CN108441817A - 掩模板 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种掩模板，其中该掩模板包括掩模板本体，所述掩模板本体上设置有开孔，所述开孔用于通过蒸镀工艺在待蒸镀基板上形成预设蒸镀设计图形，其中所述开孔的尺寸大于所述预设蒸镀设计图形的尺寸。该掩模板通过调整掩模板本体上所设置开孔的尺寸，使设置于掩模板本体上的开孔相对于待蒸镀基板上形成预设蒸镀设计图形的位置，能够适应蒸镀过程中掩模板的变形，能够有效减小显示面板四周的外阴影outer shadow效应的差异，保证显示面板的四周膜层边界尺寸的一致性。

Description

掩模板

技术领域

本发明涉及显示装置制造技术领域，尤其是指一种掩模板。

背景技术

在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)制造过程中，通常需要采用蒸镀工艺制成OLED器件。蒸镀工艺实际是物理气相沉积(Physical VaporDeposition，PVD)工艺其中的一种，是指物质受热蒸发，在不涉及化学反应的前提下，实现原子或分子从源物质到薄膜的可控转移的薄膜制备方法。具体地，参阅图1所示，蒸镀工艺过程中，在高真空度的腔室环境中通过蒸发源1将物质加热，形成蒸发材料，所蒸发出的蒸镀材料穿过掩模板2上对应的开孔沉积在基板3上，在基板3上制成与掩模板2上开孔对应的薄膜图形。

上述的蒸镀工艺的设置结构中，在真空腔室内，掩模板2需要与基板3相贴合，以使掩模板2上所制成的薄膜图形与基板3上的开孔相一致。然而，实际蒸镀过程中，受蒸发源1的蒸镀角大小、开孔的边缘状态、腔室温度、掩模板2的下垂量和基板3与掩模板2的贴合状态等的影响，在蒸镀完成后不可避免会出现扩张区域A，也即产生外阴影outer shadow效应，形成为图2所示在基板3上蒸镀图形31相较于基板3上的实际的开孔区域32向外扩张的现象。

进一步地，图2所示基板3上蒸镀图形31向外扩张的现象中，蒸镀图形31的各边界与开孔区域32相应的边界之间的间隔相等，也即各蒸镀图形31相较于实际的开孔区域32均匀向外扩张，然而其也仅为蒸镀工艺产生outer shadow的理想形式，实际蒸镀过程中受上述各种因素的影响，基板3上蒸镀图形31的不同边界相较于开孔区域32向外扩张的范围不同，如图3所示，从而导致所制成显示面板的四周出现膜层边界尺寸差异。

发明内容

本发明技术方案的目的是提供一种掩模板，用于解决现有技术进行材料蒸镀时，由于产生外阴影outer shadow效应，基板上蒸镀图形的不同边界相较于掩模板的开孔区域向外扩张的范围不同，导致所制成显示面板的四周出现膜层边界尺寸差异的问题。

本发明实施例提供一种掩模板，其中，包括：

掩模板本体，所述掩模板本体上设置有开孔，所述开孔用于通过蒸镀工艺在待蒸镀基板上形成预设蒸镀设计图形，其中所述开孔的尺寸大于所述预设蒸镀设计图形的尺寸。

可选地，所述的掩模板，其中，所述掩模板本体与所述待蒸镀基板贴合时，所述预设蒸镀设计图形在所述掩模板本体上形成正投影图形，所述正投影图形位于所述开孔之内。

可选地，所述的掩模板，其中，所述开孔的边缘轮廓形成为所述正投影图形的边缘各位置分别等间隔向外扩张的等间隔扩张轮廓。

可选地，所述的掩模板，其中，所述掩模板还包括：

框体，所述掩模板本体包括固定于所述框体上的初始状态和被拉伸后固定于所述框体上的固定状态；

其中在所述固定状态，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的等间隔扩张轮廓；在所述初始状态，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。

