CN108083631A - 玻璃组合物 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种杨氏模量和比弹系数高、抗析晶性能优异的玻璃组合物。玻璃组合物,其组成按重量百分比表示,含有:SiO2:30‑46%、B2O3大于0但小于或等于6%、Al2O3:10‑30%、CaO:4‑20%、MgO:2‑15%、Y2O3:13‑32%、(CaO+MgO)/Y2O3为0.2‑1.0。本发明使用常用的化工原料,通过合理安排各组分的含量,使本发明的玻璃的杨氏模量和比弹系数高,抗析晶性能优异,适用于硬盘基板制作以及其他需要高杨氏模量材料的领域。
Description
技术领域
本发明涉及一种杨氏模量和比弹系数高,抗析晶性能优异的玻璃组合物,适用于制作硬盘基板以及半导体封装领域。
背景技术
硬盘的读取速度是和硬盘的转速相关的,硬盘的转速越快,读取速度越高。目前商用的硬盘普遍转速在5200RPM-10000RPM之间,若要继续提升转速,必须提升硬盘基板材料的比弹系数,原因在于用作制作基片的材料的比弹系数越大,硬盘基片在高速旋转中产生的变形就越小,因此硬盘就能达到更高的转速。由于比弹系数是材料杨氏模量和密度之比(比弹系数=杨氏模量/密度),因此,想要提升比弹系数,材料就需要更大的杨氏模量和更小的密度。目前转速5200RPM-10000RPM转速的硬盘所用的材料的比弹系数基本在28-32之间,若硬盘转速需要超过12000RPM甚至是15000RPM以上,所用玻璃材料的比弹系数需要超过34才能满足。
硬盘转速的提升也带来电机主轴磨损急剧加大的问题,这就要求高转速硬盘的基片需要做得更薄以降低重量,从而降低电机主轴的磨损来提升硬盘的寿命。目前主流的硬盘基片的杨氏模量为80GPa左右,设计厚度为0.65mm左右。若要将硬盘基片厚度减薄到0.4mm甚至更薄,那就需要基片材料具备100GPa以上的杨氏模量。
目前硬盘的存储密度越来越高,这就需要在更高的温度下将磁性材料溅镀到基板材料上,这就要求硬盘基板材料具备更高的耐热性,通常认为玻璃材料的转变温度(Tg温度)需要高于750℃才能满足未来新一代硬盘技术的要求。另外,在硬盘的制作高温流程中,尤其是在未来温度更高的工艺条件下,若玻璃材料中含有碱金属离子,如Na+、K+、Li+等,这些碱金属离子容易在高温加工过程中析出污染磁性材料。
目前现有技术通常是采用SiO2-Al2O3-RO(RO是指碱土金属氧化物)无碱玻璃系统,如CN1207086A公开的玻璃系统虽然能实现3.00以下的密度以及36左右的比弹系数,但是此体系玻璃的高温粘度非常大,在1400℃温度的粘度一般在400泊-600泊以上,在生产过程中需要高达1550℃-1600℃的工艺温度和较长时间的澄清过程排除气泡,这就意味着更低的良品率,更短的炉体寿命及其更高的电能消耗。
另外,CaO、MgO、SrO和BaO属于碱土金属氧化物,合适量的碱土金属氧化物加入玻璃中虽然可以降低玻璃的高温粘度,同时平衡玻璃组分,改善玻璃的融化性能。但是过多的碱土金属氧化物会降低玻璃的抗析晶性能,玻璃的抗析晶性能对于硬盘基板玻璃来说是非常重要的,原因在于在制作硬盘基板的毛坯过程中,需要在玻璃的软化点附近将玻璃块料软化后压制成薄毛坯,若玻璃的抗析晶性能不佳,就会在玻璃中产生析晶颗粒。析晶颗粒硬度等物理性能和周围玻璃有非常大的不同,这样就会在加工过程中产生缺陷,使基板的表面粗糙度到不到要求。更为重要的是,若是玻璃的抗析晶能力不好,在熔炼的过程中会导致玻璃在炉体的冷点造成析晶,堵塞管道,造成产量下降甚至是生产中断。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种杨氏模量和比弹系数高、抗析晶性能优异的玻璃组合物。
本发明解决技术问题所采用的技术方案是:玻璃组合物,其组成按重量百分比表示,含有:SiO2:30-46%、B2O3大于0但小于或等于6%、Al2O3:10-30%、CaO:4-20%、MgO:2-15%、Y2O3:13-32%、(CaO+MgO)/Y2O3为0.2-1.0。
进一步的,其组成按重量百分比表示,还含有:TiO2:0-7%、ZrO2:0-5%、SrO:0-5%、BaO:0-5%、ZnO:0-5%、La2O3:0-15%、Sb2O3:0-2%、CeO2:0-2%、SnO2:0-2%。
