CN211394618U - 一种平板式pecvd专用托盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种平板式PECVD专用托盘，包括：托盘主体；通口，四个所述通口沿前后方向间隙开设在托盘主体的顶端；十字杆，所述十字杆安装在通口的内腔底端；第一插槽，两个所述第一插槽分别开设在托盘主体的左侧前后两端；第二插槽，所述第二插槽开设在第一插槽的内腔底端；还包括卡紧机构、插块和通孔，两个所述卡紧机构固定安装在托盘主体的上表面左侧前后两端与第一插槽相对应位置。该平板式PECVD专用托盘，可实现相邻的托盘拼接组装在一起，便于根据所需承载硅片的数量对托盘进行逐步拼接扩展，并且部分出现损坏时，可将出现损坏部分拆卸下来进行更换，无需整体更换，避免造成浪费，满足企业的使用需求，有利于广泛推广。

Description

一种平板式PECVD专用托盘

技术领域

本实用新型涉及PECVD技术领域，具体为一种平板式PECVD专用托盘。

背景技术

PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积。

在平板式PECVD中常常需要使用专用的托盘承载硅片，但现有的平板式PECVD专用托盘通常为一体结构，托盘长时间使用出现损坏时，只能进行整体更换，十分的浪费，并且不能根据所需承载硅片的数量对托盘进行扩展，无法满足企业的使用需求，不利于广泛推广。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平板式PECVD专用托盘，以至少解决现有技术中托盘出现损坏时需要整体进行更换和不能根据所需承载硅片的数量对托盘进行扩展的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平板式PECVD专用托盘，包括：

托盘主体；

通口，四个所述通口沿前后方向间隙开设在托盘主体的顶端；

十字杆，所述十字杆安装在通口的内腔底端；

第一插槽，两个所述第一插槽分别开设在托盘主体的左侧前后两端；

第二插槽，所述第二插槽开设在第一插槽的内腔底端；

还包括卡紧机构、插块和通孔，两个所述卡紧机构固定安装在托盘主体的上表面左侧前后两端与第一插槽相对应位置，与所述第一插槽相匹配的两个所述插块分别固定安装在托盘主体的右侧前后两端与第一插槽相对应位置，所述通孔开设在插块的顶端中心位置。

优选的，所述第二插槽的内腔直径和通孔的内腔直径相同。

优选的，所述卡紧机构包括：空心块，两个所述空心块固定安装在托盘主体的上表面左侧前后两端与第一插槽相对应位置；插板，所述插板沿上下方向插接在空心块的内腔；插柱，所述插柱固定安装在插板的底端中心位置；连接杆，所述连接杆固定安装在插板的顶端中心位置，且连接杆的顶端延伸出空心块安装有把拉环；第一弹簧，所述第一弹簧套接在连接杆的外壁，且第一弹簧的上下两端分别与空心块和插板固定连接；凹槽，两个所述凹槽分别开设在插板的左右两侧壁面；定位组件，所述定位组件设置在凹槽的内腔；卡槽，两个所述卡槽分别开设在空心块的左右两侧壁面顶端，且卡槽的内腔与空心块的内腔相互连通。

优选的，所述定位组件包括：第二弹簧，所述第二弹簧固定安装在凹槽的内腔内侧；卡块，所述卡块固定安装在第二弹簧的外端，且卡块的外端在第二弹簧的弹力作用下抵在空心块的内壁。

优选的，所述插板的外壁四周与空心块的内壁相贴合。

优选的，所述凹槽的内腔和卡块均呈凸字形配合设置。

优选的，所述插柱的底端依次贯穿空心块、托盘主体和第一插槽延伸至第二插槽的内腔，且插柱贯穿第一插槽并延伸至第二插槽内腔的长度小于卡槽的中心点与凹槽内腔的中心点之间的长度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该平板式PECVD专用托盘，通过向上拉动连接杆顶端的拉环，可使连接杆、插板和插柱向上进行移动，插板带动卡块移动至卡槽处，通过第二弹簧的弹力作用可使卡块向外侧移动至卡槽中对插板、连接杆和插柱进行定位固定，便于插柱向上移动与第二插槽和第一插槽的内腔分离后进行定位固定，可便于将相邻的托盘主体右侧的插块插入第一插槽中进行拼接，通过向内侧推动卡块与卡槽分离，可使插板、插柱和连接杆在第一弹簧的弹力作用向下移动进行复位，插柱贯穿通孔插入第二插槽的内腔，使两个相邻的托盘主体拼接在一起后进行稳定固定，当需要拆卸时，再次向上拉动连接杆顶端的拉环，使插柱与第二插槽和通孔的内腔分离即可，从而可实现相邻的托盘拼接组装在一起，便于根据所需承载硅片的数量对托盘进行逐步拼接扩展，并且部分出现损坏时，可将出现损坏部分拆卸下来进行更换，无需整体更换，避免造成浪费，满足企业的使用需求，有利于广泛推广。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型图1中托盘主体的主视局部剖视结构示意图；

