CN108321171A - 一种用于显示面板中的薄膜晶体管及显示面板 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于显示面板中的薄膜晶体管及显示面板，薄膜晶体管包括：位于显示面板中的玻璃基板上方的栅极以及栅极绝缘层，且栅极绝缘层覆盖栅极；栅极绝缘层上方设有有源层，且有源层位于栅极上方，有源层上还设有源极和漏极；其中，在远离玻璃基板的方向上，栅极依次包含金属氧化物层以及金属层。本发明可以在不增加显示面板成本的前提下改善反射光的影响，降低反射率，提升显示品质。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种用于显示面板中的薄膜晶体管及显示面板。
背景技术
AM(有源)显示器件的结构示意图如图1所示，其包含的薄膜晶体管的结构示意图如图2所示。图1和图2中的标号1’、2’、3’、4’、5’、6’分别为玻璃基板、绝缘层、a-Si层(非晶硅层)、数据线、栅极线、像素电极。
AM显示器件包含包括AM-OLED(OLED，即有机发光二极管)和AM-LCD(LCD，即液晶显示器)面板。
AM显示器件中薄膜晶体管的金属电极一般采用Cu，Al，Ag，Au，Mo，Cr等金属或Mo与Cu，Mo与Al，Mo与Al以及Mo等复合金属结构。但不论是采用前面的单一金属结构还是几种金属的复合结构，其金属部分的反射率都很高。如图3所示，一般在金属电极的反射率在可见光400-700nm的平均反射率大于40％。
在具有外界光源照明的情况下，由于薄膜晶体管的金属电极具有较强烈的反射光，影响了AM显示器件的显示效果，尤其在人的视线与AM显示器件的夹角较小的情况下，反射光更为强烈，画面影响更大。为了改善AM-OLED面板的金属反光，业界内现有的做法是在AM-OLED面板上贴附一张1/4λ波长的偏光片来减少金属反光，但是这样就会增加AM-OLED面板的成本。同样的，AM-LCD面板也因为存在金属电极反光问题，现行的做法也是采用在AM-LCD的面板的上偏光片上增加低反射膜层和防眩光结构来改善反射光的影响，进而提升显示品质，这样会增加AM-LCD面板结构的复杂程度，也会增加AM-LCD面板的成本。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种用于显示面板中的薄膜晶体管及显示面板，可以在不增加显示面板成本的前提下改善反射光的影响，降低反射率，提升显示品质。
本发明提供的一种用于显示面板中的薄膜晶体管，包括：位于显示面板中的玻璃基板上方的栅极以及栅极绝缘层，且所述栅极绝缘层覆盖所述栅极；
所述栅极绝缘层上方设有有源层，且所述有源层位于所述栅极上方，所述有源层上还设有源极和漏极；
其中，在远离所述玻璃基板的方向上，所述栅极依次包含金属氧化物层以及金属层。
优选地，所述金属层包含第一金属层以及第二金属层，所述第一金属层位于所述第二金属层与所述金属氧化物层之间。
优选地，所述第一金属层的材料为铬、钛、钼中的一种或者铬、钛、钼中的一种金属的复合金属材料；
所述第二金属层的材料为铜或铝；
所述金属氧化物层为MoOx。
优选地，所述第一金属层的厚度范围为15～70nm，所述第二金属层的厚度范围为150～500nm，所述金属氧化物层的厚度范围为40～70nm。
优选地，所述栅极、所述源极以及所述漏极均位于所述显示面板的非显示区。
优选地，在远离所述玻璃基板的方向上，所述源极和所述漏极均依次包含金属氧化物层以及金属层。
本发明还提供一种显示面板，包括玻璃基板以及上述的薄膜晶体管。
优选地，还包括位于所述薄膜晶体管上方的钝化层，所述钝化层覆盖所述薄膜晶体管的源极和漏极，所述钝化层上还设有过孔和像素电极，且所述像素电极通过所述过孔与所述源极或者所述漏极连接。
优选地，所述像素电极的材料为ITO材料。
实施本发明，具有如下有益效果：本发明中薄膜晶体管的的栅极包含金属层和金属氧化物层，金属氧化物层位于金属层和玻璃基板之间，当外界光源的光线照射到栅极上时，光线在金属层和玻璃基板之间震荡时，会被金属氧化物层吸收大部分，因此栅极反射的光线会减少，可以降低栅极的反射率，提升显示面板的显示品质和产品竞争力。并且，本发明中薄膜晶体管的电极不需要使用低反射膜层和防眩光结构或者1/4λ波长的偏光片，因此，不会增加显示面板的成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明提供的AM显示器件的结构示意图。
图2是本发明提供的AM显示器件中薄膜晶体管的结构示意图。
图3是本发明提供的传统电极的反射率与外界光源光线波长的关系图。
图4是本发明提供的显示面板的钝化层上设有过孔的结构示意图。
图5是本发明提供的第一实施例中栅极的结构示意图。
图6是本发明提供的第二实施例中栅极的结构示意图。
图7是本发明提供的显示面板的结构示意图。
图8是本发明提供的第三实施例中栅极的反射率与外界光源光线波长的关系图。
具体实施方式
本发明提供一种用于显示面板中的薄膜晶体管，如图4所示，薄膜晶体管10包括：位于显示面板中的玻璃基板1上方的栅极4以及栅极绝缘层2，且栅极绝缘层2覆盖栅极4。
栅极绝缘层2上方设有有源层5，且有源层5位于栅极4上方，有源层5上还设有源极6和漏极7。