玻璃组合物,其组成按重量百分比表示为:SiO2:30-46%、B2O3大于0但小于或等于6%、Al2O3:10-30%、CaO:4-20%、MgO:2-15%、Y2O3:13-32%、TiO2:0-7%、ZrO2:0-5%、SrO:0-5%、BaO:0-5%、ZnO:0-5%、La2O3:0-15%、Sb2O3:0-2%、CeO2:0-2%、SnO2:0-2%,其中(CaO+MgO)/Y2O3为0.2-1.0。
进一步的,其中:(SiO2+Al2O3)/B2O3为10-80;和/或Al2O3/B2O3为4-36;和/或Al2O3/TiO2为3-41;和/或CaO+MgO不超过21%;和/或CaO/MgO为0.8-8.0;和/或(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2为0.5-1.5;和/或La2O3/Y2O3不大于0.8;和/或(CaO+MgO)/Y2O3的值为0.3-0.9。
进一步的,其中:SiO2:32-42%、和/或B2O3:0.5-6%、和/或Al2O3:15-28%、和/或CaO:5-15%、和/或MgO:3-10%、和/或Y2O3:15-30%、和/或TiO2:0.5-7%、和/或ZrO2:0-3%、和/或SrO:0-3%、和/或BaO:0-3%、和/或ZnO:0-3%、和/或La2O3:0-9%、和/或Sb2O3:0-1%、和/或CeO2:0-1%、和/或SnO2:0-1%。
进一步的,其中:(SiO2+Al2O3)/B2O3为15-70;和/或Al2O3/B2O3为6-30;和/或Al2O3/TiO2为6-30;和/或CaO+MgO不超过19%;和/或CaO/MgO为0.9-5.0;和/或(CaO+MgO)/Y2O3为0.4-0.8;和/或(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2为0.7-1.4;和/或La2O3/Y2O3不大于0.4。
进一步的,其中:SiO2:34-40%、和/或B2O3:1-5%、和/或Al2O3:19-25%、和/或CaO:6-10%、和/或MgO:4-8%、和/或Y2O3:18-26%、和/或TiO2:1-6%、和/或ZrO2:0-2%、和/或La2O3:0-5%、和/或ZnO:0-2%、和/或Sb2O3:0-0.5%、和/或CeO2:0-0.5%、和/或SnO2:0-0.5%。
进一步的,其中:(SiO2+Al2O3)/B2O3为20-60;和/或Al2O3/B2O3为8-20;和/或Al2O3/TiO2为8-20;和/或CaO+MgO不超过18%;和/或CaO/MgO为1-2.5;和/或La2O3/Y2O3不大于0.15;和/或(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2为0.8-1.3。
进一步的,其中:不含碱金属氧化物、和/或不含ZrO2、和/或不含La2O3、和/或不含SrO、和/或不含BaO。
进一步的,玻璃的比弹系数为34以上,优选为35以上,进一步优选为36以上;杨氏模量为100-130Gpa,优选为105-125GPa,进一步优选为110-120GPa。
进一步的,玻璃的抗析晶性能为B类及其以上,优选为A类及其以上。
硬盘基板,由上述的玻璃组合物构成。
上述的玻璃组合物用于半导体封接的应用。
本发明的有益效果是:使用常用的化工原料,通过合理安排各组分的含量,使本发明的玻璃的杨氏模量和比弹系数高,抗析晶性能优异,适用于硬盘基板制作以及其他需要高杨氏模量材料的领域。
具体实施方式
下面将描述本发明玻璃的各个组分,除非另有说明,各个组分的含量是用重量%表示。
SiO2是玻璃主要的网络形成体,是构成玻璃的骨架,在本体系玻璃中,其含量高于46%时,玻璃的融化性能和杨氏模量会下降,高温粘度急剧上升;当其含量低于30%时,玻璃的化学稳定性会降低,玻璃的抗析晶性能会快速下降,同时玻璃的密度会快速上升,导致玻璃的比弹系数下降。因此,本发明中SiO2的含量限定在30%-46%,优选为32-42%,进一步优选为34-40%。
本发明体系玻璃属于无碱玻璃,原料溶解温度高。玻璃原料在融化初期容易在化料池产生大量气泡堆积,当气泡堆积严重时,玻璃液会溢出加料池,在连续熔炼过程中会造成加料工序以及后面的均化、澄清、成型工序停止。发明人通过锐意研究,发现加入一定量的B2O3会降低原料在初始融化阶段的气泡堆积,有利于加料工序的顺利进行,尤其是其含量为0.5%以上时效果尤其明显,但B2O3的添加量超过6%,会导致玻璃的比弹系数和杨氏模量的下降,同时玻璃的化学稳定性会下降。因此,B2O3的含量为大于0但小于或等于6%,优选为0.5-6%,更优选为1-5%。