可选地，所述的掩模板，其中，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。

可选地，所述的掩模板，其中，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓时，所述开孔位于所述掩模板本体的竖直中心线的一侧，所述开孔包括平行于所述竖直中心线的第一边缘与第二边缘，其中所述第一边缘与所述竖直中心线之间的距离小于所述第二边缘与所述竖直中心线的距离，所述第一边缘到所述正投影图形上对应所述第一边缘的相应边缘之间具有第一间隔距离，所述第二边缘到所述正投影图形上对应所述第二边缘的相应边缘之间具有第二间隔距离，其中所述第一间隔距离大于所述第二间隔距离。

可选地，所述的掩模板，其中，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓时，所述开孔位于所述掩模板的水平中心线的一侧，所述开孔包括平行于所述水平中心线的第三边缘与第四边缘，其中所述第三边缘与所述水平中心线之间的距离小于所述第四边缘与所述水平中心线之间的距离，所述第三边缘到所述正投影图形上对应所述第三边缘的相应边缘之间具有第三间隔距离，所述第四边缘到所述正投影图形上对应所述第四边缘的相应边缘之间具有第四间隔距离，其中所述第三间隔距离大于所述第四间隔距离。

可选地，所述的掩模板，其中，所述掩模板本体的竖直中心线的一侧设置多个形状与尺寸相同的所述开孔，其中多个所述开孔中的第一开孔与所述竖直中心线的距离大于多个所述开孔中的第二开孔与所述竖直中心线的距离时，所述第一开孔的第一边缘到相应的所述正投影图形上的相应边缘的距离，大于所述第二开孔的第一边缘到相应的所述正投影图形上的相应边缘的距离。

可选地，所述的掩模板，其中，所述掩模板本体的水平中心线的一侧设置多个形状与尺寸相同的所述开孔，其中多个所述开孔中的第三开孔与所述水平中心线的距离大于多个所述开孔中的第四开孔与所述水平中心线的距离时，所述第三开孔的第三边缘到相应的所述正投影图形上的相应边缘的距离，大于所述第四开孔的第三边缘到相应的所述正投影图形上的相应边缘的距离。

可选地，所述的掩模板，其中，所述掩模板本体上设置有第一开孔和第二开孔，其中所述第一开孔的边缘轮廓形成为所述正投影图形的边缘各位置分别等间隔向外扩张的等间隔扩张轮廓；所述第二开孔的边缘轮廓形成为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。

本发明具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果：

本发明实施例所述掩模板，通过调整掩模板本体上所设置开孔的尺寸，使设置于掩模板本体上的开孔相对于待蒸镀基板上形成预设蒸镀设计图形的位置，能够适应蒸镀过程中掩模板的变形，以有效减小显示面板四周的外阴影outer shadow效应的差异，从而保证显示面板的四周膜层边界尺寸的一致性。

附图说明

图1为采用掩模板进行材料蒸镀的原理示意图；

图2为材料蒸镀过程中形成外阴影outer shadow效应的原理示意图；

图3为材料蒸镀过程中蒸镀图形的四周出现膜层边界尺寸差异的示意图；

图4为本发明实施例所述掩模板的第一实施结构的示意图；

图5为说明掩模板下垂对外阴影outer shadow区域的影响的示意图；

图6为说明材料蒸镀过程中，由于掩模板变形导致蒸镀后实际图形相较于预设蒸镀设计图形的尺寸差异的示意图；

图7为本发明实施例所述掩模板的第二实施结构的示意图；

图8为本发明实施例所述掩模板的第三实施结构的示意图。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

为了解决在蒸镀过程中，由于产生外阴影outer shadow效应，基板上蒸镀图形的不同边界相较于掩模板的开孔区域向外扩张的范围不同，导致所制成显示面板的四周出现膜层边界尺寸差异的问题，本发明实施例所述掩模板，通过使掩模板本体上所设置开孔的尺寸大于待蒸镀基板上所形成预设蒸镀设计图形的尺寸，以调整对应所制成显示面板的四周的膜层边界尺寸。

如图4所示，本发明实施例所述掩模板包括：

掩模板本体100，该掩模板本体100上设置有开孔110，该开孔110用于通过蒸镀工艺在待蒸镀基板200上形成预设蒸镀设计图形，其中该开孔110的尺寸大于预设蒸镀设计图形的尺寸。

