CN107899896A - 载盘搬送方法及装置 - Google Patents
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Abstract
本发明有关于载盘搬送装置，包括：由轨架所构成供载盘输送的轨道，该轨架作为载盘输送排出的端设有一推移装置，载盘受该推移装置的推送以进入一装卸机构的收纳盒，该收纳盒形成两侧开口；藉以有效将载盘推移入收纳盒进行收纳。
Description
本发明专利申请是申请号为201410344873.4、申请日为2014年7月18日的题为“涂布方法及装置”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明系有关于一种载盘搬送方法及装置，尤指一种用于搬送其上置设待加工元件进行加工的载盘搬送方法及装置。
背景技术
一般晶圆经切割成一片片芯片时，每一片芯片必须经由置设于一基板(SubstrateBoard)中进行封装，才能使该芯片被使用；而现行将芯片置设于基板上的作业通常透过一载盘(Boat)来完成，使载盘提供多数个整齐排列的置放区间，以供各基板置于载盘各置放区间，然后再将基板上预定位置涂覆黏性材料，以供芯片置于基板上时可藉该黏性材料固定于基板预设的定位以进行下一制程。
一种先前技术在基板上预定位置涂覆黏性材料的方法及装置，采用在两龙门下方设轨道，并使轨道上置设该载有基板的载盘，及于两龙门间的上方共同架设一横设的轨座，并在轨座上设内部容装黏性材料的胶阀，藉由横设的轨座可在两龙门上作Y轴向位移，而胶阀可在轨座上作X轴向及Z轴向位移，来对下方轨道中载盘上基板进行涂布黏性材料的作业。
另一种先前技术在基板上预定位置涂覆黏性材料的方法及装置，为提高效率而采用在两龙门下方设两平行的第一、二导轨，以分别输送二载盘，并在第一龙门上设第一导引轨道及第二导引轨道，以分别设置检测单元及第一出料头，及在第二龙门上设第三导引轨道以设置第二出料头，使第一导轨上的载盘输经第一龙门上第一导引轨道下方时受检测单元检测，再续输送经第一龙门上第二导引轨道下方受第一出料头涂布，然后再返回原第一龙门上第一导引轨道下方再受检测单元检测，以完成涂布作业；而第二导轨则与第一导鬼进行的程序及作业相同，但较第一导轨上的作业程序晚一步骤。
发明内容
先前技术采在两龙门下方设两平行的第一、二导轨以分别输送二载盘者，其虽具有较高的涂布效率，但因载盘是以人工置放入轨道中受在移动中被进行涂覆，因此对加工的效率低亦不适大量生产，完成涂布的该载有基板的载盘必须进行一返回程序，而返回至第一导引轨道下方接受检测单元的检测，造成行程的浪费与下一载盘进入的延迟，对产出效率形成延怠！且先前技术对完成涂布的载盘采用人工方式收集，其搬送的效率亦不适大量生产。
于是，本发明的目的，在于提供一种可有效将载盘推移入收纳盒进行收纳的载盘搬送装置。
本发明的另一目的，在于提供一种使用该载盘搬送装置有效将载盘推移入收纳盒进行收纳的载盘搬送方法。
本发明的又一目的，在于提供一种载盘搬送装置，包括：用以执行如所述载盘搬送方法的装置。
依据本发明的目的的载盘搬送装置，包括：一种载盘搬送装置，由轨架所构成供载盘输送的轨道，该轨架作为载盘输送排出的端设有一推移装置，载盘受该推移装置的推送以进入一装卸机构的收纳盒，该收纳盒形成两侧开口。
依据本发明另一目的的载盘搬送方法，使用如所述载盘搬送装置，当该载盘欲自该轨架输出至该装卸机构的该收纳盒时，使该载盘通过该轨架后，未完全被推入该收纳盒而有部份凸伸于外部，并藉由该推移装置将该载盘推抵入该收纳盒。
依据本发明又一目的的载盘搬送装置，包括：用以执行如所述载盘搬送方法的装置。