Al2O3加入本发明体系玻璃中可以提升玻璃的杨氏模量,同时可以降低玻璃的密度,提升玻璃的比弹系数。若其含量低于10%,玻璃的比弹系数与杨氏模量会低于设计预期,玻璃的密度也会增大;若其含量高于30%,由于Al2O3非常难溶,会导致玻璃原料的融化性能快速下降,玻璃的高温粘度急剧上升。因此,Al2O3的加入量限定在10-30%,优选为15-28%,进一步优选为19-25%。
本发明中SiO2和Al2O3属于难溶氧化物,也是引起化料池气泡堆积的关键因素。根据发明人试验发现,当SiO2、Al2O3的合计量与B2O3的比值(SiO2+Al2O3)/B2O3处在10-80之间时,玻璃在化料时气泡堆积现象基本消失,同时玻璃能维持较高的耐热性,(SiO2+Al2O3)/B2O3优选为15-70,进一步优选为20-60,气泡度更优异。
B2O3的加入会促使Al2O3的结构产生变化,因此Al2O3与B2O3的相对含量的选择对于玻璃的高温粘度和比弹系数有较大的关联。当Al2O3与B2O3的比值Al2O3/B2O3大于36时,玻璃的高温粘度急剧上升。当Al2O3/B2O3小于4时,玻璃的比弹系数急剧下降。因此,优选Al2O3/B2O3为4-36,更优选为6-30,进一步优选为8-20。
少量的TiO2加入玻璃中能够降低玻璃的高温粘度,提升玻璃的比弹系数和杨氏模量,若其含量超过7%,玻璃的抗析晶能力会快速下降,因此本发明中TiO2的含量限定为7%以下。通过进一步研究发现,若TiO2含量低于0.5%,提升杨氏模量、比弹系数以及降低高温粘度的效果不明显。因此,其含量优选为0.5-7%,更优选为1-6%。
在本体系玻璃中,由于Al2O3的含量较大,TiO2的含量能够促进Al2O3的结构产生变化,从而引起玻璃比弹系数和抗析晶性能的变化。若Al2O3与TiO2的比值Al2O3/TiO2高于41,玻璃的抗析晶性能下降,玻璃的高温粘度增高;若Al2O3/TiO2低于3,玻璃的比弹系数会急剧下降,玻璃的抗析晶性能也会急剧下降。因此,Al2O3/TiO2限定为3-41,优选为6-30,进一步优选为8-20。
根据发明人大量试验研究发现,MgO添加到玻璃中可以提升玻璃的杨氏模量和比弹系数,降低玻璃的高温粘度,但若其含量低于2%,降低密度和提升杨氏模量及其比弹系数的效果不明显;若其含量超过15%,玻璃的抗析晶性能明显下降。因此,其含量限定为2-15%,优选为3-10%,进一步优选为4-8%。
CaO在四种碱土金属氧化物中降低高温粘度的作用是最明显的,同时其又有提升玻璃杨氏模量的作用。在本发明中,其添加量若低于4%,玻璃的比弹系数及杨氏模量达不到设计要求,同时降低玻璃高温粘度的效果不明显;若其含量高于21%,玻璃的抗析晶性能急剧下降,同时玻璃的化学稳定性,尤其是耐水性会快速下降。因此,其含量限定为4-21%,优选为5-15%,进一步优选为6-10%。
通过大量研究发现,本发明玻璃组合物中MgO与CaO的合计含量MgO+CaO若超过21%,玻璃的耐热性和抗析晶能力会快速降低,优选不超过19%,进一步优选不超过18%。另外,若CaO与MgO的比值CaO/MgO大于8.0,玻璃的比弹系数会快速降低;若CaO/MgO小于0.8,玻璃的抗析晶性能会快速下降,并影响形成玻璃的稳定性。因此,CaO/MgO限定为0.8-8.0,优选为0.9-5.0,进一步优选为1.0-2.5。
SrO提升玻璃杨氏模量,降低玻璃的密度的能力低于CaO和MgO,少量的加入可以提升玻璃的抗析晶性能,若其含量高于5%,玻璃的抗析晶能力下降,化学稳定性下降,玻璃的成本显著升高。因此其含量限定为0-5%,优选为0-3%,进一步优选为不添加。
BaO相对于其他三种碱土金属氧化物,会显著的增加玻璃的密度,同时会导致玻璃的化学稳定性显著下降。虽然少量的加入会提升玻璃的杨氏模量以及抗析晶性能,但是其含量超过5%,会显著的提升玻璃的密度,化学稳定性尤其是耐水性显著下降。因此其含量限定为0-5%,优选为0-3%,进一步优选为不添加。
Y2O3添加到玻璃中可以显著提升玻璃的比弹系数、杨氏模量和耐热性,同时可以降低玻璃的高温粘度。但若其含量超过32%,玻璃的抗析晶性能显著下降,密度也会显著上升。若其含量低于13%,玻璃的高温粘度下降不明显,玻璃的比弹系数、杨氏模量和耐热性达不到设计要求。因此,其含量限定为13-32%,优选为15-30%,进一步优选为18-26%。
发明人研究发现,CaO与MgO的合计含量与Y2O3的相对含量会促进玻璃中B2O3、Al2O3、TiO2的结构产生变化,从而对玻璃的比弹系数、耐热性和抗析晶性能产生极大的影响。当CaO、MgO的合计含量与Y2O3的比值(CaO+MgO)/Y2O3大于1.0时,玻璃比弹系数和耐热性快速下降;当(CaO+MgO)/Y2O3小于0.2时,玻璃的抗析晶能力快速下降。因此,(CaO+MgO)/Y2O3限定为0.2-1.0,优选为0.3-0.9,进一步优选为0.4-0.8。
CaO、MgO、Y2O3等三种氧化物都有提升比弹系数、杨氏模量,降低玻璃高温粘度的能力,发明人发现以上三种氧化物的合计值和SiO2的相对含量对玻璃高温粘度以及玻璃的耐热性有较强的关联。若CaO、MgO、Y2O3的合计量与SiO2的比值(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2大于1.5,玻璃的耐热性会快速下降;若(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2小于0.5,玻璃的高温粘度达不到设计要求。因此,(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2限定为0.5-1.5,优选为0.7-1.4,进一步优选为0.8-1.3。
ZrO2少量添加到玻璃中可以改善玻璃的抗析晶能力,同时增强玻璃的化学稳定性。但若其含量超过5%,玻璃的溶解性能会显著下降,同时玻璃高温粘度会显著上升,玻璃中易出现不融物。因此,其含量限定为0-5%,优选为0-3%,进一步优选为0-2%,更进一步优选为不添加。
少量的ZnO加入到玻璃中能降低玻璃的高温粘度,同时可以增强玻璃的化学稳定性,但ZnO的添加量若超过5%,玻璃的杨氏模量会下降,同时玻璃的密度会上升,导致玻璃的比弹系数快速下降,,玻璃的耐热性会下降。因此,ZnO含量限定为0-5%,优选为0-3%,更优选为0-2%,进一步优选为不添加。
合适量的La2O3添加到玻璃中可以提升玻璃的杨氏模量,同时可以提升玻璃的Tg温度改善玻璃的耐热性,降低玻璃的高温粘度。但若其含量超过15%,玻璃的密度会显著上升从而使玻璃的比弹系数达不到设计要求,同时玻璃的抗析晶性能会显著下降。因此其含量限定为0-15%,优选为0-9%,更有选为0-5%,进一步优选为不添加。
La2O3和Y2O3虽然都可以提升玻璃的杨氏模量,但是,当La2O3与Y2O3的比值La2O3/Y2O3大于0.8时,玻璃的密度会快速上升,从而导致玻璃的比弹系数快速下降,同时玻璃的抗析晶性能也会快速下降。因此,La2O3/Y2O3不大于0.8,优选不大于0.4,进一步优选不大于0.15。
另外,本发明玻璃中可以引入合计量为0-2%的澄清剂,优选为0-1%,进一步优选为0-0.5,澄清剂可以采用Sb2O3、CeO2、SnO2中的一种或一种以上。
下面将描述本发明的光学玻璃的性能:
玻璃的杨氏模量E采用超声波测试其纵波速度和横波速度,再按以下公式计算得出。
其中,G=VS 2ρ
式中:
E为杨氏模量,Pa;
G为剪切模量,Pa;
VT为横波速度,m/s;
VS为横波速度,m/s;
ρ为玻璃密度,g/cm3;
玻璃的密度按GB/T7962.20-2010规定方法测试。
玻璃的比弹系数=杨氏模量(GPa)/密度。
玻璃的Tg温度按GB/T7962.16-2010规定方法测试。
玻璃的高温粘度使用THETA Rheotronic II高温粘度计采用旋转法测试,数值单位为dPaS(泊),其数值越小,表示粘度越小。
玻璃的抗析晶性能采用以下方法测试:
将实验样品加工为20*20*10mm规格,两面抛光,将样品放入温度为Tg+200℃的析晶炉内保温30分钟,取出冷却后,再对两个大面抛光,根据下表判断玻璃的析晶性能,A级为最好,E级为最差。
析晶的分级和判断标准
编号 | 级别 | 标准 |
1 | A | 无肉眼可见的析晶颗粒 |
2 | B | 肉眼可见析晶颗粒,数量少而分散 |
3 | C | 肉眼可见较大分散或者较密集而小的析晶颗粒 |
4 | D | 析晶颗粒较大而密集 |
5 | E | 玻璃完全析晶失透 |
玻璃的气泡度按GB/T7962.8-2010规定方法测量与分级。
经过测试,本发明玻璃的比弹系数为34以上,优选为35以上,进一步优选为36以上。玻璃的杨氏模量为100-130GPa,优选为105-125GPa,进一步优选为110-120GPa。玻璃的Tg温度为740℃以上,优选为750℃以上,更优选为760℃以上。玻璃1400℃时粘度不超过150泊,优选为不超过130泊,进一步优选为不超过110泊。玻璃的压型抗析晶性能为B类及其以上,优选为A类及其以上。玻璃气泡度在A0级及其以上,优选为A00级及其以上。