具体地，如图4所示，本发明实施例中，掩模板本体100与待蒸镀基板200贴合时，预设蒸镀设计图形在掩模板本体100上形成正投影图形210，其中该正投影图形210位于开孔110之内。

本发明上述实施结构的所述掩模板，掩模板本体100上所设置开孔110的尺寸大于待蒸镀基板200上形成预设蒸镀设计图形的尺寸，以通过开孔110的大小调整所制成显示面板的四周的膜层边界尺寸，也即调整所制成显示面板的四周的外阴影outer shadow效应，减小显示面板四周的外阴影outer shadow效应的差异。

本发明具体实施例所述掩模板，考虑蒸镀过程中的外阴影outer shadow效应的差异主要有以下几个因素造成，针对该些影响因素，为了有效减小显示面板四周的外阴影outer shadow效应的差异，保证显示面板的四周膜层边界尺寸的一致性，本发明具体实施例所述掩模板对所设置开孔的结构和尺寸进行了精确的设计。

具体地，造成蒸镀过程中的外阴影outer shadow效应的差异的因素包括：

由于蒸镀腔室内高温，掩模板本体受热膨胀产生变形，温度越高，掩模板本体变形量越大，而且在掩模板本体所在平面的X方向和Y方向，掩模板本体的变形量由中心逐渐增大；

在重力作用下，掩模板本体在垂直于掩模板本体所在平面的Z方向产生下垂，而在掩模板本体的中心部位，掩模板本体在Z方向的变形量最大。

根据图5，根据掩模板本体100的下垂量与所形成outer shadow区域300的关系，可以看出，下垂量大的一侧outer shadow区域300的宽度小于下垂量小的一侧outer shadow区域300的宽度。

因此，在X方向和Y方向上，掩模板本体的变形量由中心逐渐增大，在Z方向掩模板本体中心部位的变形量最大，在进行蒸镀时，掩模板本体变形，无法保证与待蒸镀基板密切贴合，在进行材料蒸镀后，导致形成图6所示蒸镀后实际图形400相较于预设蒸镀设计图形500，从待蒸镀基板200形成蒸镀图形区域的中间部位向四周扩张的现象，从而导致在所形成显示面板的四周出现膜层边界尺寸差异。

基于上述影响因素导致的蒸镀后实际图形400相较于预设蒸镀设计图形500的扩张规律，本发明实施例所述掩模板通过调整设置于掩模板本体上的开孔，以减小由于上述因素影响导致的显示面板四周的膜层边界尺寸差异。

具体地，本发明实施例所述掩模板的其中一实施方式中，如图7所示，在掩模板本体100上设置开孔110，该开孔110用于通过蒸镀工艺在待蒸镀基板200上形成预设蒸镀设计图形，其中该开孔110的尺寸大于预设蒸镀设计图形的尺寸。具体地，掩模板本体100与待蒸镀基板200贴合时，预设蒸镀设计图形在掩模板本体100上形成正投影图形210，其中该正投影图形210位于开孔110之内。

另外，本发明实施例中，开孔110的形状与预设蒸镀设计图形的形状相同，开孔110的尺寸大于预设蒸镀设计图形的尺寸可以理解为，开孔110的每一边缘的尺寸均大于预设蒸镀设计图形的相应边缘的尺寸。可选地，开孔110的各边缘的尺寸等于预设蒸镀设置图形的相应边缘分别以等比例扩大的尺寸。

需要说明的是，参阅图7所示，掩模板本体100与待蒸镀基板200贴合时，预设蒸镀设计图形在掩模板本体100上所形成的正投影图形210位于开孔110之内，可以理解为，正投影图形210的每一边缘均位于开孔110之内，也可以为正投影图形210的其中一边缘与开孔110的其中一边缘为重合，正投影图形210的其他边缘位于所述开孔之内。

本发明实施例所述掩模板的其中一实施方式中，如图7所示，开孔110的边缘轮廓为正投影图形210的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。具体地，该非等间隔扩张轮廓具体表现为，对于正投影图形210的不同边缘，与开孔110的相应边缘之间的间隔距离并非为固定值。

