CN108336227A - 显示屏的衬底结构及其制备方法、显示屏、柔性显示装置及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种显示屏的衬底结构,其包括:刚性衬底;所述刚性衬底具有屏体区、围绕在所述屏体区外的切割区;阻挡圈,用于阻挡激光剥离所产生的纳米颗粒溢出;所述阻挡圈形成在所述切割区上;柔性衬底,覆盖所述刚性衬底以及所述阻挡圈。上述显示屏的衬底结构,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使设备的PM周期延长。本发明还提供了一种显示屏的衬底结构的制备方法、带刚性衬底的显示屏、柔性显示装置及其制备方法。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种显示屏的衬底结构及其制备方法、显示屏、柔性显示装置及其制备方法。
背景技术
有机发光显示以其柔性特性成为研发的焦点。
目前,柔性显示屏一般采用LLO(laser lift-off,激光剥离)工艺,将刚性衬底与柔性衬底分离,从而得到柔性显示屏。
但是,目前LLO过程中,激光能量将柔性衬底表面瞬间烧成纳米颗粒,纳米颗粒从屏体的侧面扩散出来,污染剥离腔室,影响剥离和激光晶化效果。故设备PM(PreventiveMaintenance,定期检修)周期需小于1周,严重影响设备使用效果及效率。
发明内容
基于此,提供一种新的显示屏的衬底结构。
一种显示屏的衬底结构,包括:
刚性衬底;所述刚性衬底具有屏体区、围绕在所述屏体区外的切割区;
阻挡圈,用于阻挡激光剥离所产生的纳米颗粒溢出;所述阻挡圈形成在所述切割区上;
柔性衬底,覆盖所述刚性衬底以及所述阻挡圈。
上述显示屏的衬底结构,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使剥离腔室的PM周期延长。
在其中一个实施例中,所述阻挡圈的宽度为40μm~250μm。
在其中一个实施例中,所述阻挡圈的厚度为0.5μm~10μm。
在其中一个实施例中,所述阻挡圈由SOG形成。
在其中一个实施例中,所述柔性衬底的厚度与所述阻挡圈的厚度的比值为6:10~20:0.5。
本发明还提供了一种显示屏的衬底结构的制备方法。
一种带刚性衬底的显示屏的制备方法,包括如下步骤:
提供刚性衬底;所述刚性衬底具有屏体区、围绕在所述屏体区外的切割区;
在所述刚性衬底的切割区上形成阻挡圈;
在形成有阻挡圈的刚性衬底上形成柔性衬底,以使所述阻挡圈被所述柔性衬底覆盖。
上述显示屏的衬底结构的制备方法,得到的显示屏的衬底结构,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使剥离腔室的PM周期延长。
在其中一个实施例中,所述阻挡圈通过喷墨打印形成。
本发明还提供了一种带刚性衬底的显示屏。
一种带刚性衬底的显示屏,包括本发明所提供的显示屏的衬底结构、形成于屏体区的柔性衬底上的OLED器件、以及形成于OLED器件上的封装结构。
上述带刚性衬底的显示屏,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使设备的PM周期延长。
本发明还提供了一种柔性显示装置的制备方法。
一种柔性显示装置的制备方法,包括如下步骤:
提供本发明所提供的带刚性衬底的显示屏;
对所述带刚性衬底的显示屏的屏体区进行激光剥离照射,使屏体区处的柔性衬底与刚性衬底之间分离;
对激光剥离后的带刚性衬底的显示屏,沿所述阻挡圈进行切割,以得到柔性显示装置。
上述柔性显示装置的制备方法,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使剥离腔室的PM周期延长。
在其中一个实施例中,所述切割为绿光激光切割。
本发明还提供了一种柔性显示装置。
一种柔性显示装置,所述柔性显示装置通过本发明所提供的柔性显示装置的制备方法获得。
上述柔性显示装置,由于通过本发明所提供的柔性显示装置的制备方法获得,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使剥离腔室的PM周期延长。
附图说明
图1为本发明一实施方式的带刚性衬底的显示屏的剖面结构示意图。
图2为本发明一实施方式形成阻挡圈后的剖面结构示意图。
图3为本发明一实施方式形成阻挡圈后的俯视结构示意图。
图4为本发明一实施方式形成柔性衬底后的结构示意图。
图5为本发明一实施方式激光剥离过程的结构示意图。
图6为本发明一实施方式切割过程的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合具体实施方式,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
结合图2-6参见图1,本发明一实施方式的带刚性衬底的显示屏100,包括刚性衬底110、阻挡圈120、柔性衬底130、OLED器件140、以及封装结构150。
其中,刚性衬底110的主要作用是,承载其上各层,为其它各层提供支撑。具体地,刚性衬底110优选为玻璃基板。
当然,可以理解的是,刚性衬底110还可以是其它具有刚性且透明的衬底。
将刚性衬底110的表面依据后续其上形成的部件不同,被划分成若干屏体区101以及切割区102;切割区102位于屏体区101的外围。切割区102用于切割,而每个屏体区101则在切割之后形成一个单独的柔性显示装置。
其中,阻挡圈120形成于刚性衬底110的切割区102上。阻挡圈120的主要作用是,在屏体区101进行激光剥离过程中,由于阻挡圈的材质不碳化、不产生纳米颗粒,并且将屏体区101的柔性衬底130碳化所产生的纳米颗粒圈在屏体区101内,从而防止纳米颗粒从屏体的侧面扩散出来。
具体地,阻挡圈120的纵截面呈方形,这样可以更加有利于阻挡纳米颗粒。当然,可以理解的是,阻挡圈120并不局限于此,还可以是其它形状,例如三角形、梯形。
优选地,阻挡圈120的宽度为40μm~250μm。可理解的是,阻挡圈120的宽度是自阻挡圈120的外侧到内侧的距离。这样阻挡圈120的宽度与激光剥离时激光的焦点相匹配,有助于提高效率。
优选地,阻挡圈120的厚度为0.5μm~10μm。这样阻挡圈120与纳米颗粒的尺寸相匹配,可以有效阻止纳米颗粒的溢出。
优选地,阻挡圈由SOG形成。SOG(英文spin on glass)是一种含有介电材料的溶液;在经过热处理之后,SOG可固化形成后近似二氧化硅(SiO2)的介电材料。
其中,柔性衬底130的主要作用是,作为OLED器件140的形成衬底。柔性衬底130覆盖于刚性衬底110以及阻挡圈120上。也就是说,柔性衬底130是整面覆盖在刚性衬底110上,无论是屏体区101还是切割区均存在柔性衬底130。
优选地,柔性衬底130的材质选自PI。当然,可以理解的是,本发明的柔性衬底130并不局限于PI,还可以是其它柔性衬底材料。
优选地,柔性衬底130的厚度与阻挡圈120的厚度的比值为6:10~20:0.5。
其中,OLED器件140形成于柔性衬底130的屏体区101上。OLED器件140是柔性显示装置的核心部件。
OLED器件140的具体结构,本领域技术人员可以根据实际情况选择合适的OLED器件结构,在此不再赘述。
其中,封装结构150覆盖在OLED器件140上,其主要作用是,用于封装OLED器件,从而阻隔水氧进入OLED器件140中。
优选地,封装结构150为薄膜封装结构。
当然,可以理解的是,本发明的封装结构并不局限于此,还可以其它封装结构。
上述带刚性衬底的显示屏,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使剥离腔室的PM周期延长。
本发明还提供了一种带刚性衬底的显示屏的制备方法。
结合图1参见图2~4,一种带刚性衬底的显示屏的制备方法,包括如下步骤:
S1、提供刚性衬底110;刚性衬底110具有屏体区101、围绕在屏体区101外的切割区102;
S2、在刚性衬底110的切割区102上形成阻挡圈120(具体参见2~3);
S3、在形成有阻挡圈120的刚性衬底110上形成柔性衬底130,以使阻挡圈120被柔性衬底130覆盖(具体参见4);
S4、在柔性衬底130上形成OLED器件140以及封装结构150,得到带刚性衬底的显示屏(具体参见图1)。
在步骤S2中,阻挡圈120优选通过喷墨打印形成。这样可以使工艺更加简单。
步骤S3、步骤S4、以及步骤S5均可以采用本领域技术人员认为合适的具体步骤,在此不再赘述。
上述带刚性衬底的显示屏的制备方法,得到的带刚性衬底的显示屏,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使剥离腔室的PM周期延长。
本发明还提供了一种柔性显示装置的制备方法。
参见图5~图6,一种柔性显示装置的制备方法,包括如下步骤:
SI、提供本发明所提供的带刚性衬底的显示屏;
SII、对带刚性衬底的显示屏的屏体区进行激光剥离照射(参见图5),使屏体区处的柔性衬底与刚性衬底之间分离;
SIII、对激光剥离后的带刚性衬底的显示屏,沿阻挡圈进行切割(参见图6),以得到柔性显示装置。
在步骤SII中,所述激光剥离照射所采用的激光波长优选为308nm。
在步骤SIII中,切割为绿光激光切割。经过绿光激光照射,柔性衬底会发生蜷曲,与阻挡圈分离。切割时,此时剥离时产生纳米颗粒会逸出,但是由于不在剥离腔室时,亦不会影响剥离腔室。
上述柔性显示装置的制备方法,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使剥离腔室的PM周期延长。
本发明还提供了一种柔性显示装置。
一种柔性显示装置,柔性显示装置通过本发明所提供的柔性显示装置的制备方法获得。
具体地,柔性显示装置可以是手机、平板电脑、AR显示、智能手表、以及其它可穿戴设备等。
上述柔性显示装置,由于通过本发明所提供的柔性显示装置的制备方法获得,在激光剥离时,由于阻挡圈的存在,屏体区的柔性衬底所产生的纳米颗粒被圈在阻挡圈内,无法从屏体的侧面扩散出来;从而避免了纳米颗粒污染剥离腔室,从而使设备的PM周期延长。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (11)
1.一种显示屏的衬底结构,其特征在于,包括:
刚性衬底;所述刚性衬底具有屏体区、围绕在所述屏体区外的切割区;
阻挡圈,用于阻挡激光剥离所产生的纳米颗粒溢出;所述阻挡圈形成在所述切割区上;
柔性衬底,覆盖所述刚性衬底以及所述阻挡圈。
2.根据权利要求1所述的显示屏的衬底结构,其特征在于,所述阻挡圈的宽度为40μm~250μm。
3.根据权利要求1所述的显示屏的衬底结构,其特征在于,所述阻挡圈的厚度为0.5μm~10μm。
4.根据权利要求1所述的显示屏的衬底结构,其特征在于,所述阻挡圈由SOG形成。
5.根据权利要求1所述的显示屏的衬底结构,其特征在于,所述柔性衬底的厚度与所述阻挡圈的厚度的比值为6:10~20:0.5。
6.一种显示屏的衬底结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供刚性衬底;所述刚性衬底具有屏体区、围绕在所述屏体区外的切割区;
在所述刚性衬底的切割区上形成阻挡圈;