本发明的玻璃由于具有以上性能,因此特别适用于构成硬盘基板以及用于半导体封接的应用。
实施例
为了进一步了解本发明的技术方案,现在将描述本发明玻璃组合物的实施例。应该注意到,这些实施例没有限制本发明的范围。
表1-5中显示的玻璃组合物(实施例1-50)是通过按照表中所示各个实施例的比值称重并混合玻璃用普通原料(如氧化物、氢氧化物、碳酸盐、硝酸盐等),将混合原料放置在铂金坩埚中,在1400-1450℃中融化6-8小时,并且经澄清、搅拌和均化后,得到没有气泡及不含未溶解物质的均质熔融玻璃,将此熔融玻璃在模具内铸型并退火而成。
表1-5中显示了本发明实施例1-50的组成(重量%)、杨氏模量(E)、比弹系数(E/ρ)、Tg温度(Tg)、1400℃温度下的高温粘度(K)、抗析晶等级(N)、气泡度(Q)、(SiO2+Al2O3)/B2O3的值用A表示、Al2O3/B2O3的值以B表示、Al2O3/TiO2的值以C表示、CaO+MgO的值以D表示、CaO/MgO的值以F表示、(CaO+MgO)/Y2O3的值以G表示、(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2的值以M表示、La2O3/Y2O3的值以H表示。
表1
表2
组分 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | 19 | 20 |
SiO2 | 39.00 | 38.00 | 36.00 | 38.00 | 37.00 | 35.00 | 36.00 | 35.00 | 37.00 | 37.00 |
B2O3 | 0.80 | 1.20 | 2.00 | 2.00 | 2.00 | 1.00 | 1.00 | 2.00 | 4.00 | 2.00 |
ZnO | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.50 | 0.00 | 0.00 | 0.00 |
TiO2 | 6.50 | 3.00 | 0.70 | 2.00 | 2.00 | 5.00 | 2.50 | 2.00 | 2.00 | 3.00 |
Al2O3 | 20.00 | 21.00 | 23.00 | 16.00 | 17.00 | 17.00 | 24.50 | 28.00 | 24.00 | 23.00 |
ZrO2 | 0.50 | 0.00 | 1.00 | 0.70 | 0.70 | 0.70 | 0.50 | 1.00 | 1.00 | 1.50 |
Y2O3 | 20.00 | 22.00 | 15.00 | 30.00 | 29.00 | 29.00 | 22.00 | 22.00 | 20.00 | 22.00 |
La2O3 | 0.00 | 0.00 | 1.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 2.00 |
CaO | 7.00 | 10.00 | 13.00 | 7.00 | 7.00 | 7.00 | 8.00 | 5.00 | 7.00 | 5.00 |
MgO | 5.00 | 3.50 | 8.00 | 4.00 | 4.00 | 4.00 | 5.00 | 4.70 | 4.50 | 4.00 |
BaO | 0.70 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.50 | 0.50 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.30 |
SrO | 0.00 | 0.80 | 0.00 | 0.00 | 0.50 | 0.50 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 |
CeO2 | 0.00 | 0.10 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 |
SnO2 | 0.00 | 0.10 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 |
Sb2O3 | 0.50 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.00 | 0.30 | 0.50 | 0.20 |
合计(%) | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 |
