CN108389814B - 一种旋干机用带有引导架的治具 - Google Patents
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- 238000001035 drying Methods 0.000 title abstract description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 127
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 57
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 28
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 8
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 238000005381 potential energy Methods 0.000 description 2
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 1
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Abstract
本发明公开了一种旋干机用带有引导架的治具，其技术方案要点是：该治具的主体为治具结构，该治具结构包括用以置放多个晶圆的晶圆载具，该晶圆载具于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆载具可用以置放多个晶圆，该治具结构还包括：一治具基板，其上设有多个连接件，且每一该连接件具有至少一沟槽；以及一治具顶板，其上设有多个开槽，该治具顶板连接所述连接件，并且由相邻四该连接件的该沟槽与其所对应的该开槽，构成多个容置腔体，该容置腔体用以置放该晶圆载具，该治具还包括插接在治具顶板的外侧且用于将晶圆载具安装到容置腔体的引导架。其优点是该治具既能够放置多个晶圆载具，又保证良好的干燥效果。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种旋干机用带有引导架的治具。
背景技术
在晶圆制造技术当中，当晶圆进行湿式蚀刻及冲洗之后，晶圆表面仍会残留有化学药剂以及杂质。若以人工使用气枪对晶圆进行喷气干燥，其速度太慢，成本又高，更容易因为应力过大而造成晶圆破片。因此可改利用旋转干燥的方式，将晶圆表面的杂质与化学物质的量降到最低。因此，旋干机是半导体厂房中的常用设备。
然而，依据目前旋干机通常是仅能以单一晶圆载具进行旋干，因而产能受到限制，但是若是想改以多个晶圆载具放进治具当中，晶圆载具无法全数设置于治具的轴心，仅能安置于治具外围处，然而晶圆载具位于转子外围在进行旋干的同时，喷气嘴所喷出的气体必定会被晶圆载具的支撑架所阻挡，进而降低旋干机干燥的效果。
发明内容
本发明的目的是提供一种旋干机用带有引导架的治具，其优点是该治具既能够放置多个晶圆载具，又保证良好的干燥效果。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种旋干机用带有引导架的治具，该治具的主体为治具结构，该治具结构包括用以置放多个晶圆的晶圆载具，该晶圆载具于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆载具可用以置放多个晶圆，该治具结构还包括：一治具基板，其上设有多个连接件，且每一该连接件具有至少一沟槽；以及一治具顶板，其上设有多个开槽，该治具顶板连接所述连接件，并且由相邻四该连接件的该沟槽与其所对应的该开槽，构成多个容置腔体，该容置腔体用以置放该晶圆载具，该治具还包括插接在治具顶板的外侧且用于将晶圆载具安装到容置腔体的引导架。
通过上述技术方案，本发明的主要目的，在于提供一种旋干机的治具结构，其利用连接件、沟槽与其所对应的开槽，构成多个容置腔体能够盛放晶圆载具。这样结构简单便于拆卸。引导架的设置能将晶圆载具快速的放置到治具里，节省晶圆载具安放到治具内所需要的时间，进而提高工作效率。
本发明进一步设置为：还包括多个对位喷嘴，环设于该旋干机的治具结构周围，以向所述晶圆进行喷气。
通过上述技术方案，本发明的又一目的，在于提供一种旋干机的治具结构，搭配多个对位喷嘴，且环设于旋干机的治具结构周围，向晶圆进行喷气，进而得以增加晶圆制造的产量。
