CN108359934B - 用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘 - Google Patents
用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108359934B CN108359934B CN201810250307.5A CN201810250307A CN108359934B CN 108359934 B CN108359934 B CN 108359934B CN 201810250307 A CN201810250307 A CN 201810250307A CN 108359934 B CN108359934 B CN 108359934B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- mask
- clamp
- clamp system
- plate
- shaped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 70
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000007747 plating Methods 0.000 title description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 38
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 29
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 244000309464 bull Species 0.000 claims description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 101100269850 Caenorhabditis elegans mask-1 gene Proteins 0.000 description 3
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明旨在解决传统真空镀膜机不能实现在光纤等柱型基片上均匀生长材料的问题，公开了一种用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，包括一个圆盘状的法兰盘主体，法兰盘主体上有一个放气阀，还包括转动机构、组合夹具机构和掩膜机构，一个电源与转动机构中的电机连接，电机固定在法兰盘主体的上表面上；组合夹具机构用于固定柱型基片的位置，通过电机带动夹具旋转，进而实现柱型基片的匀速旋转，通过旋转旋钮来调节掩模板的位置，选择需要的掩膜，本发明的转动机构可以使柱型基片绕其中心轴旋转，包含多个掩膜的掩膜板可以制备出完整并均匀的器件，并且避免了开仓对器件造成的污染和多次抽真空带来的时间上的浪费。
Description
技术领域
本发明属于机械领域，具体涉及一种用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘。
背景技术
目前，基本上国内现有的真空镀膜机的上法兰盘下表面都水平安置着一个基片架，基片架中部镂空位置放置可替换式的片托架，片托架沿四个角的方向上对称设有放置平面型基片片托的槽，这种基片架绕其中心轴水平旋转，可以实现在平面型基片上均匀蒸镀材料的目的，但对于水平放置的柱型基片，绕基片架竖直中心轴水平方向的旋转无法使蒸镀的材料均匀地生长在其表面。以往旋转柱型基片需要多次打开真空室，手动的将柱型基片旋转一定角度直至一周，不但耗费时间，极易对材料造成污染，并且由于无法准确的掌握旋转的角度，依旧不能生长出均匀的薄膜。因此这种传统的真空镀膜机不能实现在光纤等柱型基片上均匀生长材料的目的。
发明内容
本发明旨在解决传统的真空镀膜机不能实现在光纤等柱型基片上均匀生长材料的问题，提供了一种可以在柱型基片上均匀蒸镀材料的安装在真空镀膜机的上法兰盘。
为解决上述技术问题，本发明是通过如下技术方案实现的：
用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，包括一个圆盘状的法兰盘主体，法兰盘主体上有一个放气阀通孔，放气阀通孔内设置有一个放气阀，其特征在于，还包括转动机构、组合夹具机构和掩膜机构，一个电源与转动机构中的电机连接，电机通过一个Z型支架固定在法兰盘主体的上表面上；