A | 73.75 | 49.17 | 29.50 | 27.00 | 27.00 | 52.00 | 60.50 | 31.50 | 15.25 | 30.00 |
B | 25.00 | 17.50 | 11.50 | 8.00 | 8.50 | 17.00 | 24.50 | 14.00 | 6.00 | 11.50 |
C | 3.08 | 7.00 | 32.86 | 8.00 | 8.50 | 3.40 | 9.80 | 14.00 | 12.00 | 7.67 |
D | 12.00 | 13.50 | 21.00 | 11.00 | 11.00 | 11.00 | 13.00 | 9.70 | 11.50 | 9.00 |
F | 1.40 | 2.86 | 1.63 | 1.75 | 1.75 | 1.75 | 1.60 | 1.06 | 1.56 | 1.25 |
G | 0.60 | 0.64 | 0.91 | 0.69 | 0.65 | 0.65 | 0.53 | 0.35 | 0.48 | 0.39 |
M | 0.82 | 0.93 | 1.00 | 1.08 | 1.08 | 1.14 | 0.97 | 0.91 | 0.85 | 0.84 |
H | 0.00 | 0.00 | 0.07 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.09 |
E(GPa) | 110.10 | 112.30 | 108.70 | 112.10 | 111.25 | 115.10 | 115.23 | 120.40 | 109.65 | 115.21 |
ρ(g/cm3) | 3.02 | 3.08 | 3.12 | 3.11 | 3.21 | 3.17 | 3.07 | 3.05 | 3.00 | 3.08 |
E/ρ | 36.46 | 36.46 | 34.84 | 36.05 | 34.66 | 36.31 | 37.53 | 39.48 | 36.55 | 37.41 |
Tg(℃) | 780 | 790 | 775 | 801 | 803 | 785 | 795 | 802 | 772 | 785 |
K | 85.2 | 84.2 | 67.8 | 77.1 | 79.2 | 82.6 | 70.3 | 68.3 | 80.5 | 70.7 |
N | A | A | A | A | A | A | A | A | A | A |
Q | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 |
表3
组分 | 21 | 22 | 23 | 24 | 25 | 26 | 27 | 28 | 29 | 30 |
SiO2 | 30.20 | 37.20 | 42.20 | 34.20 | 40.20 | 38.70 | 35.70 | 43.70 | 32.20 | 40.70 |
B2O3 | 1.20 | 2.00 | 2.60 | 2.20 | 3.40 | 3.50 | 2.80 | 2.00 | 1.10 | 3.20 |
ZnO | 0.00 | 0.00 | 0.70 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.60 | 0.00 | 0.00 |
TiO2 | 2.00 | 1.90 | 2.00 | 5.70 | 1.10 | 1.60 | 5.40 | 1.40 | 1.60 | 0.60 |
Al2O3 | 29.90 | 21.50 | 15.50 | 25.10 | 17.90 | 19.70 | 23.30 | 13.70 | 27.50 | 17.30 |
ZrO2 | 0.20 | 1.30 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 |
Y2O3 | 13.10 | 22.00 | 28.00 | 18.40 | 25.60 | 23.80 | 20.20 | 29.80 | 16.00 | 26.20 |
La2O3 | 3.00 | 0.00 | 0.00 | 0.90 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 3.00 | 0.00 |
CaO | 17.20 | 10.00 | 4.20 | 7.00 | 8.50 | 9.70 | 8.50 | 4.20 | 9.20 | 8.10 |