其中，在远离玻璃基板1的方向上，如图5所示，栅极4依次包含金属氧化物层52以及金属层51。
在第一实施例中，上述的金属层51为铜或铝。
在第二实施例中，如图6所示，金属层51包含第一金属层512以及第二金属层511，第一金属层512位于第二金属层511与金属氧化物层52之间。
第一金属层512的材料为铬、钛、钼中的一种或者铬、钛、钼中的一种金属的复合金属材料；第二金属层511的材料为铜或铝。
进一步地，金属氧化物层52为MoOx，x＞0。
进一步地，第一金属层512的厚度范围为15～70nm，第二金属层511的厚度范围为150～500nm，金属氧化物层52的厚度范围为40～70nm。在第一实施例中，当金属层51的材料为铜时，金属氧化物层52的厚度范围为45～55nm，当金属层51的材料为铝时，金属氧化物层52的厚度范围为55～65nm。
在第二实施例中，当第二金属层511的材料为铜时，金属氧化物层52的厚度范围为45～55nm，当第二金属层511的材料为铝时，金属氧化物层52的厚度范围为55～65nm。
进一步地，栅极4、源极6以及漏极7均位于显示面板的非显示区，且在远离玻璃基板1的方向上，源极6和漏极7均依次包含金属氧化物层52以及金属层51。
在第三实施例中，薄膜晶体管10的电极(例如栅极4、源极6或者漏极7)的金属层51为铜，金属氧化物层52为MoOx，金属层51的厚度为300nm，金属氧化物层52的厚度为45nm；如图7所示，薄膜晶体管10的电极的反射率小于10％，相对于传统电极而言，反射率明显降低。
本发明还提供一种显示面板，如图8所示，该显示面板包括玻璃基板1以及上述的薄膜晶体管10。
进一步地，显示面板还包括位于薄膜晶体管10上方的钝化层3，钝化层3覆盖薄膜晶体管10的源极6和漏极7，钝化层3上还设有过孔31和像素电极8，且像素电极8通过过孔31与源极6连接。当然，在其他实施例中，像素电极8还可以通过钝化层3上的过孔与漏极7连接。
进一步地，像素电极8的材料为ITO(铟锡氧化物)材料。
综上所述，本发明中薄膜晶体管10的的栅极4包含金属层51和金属氧化物层52，金属氧化物层52位于金属层51和玻璃基板1之间，当外界光源的光线照射到栅极4上时，光线在金属层51和玻璃基板1之间震荡时，会被金属氧化物层52吸收大部分，因此栅极4反射的光线会减少，可以降低栅极4的反射率，提升显示面板的显示品质和产品竞争力。并且，本发明中薄膜晶体管10的电极不需要使用低反射膜层和防眩光结构或者1/4λ波长的偏光片，因此，不会增加显示面板的成本。
当薄膜晶体管10的源极6和漏极7也像栅极4一样，包含金属层51和金属氧化物层52，可以更进一步地降低显示面板上电极的反射率，进一步提升显示面板的显示品质。
本发明通过优化薄膜晶体管10中电极的结构，实现了反射率的大幅度降低，在可见光波段可以将平均反射率降低至3％以下，在亮度贡献度最高的绿光区，反射率可以降低至1％以下。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种用于显示面板中的薄膜晶体管，其特征在于，包括：位于显示面板中的玻璃基板上方的栅极以及栅极绝缘层，且所述栅极绝缘层覆盖所述栅极；
所述栅极绝缘层上方设有有源层，且所述有源层位于所述栅极上方，所述有源层上还设有源极和漏极；
其中，在远离所述玻璃基板的方向上，所述栅极依次包含金属氧化物层以及金属层。
2.根据权利要求1所述的用于显示面板中的薄膜晶体管，其特征在于，所述金属层包含第一金属层以及第二金属层，所述第一金属层位于所述第二金属层与所述金属氧化物层之间。
3.根据权利要求2所述的用于显示面板中的薄膜晶体管，其特征在于，所述第一金属层的材料为铬、钛、钼中的一种或者铬、钛、钼中的一种金属的复合金属材料；
所述第二金属层的材料为铜或铝；
所述金属氧化物层为MoOx。
4.根据权利要求2所述的用于显示面板中的薄膜晶体管，其特征在于，所述第一金属层的厚度范围为15~70nm，所述第二金属层的厚度范围为150~500nm，所述金属氧化物层的厚度范围为40~70nm。
5.根据权利要求1所述的用于显示面板中的薄膜晶体管，其特征在于，所述栅极、所述源极以及所述漏极均位于所述显示面板的非显示区。
6.根据权利要求1所述的用于显示面板中的薄膜晶体管，其特征在于，
在远离所述玻璃基板的方向上，所述源极和所述漏极均依次包含金属氧化物层以及金属层。
7.一种显示面板，其特征在于，包括玻璃基板以及权利要求1~6任一项所述的薄膜晶体管。
8.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，还包括位于所述薄膜晶体管上方的钝化层，所述钝化层覆盖所述薄膜晶体管的源极和漏极，所述钝化层上还设有过孔和像素电极，且所述像素电极通过所述过孔与所述源极或者所述漏极连接。
9.根据权利要求8所述的显示面板，其特征在于，所述像素电极的材料为ITO材料。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20180724 |
|
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |