产效率,造成更多人力物力资源的浪费。

鉴于以上缺点，使用可由程序控制喷涂微缩光阻的装置可以很好的控制需要的量进行喷涂，且可以避免因为气泡等其他因素导致膜面状况会不符合标准，也可以解决因为喷量的误差导致膜厚不符合标准需求。同时可以节省消耗品与光阻，提高生产效率减少人力资源，提高安全性能，进而有助于制程与研发实验的顺利进行。与本申请技术最接近的现有技术如下：

1)在Developer机台进行冷板的冷却。

2)在Developer中使用长时间的等待来暂停程序动作进行手动喷涂微缩光阻。

3)喷涂完等待设定的等待时间结束后旋转将光阻甩开然后均匀的涂布在样品表面。

4)涂布完成后再转至热板进行烘干。

5)转至冷板冷却后进行下一道工序。

上述技术存在的问题在于，手动喷涂光阻时会有气泡产生，对膜面状况产生影响，手动喷涂时会对所需要的喷量产生误差，影响膜厚。手动喷涂时会对腔体内的环境造成污染。会造成光阻与消耗品的浪费及生产效率变慢加大人力资源消耗。

发明内容

为此，需要提供一种能够节省制程与研发试验使用消耗的光阻，提高试验效率节省人力资源，提高安全性能的喷涂光阻的操作台。

为实现上述目的，发明人提供了一种喷涂光阻的系统，包括控制模块、回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置；

所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装置用于连接光阻瓶加压端，用于向光阻瓶中泵送气体；

所述控制模块用于发出电信号，控制回吸装置的出料与回吸，还用于发出电信号，控制泵装置从存储装置中抽取光阻。

具体地，所述控制模块还与感应装置连接，所述感应装置用于感应到光阻不足时向控制模块发出电信号。

具体地，所述感应装置为光电门。

进一步地，所述泵送气体为氮气。

优选地，所述回吸装置还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀与控制模块连接，所述控制模块用于通过电信号控制第一电磁阀；所述泵装置还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀与控制模块连接，控制模块还用于通过电信号控制第一电磁阀的工作。

具体地，还包括过滤装置，所述过滤装置设置于调压装置内。

可选地，所述回吸装置还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀与控制模块连接，所述控制模块用于通过电信号控制第一电磁阀；所述泵装置还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀与控制模块连接，控制模块还用于通过电信号控制第二电磁阀。

区别于现有技术，上述技术方案可以防止在喷涂的过程中，产生气泡导致膜面的状况出现问题，喷涂时可以准确的控制所需要的喷量，减小喷量误差，使膜厚可以更好的达到要求，还通过回吸装置给工作台的腔体一个无污染的环境，保证样品和机台不会受到污染影响，并最终减少制程与研发的实验不确定因素，提高实验效率，节省人力资源，节省消耗品和光阻的浪费，进而有助于制程与研发实验的顺利进行。

附图说明

图1为具体实施方式所述的喷涂光阻的系统模块示意图；

图2为具体实施方式所述喷涂光阻的系统连接结构图。

附图标记说明：

100、控制模块；

102、回吸装置；

104、泵装置；

106、存储装置；

108、调压装置。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1，本实施例中介绍一种喷涂光阻的系统，包括控制模块100、回吸装置102、泵装置104、存储装置106、调压装置108；

下面请参考图2所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装置用于连接光阻瓶加压端；

所述控制模块用于发出电信号，控制回吸装置的出料与回吸，还用于发出电信号，控制泵装置从存储装置中抽取光阻。在具体的应用过程中，将待使用的光阻瓶连接上调压装置及存储装置，手动控制调压装置加压。然后将光阻瓶的内容送入到下一级装置，在图中即存储装置内。所述压缩气体化学性质稳定，不与光阻发生反应即可。因此压缩气体可以是惰性气体，优选的实施例中可以选择为氮气。相较于惰性气体成本低廉，易于获得。并且不与光阻发生反应，能够起到将光阻压入存储装置内的作用。所述存储装置为中空容器，用于存储光阻并保证在光阻瓶更换的过程中存储装置的内容仍然可供喷涂，提高本实用新型系统的工作效率。接下来，泵装置通过管道与存储装置连接，通过控制模块提供电信号，能够控制泵装置工作的时间，根据实际喷涂的需要技术人员可以自主设置喷涂的时间，在设定时间后控制模块再发出电信号控制回吸装置工作，将喷涂喷口上的光阻往回吸收一些，使得在一次喷涂工作完成后，喷涂喷口上的光阻会被往回吸收回管路中。防止喷涂喷口有些剩余光阻没有用尽，导致滴落污染操作台上的器件。

在一些具体的实施例中，所述回吸装置还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀与控制模块连接，所述控制模块用于通过电信号控制第一电磁阀；所述泵装置还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀与控制模块连接，控制模块还用于通过电信号控制第二电磁阀的工作。电磁阀能够根据电信号进行开关、正转反转。第一电磁阀与回吸装置连接，第二电磁阀与泵装置连接，使得回吸装置与泵装置都能够正向或反向输送光阻，从而更好地达到对光阻进行传输的功能，并同时还能够解决控制过量的光阻滴落的问题。

在进一步的实施例中，由于在更换光阻瓶的时候，存储装置会跟空气接触，与光阻瓶连接的管路或是光阻瓶中有空气存在，光阻在被推压到储存装置的时候，管路跟瓶子的气体也会一同推压到存储装置里面。因此需要设计排气装置，如图2中所示，存储装置还与排气阀连接，排气阀可以通过手动控制其关闭或开启，也可以通过电气控制方式控制存储装置中气泡的排出。在每次换完光阻瓶之后进行手动操作调压装置，使得光阻瓶中的光阻通过连接管路进入存储装置，随后再手动通过排气装置排出存储装置中多余的气体。最终达到内部所有气泡全部排出的技术效果，保证喷涂打印的质量。

进一步的实施例中，如图2所示，所述调压阀中还包括过滤装置，所述过滤装置能够过滤经过调压阀的气体中包含的杂质，通过清除杂质，能够保持存储装置中的清洁，防止光阻喷涂的膜层因杂质产生厚薄不均衡的问题。

图2所示的实施例中还公开了感应装置，所述控制模块还与感应装置连接，所述感应装置用于感应到光阻不足时向控制模块发出电信号。具体地，感应装置可以用于检测系统中存储装置内的光阻含量是否用完，可以通过红外、超声波、激光反射等手段探测存储装置中的光阻液面，当探测到光阻液面低于预设值时，通过报警装置向外发出报警信号。这里的报警信号可以是报警装置发出的包括声、光、电等多种介质的信号。在另一些实施例中，感应装置还可以用于感应光阻瓶至存储装置的管路中的光阻流量情况，例如，设计光电门，检测管路中的光阻是否流量充足，正对设计的光电门在光阻量尚足的情况下由于存在光阻的折射，光电门光路不正则无法导通，当管路中的光阻不足的时候，光电门将会导通，发出报警信号。通过上述设计，本系统能够达到提醒人们及时更换光阻瓶，保证随时都能够保证存储装置中有光阻以供喷涂，提高本系统的连续工作性能，节约工时。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型的专利保护范围之内。

Claims (7)

1.一种喷涂光阻的系统，其特征在于，包括控制模块、回吸装置、泵装置、存储装置、调压装置；

所述控制模块与回吸装置、泵装置、存储装置连接，所述回吸装置与喷涂喷口连接，所述泵装置与回吸装置连接，泵装置还与存储装置连接，所述存储装置用于连接光阻瓶出料端，所述调压装置用于连接光阻瓶加压端，用于向光阻瓶中泵送气体；

所述控制模块用于发出电信号，控制回吸装置的出料与回吸，还用于发出电信号，控制泵装置从存储装置中抽取光阻。

2.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述控制模块还与感应装置连接，所述感应装置用于感应到光阻不足时向控制模块发出电信号。

3.根据权利要求2所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述感应装置为光电门。

4.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述泵送气体为氮气。

5.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述回吸装置还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀与控制模块连接，所述控制模块用于通过电信号控制第一电磁阀；所述泵装置还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀与控制模块连接，控制模块还用于通过电信号控制第一电磁阀的工作。

6.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，还包括过滤装置，所述过滤装置设置于调压装置内。

7.根据权利要求1所述的喷涂光阻的系统，其特征在于，所述回吸装置还包括第一电磁阀，所述第一电磁阀与控制模块连接，所述控制模块用于通过电信号控制第一电磁阀；所述泵装置还包括第二电磁阀，所述第二电磁阀与控制模块连接，控制模块还用于通过电信号控制第二电磁阀。