本发明实施例所提供载盘搬送方法及装置，由于在载盘的流路规划上，使在单纯的的装送机构(Loader)与装卸机构(Unloader)间的载盘上基板涂布黏性材料作业可以更具效率，使载盘收纳更确实而减少产线故障停滞，使黏性材料涂布效率及产能的因应能力更为提升，亦助于操作机构的统整管理与操控。
附图说明
图1系本发明实施例中主机台上载盘输送流路的俯视示意图。
图2系本发明实施例中主机台上载盘输送流路的立体示意图。
图3系本发明实施例中涂布装置的俯视示意图。
图4系本发明实施例中涂布装置的立体示意图。
图5系本发明实施例中第一固定轨架与治具的、载盘的立体分解示意图。
图6系本发明实施例中量测装置与残胶去除装置的立体示意图。
图7本发明实施例中装送装置处推送装置操作的立体示意图。
图8本发明实施例中装卸装置处推移装置的前侧立体示意图。
图9本发明实施例中装卸装置处推移装置的后侧立体示意图。
图10本发明实施例中推移装置操作的示意图(一)。
图11本发明实施例中推移装置操作的示意图(二)。
图12本发明实施例中推移装置操作的示意图(三)。
符号说明
A 主机台 A1 第一轨道
A11 第一固定轨架 A111 侧轨架
A112 固定件 A113 皮带驱动件
A114 皮带 A115 止挡机构
A116 止挡驱动件 A117 止销
A2 第二轨道 A21 第二固定轨架
A3 载盘 A31 镂空区间
A32 定位销 A33 载片
A4 第一转换机构 A41 驱动件
A42 第一活动轨架 A5 第二转换机构
A51 驱动件 A52 第二活动轨架
A6 操作区间 A61 第一龙门
A611 第一悬臂 A612 第一工作头
A613 第一滑座 A614 线性传动件
A615 线性传动件 A62 第二龙门
A621 第二悬臂 A622 第二工作头
A623 第二滑座 A624 线性传动件
A71 第一操作装置 A711 第一检测装置
A712 第一取像装置 A713 第一涂布头
A72 第二操作装置 A721 第二检测装置
A722 第二取像装置 A723 第二涂布头
A8 校正座 A81 校正刻度
A82 量测装置 A83 残胶去除装置
A831 夹具 A832 容器
A833 夹座 A834 挠性件
A9 治具 A91 治具座
A92 顶座 A93 负压槽道
B 副机台 B1 第三固定轨架
B2 X轴向驱动件 B3 Y轴向驱动件
B4 第二检测装置 B5 推移装置
B51 固定座 B52 滑轨
B521 滑块 B53 移动座
B54 无杆气压缸 B541 滑块
B55 推杆 B551 弹性元件
B56 挡压件 B571 第一感测件
B572 第二感测件 C 装送装置
C1 第一升降架 C2 收纳盒
C3 开口 C4 推送装置
C41 固定件 C42 轨座
C43 滑轨 C44 推抵件
C45 移动座 C46 皮带
C47 驱动件 D 装卸机构
D1 第二升降架 D2 收纳盒
D3 开口
具体实施方式
请参阅图1、图2，本发明实施例载盘搬送方法及装置可以图中的装置实施例来作说明；包括：
一主机台A，其上设置相对为较靠近操作者的第一轨道A1，以及相对为较远操作者并与第一轨道A1平行的第二轨道A2，所述第一轨道A1及第二轨道A2各可供一载盘A3于其中作定位或作X轴向的输送位移；所述第一轨道A1系由在固定位置不作位移的第一固定轨架A11所构成；所述第二轨道A2系由在固定位置不作位移的第二固定轨架A21所构成；在第一固定轨架A11、第二固定轨架A21两侧分别设有第一转换机构A4及第二转换机构A5，第一转换机构A4设有在一驱动件A41上可被驱动作Y轴向位移的第一活动轨架A42，第二转换机构A5设有在一驱动件A51上可被驱动作Y轴向位移的第二活动轨架A52；请参阅图3、图4，在第一轨道A1、第二轨道A2上方设有相隔一段间距的第一龙门A61及第二龙门A62，所述第一固定轨架A11、第二固定轨架A21相对应并恰位于第一龙门A61及第二龙门A62间所形成的操作区间A6；第一龙门A61的第一悬臂A611呈Y轴向，其上以X轴向设有第一工作头A612，第一悬臂A611上表面与第一工作头A612下表面间设有第一滑座A613，第一滑座A613下表面与第一悬臂A611上表面间，及第一滑座A613上表面与第一工作头A612下表面间分别各设有线性传动件A614、A615，其可为线性滑轨及包括有动子及定子的线性马达所构成，使第一工作头A612可在第一悬臂A611上表面上作X轴向及Y轴向位移；第二龙门A62的第二悬臂A621呈Y轴向，其上以X轴向设有第二工作头A622，第二悬臂A621上表面与第二工作头A622下表面间设有第二滑座A623，第二滑座A623下表面与第二悬臂A621上表面间、及第二滑座A623上表面与第二工作头A622下表面间分别各设有线性传动件A624、A625，其可为线性滑轨及包括有动子及定子的线性马达所构成，使第二工作头A622可在第二悬臂A621上表面上作X轴向及Y轴向位移；所述第一工作头A612朝所述操作区间A6的一端设有第一操作装置A71，其包括：第一检测装置A711、第一取像装置A712、第一涂布头A713，第二工作头间A622朝所述操作区间A6的一端设有第二操作装置A72，包括：第二检测装置A721、第二取像装置A722、第二涂布头A723，其中，第一检测装置A711、第二检测装置A721可为一可用以测量高度的雷射头，第一取像装置A712、第二取像装置A722可为一CCD镜头，第一涂布头A713、第二涂布头A723可为利用胶筒供胶以胶阀进行吐胶的黏性材料涂布装置；在所述操作区间A6的第一固定轨架A11、第二固定轨架A21间，设有一校正座A8，其上设有校正刻度A81；在第一轨道A1与操作者间，设有胶量的量测装置A82，其两侧各设有残胶去除装置A83；
一副机台B，其为与主机台A分离的独立机台，其上设有第三固定轨架B1，其与所述主机台A的第一轨道A1对应，并为所述第一轨道A1的载盘A3输送的后段流路而可供载盘A3输送停置其中；另设有可在一X轴向驱动件B2及一Y轴向驱动件B3驱动下对所述载盘A3上基板黏性材料涂布状况进行检测的第二检测装置B4，其可为倍率较所述第一、二取像装置A712、A722更高的CCD镜头；所述第三固定轨架B1作为载盘A3输送排出的一端设有一推移装置B5；
一装送机构(Loader)C，设于所述主机台A一侧，包括一第一升降架C1，以及受升降架C1驱动可在Y轴向作上升或下降的多数收纳盒C2，各收纳盒C2形成X轴向的两侧开口C3，并可被驱动升降以对应第一转换机构A4的第一活动轨架A42，并可以一推送装置C4将容纳于收纳盒C2中尚未进行黏性材料涂布的载盘A3推入主机台A的第一活动轨架A42中被输送进行黏性材料涂布；
一装卸机构(Unloader)D，设于所述副机台B一侧，包括一第二升降架D1，以及受升降架D1驱动可在Y轴向作上升或下降的多数收纳盒D2，各收纳盒D2形成X轴向的两侧开口D3，并可被驱动对应第二转换机构A5的第二活动轨架A52；收纳盒D2用以容纳已进行黏性材料涂布的载盘A3。
本发明实施例中，该载盘A3移载的流路由多数个独立轨架所各形成的独立流路所组成，包括第一固定轨架A11、第二固定轨架A21、第三固定轨架B1、第一活动轨架A42、第二活动轨架A52等轨架的构造皆大致相同，以下以设于第一固定轨架A11处的构造作说明，请参阅图5，第一固定轨架A11系以二相隔间距的侧轨件A111形成载盘A3可输经的第一轨道A1，二侧轨件A111并以固定件A112固定及架高于主机台A上方一高度间距处，二侧轨件A111相对的内侧各设有受马达构成的皮带驱动件A113所驱动的皮带A114，而载盘A3即置设于该二侧轨件A111间的皮带A114上方被输送；第一轨道A1一端同时亦设有一止挡机构A115，其以一汽缸构成的止挡驱动件A116驱动的止销A117上升以止挡第一轨道A1中被输送的载盘A3止于定位，或下降以令载盘A3通过；
