CN108061808A - 一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法。该真空互联系统包括材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台，其中，所述互联平台包括管道设备、中续设备、传输设备、真空获得设备、输入输出设备和控制设备；所述材料生长平台和器件工艺平台用于器件的加工，所述测试分析平台用于材料的生长和性质的测量与分析，所述材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台通过所述互联平台互相连接。本发明能够使材料的生长、测试和加工等工序均在真空环境中进行，为材料研究和器件研发提供好的真空环境，建立真空环境下从材料、器件、封装到测试的综合研究设施，提供多种极端条件下材料、结构和性能关系的科学研究平台。

Description

一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法

技术领域

本发明涉及真空互联领域，具体而言涉及一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法。

背景技术

纳米技术应用产业是随着技术发展而逐渐发展起来的新兴产业，纳米技术应用涉及纳米材料的生长、加工、测试等工艺步骤；纳米材料的生长、加工、测试等工艺步骤需要较好的真空环境；目前，通常将纳米材料在真空环境的材料生长平台上生成后，取出在放入到真空环境的器件工艺平台或测试分析平台上进行材料加工或测试，但这种方式需要将真空环境中生长的材料取出到非真空环境，之后再放入真空环境，由于材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台之间是非真空环境，较难保证材料在各个平台之间转移时收到外界环境的影响，且材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台的独立的实验平台，各个平台之间的真空度存在差异，且单一的实验平台很难达到较高的真空度，实验超真空的材料实验环境。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法，能够使材料的生长、测试和加工等工序均在真空环境中进行，提供超高真空环境下材料、结构和性能关系的科学研究平台。

为解决上述技术问题，本发明提出的一个技术方案是：提供一种用于纳米材料实验的真空互联系统，该真空互联系统包括：

材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台；其中，所述材料生长平台和器件工艺平台用于器件的加工，所述测试分析平台用于材料的生长和性质的测量与分析，所述材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台通过所述互联平台互相连接。

其中，所述互联平台包括管道设备、中续设备、传输设备、真空获得设备、输入输出设备和控制设备；所述管道设备通过所述中续设备进行连接；所述传输设备驱动所述管道设备中的物体移动；所述真空获得设备和所述管道设备连接，用于向所述管道设备提供真空环境；所述输入输出设备设置在所述互联平台与其他平台的连接处，用于材料在所述互联平台和其他平台之间的输入输出；所述控制设备与所述中续设备、传输设备、真空获得设备以及输入输出设备连接，用于对所述中续设备、传输设备、真空获得设备以及输入输出设备进行运行控制。

其中，所述中续设备包括开关闭合装置、腔体和控制装置；所述管道设备包括材料输入输出管道、真空过渡调节管道、材料传输管道和存储功能管道；

所述腔体包括具有至少两个接口的中转过渡腔体和交接互通腔体；

所述材料输入输出管道、真空过渡调节管道以及材料传输管道依次通过开关闭合装置连接，所述存储功能管道通过开关闭合装置连接所述材料传输管道的侧壁，相邻的所述材料传输管道之间通过所述中转过渡腔体或所述交接互通腔体连接，所述控制装置与所述开关闭合装置连接，所述控制装置用于控制所述开关闭合装置的打开或关闭。

其中，所述传输设备包括传输带动装置、传输轨道、非接触驱动装置和装载卸载装置；

所述传输设备设置在所述管道设备中具体为：

所述传输带动装置和非接触驱动装置设置在所述管道设备的外围，所述传输轨道和所述装载卸载装置设置在所述管道设备内部，所述装载卸载装置放置在所述传输轨道上；所述非接触驱动装置用于驱动所述传输带动装置移动或所述装载卸载装置移动。

其中，所述真空获得设备包括高真空获得设备和超高真空获得设备；

所述真空获得设备和所述管道设备连接具体为：

所述材料输入输出管道、所述真空过渡调节管道和所述材料传输管道与所述高真空获得设备连接，所述真空过渡调节管道与所述超高真空获得设备连接。

其中，所述中转过渡腔体与所述机械真空获得设备连接。

其中，所述交接互通腔体与所述机械真空获得设备连接。

其中，所述互联平台包括多个输入输出设备；所述多个输入输出设备均包括材料取放装置和至少两个接口的转接装置；

所述输入输出设备设置在所述互联平台与各个平台的连接处具体为：

所述转接装置的其中一个接口与所述互联平台连接，所述转接装置的其中另一个接口与所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台的输入输出接口连接，所述材料取放装置设置在所述转接装置上，用于将材料在所述互联平台和所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台之间进行取放。