本发明进一步设置为：每一连接件具有一沟槽，且由每四个连接件与其所对应的该开槽构成一容置腔体，由此组成四个容置腔体。
通过上述技术方案，连接件和开槽组成四个容置腔体，提高了治具夹持晶圆载具的数量，进而提高该治具的工作效率。
本发明进一步设置为：靠近该治具基板及该治具顶板的中央位置的四该连接件都具有两个沟槽，以构成四个共享连接件，且由每二该连接件搭配二该共享连接件，并与其所对应的开槽构成一容置腔体，由此组成四个容置腔体。
通过上述技术方案，本发明的再一目的，在于提供一种旋干机的治具结构，于靠近治具基板及治具顶板的中央位置，采用共享连接件，以构成容置腔体，因此依据共享连接件，本发明仅需使用12个连接件，即可以组成四个容置腔体，如此一来即可节省连接件的制作成本。
本发明进一步设置为：还包括多个止挡件，每一该止挡件连接该治具基板的上表面及该治具顶板的下表面，且每一该止挡件对应每一该晶圆载具，以抵扣该晶圆。
通过上述技术方案，止挡件能够将晶圆载具挡在治具内，并使插入治具中的晶圆载具距离治具顶板的距离相同。
本发明进一步设置为：所述引导架包括用于放置待装入容置腔体内的晶圆载具的储放机构以及用于将储放机构内的晶圆载具对应导入容置空腔的驱动机构，所述储放机构包括位于驱动组件下方的储放壳、固定设置在储放壳内且用于将储放壳内的晶圆载具推送到驱动机构的推动弹簧以及固定设置在推动弹簧朝向储放壳的开口一端的推板。
通过上述技术方案，储放机构能够储放多个待装入容置腔体内的晶圆载具。驱动机构能够将储放机构内的晶圆载具对应导入容置空腔里。其中推板在推动弹簧的驱动下能够将储放壳内的晶圆载具推到驱动装置内的空腔里。
本发明进一步设置为：所述储放机构还包括与推动弹簧垂直且贯穿推板和储放壳一侧壁的插杆以及固定设置在插杆伸出储放壳一端的压块，所述储放壳背离压块的内壁开设有与插杆一端适配的插槽。
通过上述技术方案，压块的设置能够便于人工按压插杆，使插杆能够带动推板向下移动压缩弹簧。插口与插杆的配合能够使插杆将推板卡在储放壳的底部，防止推动弹簧推动推板向上移动不便于晶圆载具在储放壳内的放置。
本发明进一步设置为：所述驱动机构包括与储放壳连通的驱动壳、套接在驱动壳内且用于承接储放机构内的晶圆载具的转动架，所述转动架周向开设有环形槽，环形槽内固定设置有套接在转动架外侧且与驱动壳固定连接的发条弹簧，所述转动架的一端面固定设置有用于驱动转动架带动发条弹簧转动的摇柄。
通过上述技术方案，驱动壳能与发条的弹簧的设置能够使转动架在驱动壳内转动，进而使储放壳里的晶圆载具能够进入转动架的空腔中。摇柄的设置可以方便操作人员使转动架带动发条弹簧转动，使发条弹簧具有一定的弹性势能，进而使发条弹簧能够自主带动转动架转动。
本发明进一步设置为：所述转动架的周向固定设置有用于将转动架卡接在驱动壳内的卡接组件，所述卡接组件包括若干个均布在转动架周向且与转动架滑移连接的卡块、固定设置在卡块背离驱动壳一端且与转动架固定连接的卡位弹簧、贯穿驱动壳侧壁的插孔以及与插孔滑移连接的压杆，所述压杆伸出驱动壳的一端套接有与压杆固定连接的支撑弹簧。
通过上述技术方案，卡接组件的设置能够使转动架在发条弹簧驱动的过程中，转动架上的每个空腔都能稳定的放置有晶圆载具。具体的，当转动架带动卡块转动，且卡块与插孔重合时，卡位弹簧能够将卡块推入插孔里。压杆能够将卡块推出插孔，使转动架继续带动卡块转动。支撑弹簧能够防止压杆始终处在插孔里，防止卡块插入插孔里。
综上所述，本发明具有以下有益效果：
一、该治具既能够放置多个晶圆载具，又保证良好的干燥效果；
二、该治具带有引导架，大大缩短了晶圆载具安装时间，提高了工作效率。
附图说明
图1为该治具的轴测图；
图2为该治具结构的立体图；
图3为本发明的第二实施例中的治具结构分解图；
图4为本发明的第二实施例中的治具结构分解图；
图5为本发明中的治具结构前视图；
图6为本发明的第三实施例中的治具结构分解图；
图7为本发明新增减重孔洞的连接件结构图；
图8为本发明的旋干机立体图；
图9a为本发明的旋干机的45度角的作动示意图；
图9b为本发明的旋干机的45度角的另一作动示意图；
图10为本发明的旋干机的90度角的作动示意图；
图11为本发明的旋干机的135度角的作动示意图；
图12为本发明的旋干机的180度角的作动示意图；
图13为引导架未与治具结构接触的状态示意图；
图14是为了体现引导架内部结构的剖视图；
图15储放机构与驱动机构位置关系的结构示意图；
图16是为了体现卡接组件工作原理的结构示意图。