惟，另在第一固定轨架A11、第二固定轨架A21下方各设有一治具A9，其上设有一可受驱动作上、下位移的治具座A91，治具座A91上设有多数呈矩阵排列的顶座A92，各顶座A92上各设有凹设呈交叉开设的负压槽道A93；另，载盘A3内设有多数镂空区间A31，各镂空区间A31四脚落处各设有定位销A32，于镂空区间A31处分别各置设一载片A33，其四角缘恰嵌于该等定位销A32间获得定位；当载盘A3恰被输送于该第一固定轨架A11中时，所述治具A9的治具座A91将被驱动上移时，而以其上各顶座A92上表面在被连动上升顶触及载片A33时，经由在负压槽道A93通以负压，而使载片A33在被吸附于顶座A92上表面下续令顶座A92被升经镂空区间A31，以使载片A33上所置设的载有芯片的基板被进行制程的施作；而当治具座A91在被驱动下降时，载有芯片及基板的载片A33在触及定位销A32间载盘A3时，将被留置于载盘A3上。
请参阅图6，胶量的量测装置A82两侧所设的残胶去除装置A83，各包括一夹具A831及一容器A832，夹具A831两夹座A833内侧各设有挠性件A834，用以夹脱图4中第一涂布头A713、第二涂布头A723吐胶后的残余黏性材料，而容器A832则用以提供第一涂布头A713、第二涂布头A723将剩余黏性材料排出容置。
请参阅图7，推送装置C4包括一可藉固定件C41固设于第一升降架C1的轨座C42，轨座C42上设有滑轨C43供一其上设有推抵件C44的移动座C45枢设，该移动座C45与一皮带C46连动并受马达构成的驱动件C47所驱动，可驱使移动座C45连动推抵件C44对载盘A3进行推送的操作。
请参阅图8、图9，推移装置B5系设有一固定座B51，在固定座B51上设有滑轨B52，并在滑轨B52的滑块B521上设有一移动座B53，使移动座B53与一无杆气压缸B54上的滑块B541连动，使一推杆B55弯设而以一端枢设于移动座B53，推杆B55与移动座B53间设有一弹性元件B551，并在无杆气压缸B54与滑轨B52同向的一端设有轴承构成的挡压件B56，及在移动座B53前后位移的动路上设有第一感测件B571及第二感测件B572。
请参阅图10，当载盘A3欲自第三固定轨架B1输出至收至后方第二感测件B572处，而使推杆B55触及挡压件B56的轴承，令推杆B55的前端下倾并压缩弹性元件B551，使其弯设处放低供载盘A3通过；请参阅图11，当载盘A3通过后，由于收纳盒D2与第三固定轨架B1间有一段间距，故载盘A3无法完全被推入收纳盒D2而有部份凸伸于外部；此时推移装置B5的移动座B53被驱动前移脱离第二感测件B572，推杆B55因脱离挡压件B56的轴承，弹性元件B551的回复力将使推杆B55重新仰起而以前端正对应载盘A3地前进；请参阅图12，推移装置B5的移动座B53被驱动前移而以推杆B55前端推抵载盘A3进入收纳盒D2，直到移动座B53触及第一感测件B571。
本发明实施例在实施上，载盘A3由装送机构经推送装置C4的推送而进入第一转换机构A4的第一活动轨架A42，在第一活动轨架A42此时恰对应第一轨道A1的情况下，第一活动轨架A42将载盘A3输送进入操作区A6的第一固定轨架A11上；下一个载盘A3由装送机构经推送装置C4的推送而进入第一转换机构A4的第一活动轨架A42时，第一活动轨架A42将受驱动件A41驱动作Y轴向位移至对应第二轨道A2，并将载盘A3输送至操作区A6中的第二固定轨架A21上。