其中，还包括接口设备，所述接口设备设置在所述输入输出设备与所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台的连接处。

其中，所述交接互通腔体内设置有自动化装载卸载机器人。

本发明另一实施例提供一种用于纳米材料实验的真空互联方法，该真空互联方法包括：

利用所述互联平台中的所述输入输出设备，将所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台中材料放入所述互联平台中的所述传输设备上；

运行所述中续设备和所述真空获得设备调节所述互联平台中的各个设备的真空度，直至所述互联平台中各个设备的真空度一致；

开启所述控制设备，通过所述控制设备驱动载有材料的所述传输设备在所述管道设备中移动，使所述传输设备从所述一个输入输出设备移动到所述输入输出设备中的另一个输入输出设备；

利用所述另一个输入输出设备，将所述材料从所述传输设备上取出，放入与所述另一个输入输出设备连接的所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台中，完成材料在所述材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台中的移动传输。

本发明实施例的用于纳米材料实验的真空互联系统及方法，该真空互联系统包括材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台，其中，所述互联平台包括管道设备、中续设备、传输设备、真空获得设备、输入输出设备和控制设备；所述材料生长平台和器件工艺平台用于器件的加工，所述测试分析平台用于材料的生长和性质的测量与分析，所述材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台通过所述互联平台互相连接。本发明能够使材料的生长、测试和加工等工序均在真空环境中进行，为材料研究和器件研发提供好的真空环境，建立真空环境下从材料、器件、封装到测试的综合研究设施，提供多种极端条件下材料、结构和性能关系的科学研究平台。

附图说明

图1是本发明实施例的一种用于纳米材料实验的真空互联系统的框架示意图；

图2是图1中互联平台的框架示意图；

图3是图2中续设备102与管道设置101的连接示意图；

图4是本发明实施例的一种用于纳米材料实验的真空互联方法的方法流程图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明所提供的一种用于纳米材料实验的真空互联系统及方法做进一步详细描述。

参考图1，图1是本发明实施例的一种用于纳米材料实验的真空互联系统的框架示意图，所述真空互联系统包括：材料生长平台200、器件工艺平台300、测试分析平台400和互联平台100。

其中，所述材料生长平台200和器件工艺平台300用于器件的生长加工，所述测试分析平台400用于材料的生长和性质的测量与分析，所述材料生长平台200、器件工艺平台300和测试分析平台400通过所述互联平台100互相连接。

具体的，所述材料生长平台200、器件工艺平台300和测试分析平台400均为纳米材料和器件的实验平台，所述材料生长平台200、器件工艺平台300和测试分析平台400均由高精确度的控制平台进行操控，实现纳米材料或器件的高精度生长、加工和测试；其中，测试分析平台400用于包括纳米材料的生长和性质的原位测量与分析、异质结的表面与界面特性分析、材料的位错和缺陷分析、表面态与能带结构分析、器件构效关系综合分析、器件特性及可靠性分析和器件失效分析等在内的纳米材料和器件的特性等的分析。

可选的，本发明实施例的用于纳米材料实验的真空互联系统中可以通过互联平台100将若干个所述材料生长平台200、器件工艺平台300和测试分析平台400互相连接，所述材料生长平台200、器件工艺平台300和测试分析平台400的具体数量本发明不做限制，根据实际实验生产的需求可以对所述材料生长平台200、器件工艺平台300和测试分析平台400的个数进行调整，若所述材料生长平台200、器件工艺平台300和测试分析平台400的数量较多时，也可以增加互联平台100的数量，从而形成具有若干个所述材料生长平台200、器件工艺平台300、测试分析平台400和互联平台100的大科学装置，能够形成大型的纳米真空互联实验站。