图3为本实用新型图2中A处的放大结构示意图。

图中：1、托盘主体，2、通口，3、十字杆，4、第一插槽，5、第二插槽，6、空心块，7、插板，8、插柱，9、连接杆，10、第一弹簧，11、凹槽，12、第二弹簧，13、卡块，14、卡槽，15、插块，16、通孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种平板式PECVD专用托盘，包括：托盘主体1、通口2、十字杆3、第一插槽4、第二插槽5、卡紧机构、插块15和通孔16，四个通口2沿前后方向间隙开设在托盘主体1的顶端，通过通口2可便于放置硅片；十字杆3安装在通口2的内腔底端，通过十字杆3可便于对硅片更加稳定的进行承载；两个第一插槽4分别开设在托盘主体1的左侧前后两端；第二插槽5开设在第一插槽4的内腔底端；两个卡紧机构固定安装在托盘主体1的上表面左侧前后两端与第一插槽4相对应位置，与第一插槽4相匹配的两个插块15分别固定安装在托盘主体1的右侧前后两端与第一插槽4相对应位置，通过插块15与相邻的第一插槽4的配合，可便于将两个相邻的托盘主体1拼接在一起，通孔16开设在插块15的顶端中心位置。

作为优选方案，更进一步的，第二插槽5的内腔直径和通孔16的内腔直径相同，便于卡紧机构将插块15卡紧固定在第一插槽4的内腔。

作为优选方案，更进一步的，卡紧机构包括：空心块6、插板7、插柱8、连接杆9、第一弹簧10、凹槽11、定位组件和卡槽14，两个空心块6固定安装在托盘主体1的上表面左侧前后两端与第一插槽4相对应位置；插板7沿上下方向插接在空心块6的内腔；插柱8固定安装在插板7的底端中心位置；连接杆9固定安装在插板7的顶端中心位置，且连接杆9的顶端延伸出空心块6安装有把拉环，通过拉环可便于带动连接杆9向上进行移动；第一弹簧10套接在连接杆9的外壁，且第一弹簧10的上下两端分别与空心块6和插板7固定连接，通过插板7可便于对第一弹簧10进行挤压，通过第一弹簧10可便于带动插板7向下移动进行复位，第一弹簧10的弹性系数为18N/CM的压缩弹簧，第一弹簧10受到拉伸或挤压后产生弹性形变，去除外力后恢复至初始状态；两个凹槽11分别开设在插板7的左右两侧壁面；定位组件设置在凹槽11的内腔；两个卡槽14分别开设在空心块6的左右两侧壁面顶端，且卡槽14的内腔与空心块6的内腔相互连通，通过卡紧机构可便于将插块15卡紧固定在相邻的托盘主体1左侧的第一插槽4的内腔。

作为优选方案，更进一步的，定位组件包括：第二弹簧12和卡块13，第二弹簧12固定安装在凹槽11的内腔内侧；卡块13固定安装在第二弹簧12的外端，且卡块13的外端在第二弹簧12的弹力作用下抵在空心块6的内壁，通过第二弹簧12的弹力作用可便于带动卡块13向外侧进行移动，第二弹簧12的弹性系数为20N/CM的压缩弹簧，第二弹簧12受到拉伸或挤压后产生弹性形变，去除外力后恢复至初始状态，通过定位组件可便于对插板7沿上下方向进行定位固定。

作为优选方案，更进一步的，插板7的外壁四周与空心块6的内壁相贴合，便于插板7稳定的向上或向下进行移动。

作为优选方案，更进一步的，凹槽11的内腔和卡块13均呈凸字形配合设置，避免卡块13与凹槽11的内腔完全分离。

作为优选方案，更进一步的，插柱8的底端依次贯穿空心块6、托盘主体1和第一插槽4延伸至第二插槽5的内腔，且插柱8贯穿第一插槽4并延伸至第二插槽5内腔的长度小于卡槽14的中心点与凹槽11内腔的中心点之间的长度，可便于卡块13向上移动与卡槽14对应时，插柱8向上移动可与第二插槽5和第一插槽4的内腔完全分离。

其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，具体工作如下。

使用时，向上拉动连接杆9顶端的拉环，可使连接杆9、插板7和插柱8向上进行移动，插板7对第一弹簧10进行挤压，使第一弹簧10受力变形，当插板7向上移动带动卡块13移动至与卡槽14相对应位置时，在第二弹簧12的弹力作用下使卡块13向外侧移动至卡槽14的内腔，使卡块13对插板7沿上下方向进行定位固定，此时可使插柱8向上移动与第二插槽5和第一插槽4的内腔分离后进行定位固定，将相邻的托盘主体1右侧的插块15插入第一插槽4中，使两个托盘主体1拼接在一起，向内侧推动卡块13，当卡块13与卡槽14的内腔分离时，在第一弹簧10的弹力作用下，可带动插板7、插柱8和连接杆9向下移动进行复位，插柱8贯穿通孔16插入第二插槽5的内腔，将插块15锁紧固定在第一插槽4的内腔，促使将两个托盘主体1拼接在一起后进行稳定固定，可根据所需承载硅片的数量对托盘主体1进行逐步的拼接扩展，当部分托盘主体1出现损坏时，再次向上拉动连接杆9顶端的拉环，使连接杆9向上移动带动卡块13移动至卡槽14处，卡块13在第二弹簧12的弹力作用移动至卡槽14中对插板7沿上下方向进行定位固定，同时插柱8随着连接杆9向上移动与第二插槽5和通孔16的内腔分离，此时可将相邻的托盘主体1之间进行拆卸，将出现损坏的托盘主体1拆卸下来进行更换，该装置结构紧凑，设计合理，可实现相邻的托盘拼接组装在一起，便于根据所需承载硅片的数量对托盘进行逐步拼接扩展，操作简单，使用方便。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作；同时除非另有明确的规定和限定，术语“卡接”、“过盈配合”、“插接”、“设置”、“安装”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种平板式PECVD专用托盘，其特征在于：包括：

托盘主体(1)；

通口(2)，四个所述通口(2)沿前后方向间隙开设在托盘主体(1)的顶端；

十字杆(3)，所述十字杆(3)安装在通口(2)的内腔底端；

第一插槽(4)，两个所述第一插槽(4)分别开设在托盘主体(1)的左侧前后两端；

第二插槽(5)，所述第二插槽(5)开设在第一插槽(4)的内腔底端；

还包括卡紧机构、插块(15)和通孔(16)，两个所述卡紧机构固定安装在托盘主体(1)的上表面左侧前后两端与第一插槽(4)相对应位置，与所述第一插槽(4)相匹配的两个所述插块(15)分别固定安装在托盘主体(1)的右侧前后两端与第一插槽(4)相对应位置，所述通孔(16)开设在插块(15)的顶端中心位置。

2.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD专用托盘，其特征在于：所述第二插槽(5)的内腔直径和通孔(16)的内腔直径相同。

3.根据权利要求1所述的一种平板式PECVD专用托盘，其特征在于：所述卡紧机构包括：

空心块(6)，两个所述空心块(6)固定安装在托盘主体(1)的上表面左侧前后两端与第一插槽(4)相对应位置；

插板(7)，所述插板(7)沿上下方向插接在空心块(6)的内腔；

插柱(8)，所述插柱(8)固定安装在插板(7)的底端中心位置；

连接杆(9)，所述连接杆(9)固定安装在插板(7)的顶端中心位置，且连接杆(9)的顶端延伸出空心块(6)安装有把拉环；

第一弹簧(10)，所述第一弹簧(10)套接在连接杆(9)的外壁，且第一弹簧(10)的上下两端分别与空心块(6)和插板(7)固定连接；

凹槽(11)，两个所述凹槽(11)分别开设在插板(7)的左右两侧壁面；

定位组件，所述定位组件设置在凹槽(11)的内腔；

卡槽(14)，两个所述卡槽(14)分别开设在空心块(6)的左右两侧壁面顶端，且卡槽(14)的内腔与空心块(6)的内腔相互连通。

4.根据权利要求3所述的一种平板式PECVD专用托盘，其特征在于：所述定位组件包括：

第二弹簧(12)，所述第二弹簧(12)固定安装在凹槽(11)的内腔内侧；

卡块(13)，所述卡块(13)固定安装在第二弹簧(12)的外端，且卡块(13)的外端在第二弹簧(12)的弹力作用下抵在空心块(6)的内壁。

5.根据权利要求3所述的一种平板式PECVD专用托盘，其特征在于：所述插板(7)的外壁四周与空心块(6)的内壁相贴合。

6.根据权利要求3或4所述的一种平板式PECVD专用托盘，其特征在于：所述凹槽(11)的内腔和卡块(13)均呈凸字形配合设置。

7.根据权利要求3所述的一种平板式PECVD专用托盘，其特征在于：所述插柱(8)的底端依次贯穿空心块(6)、托盘主体(1)和第一插槽(4)延伸至第二插槽(5)的内腔，且插柱(8)贯穿第一插槽(4)并延伸至第二插槽(5)内腔的长度小于卡槽(14)的中心点与凹槽(11)内腔的中心点之间的长度。

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