具体地，如图7所示，本发明实施例所述掩模板中，掩模板本体100包括位于掩模板本体100的竖直中心线10一侧的第一开孔111，该第一开孔111包括平行于竖直中心线10的第一边缘1111与第二边缘1112，其中第一边缘1111与竖直中心线10之间的距离小于第二边缘1112与竖直中心线10的距离，第一边缘1111到正投影图形210上对应第一边缘1111的相应边缘之间具有第一间隔距离L1，第二边缘1112到正投影图形210上对应第二边缘1112的相应边缘之间具有第二间隔距离L2，其中第一间隔距离L1大于第二间隔距离L2。

上述的第一边缘1111、第二边缘1112与正投影图形210上相应边缘之间的间隔距离不相等的结构，使得第一开孔111的边缘轮廓形成为正投影图形210的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。

本发明实施例所述掩模板的另一实施方式中，如图7所示，掩模板本体100包括位于掩模板本体100的水平中心线20一侧的第三开孔113，该第三开孔113包括平行于水平中心线20的第三边缘1131与第四边缘1132，其中第三边缘1131与水平中心线20之间的距离小于第四边缘1132与水平中心线20之间的距离，第三边缘1131到正投影图形210上对应第三边缘1131的相应边缘之间具有第三间隔距离L3，第四边缘1132到正投影图形210上对应第四边缘1132的相应边缘之间具有第四间隔距离L4，其中第三间隔距离L3大于第四间隔距离L4。

上述的第三边缘1131、第四边缘1132与正投影图形210上相应边缘之间的间隔距离不相等的结构，使得第三开孔113的边缘轮廓形成为正投影图形210的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。

可以理解的是，如图7所示，对于掩模板本体100上的一个开孔110，第一边缘1111、第二边缘1112、第三边缘1131和第四边缘1132可以分别与正投影图形210上相应边缘之间的间隔距离不相等，使得开孔110的边缘轮廓形成为正投影图形210的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。

需要说明的是，参阅图7所示，本发明实施例中所提及的开孔的边缘和正投影图形的相应边缘，为相互平行，且分别在开孔的边缘轮廓上的设置位置和正投影图形的边缘轮廓上的设置位置相同。

本发明实施例所述掩模板中，如图7所示，掩模板本体100上设置多个开孔110，每一开孔110的形状与尺寸均相同，且每一开孔110对应待蒸镀基板200上一个预设蒸镀设计图形的正投影图形210。

对于设置于掩模板本体100的竖直中心线10的一侧的多个开孔110，当第一开孔111与竖直中心线10的距离大于第二开孔112与竖直中心线的距离时，第一开孔111的第一边缘1111到相应的正投影图形210上的相应边缘的距离L1，大于第二开孔112的第一边缘1111到相应的正投影图形210上的相应边缘的距离L1，。同理，当每一开孔110的形状与尺寸均相同，相应的每一正投影图形210的形状与尺寸均相同时，第一开孔111的第二边缘1112到相应的正投影图形210上的相应边缘的距离L2，小于第二开孔112的第二边缘1112到相应的正投影图形210上的相应边缘的距离L2，。

对于设置于掩模板本体100的水平中心线20的一侧的多个开孔110，当第三开孔113与水平中心线20的距离大于第四开孔114与水平中心线20的距离时，第三开孔113的第三边缘1131到相应的正投影图形210上的相应边缘的距离L3，大于第四开孔114的第三边缘1131到相应的正投影图形210上的相应边缘的距离L3’。同理，当每一开孔110的形状与尺寸均相同，相应的每一正投影图形210的形状与尺寸均相同时，第三开孔113的第四边缘1132到相应的正投影图形210上的相应边缘的距离L4，小于第四开孔114的第四边缘1132到相应的正投影图形210上的相应边缘的距离L4，。

本发明实施例中，掩模板本体100可以包括两种不同结构形式的开孔，也即第一开孔和第二开孔，其中第一开孔的边缘轮廓形成为正投影图形的边缘各位置分别等间隔向外扩张的等间隔扩张轮廓；具体地，根据图7所示实施结构，当掩模板本体100的竖直中心线10形成为第一开孔的竖直中心线，掩模板本体100的水平中心线20形成为第一开孔的竖直中心线时，则第一开孔的边缘轮廓形成为正投影图形的等间隔扩张轮廓。第二开孔的边缘轮廓形成为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓；具体地，当第二开孔位于掩模板本体100的竖直中心线10和/或水平中心线20的一侧时，如图7所示，第二开孔的边缘轮廓形成为正投影图形的非等间隔扩张轮廓。

本发明实施例上述实施结构的掩模板，在掩模板本体100上制作开孔110时，依据上述的各实施结构进行开孔110的制作，且在进行材料蒸镀时，开孔110相较于待蒸镀基板200上预设蒸镀设计图形之间的位置形成为如图7所示结构形式，对于一个开孔110，远离中心线的边缘与正投影图形210的相应边缘之间的距离，小于靠近中心线的边缘与正投影图形210的相应边缘之间的距离，而且位于中心线一侧的多个开孔110，随着与中心线的距离越远，相较于对应的正投影图形210越朝靠近中心线的方向偏移，基于该方式，以能够适应掩模板本体100在进行材料蒸镀时从中心位置向边缘位置的扩张变形，使变形后的掩模板本体100上的开孔110形成为图7所示的理论开口图形110，(虚线所围设形成的图形)，在该理论开口图形110，上，不同边缘到正投影图形210的相应边缘之间的距离均为相等，这样基于该结构的理论开口图形110，进行材料蒸镀时，只要蒸镀温度不产生变化，所形成的理论开口图形110，不再发生变化，对应在每一个蒸镀图形对边产生的外阴影outer shadow值相等，能够使得所形成显示面板的四周不会再出现膜层边界尺寸差异的问题。

另外，本发明还提供另一实施方式的掩模板，如图8所示，开孔110的边缘轮廓为正投影图形210的边缘各位置分别等间隔向外扩张的等间隔扩张轮廓。其中，该等间隔扩张轮廓具体表现为，对于正投影图形210的不同边缘，与开孔110的相应边缘之间的间隔距离非为固定值。

进一步地，本发明实施例所述掩模板还包括：

框体(图中未显示)，其中掩模板本体100包括固定于框体上的初始状态和被拉伸后固定于框体上的固定状态；

其中在固定状态，开孔110的边缘轮廓为正投影图形210的等间隔扩张轮廓；在初始状态，开孔110的边缘轮廓为正投影图形210的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。

具体地，如图8所示，在初始状态，掩模板本体100上具有初始开口图形115(虚线所围设形成的图形)，边缘轮廓为正投影图形210的非等间隔扩张轮廓，在将掩模板本体100固定于框体上时，可以通过对掩模板本体100的每一边缘施加向外的拉伸力之后固定于框体上，使得掩模板本体100上的初始开口图形115的位置变化，对应形成为图8的开孔110，边缘轮廓为正投影图形210的等间隔扩张轮廓，也即每一边缘与正投影图形210的相应边缘之间的间隔距离相等。

采用本发明实施例上述实施方式的掩模板，在制成掩模板本体时，可以依据图8所示的初始开口图形115制作开孔，之后使掩模板本体100进一步张网拉伸为图8所示的开孔110，这样掩模板本体100的内部产生初始机械应变，使掩模板本体100在初始状态即处于拉伸状态。

采用上述结构，在进行材料蒸镀时，掩模板本体100处于高温环境中，会发生热膨胀，从而产生热应变，而当掩模板本体100的内部的初始机械应变等于热应变时，则会使掩模板本体100进行材料蒸镀时的总的应变为零。因此处于张紧拉伸状态的掩模板本体100，当进行材料蒸镀时的热应变小于掩模板本体100内部的初始机械应变时，不会使掩模板本体100产生变形，由于此时开孔110的边缘轮廓为正投影图形210的等间隔扩张轮廓，则使得进行材料蒸镀时对应在每一个蒸镀图形对边产生的外阴影outer shadow值相等，能够使得所形成显示面板的四周不会再出现膜层边界尺寸差异的问题。

结合图7和图8，本发明该实施结构的掩模板，掩模板本体100上的初始开口图形115相较于正投影图形210的设置位置，与图7实施结构的掩模板板中，开孔110相较于正投影图形210的设置位置相同。也即，对于掩模板本体100上的初始开口图形115，远离中心线的边缘与正投影图形210的相应边缘之间的距离，小于靠近中心线的边缘与正投影图形210的相应边缘之间的距离，而且位于中心线一侧的多个初始开口图形115，随着与中心线的距离越远，相较于对应的正投影图形210越朝靠近中心线的方向偏移。

采用上述方式设置的初始开口图形115与相应的正投影图形210之间的具体位置关系，可以结合图7并参阅以上关于开孔110与相应的正投影图形210的具体设置，在此不再详细描述。

本发明实施例上述两种结构形式的所述掩模板，根据蒸镀过程中掩模板的变形规律，调整设置于掩模板本体上的开孔相对于待蒸镀基板上形成预设蒸镀设计图形的位置，能够有效减小显示面板四周的外阴影outer shadow效应的差异，从而保证显示面板的四周膜层边界尺寸的一致性。

以上所述的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明所述原理前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种掩模板，其特征在于，包括：

掩模板本体，所述掩模板本体上设置有开孔，所述开孔用于通过蒸镀工艺在待蒸镀基板上形成预设蒸镀设计图形，其中所述开孔的尺寸大于所述预设蒸镀设计图形的尺寸。

2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板本体与所述待蒸镀基板贴合时，所述预设蒸镀设计图形在所述掩模板本体上形成正投影图形，所述正投影图形位于所述开孔之内。

3.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述开孔的边缘轮廓形成为所述正投影图形的边缘各位置分别等间隔向外扩张的等间隔扩张轮廓。

4.根据权利要求3所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板还包括：

框体，所述掩模板本体包括固定于所述框体上的初始状态和被拉伸后固定于所述框体上的固定状态；

其中在所述固定状态，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的等间隔扩张轮廓；在所述初始状态，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。

5.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。

6.根据权利要求4或5所述的掩模板，其特征在于，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓时，所述开孔位于所述掩模板本体的竖直中心线的一侧，所述开孔包括平行于所述竖直中心线的第一边缘与第二边缘，其中所述第一边缘与所述竖直中心线之间的距离小于所述第二边缘与所述竖直中心线的距离，所述第一边缘到所述正投影图形上对应所述第一边缘的相应边缘之间具有第一间隔距离，所述第二边缘到所述正投影图形上对应所述第二边缘的相应边缘之间具有第二间隔距离，其中所述第一间隔距离大于所述第二间隔距离。

7.根据权利要求4或5所述的掩模板，其特征在于，所述开孔的边缘轮廓为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓时，所述开孔位于所述掩模板的水平中心线的一侧，所述开孔包括平行于所述水平中心线的第三边缘与第四边缘，其中所述第三边缘与所述水平中心线之间的距离小于所述第四边缘与所述水平中心线之间的距离，所述第三边缘到所述正投影图形上对应所述第三边缘的相应边缘之间具有第三间隔距离，所述第四边缘到所述正投影图形上对应所述第四边缘的相应边缘之间具有第四间隔距离，其中所述第三间隔距离大于所述第四间隔距离。

8.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板本体的竖直中心线的一侧设置多个形状与尺寸相同的所述开孔，其中多个所述开孔中的第一开孔与所述竖直中心线的距离大于多个所述开孔中的第二开孔与所述竖直中心线的距离时，所述第一开孔的第一边缘到相应的所述正投影图形上的相应边缘的距离，大于所述第二开孔的第一边缘到相应的所述正投影图形上的相应边缘的距离。

9.根据权利要求7所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板本体的水平中心线的一侧设置多个形状与尺寸相同的所述开孔，其中多个所述开孔中的第三开孔与所述水平中心线的距离大于多个所述开孔中的第四开孔与所述水平中心线的距离时，所述第三开孔的第三边缘到相应的所述正投影图形上的相应边缘的距离，大于所述第四开孔的第三边缘到相应的所述正投影图形上的相应边缘的距离。

10.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板本体上设置有第一开孔和第二开孔，其中所述第一开孔的边缘轮廓形成为所述正投影图形的边缘各位置分别等间隔向外扩张的等间隔扩张轮廓；所述第二开孔的边缘轮廓形成为所述正投影图形的边缘各位置不等间隔向外扩张的非等间隔扩张轮廓。