图中，10、治具结构；12、晶圆载具；12a、晶圆载具；12b、晶圆载具；12c、晶圆载具；12d、晶圆载具；14a、上开口；14b、下开口；16、晶圆；18、治具基板；202、连接件；204、共享连接件；22、沟槽；24、治具顶板；25、环形凸起；251、定向凹槽；26、开槽；28、容置腔体；30、止挡件；32、凹槽；34、穿孔；36、接合件；38、凸块；40、减重孔洞；42、制程腔体；44、对位喷嘴；46、压缩干燥空气装置；5、引导架；61、储放壳；611、插槽；612、第一卡槽；62、储放空腔；63、推板；64、推动弹簧；65、插杆；66、卡钩；67、压板；68、压块；69、卡接弹簧；71、驱动壳；711、插孔；72、转动架；721、环形槽；722、定位凸起；723、定向凸起；724、卡块；725、卡位弹簧；726、压杆；727、支撑弹簧；73、发条弹簧；74、推片；75、推杆；76、推架；77、复位弹簧；78、摇柄；79、手把柄。
具体实施方式
本发明于此列举一实施例，一种旋干机用带有引导架的治具，如图1所示，该治具包括治具结构1（即治具本体）、用以置放多个晶圆的晶圆载具12以及用于将晶圆载具12安装到治具结构1内的引导架5。
请参阅图2及图3，以说明本发明的旋干机的治具结构的立体图及第一实施例的旋干机的治具结构分解图。
如图所示，本发明揭示一种旋干机的治具结构10，用以置放多个晶圆载具12，晶圆载具12于顶部及于底部各具有一开口，各为上开口14a及下开口14b，晶圆载具12于两侧边则为支撑架，每一晶圆载具12可用以置放多个晶圆16。
旋干机的治具结构10包含有治具基板18其上设有多个连接件，连接件分为连接件202以及共享连接件204，且每一连接件202具有至少一沟槽22，共享连接件204则具有二沟槽22，治具顶板24其上设有多个开槽26，治具顶板24连接连接件202及共享连接件204，并且由相邻连接件202及共享连接件204的沟槽22与其所对应的开槽26，构成多个容置腔体28，因此晶圆载具12可顺着沟槽22滑入容置腔体28，由此容置腔体28可用于置放晶圆载具12。由上所揭示的旋干机的治具结构10，其具有多个容置腔体28，由此得以增加晶圆16制造的产能。
如前所述的旋干机的治具结构10更包含有多个止挡件30，每一个止挡件30连接治具基板18的上表面及治具顶板24的下表面，且每一个止挡件30对应每一个晶圆载具12，以抵扣晶圆16，此外，治具顶板24设有多个凹槽32，每一止挡件30可对应卡合凹槽32，止挡件30可避免因旋干机作动而旋出晶圆16。
治具基板18及治具顶板24设有多个穿孔34，以连接连接件202及共享连接件204，并且可利用多个接合件36个别对应穿越穿孔34，以固接治具基板18、治具顶板24及每一个连接件202及共享连接件204。
此外，本发明于图式中为求使说明书及图式明确且充分揭露发明，故于图3仅以二个接合件36以示意说明，其余都省略。
本发明于第一实施例当中所揭示的旋干机的治具结构10，在连接件202及共享连接件204的技术特征为利用多个接合件36穿越穿孔34，以固接治具基板18、治具顶板24及每一个连接件202及共享连接件204，然而，此部份的技术特征仅是本发明其中的一实施例，本发明当然并不以此为限，接续请参阅图4，以说明第二实施例的旋干机的治具结构分解图，如图所示，本发明于先前所述的治具基板18、连接件202及共享连接件204、治具顶板24、开槽26、容置腔体28、止挡件30、凹槽32及穿孔34，其构造及连结关系都与第二实施例相同，故不再赘述，惟第二实施例不同之处在于每一连接件202及共享连接件204的两端各设有凸块38以卡合穿孔34，同样可达到固接治具基板18、治具顶板24及每一个连接件202及共享连接件204的功效。
如前所述的旋干机的治具结构10，其中治具基板12、连接件202及共享连接件204、治具顶板24、止挡件30及接合件36为金属材质，且接合件36为螺丝、铆钉或拉钉。
接续参阅图5，以说明本发明的旋干机的治具结构前视图，参阅同时辅以图2及图3，如图所示，本发明的旋干机的治具结构10在于前述中的第一实施例或第二实施例当中，其中靠近治具基板18及治具顶板24的中央位置的共享连接件204都具有二沟槽22，以构成四个共享连接件204，并且再由每二连接件202搭配二共享连接件204，并与其所对应的开槽26，构成容置腔体28，依据图5当中所揭示连接件的数量，仅需共有8个连接件202及4个共享连接件204，即可以组成四个容置腔体28。