所述材料生长平台200、器件工艺平台300和测试分析平台400的真空度根据纳米材料或器件的生长需要而不同，材料生长平台200、器件工艺平台300和测试分析平台400可为低真空设备、中真空设备、高真空设备或超高真空设备。

其中，所述互联平台100包括管道设备101、中续设备102、传输设备103、真空获得设备104、输入输出设备105和控制设备106；本发明实施例中所述管道设备101有若干个，所述互联平台100中，所述管道设备101用于为材料或器件提供传输通道；图2为所述互联平台的框架示意图，如图2所示，若干个所述管道设备101通过所述中续设备102进行连接；所述传输设备103与所述管道设备101连接，所述传输设备103驱动所述管道设备101中的物体移动；所述真空获得设备104和所述管道设备101连接，用于向所述管道设备101提供真空环境；所述输入输出设备105设置在所述互联平台100与其他平台的连接处，用于材料在所述互联平台100与所述材料生长平台200、器件工艺平台300、测试分析平台400之间的输入输出；所述控制设备106与所述中续设备102、传输设备103、真空获得设备104以及输入输出设备105连接，用于对所述中续设备102、传输设备103、真空获得设备104以及输入输出设备105进行运行控制。

其中，所述中续设备102包括开关闭合装置1021、腔体1022和控制装置1023；所述管道设备101包括材料输入输出管道1011、真空过渡调节管道1012、材料传输管道1013和存储功能管道1014。

可选的，所述管道设备101为多个具有不同功能的管道的总称，其包括若干个材料输入输出管道1011、真空过渡调节管道1012、材料传输管道1013和存储功能管道1014，中续设备102为中续接口或中续腔体1022的总称，其包括开关闭合装置1021、腔体1022和控制装置1023，其中，腔体1022有因为其功能不同而包括中转过渡腔体10221和交接互通腔体10222，所述中转过渡腔体10221和交接互通腔体10222均具有至少两个接口。

参考图3，图3为中续设备102与管道设置101的连接示意图，所述材料输入输出管道1011、真空过渡调节管道1012以及材料传输管道1013依次通过开关闭合装置1021连接，所述存储功能管道1014通过开关闭合装置1021连接所述材料传输管道1013的侧壁，相邻的所述材料传输管道1013之间通过所述腔体1022连接，如图3所示，所述腔体1022可以为中转过渡腔体10221和/或交接互通腔体10222，所述控制装置1023(图中未画出)与所述开关闭合装置1021连接，所述控制装置1023用于控制所述开关闭合装置1021的打开或关闭，图3所示所述互联平台100的传输路径为L型，所述腔体1022具有至少两个接口，腔体1022还可以继续连接材料传输管道1013或输入输出设备105，延长所述互联平台100的传输路径或将所述互联平台100继续与所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400进行连接，形成大型的纳米真空互联实验站。

所述材料输入输出管道1011的一端为材料或器件的进样口，另一端与所述真空过渡调节管道1012的一端连接，所述真空过渡调节管道1012的另一端与所述材料传输管道1013的一端连接，所述材料输入输出管道1011、真空过渡调节管道1012和材料传输管道1013之间的连接处均设置有所述中续设备102中的开关闭合装置1021和控制装置1023，所述控制装置1023用于控制所述开关闭合装置1021的开启和闭合；所述存储功能管道1014用于材料或器件在真空互联系统中运输过程中需要临时暂停运输或从材料传输管道1013中传输至各个平台时对材料或器件进行临时存放的管道，所述存储功能管道1014中设置有用于放置材料或器件的载物台，通过开关闭合装置1021连接所述材料传输管道1013的侧壁；相邻的所述材料传输管道1013之间通过所述中转过渡腔体10221或所述交接互通腔体10222连接，由于所述中转过渡腔体10221或所述交接互通腔体10222为具有至少两个接口的腔体1022，不同的材料传输管道1013与不同的接口连接，使得材料在所述真空互联系统中传输时实现传输路径的改变。