在形成有阻挡圈的刚性衬底上形成柔性衬底,以使所述阻挡圈被所述柔性衬底覆盖。
7.根据权利要求6所述的带刚性衬底的显示屏的制备方法,其特征在于,所述阻挡圈通过喷墨打印形成。
8.一种带刚性衬底的显示屏,其特征在于,包括权利要求1~7任一项所述的显示屏的衬底结构、形成于屏体区的柔性衬底上的OLED器件、以及形成于OLED器件上的封装结构。
9.一种柔性显示装置的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供权利要求8所述的带刚性衬底的显示屏;
对所述带刚性衬底的显示屏的屏体区进行激光剥离照射,使屏体区处的柔性衬底与刚性衬底之间分离;
对激光剥离后的带刚性衬底的显示屏,沿所述阻挡圈进行切割,以得到柔性显示装置。
10.根据权利要求9所述的柔性显示装置的制备方法,其特征在于,所述切割为绿光激光切割。
11.一种柔性显示装置,其特征在于,所述柔性显示装置通过权利要求9~10任一项所述的柔性显示装置的制备方法获得。
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---|---|
CN (1) | CN108336227B (zh) |
Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2903228A1 (fr) * | 2006-07-03 | 2008-01-04 | Commissariat Energie Atomique | Procede ameliore de realisation d'un dispositif d'affichage sur un support souple |
CN101236919A (zh) * | 2007-01-31 | 2008-08-06 | 精工爱普生株式会社 | 半导体装置的制造方法 |
CN103531715A (zh) * | 2013-03-26 | 2014-01-22 | Tcl集团股份有限公司 | 柔性光电器件衬底、柔性光电器件及制备方法 |
CN103545463A (zh) * | 2013-09-27 | 2014-01-29 | Tcl集团股份有限公司 | 一种柔性显示器件及其制作方法 |
CN103996698A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-08-20 | 友达光电股份有限公司 | 一种软性面板的制作方法 |
CN104091535A (zh) * | 2014-06-30 | 2014-10-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示面板母板及柔性显示面板的制作方法 |
US20140323006A1 (en) * | 2013-04-30 | 2014-10-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing flexible display device |
CN104362263A (zh) * | 2014-10-31 | 2015-02-18 | 华南理工大学 | 用于柔性显示器件制备的柔性薄膜衬底与基板分离工艺 |
US20150069358A1 (en) * | 2013-09-06 | 2015-03-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-Emitting Device and Method for Manufacturing Light-Emitting Device |
CN104821294A (zh) * | 2015-04-23 | 2015-08-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示装置及其制作方法 |
CN104835873A (zh) * | 2014-08-28 | 2015-08-12 | 安阳高新区生产力促进中心 | 一种太阳能光伏电池清边绝缘方法 |
CN105493287A (zh) * | 2015-09-18 | 2016-04-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示装置的制备方法 |
CN105632347A (zh) * | 2016-04-01 | 2016-06-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性面板及其制作方法、显示装置 |
CN106328683A (zh) * | 2016-10-11 | 2017-01-11 | 武汉华星光电技术有限公司 | 柔性oled显示器及其制作方法 |
CN106328575A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-11 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种柔性显示面板的剥离方法和装置 |
CN106653812A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-05-10 | 武汉华星光电技术有限公司 | 柔性显示面板的制作方法 |
CN106711355A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-05-24 | 武汉华星光电技术有限公司 | 柔性oled显示面板的制作方法 |