承前所述的第一实施例及第二实施例当中的旋干机的治具结构10，于连接件202及共享连接件204的技术特征为利用四个共享连接件204，并且再由每二连接件202搭配二共享连接件204，并与其所对应的开槽26，构成容置腔体28，然而此部份的技术特征也仅是本发明其中的一实施例，本发明当然并不以此为限，接续请参阅图6，以说明第三实施例的旋干机的治具结构分解图，参阅同时辅以图2及图3，如图所示，本发明的旋干机的治具结构10，在第三实施例当中，于先前所述的治具基板18、连接件202、治具顶板24、开槽26、容置腔体28、止挡件30、凹槽32、穿孔34及接合件36，其结构及连结关系都与第三实施例所述相同，惟第三实施例不同处在于改使用共16个连接件202，且每一连接件202都具有一个沟槽22，再由每四个连接件202与其所对应的开槽26，构成容置腔体28，由此同样可组成四个容置腔体28。
接续参阅图7，以说明本发明的新增减重孔洞的连接件结构图，本发明于先前所述的第一实施例、第二实施例及第三实施例的旋干机的治具结构10，其中可在此等连接件202上，选择在部分连接件202上设有多个减重孔洞40，由此减少旋干机的治具结构10的重量，进而可以减低旋干机使用上的功率损耗。
参阅图8，以说明本发明的旋干机立体图，参阅同时辅以图1，如图所示，本发明的旋干机的治具结构10，其中治具基板18及治具顶板24的形状为圆形，以利旋干机的治具结构10进行圆周运动，同时也可以方便旋干机的治具结构10置放在制程腔体42。
此外，本发明于图式中为求使说明书及图式明确且充分揭露发明，于图8当中，以列举二个制程腔体42作说明，然而依据本发明的技术思想，可依据实际应用情况需求增减制程腔体42的数量，例如为求精简制作成本，改以单一制程腔体42作为实施方式，当然也可因考虑增加制程产能，改以三个制程腔体42或以上的数量，制程腔体42数量上的差异并不影响本发明的技术特征。
接续参阅图9a、图9b、图10、图11及图12，以依序说明本发明的旋干机的45度角的作动示意图、旋干机的45度角的另一作动示意图、90度角的作动示意图、135度角的作动示意图及180度角的作动示意图，参阅同时辅以图2。
于此，由图9a、图9b、图10、图11及图12当中，可知本发明明确记载着当旋干机的治具结构10连续转动的过程，其中，如图9a所示，本发明的旋干机的治具结构10，利用连续转动的过程将得以旋干晶圆16上所残留水痕。
然而，由于晶圆载具12a的侧边上的支撑架，气流并无法通过，气流仅能从晶圆载具12b的上开口14a及下开口14b流通，故晶圆载具12a上的晶圆16上所残留水痕，故需较长时间以进行干燥，本发明于此可采用多个对位喷嘴44，且环设于旋干机的治具结构10周围，以向晶圆16进行喷气，并且多个对位喷嘴44搭配连接件202将得以解决气流无法通过支撑架的问题，因此，如图9b所示，对位喷嘴44对位的角度除了往治具基板18及治具顶板24中心处进行喷气，同时也往连接件202的位置喷气，而本发明的连接件202是以板材作设计，故，当对位喷嘴44向连接件202进行喷气时，气流将会从板材状的连接件202反折，进入晶圆载具12a及晶圆载具12c的上开口14a或下开口14b，晶圆载具12a及晶圆载具12c上所载的晶圆16即可缩短水痕旋干所需时间。
接续如图10所示，当旋干机的治具结构10旋转至90度角时，此时晶圆载具12a、12b、12c、12d的上开口14a同时朝向对位喷嘴44，因此，气流可一并通过晶圆载具12a、12b、12c、12d；如图11所示，当旋干机的治具结构10旋转至135度角，此时对位喷嘴44可经由连接件202反折气流，使气流通过晶圆载具12a、12c、12d的上开口14a及下开口14b；最后如图12所示，当旋干机的治具结构10旋转至90度角时，此时晶圆载具12a、12b、12c、12d的下开口14b同时朝向对位喷嘴44，因此，气流可一并通过晶圆载具12a、12b、12c、12d。其中如前所述的对位喷嘴44由压缩干燥空气装置46提供气体。
参阅图1、图12和图13，引导架5包括用于放置待装入容置腔体28内的晶圆载具12的储放机构以及用于将储放组件内的晶圆载具12对应导入容置空腔的驱动机构。
参阅图13和图14，储放机构包括位于驱动组件下方的储放壳61、固定设置在储放壳61内且用于将储放壳61内的晶圆载具12推送到驱动机构的推动弹簧64以及固定设置在推动弹簧64朝向储放壳61的开口一端的推板63。