已先位于第一轨道A1的第一固定轨架A11上的载盘A3上基板将先被第一工作头A612朝所述操作区间A6一端的第一操作装置A71及第二工作头间A622朝所述操作区间A6一端的第二操作装置A72进行作业，所述作业包括基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料的步骤，其中，基板位置定位步骤以第一取像装置A712、第二取像装置A722进行，基板高度测高步骤以第一检测装置A711、第二检测装置A721进行，基板上涂布黏性材料步骤以第一涂布头A713第二涂布头A723进行；
涂布黏性材料的方法依照拟在基板上涂布一种或两种黏性材料而有区别，例如：
涂布一种黏性材料时：第一工作头A612的第一操作装置A71及第二工作头A622的第二操作装置A72系采同步在一载盘A3上操作基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等三步骤的方式进行，第一操作装置A71由载盘A3左边侧、第二操作装置A72由载盘A3中央，二者同步向右、向下或向左位移，依所述基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等三步骤逐次进行；
涂布二种不同的黏性材料时：第一工作头A612的第一操作装置A71及第二工作头A622的第二操作装置A72系采同步在第一固定轨架A11上载盘A3上操作基板位置定位、基板高度测高后，再同步移至第二固定轨架A21上载盘A3上操作基板位置定位、基板高度测高；然后第一工作头A612的第一操作装置A71移至第一固定轨架A11上载盘A3上操作基板上涂布黏性材料步骤以涂布第一种黏性材料在载盘A3的基板上，而第二工作头A622的第二操作装置A72留在第二固定轨架A21的载盘A3上操作基板上涂布黏性材料步骤以涂布第二种黏性材料在载盘A3的基板上；完成后，第一工作头A612的第一操作装置A71再换移至第二固定轨架A21的载盘A3上操作涂布第一种黏性材料在载盘A3的基板上，而第二工作头A622的第二操作装置A72则换移至第一固定轨架A11上载盘A3上操作涂布第二种黏性材料在载盘A3的基板上，以交互涂布方式进行。
第一固定轨架A11上完成基板上涂布黏性材料步骤的载盘A3将被先输送至第二转换机构A5的第二活动轨架A52，并被输送至副机台B的第三固定轨架B1进行以第二检测装置B4的CCD镜头检测，并于完成检测后被输送至装卸机构(Unload)D的收纳盒D2收集，并在载盘A3进入收纳盒D2时，推移装置B5执行一推送步骤，使推杆B55于载盘A输送经过时可落下供载盘A3经过，而载盘A3经过后可上仰对载盘A3进行推移，以推送载盘A3进入收纳盒D2至定位；而完成第一固定轨架A11上载盘A3输送至副机台B的第三固定轨架B1后，第二转换机构A5的第二活动轨架A52亦将被驱动位移至第二固定轨架A21承接其上输送出的载盘A3，并将该载盘A3输送至副机台B的第三固定轨架B1进行以第二检测装置B4的CCD镜头检测，并于完成检测后被输送至装卸机构(Unloader)D的收纳盒D2收集。
本发明实施例的载盘搬送方法及装置，载盘A3所移载的流路，依载盘A3受移载顺序，依序包括：
第一选择性流路，由装送机构(Loader)C的收纳盒D2作Z轴向位移所构成；用以将位于收纳盒D2中尚未涂布黏性材料的载盘A3逐一输送出收纳盒；
第二选择性流路，由第一转换机构A4的第一活动轨架A42作Y轴向位移所构成；用以将载盘A3逐一顺序转换分配至不同输送流路；
第一固定流路，由第一固定轨架A11所构成；用以使载盘A3于定位供执行基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等步骤；
第二固定流路，由第二固定轨架A21所构成；用以使载盘A3于定位供执行基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等步骤；
第三选择性流路，由第二转换机构A5的第二活动轨架A52作Y轴向位移所构成；用以将载盘A3自不同输送流路逐一顺序转换卸移至同一输送流路；
第三固定流路，由副机台B的第三固定轨架B1所构成；用以使完成黏性材料涂布的载盘A3于定位供执行检测；
第四选择性流路，由装卸机构(Unloader)D的收纳盒D2作Z轴向位移所构成；用以将已涂布黏性材料的载盘A3逐一承收于收纳盒。
本发明实施例的载盘搬送方法及装置，由于在载盘A3的流路规划上，使在单纯的的装送机构(Loader)C与装卸机构(Unloader)D间的载盘A3上基板涂布黏性材料作业可以更具效率，使载盘A3收纳更确实而减少产线故障停滞，使黏性材料涂布效率及产能的因应能力更为提升，亦助于操作机构的统整管理与操控。
惟以上所述者，仅为本发明的较佳实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，即大凡依本发明申请专利范围及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。
Claims (11)
1.一种载盘搬送装置，包括：
由轨架所构成供载盘输送的轨道，该轨架作为载盘输送排出的端设有一推移装置，载盘受该推移装置的推送以进入一装卸机构的收纳盒，该收纳盒形成两侧开口。
2.如权利要求1所述的载盘搬送装置，其特征在于，该装卸机构包括一升降架，收纳盒受升降架驱动可作上升或下降，用以容纳已完成加工的载盘。
3.如权利要求1所述的载盘搬送装置，其特征在于，该推移装置包括一固定座，在固定座上设有滑轨，并在滑轨的滑块上设有一移动座，使该移动座与一气压缸上的滑块连动，使一推杆以一端枢设于该移动座，该推杆与该移动座间设有一弹性元件，并在该气压缸与滑轨同向的一端设有挡压件，及在该移动座前后位移的动路上设有一第一感测件及一第二感测件。
4.如权利要求1所述的载盘搬送装置，其特征在于，该轨架以二相隔间距的侧轨件形成载盘可输经的轨道，二侧轨件相对的内侧设有受驱动件所驱动的皮带，载盘于该二侧轨件间的皮带被输送。
5.如权利要求1所述的载盘搬送装置，其特征在于，该轨架设有一止挡机构以止挡被输送的载盘止于定位或令载盘通过。
6.如权利要求1所述的载盘搬送装置，其特征在于，包括：一装送机构，该载盘经由装送机构而输送至轨道，该装送机构包括一第一升降架，以及受该第一升降架驱动可作上升或下降的另一收纳盒，此另一收纳盒形成两侧开口，并可被驱动升降以一推送装置将容纳于收纳盒中尚未进行加工的载盘推出。
7.如权利要求6所述的载盘搬送装置，其特征在于，该推送装置包括一可藉固定件固设于该第一升降架的轨座，该轨座上设有滑轨供一其上设有推抵件的移动座枢设，该移动座与一皮带连动并受马达构成的驱动件所驱动，可驱使该移动座连动该推抵件对载盘进行推送的操作。
8.一种载盘搬送方法，使用如权利要求1所述载盘搬送装置，当该载盘欲自该轨架输出至该装卸机构的该收纳盒时，使该载盘通过该轨架后，未完全被推入该收纳盒而有部份凸伸于外部，并藉由该推移装置将该载盘推抵入该收纳盒。
9.如权利要求8所述的载盘搬送方法，其特征在于，该推移装置位于该轨架中一推杆的前端下倾，使其放低供该载盘通过；当该载盘通过后，该推杆重新仰起而以前端正对应该载盘地前进，而以该推杆前端推抵该载盘进入该收纳盒。
10.如权利要求9所述的载盘搬送方法，其特征在于，该推杆因受驱动后移至触及一挡压件而使前端下倾，因前移至脱离该挡压件而受一弹性元件的回复力使该推杆重新仰起。
11.一種载盘搬送裝置，包括：用以执行如权利要求8至11所述载盘搬送方法的装置。
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