可选的，所述传输设备103包括传输带动装置、传输轨道、非接触驱动装置和装载卸载装置。

由于本发明实施例的真空互联系统要求材料或器件的传输过程中始终保持较高的真空环境，因此本发明实施例的真空互联系统中所述传输带动装置和非接触驱动装置设置在所述管道设备101的外围，所述传输轨道和所述装载卸载装置设置在所述管道设备101内部，所述装载卸载装置放置在所述传输轨道上，所述装载卸载装置能够用于放置材料或器件；所述非接触驱动装置用于驱动所述传输带动装置移动或所述装载卸载装置移动。

可选的，所述装载卸载装置放置在所述传输轨道上，使所述装载卸载装置在所述传输轨道上运动时不会再所述传输轨道的左右两侧发生偏移，所述非接触驱动装置与所述传输带动装置连接，开启传输带动装置，传输带动装置开始转动，使得所述非接触驱动装置随时所述传输带动装置向前运动，所述非接触驱动装置与所述装载卸载装置之间产生非接触的驱动力，驱动所述装载卸载装置沿着所述传输轨道运动，实现通过所述管道设备101的外围的驱动装置驱动所述管道设备101内的所述装载卸载装置运动，从而实现材料和器件在真空互联系统中的移动。

可选的，所述交接互通腔体10222内设置有自动化装载卸载机器人，通过所述管道设备101的外围的驱动装置驱动所述管道设备101内的所述装载卸载装置运动，将所述装载卸载装置移动到所述交接互通腔体10222的一个接口处，再通过所述自动化装载卸载机器人将所述装载卸载装置上放置的材料或器件移动到另一个接口出的所述装载卸载装置，完成材料或器件在所述真空互联系统中移动。

上述各个部分构成的互联平台100通过所述传输带动装置、传输轨道、非接触驱动装置和装载卸载装置使材料或器件在所述料输入输出管道、真空过渡调节管道1012、材料传输管道1013中移动，通过所述中转过渡腔体10221和交接互通腔体10222改变材料或器件在所述互联平台100中的移动路劲，通过存储功能管道1014使所互联平台100可以同时放入多个装载卸载装置，能够使得在一定面积的实验空间内根据实验需要尽可能多的连接所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400，增加互联平台100的传输路径和传输能力，所述互联平台100根据实际需求，将所述料输入输出管道、真空过渡调节管道1012、材料传输管道1013、中转过渡腔体10221和交接互通腔体10222进行相互连接，使所述互联平台100的材料或器件的传输路径为L型、U型、S型或回字型等。

可选的，所述真空获得设备104包括高真空获得设备104和超高真空获得设备104。

可选的，所述材料输入输出管道1011、所述真空过渡调节管道1012和所述材料传输管道1013与所述高真空获得设备104连接，所述真空过渡调节管道1012与所述超高真空获得设备104连接。

由于所述材料输入输出管道1011的一端为材料或器件的进样口，在放置样品时所述进样口开启，使得所述材料输入输出管道1011是处于非真空环境的，为了实现所述真空互联系统的超高真空环境，需要在放入材料或器件后对所述料输入输出管道中真空进行调节；具体的，开启进样口时，所述材料输入输出管道1011和所述真空过渡调节管道1012之间的阀门关闭，放入材料或器件后，关闭进样口，通过与所述材料输入输出管道1011连接的高真空获取设备调节所述材料输入输出管道1011中的真空度，当所述材料输入输出管道1011中的真空度与所述真空过渡调节管道1012中的真空度接近时，开启所述材料输入输出管道1011和所述真空过渡调节管道1012之间开关闭合装置1021，再通过与所述真空过渡调节管道1012连接的高真空获得设备104和超高真空获得设备104对所述真空过渡调节管道1012中的真空度进行调节，当所述真空过渡调节管道1012中的真空度与所述材料传输管道1013中的真空度接近时，开启所述真空过渡调节管道1012和所述材料传输管道1013之间的开关闭合装置1021，将材料或器件传送至所述材料传输管道1013中，实现材料或器件在超高真空环境中的传输。

可选的，为了进一步保证所述真空互联系统各个部分的真空环境达到超高真空度，且所述真空互联系统各个部分的真空度接近，所述中转过渡腔体10221和/或所述交接互通腔体10222与所述高真空获得设备104连接。