US20170210115A1 (en) * | 2016-01-26 | 2017-07-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for forming separation starting point and separation method |
CN107146856A (zh) * | 2017-05-11 | 2017-09-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性显示母板及其制备方法、切割方法 |
CN107170792A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-09-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性oled显示基板及其制备方法和显示装置 |
KR20170112416A (ko) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 및 제조방법 |
CN107316883A (zh) * | 2017-06-14 | 2017-11-03 | 昆山国显光电有限公司 | 一种显示面板的制作方法 |
-
2018
- 2018-01-19 CN CN201810052912.1A patent/CN108336227B/zh active Active
Patent Citations (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2903228A1 (fr) * | 2006-07-03 | 2008-01-04 | Commissariat Energie Atomique | Procede ameliore de realisation d'un dispositif d'affichage sur un support souple |
CN101236919A (zh) * | 2007-01-31 | 2008-08-06 | 精工爱普生株式会社 | 半导体装置的制造方法 |
CN103531715A (zh) * | 2013-03-26 | 2014-01-22 | Tcl集团股份有限公司 | 柔性光电器件衬底、柔性光电器件及制备方法 |
US20140323006A1 (en) * | 2013-04-30 | 2014-10-30 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing flexible display device |
US20150069358A1 (en) * | 2013-09-06 | 2015-03-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-Emitting Device and Method for Manufacturing Light-Emitting Device |
CN103545463A (zh) * | 2013-09-27 | 2014-01-29 | Tcl集团股份有限公司 | 一种柔性显示器件及其制作方法 |
CN103996698A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-08-20 | 友达光电股份有限公司 | 一种软性面板的制作方法 |
CN104091535A (zh) * | 2014-06-30 | 2014-10-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示面板母板及柔性显示面板的制作方法 |
CN104835873A (zh) * | 2014-08-28 | 2015-08-12 | 安阳高新区生产力促进中心 | 一种太阳能光伏电池清边绝缘方法 |
CN104362263A (zh) * | 2014-10-31 | 2015-02-18 | 华南理工大学 | 用于柔性显示器件制备的柔性薄膜衬底与基板分离工艺 |
CN104821294A (zh) * | 2015-04-23 | 2015-08-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示装置及其制作方法 |
CN105493287A (zh) * | 2015-09-18 | 2016-04-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示装置的制备方法 |
US20170210115A1 (en) * | 2016-01-26 | 2017-07-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for forming separation starting point and separation method |
KR20170112416A (ko) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광 표시장치 및 제조방법 |
CN105632347A (zh) * | 2016-04-01 | 2016-06-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性面板及其制作方法、显示装置 |
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