转动机构的结构为：一个链轮与电机的输出轴连接，一个链条缠绕在链轮和一个磁力传动装置的输入端上，磁力传动装置固定安装在法兰盘主体的上表面上，磁力传动装置的磁力传动装置输出端穿过法兰盘主体到达法兰盘的下方，磁力传动装置输出端的末端固定安装有一个小齿轮，一个底座固定于法兰盘主体的下表面的中心位置，底座下端安装有一个1号深沟球轴承，大齿轮套装在1号深沟球轴承的外圈上，该大齿轮与磁力传动装置输出端末端的小齿轮啮合，同时大齿轮分别与相对于大齿轮直径对称设置的1号齿轮与2号齿轮啮合，1号齿轮与2号齿轮结构和尺寸相同；
法兰盘下表面固定有4个长度相同的长圆柱，4个长圆柱的另一端分别固定在一块长方形薄板的4个角上，长方形薄板中心位于大齿轮圆心的正下方，长方形薄板下表面两侧分别固定有与1号齿轮同侧的1号夹具系统和与2号齿轮同侧的2号夹具系统，1号夹具系统和2号夹具系统之间存在间隔，1号夹具系统和2号夹具系统组成组合夹具机构；
1号夹具系统和2号夹具系统结构相同且同向设置，1号夹具系统和2号夹具系统均包括一个金属外壳和设置在金属外壳内的齿轮系统，金属外壳是一个由两个竖直向下的相同的金属板和一个水平方向的金属板固定连接构成的纵向截面为U型的壳体，金属外壳的纵向开口向上设置，1号夹具系统的金属外壳的中空部和2号夹具系统的金属外壳的中空部在水平方向上贯通，每个金属外壳均固定在长方形薄板的下表面，每个金属外壳内的齿轮系统均包括一个U型固定架，U型固定架的纵向开口向下设置，金属外壳的U型截面与金属外壳内的U型固定架的U型截面相互垂直，每个U型固定架的两个竖直端的中心部位都安装着一个2号深沟球轴承，两个2号深沟球轴承的内圈与一个贯通整个U型固定架水平方向的空心管固定，一个竖直的锥形伞齿轮通过键连接与空心管周向定位、通过螺栓实现与空心管的轴向定位，一个传动杆的一端穿过长方形薄板和U型固定架与一个水平的锥形伞齿轮连接，竖直的锥形伞齿轮与水平的锥形伞齿轮啮合，1号夹具系统的空心管的轴线与2号夹具系统的空心管的轴线位于水平方向的同一条直线上；
1号夹具系统中的空心管远离法兰盘主体圆心的管口处设置有1号夹具，1号夹具系统中的传动杆的另一端与1号齿轮的轮心固定连接；
2号夹具系统中的空心管靠近法兰盘主体圆心的管口处设置有一个2号夹具，2号夹具系统中的传动杆的另一端与2号齿轮的轮心固定连接，2号夹具系统中的金属外壳在靠近法兰盘主体圆心一侧的下边缘处固定设置有一个竖直向下的薄铁片；
柱型基片的一端穿过1号夹具系统中的空心管并通过1号夹具夹持固定，柱型基片另一端伸入2号夹具系统中的空心管并通过2号夹具系统中的空心管的管口处的2号夹具夹持固定，柱型基片的中间段在1号夹具系统和2号夹具系统之间的间隔处露出，该露出部分即为柱形基片的露出段；
以柱型基片安装在1号夹具系统和2号夹具系统后，柱型基片的轴线在长方形薄板下表面上的投影为长方形薄板下表面中心线，掩膜机构的挡板架通过两个焊接在其两侧的短圆柱固定在长方形薄板下表面中心线的一侧且位于1号夹具系统和2号夹具系统之间，一个凸型挡板水平焊接在挡板架下表面，凸型挡板前部的凸出部分在水平方向上凸出于挡板架并延伸至长方形薄板下表面中心线的另一侧，凸型挡板突出部分的中心区域有一长方形掩膜，长方形掩膜的中心与柱型基片的轴线在同一竖直面上，在凸型挡板前部的凸出部分的上表面设置有一个垂直于凸型挡板凸出部分前端边缘中心的指示线；
掩膜机构的旋钮位于法兰盘上方，旋钮连接的连动杆穿过法兰盘主体到达法兰盘下方，一个扇形掩膜板的顶点通过螺母固定于连动杆的末端上，使扇形掩膜板垂直于连动杆的轴向并位于凸型挡板的下方，在扇形掩膜板上，以扇形掩膜板的圆心为圆心、以扇形掩膜板半径长度的4/5为半径的圆弧a上，根据实际蒸镀需求的不同依次间隔分布有多个大小和形状均不同的掩膜，每个掩膜的中心线均为圆弧a的切线，两个相同的限位螺丝固定在挡板架上，位于扇形掩膜板半径的两侧，用于限制扇形掩膜板在水平方向逆时针或顺时针转动过程中的极限位置；磁力转动手的输入端固定在法兰盘上表面，磁力转动手内部的磁力连杆的另一端穿过法兰盘主体到达法兰盘主体下方，一个水平方向设置的圆杆的一端固定在磁力连杆的末端，圆杆的另一端焊接一个圆形大挡板，使圆形大挡板垂直于磁力连杆的轴向，柱型基片露出段的一部分位于凸型挡板的上方。
进一步的技术方案包括：
所述的组合夹具机构的1号夹具包括固定在空心管管口处的水平设置的半圆柱，半圆柱上有竖直方向上贯通的螺纹孔，一个螺栓穿过两个中心处带有通孔的夹板与半圆柱上的螺纹孔螺纹连接。