可选的，本发明实施例中所述高真空获取设备和所述超高真空获取设备根据真空区域划分，通常根据现有真空区域划分将真空区域划分为：压强为10⁵Pa～10²Pa为低真空区域，压强为10²Pa～10^-1Pa为中真空区域，压强为10^-1Pa～10^-5Pa为高真空区域，压强10^-5Pa～10^-9Pa为超高真空区域；根据真空测量的技术更新，真空区域划分还包括压强小于10^-9Pa的极高真空区域；相应的，所述高真空获取设备可为与所述高真空获取设备连接的材料输入输出管道1011、所述真空过渡调节管道1012、所述材料传输管道1013、中转过渡腔体10221和/或交接互通腔体10222提供压强为10^-1Pa～10^-5Pa的真空环境，所述超高真空获取设备为与所述超高真空获取设备连接的所述真空过渡调节管道1012提供压强小于10^-5Pa的超高真空环境。

可选的，所述互联平台100包括多个输入输出设备105；所述多个输入输出设备105均包括材料取放装置和至少两个接口的转接装置。

可选的，所述转接装置的其中一个接口与所述互联平台100连接，所述转接装置的其中另一个接口与所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400的输入输出接口连接，所述材料取放装置设置在所述转接装置上，用于将材料在所述互联平台100和所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400之间进行取放。

可选的，所述材料取放装置包括用于放置或移动材料或器件的载物台，还包括用于对放置在所述载物台上的材料或器件进行取出或放入操作的机械装置。

可选的，本发明实施例的真空互联系统还包括接口设备，所述接口设备设置在所述输入输出设备105与所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400的连接处。

由于所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400为独立的实验平台，所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400的材料或器件的进出口存在差异，在将所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400与所述互联平台100的所述输入输出设备105进行连接时，需要对应不同的材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400采用相应的接口设备。

图4是本发明实施例的一种用于纳米材料实验的真空互联方法的方法流程图。

本发明实施例的真空互联方法应用于上述的真空互联系统，具体结构此处不再赘述。

本发明实施例的真空互联方法包括如下步骤：

S101、利用所述互联平台100中的所述输入输出设备105，将所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400中材料或器件放入所述互联平台100中的所述传输设备103上。

其中，所述将所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400中材料或器件放入所述互联平台100中的所述传输设备103上指将材料或器件放入传输设备103中的装载卸载装置上，所述装载卸载装置放置在所述传输设备103中的传输轨道上，进一步的，所述装载卸载装置和所述传输轨道均在管道设备101中，放入材料或器件的指将材料或器件放入在材料输入输出管道1011中的装载卸载装置上，放入材料或器件后，关闭所述材料输入输出管道1011的进样口，因为此时管道设备101的各个部分的真空不一致，且材料输入输出管道的真空度较低，所以不开启开关闭合装置。

S102、运行所述中续设备102和所述真空获得设备104调节所述互联平台100中的各个设备的真空度，直至所述互联平台100中各个设备的真空度接近。

利用真空获得设备104将通过开关闭合装置1021连接的相邻管道设备101的真空度调节至接近时，开启所述开关闭合装置1021。

S103、开启所述控制设备106，通过所述控制设备106驱动载有材料的所述传输设备103在所述管道设备101中移动，使所述传输设备103从所述一个输入输出设备105移动到所述输入输出设备105中的另一个输入输出设备105。

S104、利用所述另一个输入输出设备105，将所述材料从所述传输设备103上取出，放入与所述另一个输入输出设备105连接的所述材料生长平台200、器件工艺平台300或测试分析平台400中，完成材料在所述材料生长平台200、器件工艺平台300、测试分析平台400和互联平台100中的移动传输。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围。

Claims (10)

1.一种用于纳米材料实验的真空互联系统，其特征在于，包括：材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台；

其中，所述材料生长平台和器件工艺平台用于材料或器件的加工，所述测试分析平台用于材料的生长和性质的测量与分析，所述材料生长平台、器件工艺平台和测试分析平台通过所述互联平台互相连接；