参阅图13和图14，储放机构还包括与推动弹簧64垂直且贯穿推板63和储放壳61一侧壁的插杆65以及固定设置在插杆65伸出储放壳61一端的压块68。储放壳61背离压块68的内壁底部开设有与插杆65一端适配的插槽611。
参阅图13和图14，驱动机构包括与储放壳61连通的驱动壳71、套接在驱动壳71内且用于承接储放机构内的晶圆载具12的转动架72。其中，驱动壳71侧壁固定设置有手把柄；驱动壳71的侧壁开设有用于使储放壳61内的晶圆载具12穿过驱动壳71并进入转动架72的开口；转动架72上开设有用于承接晶圆载具12的空腔。转动架72背离治具结构10的一端周向开设有环形槽721，环形槽721内固定设置有套接在转动架72外侧且与驱动壳71固定连接的发条弹簧73。转动架72背离治具结构10的端面固定设置有用于驱动转动架72带动发条弹簧73转动的摇柄78。
参阅图13和图14，储放壳61与驱动机构连接的一端的两侧壁上设置有用于将储放壳61卡接到驱动壳71的开口位置的连接组件。连接组件包括开设在驱动壳71的开口侧壁的第一卡槽612、开设在储放壳61朝向驱动壳71一端两侧的储放空腔62、固定设置在储放空腔62内的若干个卡接弹簧69以及穿过储放空腔62并伸出储放壳61侧壁且与第一卡槽612适配的卡钩66。其中，卡钩66位于储放空腔62内的部分一侧与卡接弹簧69固定连接；卡钩66通过储放空腔62与储放壳61滑移连接；卡钩66伸出储放壳61的一端固定设置有压板67。
参阅图13和图15，转动架72的周向固定设置有用于将转动架72卡接在驱动壳71内的卡接组件。卡接组件包括四个均布在转动架72周向且与转动架72滑移连接的卡块724、固定设置在卡块724背离驱动壳71一端且与转动架72固定连接的卡位弹簧725、一个贯穿驱动壳71侧壁的插孔711以及与插孔711滑移连接的压杆726。压杆726伸出驱动壳71的一端套接有与压杆726固定连接的支撑弹簧727。
参阅图13，转动架72背离治具结构10的一端设置有用于将转动架72内的晶圆载具12传送到治具结构10的驱动架。驱动架包括四个分别位于转动架72的空腔内且与转动架72滑移连接的推片74、贯穿转动架72背离治具结构10一端面中心位置且与转动架72滑移连接的推杆75以及位于转架内并与转动架72滑移连接且两端分别与推杆75、四个推片74固定连接的推架76。推架76朝向治具结构10的一侧固定设置有与转动架72固定连接的复位弹簧77。
参阅图12和图13，治具顶板24背离治具基板18的一端面固定设置有环形凸起25，环形凸起25的内壁横截面呈等腰梯形。转动架72朝向治具结构10的端面固定设置有定位凸起722，该定位凸起722的外侧面与环形凸起25的内侧壁适配。定位凸起722的外侧面固定设置有定向凸起723。环形凸起25的内侧壁设置有与定向凸起723适配的定向凹槽32251（图中未示出）。
引导架5的工作过程：当需要向治具结构10中插入晶圆载具12时，先下压插杆65、使插杆65带动推板63向储放壳61的底部移动。紧接着按压插杆65，使插杆65的一端插入插槽611中。之后将晶圆载具12按照一定顺序放入储放壳61内（此处参见图14）。然后按压压杆726，使压杆726完全将插孔711堵塞，之后通过摇柄78转动转动架72，使发条弹簧73具有一定弹性势能。然后松开压杆726和摇柄78，使对应的卡块724卡在插孔711里，此时驱动壳71的开口与转动架72内的空腔对应（此处参见图14）。然后拔出插杆65，使插杆65脱离插槽611。推板63在推动弹簧64的带动下将储放壳61里的一个晶圆载具12穿过驱动壳71的开口推送到转动架72上对应的空腔上。然后按压压杆726，使插入插孔711的卡块724移出插孔711。此时转动架72在发条弹簧73的带动下转动。当转动架72转动九十度后，另一个卡块724插入插孔711中，此时转动架72上的另一个空腔正好与驱动壳71的开口对应。如此循环，使转动架72上的四个空腔都载有晶圆载具12。在将治具结构10上的已经处理完的晶圆载具12取出之后，将定位凸起722插入环形凸起25内，且使定向凸起723插入定向凹槽32251内。然后推动推杆75，使推片74将四个晶圆载具12同时推入治具结构10里。之后松开推杆75，驱动架在复位弹簧77的驱动下向远离治具结构10的方向移动直至回到原位。
如此连续循环上述过程，即可实现持续向治具结构10中传送晶圆载具12的效果。且引导架5中的晶圆载具12的安装可在治具结构10工作时完成，可节省大量等待的时间。
本具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (8)