MgO | 2.90 | 3.80 | 4.50 | 4.00 | 3.00 | 2.50 | 3.80 | 4.30 | 8.00 | 3.60 |
BaO | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 1.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 |
SrO | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 1.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 1.00 | 0.00 |
CeO2 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.10 | 0.00 | 0.10 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 |
SnO2 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.10 | 0.00 | 0.10 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 |
Sb2O3 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.30 | 0.40 | 0.30 |
合计(%) | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 | 100.00 |
A | 50.08 | 29.35 | 22.19 | 26.95 | 17.09 | 16.69 | 21.07 | 28.70 | 54.27 | 18.13 |
B | 24.92 | 10.75 | 5.96 | 11.41 | 5.26 | 5.63 | 8.32 | 6.85 | 25.00 | 5.41 |
C | 14.95 | 11.32 | 7.75 | 4.40 | 16.27 | 12.31 | 4.31 | 9.79 | 17.19 | 28.83 |
D | 20.10 | 13.80 | 8.70 | 11.00 | 11.50 | 12.20 | 12.30 | 8.50 | 17.20 | 11.70 |
F | 5.93 | 2.63 | 0.93 | 1.75 | 2.83 | 3.88 | 2.24 | 0.98 | 1.15 | 2.25 |
G | 0.67 | 0.64 | 0.56 | 0.44 | 0.64 | 0.62 | 0.53 | 0.62 | 0.63 | 0.68 |
M | 1.10 | 0.96 | 0.87 | 0.86 | 0.92 | 0.93 | 0.91 | 0.88 | 1.03 | 0.93 |
H | 0.23 | 0.00 | 0.00 | 0.05 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.00 | 0.19 | 0.00 |
E(GPa) | 112.10 | 111.20 | 121.10 | 110.50 | 119.00 | 114.50 | 110.80 | 121.70 | 110.90 | 120.50 |
ρ(g/cm3) | 3.11 | 3.03 | 3.03 | 3.09 | 3.00 | 3.00 | 3.06 | 3.07 | 3.15 | 2.99 |
E/ρ | 36.05 | 36.70 | 39.98 | 35.76 | 39.67 | 38.17 | 36.21 | 39.67 | 35.21 | 40.30 |
Tg(℃) | 782 | 781 | 807 | 771 | 797 | 789 | 776 | 815 | 776 | 799 |
K | 30.9 | 88.1 | 101.5 | 70.7 | 95.9 | 92.0 | 79.4 | 106.6 | 47.7 | 97.2 |
N | A | A | A | A | A | A | A | A | A | A |
Q | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 | A00 |
表4
表5
Claims (13)