所述的2号夹具是规格为ER16的弹性筒夹，2号夹具系统中的空心管远离法兰盘主体圆心的管口处设置有一个螺钉，螺钉的前端与弹性筒夹的末端接触，旋转螺钉带动弹性筒夹在水平方向上移动，从而使弹性筒夹的卡爪在竖直方向上松开或收紧以释放或夹持柱型基片。
掩膜机构的扇形掩膜板上间隔设置有四个掩膜，沿2号夹具系统到1号夹具系统的方向依次是有机物掩膜、阳极掩膜、1号阴极掩膜和2号阴极掩膜，阳极掩膜在阳极掩膜中心线方向上的长度为8mm，在垂直阳极掩膜中心线方向上的长度为6mm,有机物掩膜为6mm×6mm的正方形，1号阴极掩膜在1号阴极掩膜中心线方向上的长度为3mm，在垂直于1号阴极掩膜中心线方向上的长度为6mm，2号阴极掩膜在2号阴极掩膜中心线方向上的长度为9mm，在垂直于2号阴极掩膜中心线方向上的长度为6mm。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步的说明：
图1是本发明所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘的俯视图；
图2是本发明所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘的正视图；
图3是图1的向上翻转后的视图；
图4是本发明所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘的转动机构和内部齿轮系统之间转动关系示意图；
图5是本发明所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘的组合夹具机构的结构示意图；
图6是本发明所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘的掩膜系统的结构示意图；
图7是本发明所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘的掩膜系统的组合夹具机构中1号夹具的结构示意图；
图8是本发明所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘的掩膜系统的组合夹具机构中2号夹具的结构示意图；
图中，1.电源，2.电机，3.链轮，4.链条，5.磁力传动装置，6.放气阀，7.旋钮，8.磁力转动手，9.磁力传动装置输出端，10.小齿轮，11.底座，12.大齿轮，13.1号齿轮，14.2号齿轮，15.长方形薄板，16.金属外壳，17.指示线，18.1号夹具，19.螺钉，20.挡板架，21.凸型挡板，22.限位螺丝，23.连动杆，24.扇形掩膜板，25.磁力连杆，26.圆杆，27.圆形大挡板，28.U型固定架，29.空心管，30.竖直的锥形伞齿轮，31.水平的锥形伞齿轮，32.柱型基片，33.长方形掩膜，34.有机物掩膜，35.阳极掩膜，36.1号阴极掩膜，37.竖直向下的薄铁片，38.2号阴极掩膜。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作详细的描述：
如图1、图2和图3所示，用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘,包括一个圆柱型的法兰盘主体，法兰盘主体上有一个放气阀通孔，放气阀通孔内设置有一个放气阀6，还包括转动机构、组合夹具机构和掩膜机构，一个电源1与转动机构中的电机2连接，电机2通过一个Z型支架固定在法兰盘主体的上表面上；
转动机构的结构为：一个链轮3与电机2的输出轴连接，一个链条4缠绕在链轮3和一个磁力传动装置5的输入端上，磁力传动装置5固定安装在法兰盘主体的上表面上，磁力传动装置5的磁力传动装置输出端9穿过法兰盘主体到达法兰盘的下方，磁力传动装置输出端9的末端固定安装有一个小齿轮10，一个底座11焊接于法兰盘主体的下表面的中心位置，底座11下端安装有一个1号深沟球轴承，大齿轮12套装在1号深沟球轴承的外圈上，该大齿轮12与磁力传动装置输出端9末端的小齿轮10啮合，同时大齿轮12分别与相对于大齿轮12直径对称设置的1号齿轮13与2号齿轮14啮合，1号齿轮13与2号齿轮14结构和尺寸相同；
法兰盘下表面焊接有4个长度相同的长圆柱，4个长圆柱的另一端分别固定在一块长方形薄板15的4个角上，长方形薄板15中心位于大齿轮12圆心的正下方，长方形薄板15下表面两侧分别固定有与1号齿轮13同侧的1号夹具系统和与2号齿轮14同侧的2号夹具系统，1号夹具系统和2号夹具系统之间存在间隔，1号夹具系统和2号夹具系统组成组合夹具机构；
1号夹具系统和2号夹具系统结构相同且同向设置，1号夹具系统和2号夹具系统均包括一个金属外壳16和设置在金属外壳16内的齿轮系统，金属外壳16是一个由两个竖直向下的相同的金属板和一个水平方向的金属板固定连接构成的纵向截面为U型的壳体，金属外壳16的纵向开口向上设置，1号夹具系统的金属外壳16的中空部和2号夹具系统的金属外壳16的中空部在水平方向上贯通，每个金属外壳16均固定在长方形薄板15的下表面，如图4和图5所示，每个金属外壳16内的齿轮系统均包括一个U型固定架28，U型固定架28的纵向开口向下设置，金属外壳16的U型截面与金属外壳16内的U型固定架28的U型截面相互垂直，每个U型固定架28的两个竖直端的中心部位都安装着一个2号深沟球轴承，两个2号深沟球轴承的内圈与一个贯通整个U型固定架28水平方向的空心管29固定，一个竖直的锥形伞齿轮30通过键连接与空心管29周向定位，通过螺栓实现与空心管29的轴向定位，一个传动杆的一端穿过长方形薄板15和U型固定架28与一个水平的锥形伞齿轮31连接，竖直的锥形伞齿轮30与水平的锥形伞齿轮31啮合，1号夹具系统的空心管29的轴线与2号夹具系统的空心管29的轴线位于水平方向的同一条直线上；
1号夹具系统中的空心管29远离法兰盘主体圆心的管口处设置有1号夹具18，1号夹具系统中的传动杆的另一端与1号齿轮13的轮心固定连接；
2号夹具系统中的空心管29靠近法兰盘主体圆心的管口处设置由一个2号夹具，2号夹具系统中的传动杆的另一端与2号齿轮14的轮心固定连接，2号夹具系统中的金属外壳16在靠近法兰盘主体圆心一侧的下边缘处固定设置有一个竖直向下的薄铁片37；
柱型基片32的一端穿过1号夹具系统中的空心管29并通过1号夹具18夹持固定，柱型基片32另一端伸入2号夹具系统中的空心管29并通过2号夹具系统中的空心管29的管口处2号夹具夹持固定，柱型基片32的中间段在1号夹具系统和2号夹具系统之间的间隔处露出，该露出部分即为柱形基片32的露出段；
如图3所示，以柱型基片32安装在1号夹具系统和2号夹具系统后，柱型基片32的轴线在长方形薄板15下表面上的投影为长方形薄板15下表面中心线，掩膜机构的挡板架20通过两个焊接在其两侧的短圆柱固定在长方形薄板15下表面中心线的一侧，且位于1号夹具系统和2号夹具系统之间，一个凸型挡板21水平焊接在挡板架20下表面，凸型挡板21前部的凸出部分在水平方向上凸出于挡板架20并延伸至长方形薄板15下表面中心线的另一侧，凸型挡板21突出部分的中心区域有一长方形掩膜33，长方形掩膜33的中心与柱型基片32的轴线在同一竖直面上，在凸型挡板21前部的凸出部分的上表面设置有一个垂直于凸型挡板21凸出部分前端边缘中心的指示线17；
掩膜机构的旋钮7位于法兰盘上方，旋钮7连接的连动杆23穿过法兰盘主体到达法兰盘下方，一个扇形掩膜板24的顶点通过螺母固定于连动杆23的末端上，使扇形掩膜板24垂直于连动杆23的轴向并位于凸型挡板21的下方，在扇形掩膜板24上，以扇形掩膜板24的圆心为圆心、以扇形掩膜板24半径长度的4/5为半径的圆弧a上，根据实际蒸镀需求的不同依次间隔分布有多个大小和形状均不同的掩膜，每个掩膜的中心线均为圆弧a的切线，两个相同的限位螺丝22固定在挡板架20上，位于扇形掩膜板24半径的两侧，用于限制扇形掩膜板24在水平方向逆时针或顺时针转动过程中的极限位置；磁力转动手8的输入端固定在法兰盘上表面，磁力转动手8内部的磁力连杆25的另一端穿过法兰盘主体到达法兰盘主体下方，一个水平方向设置的圆杆26的一端固定在磁力连杆25的末端，圆杆26的另一端焊接一个圆形大挡板27，使圆形大挡板27垂直于磁力连杆25的轴向，柱型基片32露出段的一部分位于凸型挡板21的上方。
如图7所示，组合夹具机构的1号夹具18包括固定在空心管29管口处的水平设置的半圆柱，半圆柱上有竖直方向上贯通在其中的螺纹孔，一个螺栓穿过两个中心处带有通孔的夹板与半圆柱上的螺纹孔螺纹连接。
组合夹具机构的2号夹具是规格为ER16的弹性筒夹，2号夹具系统中的空心管29远离法兰盘主体圆心的管口处设置有一个螺钉19，螺钉19的前端与弹性筒夹的末端接触，旋转螺钉19带动弹性筒夹在水平方向上移动，从而使弹性筒夹的卡爪在竖直方向上松开或收紧以释放或夹持柱型基片32。