1.一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：该治具的主体为治具结构(10)，该治具结构(10)包括用以置放多个晶圆(16)的晶圆载具(12)，该晶圆载具(12)于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆载具(12)可用以置放多个晶圆(16)，该治具结构(10)还包括：一治具基板(18)，其上设有多个连接件(202)，且每一该连接件(202)具有至少一沟槽(22)；以及一治具顶板(24)，其上设有多个开槽(26)，该治具顶板(24)连接所述连接件(202)，并且由相邻四该连接件(202)的该沟槽(22)与其所对应的该开槽(26)，构成多个容置腔体(28)，该容置腔体(28)用以置放该晶圆载具(12)，该治具还包括插接在治具顶板(24)的外侧且用于将晶圆载具(12)安装到容置腔体(28)的引导架(5)，所述引导架(5)包括用于放置待装入容置腔体(28)内的晶圆载具(12)的储放机构以及用于将储放组件内的晶圆载具(12)对应导入容置空腔的驱动机构，所述储放机构包括位于驱动组件下方的储放壳(61)、固定设置在储放壳(61)内且用于将储放壳(61)内的晶圆载具(12)推送到驱动机构的推动弹簧(64)以及固定设置在推动弹簧(64)朝向储放壳(61)的开口一端的推板(63)。
2.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：还包括多个对位喷嘴(44)，环设于该旋干机的治具结构(10)周围，以向所述晶圆(16)进行喷气。
3.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：每一连接件(202)具有一沟槽(22)，且由每四个连接件(202)与其所对应的该开槽(26)构成一容置腔体(28)，由此组成四个容置腔体(28)。
4.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：靠近该治具基板(18)及该治具顶板(24)的中央位置的四该连接件(202)都具有两个沟槽(22)，以构成四个共享连接件(204)，且由每二该连接件(202)搭配二该共享连接件(204)，并与其所对应的开槽(26)构成一容置腔体(28)，由此组成四个容置腔体(28)。
5.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：还包括多个止挡件(30)，每一该止挡件(30)连接该治具基板(18)的上表面及该治具顶板(24)的下表面，且每一该止挡件(30)对应每一该晶圆载具(12)，以抵扣该晶圆(16)。
6.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：所述储放机构还包括与推动弹簧(64)垂直且贯穿推板(63)和储放壳(61)一侧壁的插杆(65)以及固定设置在插杆(65)伸出储放壳(61)一端的压块(68)，所述储放壳(61)背离压块(68)的内壁开设有与插杆(65)一端适配的插槽(611)。
7.根据权利要求1所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：所述驱动机构包括与储放壳(61)连通的驱动壳(71)、套接在驱动壳(71)内且用于承接储放机构内的晶圆载具(12)的转动架(72)，所述转动架(72)周向开设有环形槽(721)，环形槽(721)内固定设置有套接在转动架(72)外侧且与驱动壳(71)固定连接的发条弹簧(73)，所述转动架(72)的一端面固定设置有用于驱动转动架(72)带动发条弹簧(73)转动的摇柄(78)。
8.根据权利要求7所述的一种旋干机用带有引导架的治具，其特征是：所述转动架(72)的周向固定设置有用于将转动架(72)卡接在驱动壳(71)内的卡接组件，所述卡接组件包括若干个均布在转动架(72)周向且与转动架(72)滑移连接的卡块(724)、固定设置在卡块(724)背离驱动壳(71)一端且与转动架(72)固定连接的卡位弹簧(725)、贯穿驱动壳(71)侧壁的插孔(711)以及与插孔(711)滑移连接的压杆(726)，所述压杆(726)伸出驱动壳(71)的一端套接有与压杆(726)固定连接的支撑弹簧(727)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810174408.9A