其中，所述互联平台包括管道设备、中续设备、传输设备、真空获得设备、输入输出设备和控制设备；所述管道设备通过所述中续设备进行连接；所述传输设备驱动所述管道设备中的物体移动；所述真空获得设备和所述管道设备连接，用于向所述管道设备提供真空环境；所述输入输出设备设置在所述互联平台与其他平台的连接处，用于材料在所述互联平台和其他平台之间的输入输出；所述控制设备与所述中续设备、传输设备、真空获得设备以及输入输出设备连接，用于对所述中续设备、传输设备、真空获得设备以及输入输出设备进行运行控制。

2.根据权利要求1所述的真空互联系统，其特征在于，所述中续设备包括开关闭合装置、腔体和控制装置；所述管道设备包括材料输入输出管道、真空过渡调节管道、材料传输管道和存储功能管道；

所述腔体包括具有至少两个接口的中转过渡腔体和交接互通腔体；

所述材料输入输出管道、真空过渡调节管道以及材料传输管道依次通过开关闭合装置连接，所述存储功能管道通过开关闭合装置连接所述材料传输管道的侧壁，相邻的所述材料传输管道之间通过所述中转过渡腔体或所述交接互通腔体连接，所述控制装置与所述开关闭合装置连接，所述控制装置用于控制所述开关闭合装置的打开或关闭。

3.根据权利要求1所述的真空互联系统，其特征在于，所述传输设备包括传输带动装置、传输轨道、非接触驱动装置和装载卸载装置；

所述传输设备设置在所述管道设备中具体为：

所述传输带动装置和非接触驱动装置设置在所述管道设备的外围，所述传输轨道和所述装载卸载装置设置在所述管道设备内部，所述装载卸载装置放置在所述传输轨道上；所述非接触驱动装置用于驱动所述传输带动装置移动或所述装载卸载装置移动。

4.根据权利要求2所述的真空互联系统，其特征在于，所述真空获得设备包括高真空获得设备和超高真空获得设备；

所述真空获得设备和所述管道设备连接具体为：

所述材料输入输出管道、所述真空过渡调节管道和所述材料传输管道与所述高真空获得设备连接，所述真空过渡调节管道与所述超高真空获得设备连接。

5.根据权利要求4所述的真空互联系统，其特征在于，所述中转过渡腔体与所述机械真空获得设备连接。

6.根据权利要求4所述的真空互联系统，其特征在于，所述交接互通腔体与所述机械真空获得设备连接。

7.根据权利要求1所述的真空互联系统，其特征在于，所述互联平台包括多个输入输出设备；所述多个输入输出设备均包括材料取放装置和至少两个接口的转接装置；

所述输入输出设备设置在所述互联平台与各个平台的连接处具体为：

所述转接装置的其中一个接口与所述互联平台连接，所述转接装置的其中另一个接口与所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台的输入输出接口连接，所述材料取放装置设置在所述转接装置上，用于将材料在所述互联平台和所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台之间进行取放。

8.根据权利要求1所述的真空互联系统，其特征在于，还包括接口设备，所述接口设备设置在所述输入输出设备与所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台的连接处。

9.根据权利要求2所述的真空互联系统，其特征在于，所述交接互通腔体内设置有自动化装载卸载机器人。

10.一种用于纳米材料实验的真空互联方法，其特征在于，应用于权利要求1-9任意一项所述的真空互联系统，所述真空互联系统具有多个输入输出设备；

所述真空互联方法包括：

利用所述互联平台中的所述输入输出设备，将所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台中材料放入所述互联平台中的所述传输设备上；

运行所述中续设备和所述真空获得设备调节所述互联平台中的各个设备的真空度，直至所述互联平台中各个设备的真空度一致；

开启所述控制设备，通过所述控制设备驱动载有材料的所述传输设备在所述管道设备中移动，使所述传输设备从所述一个输入输出设备移动到所述输入输出设备中的另一个输入输出设备；

利用所述另一个输入输出设备，将所述材料从所述传输设备上取出，放入与所述另一个输入输出设备连接的所述材料生长平台、器件工艺平台或测试分析平台中，完成材料在所述材料生长平台、器件工艺平台、测试分析平台和互联平台中的移动传输。