1.玻璃组合物,其特征在于,其组成按重量百分比表示,含有:SiO2:30-46%、B2O3大于0但小于或等于6%、Al2O3:10-30%、CaO:4-20%、MgO:2-15%、Y2O3:13-32%、(CaO+MgO)/Y2O3为0.2-1.0。
2.如权利要求1所述的玻璃组合物,其特征在于,其组成按重量百分比表示,还含有:TiO2:0-7%、ZrO2:0-5%、SrO:0-5%、BaO:0-5%、ZnO:0-5%、La2O3:0-15%、Sb2O3:0-2%、CeO2:0-2%、SnO2:0-2%。
3.玻璃组合物,其特征在于,其组成按重量百分比表示为:SiO2:30-46%、B2O3大于0但小于或等于6%、Al2O3:10-30%、CaO:4-20%、MgO:2-15%、Y2O3:13-32%、TiO2:0-7%、ZrO2:0-5%、SrO:0-5%、BaO:0-5%、ZnO:0-5%、La2O3:0-15%、Sb2O3:0-2%、CeO2:0-2%、SnO2:0-2%,其中(CaO+MgO)/Y2O3为0.2-1.0。
4.如权利要求1-3任一权利要求所述的玻璃组合物,其特征在于,其中:(SiO2+Al2O3)/B2O3为10-80;和/或Al2O3/B2O3为4-36;和/或Al2O3/TiO2为3-41;和/或CaO+MgO不超过21%;和/或CaO/MgO为0.8-8.0;和/或(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2为0.5-1.5;和/或La2O3/Y2O3不大于0.8;和/或(CaO+MgO)/Y2O3的值为0.3-0.9。
5.如权利要求1-3任一权利要求所述的玻璃组合物,其特征在于,其中:SiO2:32-42%、和/或B2O3:0.5-6%、和/或Al2O3:15-28%、和/或CaO:5-15%、和/或MgO:3-10%、和/或Y2O3:15-30%、和/或TiO2:0.5-7%、和/或ZrO2:0-3%、和/或SrO:0-3%、和/或BaO:0-3%、和/或ZnO:0-3%、和/或La2O3:0-9%、和/或Sb2O3:0-1%、和/或CeO2:0-1%、和/或SnO2:0-1%。
6.如权利要求1-3任一所述权利要求的玻璃组合物,其特征在于,其中:(SiO2+Al2O3)/B2O3为15-70;和/或Al2O3/B2O3为6-30;和/或Al2O3/TiO2为6-30;和/或CaO+MgO不超过19%;和/或CaO/MgO为0.9-5.0;和/或(CaO+MgO)/Y2O3为0.4-0.8;和/或(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2为0.7-1.4;和/或La2O3/Y2O3不大于0.4。
7.如权利要求1-3任一权利要求所述的玻璃组合物,其特征在于,其中:SiO2:34-40%、和/或B2O3:1-5%、和/或Al2O3:19-25%、和/或CaO:6-10%、和/或MgO:4-8%、和/或Y2O3:18-26%、和/或TiO2:1-6%、和/或ZrO2:0-2%、和/或La2O3:0-5%、和/或ZnO:0-2%、和/或Sb2O3:0-0.5%、和/或CeO2:0-0.5%、和/或SnO2:0-0.5%。
8.如权利要求1-3任一权利要求所述的玻璃组合物,其特征在于,其中:(SiO2+Al2O3)/B2O3为20-60;和/或Al2O3/B2O3为8-20;和/或Al2O3/TiO2为8-20;和/或CaO+MgO不超过18%;和/或CaO/MgO为1-2.5;和/或La2O3/Y2O3不大于0.15;和/或(CaO+MgO+Y2O3)/SiO2为0.8-1.3。
9.如权利要求1-3任一权利要求所述的玻璃组合物,其特征在于,其中:不含碱金属氧化物、和/或不含ZrO2、和/或不含La2O3、和/或不含SrO、和/或不含BaO。
10.如权利要求1-3任一权利要求所述的玻璃组合物,其特征在于,玻璃的比弹系数为34以上,优选为35以上,进一步优选为36以上;杨氏模量为100-130Gpa,优选为105-125GPa,进一步优选为110-120GPa。
11.如权利要求1-3任一权利要求所述的玻璃组合物,其特征在于,玻璃的抗析晶性能为B类及其以上,优选为A类及其以上。
12.硬盘基板,由权利要求1-11任一权利要求所述的玻璃组合物构成。
13.权利要求1-11任一权利要求所述的玻璃组合物用于半导体封接的应用。
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