如图6所示，掩膜机构的扇形掩膜板24上间隔设置有四个掩膜，沿2号夹具系统到1号夹具系统的方向依次是有机物掩膜34、阳极掩膜35、1号阴极掩膜36和2号阴极掩膜38，，阳极掩膜35在阳极掩膜35中心线方向上的长度为8mm，在垂直阳极掩膜35中心线方向上的长度为6mm,有机物掩膜34为6mm×6mm的正方形，1号阴极掩膜36在1号阴极掩膜36中心线方向上的长度为3mm，在垂直于1号阴极掩膜36中心线方向上的长度为6mm，2号阴极掩膜38在2号阴极掩膜38中心线方向上的长度为9mm，在垂直于2号阴极掩膜38中心线方向上的长度为6mm，掩膜板24下方固定挡板21相距1mm,固定挡板21上的长方形掩膜33与柱型基片32同向的两个边长为16mm,垂直于柱型基片32的两个边长5mm，掩膜板的大小、掩模版上掩膜的个数、大小、形状和位置根据客户的不同要求，可以进行合理的修改。
本发明所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘的工作原理如下：
工作之前，将柱型基片32的一端穿过1号夹具系统中的空心管29，并置于1号夹具18的两个夹板之间，柱型基片32的另一端伸入到2号夹具系统中的空心管29，旋转2号夹具系统中空心管29远离法兰盘主体圆心的管口处的螺钉19，推动2号夹具，使2号夹具的卡爪收紧以夹紧柱型基片32的另一端，拉直柱型基片32，再旋转贯通1号夹具中两夹板的螺栓来夹持固定柱型基片32一端，法兰盘主体下方均匀放置多个蒸发源，蒸镀前，接通电源1，电机2的输出端带动链轮3的转动，链轮3通过链条4的传动，带动磁力传动装置5的转动，再通过磁力传动装置5的输出端带动小齿轮10转动，通过小齿轮10与大齿轮12之间和大齿轮12与1号齿轮13、2号齿轮14之间的啮合，1号齿轮13和2号齿轮14跟随小齿轮10转动，1号齿轮13和2号齿轮14通过传动杆分别带动对应的水平锥形伞齿轮31的转动，通过水平锥形伞齿轮31和竖直锥形伞齿轮30之间的啮合，带动竖直锥形伞齿轮30在竖直面的转动，通过空心管29与竖直伞齿轮30的固定作用，使得空心管29绕其水平中心轴转动，柱型基片32通过1号夹具18和2号夹具的夹持作用实现与空心管29的固定，柱型基片32随空心管29一同绕其水平中心轴旋转，蒸镀时，旋转法兰盘主体上方的磁力转动手8来带动法兰盘主体下方的圆形大挡板27，将其转离柱型基片32的露出段，并在蒸镀的过程中，根据需要来旋转掩膜机构的旋钮7来控制掩膜板24的位置从而控制当前所选择的掩膜。
Claims (4)
1.用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，包括一个圆盘状的法兰盘主体，法兰盘主体上有一个放气阀通孔，放气阀通孔内设置有一个放气阀(6)，其特征在于，还包括转动机构、组合夹具机构和掩膜机构，一个电源(1)与转动机构中的电机(2)连接，电机(2)通过一个Z型支架固定在法兰盘主体的上表面上；
转动机构的结构为：一个链轮(3)与电机(2)的输出轴连接，一个链条(4)缠绕在链轮(3)和一个磁力传动装置(5)的输入端上，磁力传动装置(5)固定安装在法兰盘主体的上表面上，磁力传动装置(5)的磁力传动装置输出端(9)穿过法兰盘主体到达法兰盘的下方，磁力传动装置输出端(9)的末端固定安装有一个小齿轮(10)，一个底座(11)固定于法兰盘主体的下表面的中心位置，底座(11)下端安装有一个1号深沟球轴承，大齿轮(12)套装在1号深沟球轴承的外圈上，该大齿轮(12)与磁力传动装置输出端(9)末端的小齿轮(10)啮合，同时大齿轮(12)分别与相对于大齿轮(12)直径对称设置的1号齿轮(13)与2号齿轮(14)啮合，1号齿轮(13)与2号齿轮(14)结构和尺寸相同；
法兰盘下表面固定有4个长度相同的长圆柱，4个长圆柱的另一端分别固定在一块长方形薄板(15)的4个角上，长方形薄板(15)中心位于大齿轮(12)圆心的正下方，长方形薄板(15)下表面两侧分别固定有与1号齿轮(13)同侧的1号夹具系统和与2号齿轮(14)同侧的2号夹具系统，1号夹具系统和2号夹具系统之间存在间隔，1号夹具系统和2号夹具系统组成组合夹具机构；
1号夹具系统和2号夹具系统结构相同且同向设置，1号夹具系统和2号夹具系统均包括一个金属外壳(16)和设置在金属外壳(16)内的齿轮系统，金属外壳(16)是一个由两个竖直向下的相同的金属板和一个水平方向的金属板固定连接构成的纵向截面为U型的壳体，金属外壳(16)的纵向开口向上设置，1号夹具系统的金属外壳(16)的中空部和2号夹具系统的金属外壳(16)的中空部在水平方向上贯通，每个金属外壳(16)均固定在长方形薄板(15)的下表面，每个金属外壳(16)内的齿轮系统均包括一个U型固定架(28)，U型固定架(28)的纵向开口向下设置，金属外壳(16)的U型截面与金属外壳(16)内的U型固定架(28)的U型截面相互垂直，每个U型固定架(28)的两个竖直端的中心部位都安装着一个2号深沟球轴承，两个2号深沟球轴承的内圈与一个贯通整个U型固定架(28)水平方向的空心管(29)固定，一个竖直的锥形伞齿轮(30)通过键连接与空心管(29)周向定位、通过螺栓实现与空心管(29)的轴向定位，一个传动杆的一端穿过长方形薄板(15)和U型固定架(28)与一个水平的锥形伞齿轮(31)连接，竖直的锥形伞齿轮(30)与水平的锥形伞齿轮(31)啮合，1号夹具系统的空心管(29)的轴线与2号夹具系统的空心管(29)的轴线位于水平方向的同一条直线上；
1号夹具系统中的空心管(29)远离法兰盘主体圆心的管口处设置有1号夹具(18)，1号夹具系统中的传动杆的另一端与1号齿轮(13)的轮心固定连接；
2号夹具系统中的空心管(29)靠近法兰盘主体圆心的管口处设置有一个2号夹具，2号夹具系统中的传动杆的另一端与2号齿轮(14)的轮心固定连接，2号夹具系统中的金属外壳(16)在靠近法兰盘主体圆心一侧的下边缘处固定设置有一个竖直向下的薄铁片(37)；
柱型基片(32)的一端穿过1号夹具系统中的空心管(29)并通过1号夹具(18)夹持固定，柱型基片(32)另一端伸入2号夹具系统中的空心管(29)并通过2号夹具系统中的空心管(29)的管口处的2号夹具夹持固定，柱型基片(32)的中间段在1号夹具系统和2号夹具系统之间的间隔处露出，该露出部分即为柱形基片(32)的露出段；
以柱型基片(32)安装在1号夹具系统和2号夹具系统后，柱型基片(32)的轴线在长方形薄板(15)下表面上的投影为长方形薄板(15)下表面中心线，掩膜机构的挡板架(20)通过两个焊接在其两侧的短圆柱固定在长方形薄板(15)下表面中心线的一侧且位于1号夹具系统和2号夹具系统之间，一个凸型挡板(21)水平焊接在挡板架(20)下表面，凸型挡板(21)前部的凸出部分在水平方向上凸出于挡板架(20)并延伸至长方形薄板(15)下表面中心线的另一侧，凸型挡板(21)突出部分的中心区域有一长方形掩膜(33)，长方形掩膜(33)的中心与柱型基片(32)的轴线在同一竖直面上，在凸型挡板(21)前部的凸出部分的上表面设置有一个垂直于凸型挡板(21)凸出部分前端边缘中心的指示线(17)；
掩膜机构的旋钮(7)位于法兰盘上方，旋钮(7)连接的连动杆(23)穿过法兰盘主体到达法兰盘下方，一个扇形掩膜板(24)的顶点通过螺母固定于连动杆(23)的末端上，使扇形掩膜板(24)垂直于连动杆(23)的轴向并位于凸型挡板(21)的下方，在扇形掩膜板(24)上，以扇形掩膜板(24)的圆心为圆心、以扇形掩膜板(24)半径长度的4/5为半径的圆弧a上，根据实际蒸镀需求的不同依次间隔分布有多个大小和形状均不同的掩膜，每个掩膜的中心线均为圆弧a的切线，两个相同的限位螺丝(22)固定在挡板架(20)上，位于扇形掩膜板(24)半径的两侧，用于限制扇形掩膜板(24)在水平方向逆时针或顺时针转动过程中的极限位置；磁力转动手(8)的输入端固定在法兰盘上表面，磁力转动手(8)内部的磁力连杆(25)的另一端穿过法兰盘主体到达法兰盘主体下方，一个水平方向设置的圆杆(26)的一端固定在磁力连杆(25)的末端，圆杆(26)的另一端焊接一个圆形大挡板(27)，使圆形大挡板(27)垂直于磁力连杆(25)的轴向，柱型基片(32)露出段的一部分位于凸型挡板(21)的上方。
2.根据权利要求1所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，其特征在于，所述的组合夹具机构的1号夹具(18)包括固定在空心管(29)管口处的水平设置的半圆柱，半圆柱上有竖直方向上贯通的螺纹孔，一个螺栓穿过两个中心处带有通孔的夹板与半圆柱上的螺纹孔螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，其特征在于，所述的2号夹具是规格为ER16的弹性筒夹，2号夹具系统中的空心管(29)远离法兰盘主体圆心的管口处设置有一个螺钉(19)，螺钉(19)的前端与弹性筒夹的末端接触，旋转螺钉(19)带动弹性筒夹在水平方向上移动，从而使弹性筒夹的卡爪在竖直方向上松开或收紧以释放或夹持柱型基片(32)。
4.根据权利要求1所述的用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，其特征在于掩膜机构的扇形掩膜板(24)上间隔设置有四个掩膜，沿2号夹具系统到1号夹具系统的方向依次是有机物掩膜(34)、阳极掩膜(35)、1号阴极掩膜(36)和2号阴极掩膜(38)，阳极掩膜(35)在阳极掩膜(35)中心线方向上的长度为8mm，在垂直阳极掩膜(35)中心线方向上的长度为6mm,有机物掩膜(34)为6mm×6mm的正方形，1号阴极掩膜(36)在1号阴极掩膜(36)中心线方向上的长度为3mm，在垂直于1号阴极掩膜(36)中心线方向上的长度为6mm，2号阴极掩膜(38)在2号阴极掩膜(38)中心线方向上的长度为9mm，在垂直于2号阴极掩膜(38)中心线方向上的长度为6mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810250307.5A CN108359934B (zh) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | 用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810250307.5A CN108359934B (zh) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | 用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108359934A CN108359934A (zh) | 2018-08-03 |
| CN108359934B true CN108359934B (zh) | 2020-01-07 |
Family
ID=63000838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810250307.5A Expired - Fee Related CN108359934B (zh) | 2018-03-26 | 2018-03-26 | 用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108359934B (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109837509B (zh) * | 2019-04-04 | 2024-03-01 | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 | 一种基片样品架、镀膜设备及控制方法 |
| CN112030128A (zh) * | 2020-08-21 | 2020-12-04 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具 |
| CN114248424A (zh) * | 2020-09-25 | 2022-03-29 | 佛山市盟思拉伸机械有限公司 | 薄膜纵向热矫形装置及方法 |
| CN113072307B (zh) * | 2021-04-07 | 2022-12-23 | 国网浙江省电力有限公司台州供电公司 | 一种玻璃幕墙镀膜加工用夹持装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU467641A1 (ru) * | 1969-07-25 | 1979-02-28 | Предприятие П/Я Г-4671 | Вакуумна установка дл нанесени покрытий |
| GB1428702A (en) * | 1972-04-17 | 1976-03-17 | Xerox Corp | System for vapour deposition of thin films |
| JPS57104662A (en) * | 1980-12-18 | 1982-06-29 | Canon Inc | Vapor deposition method |
| CN2915882Y (zh) * | 2006-05-30 | 2007-06-27 | 南昌大学 | 真空镀膜用旋转掩膜装置 |
| CN101565278A (zh) * | 2009-05-08 | 2009-10-28 | 浙江大学 | 筒体式石英晶体的双面溅射被银装置 |
| CN101984135B (zh) * | 2010-11-19 | 2013-07-10 | 光驰科技(上海)有限公司 | 成膜基板夹具及其成膜装置 |
| CN203007385U (zh) * | 2012-12-03 | 2013-06-19 | 上海米开罗那机电技术有限公司 | 一种对大批量圆柱体侧表面均匀真空镀膜的装置 |