CN108389814B (zh) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 一种旋干机用带有引导架的治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810174408.9A CN108389814B (zh) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 一种旋干机用带有引导架的治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108389814A CN108389814A (zh) | 2018-08-10 |
| CN108389814B true CN108389814B (zh) | 2020-06-12 |
Family
ID=63070193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810174408.9A Expired - Fee Related CN108389814B (zh) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 一种旋干机用带有引导架的治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108389814B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109087880B (zh) * | 2018-09-14 | 2021-04-06 | 吉林华微电子股份有限公司 | 一种甩干装置及甩干方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012118953A2 (en) * | 2011-03-01 | 2012-09-07 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer deposition carousel with continuous rotation and methods of use |
| CN203218236U (zh) * | 2012-12-28 | 2013-09-25 | 禾邑实业股份有限公司 | 旋干机的治具结构 |
| CN105529293A (zh) * | 2014-10-17 | 2016-04-27 | 朗姆研究公司 | 用于传送晶片的设备前端模块以及传送晶片的方法 |
| CN206711882U (zh) * | 2017-05-31 | 2017-12-05 | 成都福誉科技有限公司 | 一种太阳能硅片的抓取机构 |
| CN206803606U (zh) * | 2017-04-11 | 2017-12-26 | 江苏晶瑞半导体有限公司 | 旋干机的桶槽结构 |
-
2018
- 2018-03-02 CN CN201810174408.9A patent/CN108389814B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012118953A2 (en) * | 2011-03-01 | 2012-09-07 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer deposition carousel with continuous rotation and methods of use |
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| CN206711882U (zh) * | 2017-05-31 | 2017-12-05 | 成都福誉科技有限公司 | 一种太阳能硅片的抓取机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108389814A (zh) | 2018-08-10 |
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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