| CN106399963A (zh) * | 2015-07-27 | 2017-02-15 | 天津悦润塑料制品有限公司 | 一种真空镀膜机的改良工件 |
| CN205363430U (zh) * | 2016-01-14 | 2016-07-06 | 辽宁科技大学 | 一种适用于合金管光整加工的电化学磁力研磨机 |
| CN206751914U (zh) * | 2017-02-23 | 2017-12-15 | 北京创世威纳科技有限公司 | 一种用于棒状工件磁控溅射镀膜的装置 |
| CN107794499B (zh) * | 2017-09-15 | 2019-10-18 | 北方电子研究院安徽有限公司 | 一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置 |
| CN107540210A (zh) * | 2017-10-18 | 2018-01-05 | 南京卓茨机电科技有限公司 | 一种基于pcvd工艺的沉积均匀的光纤预制棒生产设备 |
-
2018
- 2018-03-26 CN CN201810250307.5A patent/CN108359934B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108359934A (zh) | 2018-08-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108359934B (zh) | 用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘 | |
| CN206502858U (zh) | 一种圆形平面靶磁控溅射基片运动装置 | |
| RU2460829C2 (ru) | Установка для удаления покрытия и способ ее эксплуатации | |
| CN214458296U (zh) | 一种真空镀膜机用自公转伞架 | |
| CN112588529B (zh) | 一种制备均匀薄膜的复合涂布装置及方法 | |
| CN204369971U (zh) | 一种镀膜装置以及该装置中的旋转装置 | |
| CN209816265U (zh) | 一种靶材位置可调整的溅射靶材基座 | |
| CN101638774A (zh) | 一种磁控溅射装置的可旋转样品位 | |
| CN206359607U (zh) | 多功能磁控溅射镀膜设备 | |
| CN112626479A (zh) | 一种提高多弧离子镀设备涂层均匀性的双重自转设备 | |
| CN217869068U (zh) | 一种晶振探头结构 | |
| JP2010209443A (ja) | 蒸着装置と蒸着方法 | |
| CN208378979U (zh) | 一种蒸发源位置的可调节结构 | |
| CN110724924A (zh) | 钢球等离子镀膜夹具 | |
| CN209957889U (zh) | 一种真空镀膜机基材旋转夹具 | |
| US20220282364A1 (en) | Fixture to be used in pvd processes for cylindrical, elongated substrates | |
| US4478701A (en) | Target support adjusting fixture | |
| CN211227319U (zh) | 钢球等离子镀膜夹具 | |
| CN110273128B (zh) | 一种用于制备离子镀涂层的夹具 | |
| CN210560724U (zh) | 一种用于生产光学镜片的透镜镀膜的镀膜机 | |
| CN113943931B (zh) | 一种真空镀膜机的旋转载片装置 | |
| CN108517495A (zh) | 一种蒸发源位置的可调节结构及利用其进行镀膜的方法 | |
| CN112626478A (zh) | 电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法 | |
| CN207629416U (zh) | 一种激光切割装置 | |
| CN220643248U (zh) | 一种柱状球类工件真空镀膜用夹具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200107 |