CN104624435A - 涂布方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明有关于涂布方法及装置，该涂布装置包括：一主机台，其上设置可供载盘定位或输送的第一轨道与第二轨道，以及第一转换机构、第二转换机构；在第一轨道、第二轨道上方设第一龙门及第二龙门形成其间的操作区间；第一龙门上设有第一操作装置，第二龙门上设有第二操作装置；所述载盘经由第一转换机构而输送至第一轨道或第二轨道受第一操作装置及第二操作装置进行黏性材料涂布，并于完成后，由第一轨道或第二轨道经第二转换机构输送移出接受检测并以收纳盒作收集者。

Description

涂布方法及装置

技术领域

本发明系有关于一种涂布方法及装置，尤指一种用于在一载盘上，对载盘上所置设用于承载芯片的基板(Substrate)进行涂布黏性材料的涂布方法及装置。

背景技术

一般晶圆经切割成一片片芯片时，每一片芯片必须经由置设于一基板(Substrate Board)中进行封装，才能使该芯片被使用；而现行将芯片置设于基板上的作业通常透过一载盘(Boat)来完成，使载盘提供多数个整齐排列的置放区间，以供各基板置于载盘各置放区间，然后再将基板上预定位置涂覆黏性材料，以供芯片置于基板上时可藉该黏性材料固定于基板预设的定位以进行下一制程。

一种先前技术在基板上预定位置涂覆黏性材料的方法及装置，采用在两龙门下方设轨道，并使轨道上置设该载有基板的载盘，及于两龙门间的上方共同架设一横设的轨座，并在轨座上设内部容装黏性材料的胶阀，藉由横设的轨座可在两龙门上作Y轴向位移，而胶阀可在轨座上作X轴向及Z轴向位移，来对下方轨道中载盘上基板进行涂布黏性材料的作业。

另一种先前技术在基板上预定位置涂覆黏性材料的方法及装置，为提高效率而采用在两龙门下方设两平行的第一、二导轨，以分别输送二载盘，并在第一龙门上设第一导引轨道及第二导引轨道，以分别设置检测单元及第一出料头，及在第二龙门上设第三导引轨道以设置第二出料头，使第一导轨上的载盘输经第一龙门上第一导引轨道下方时受检测单元检测，再续输送经第一龙门上第二导引轨道下方受第一出料头涂布，然后再返回原第一龙门上第一导引轨道下方再受检测单元检测，以完成涂布作业；而第二导轨则与第一导鬼进行的程序及作业相同，但较第一导轨上的作业程序晚一步骤。

发明内容

先前技术采在两龙门下方设两平行的第一、二导轨以分别输送二载盘者，其虽较在两龙门下方设轨道，并使轨道上置设该载有基板的载盘，及于两龙门间的上方共同架设一横设的轨座者具有较高的涂布效率，但因其就单一载盘上的涂布作业而言，因载盘是在移动中被进行涂覆，因此出料头的位移与载盘的位移构成更多的变动因素，对于涂布精度形成精确性的影响；再者，由于其采三个导引轨道来分别设置检测单元、第一出料头、第二出料头的方式，使在第一出料头、第二出料头完成涂布的该载有基板的载盘必须进行一返回程序，而返回至第一导引轨道下方接受检测单元的检测，造成行程的浪费与下一载盘进入的延迟，对产出效率形成延怠！

于是，本发明的目的，在于提供一种使被输送的载盘可有效率地在多个轨道上进行黏性材料涂布的涂布装置。

本发明的另一目的，在于提供一种使各项操作集中于同一操作区间以便于操作管理的涂布装置。

本发明的又一目的，在于提供一种使载盘在定位被进行黏性材料涂布以增加精确性的涂布装置。

本发明的再一目的，在于提供一种使在黏性材料涂布过程中易于进行各项定位校正的涂布装置。

本发明的又再一目的，在于提供二种使被输送的载盘可有效率地在多个轨道上进行黏性材料涂布的涂布方法。

本发明的又再一目的，在于提供一种使载盘在定位被进行黏性材料涂布以增加精确性的涂布方法。

本发明的又再一目的，在于提供二种使操作装置在进行黏性材料涂布时可避免碰撞的涂布方法。

本发明的又再一目的，在于提供一种将载盘完成涂布黏性材料后输送至收纳盒收集的涂布方法。

本发明的又再一目的，在于提供一种以有效率的载盘移载流路进行黏性材料涂布的涂布方法。

依据本发明的目的的涂布装置，包括：一主机台，其上设置可供一载盘于其中作定位或作输送位移第一轨道与第二轨道；其两侧分别设有可被驱动作位移的第一活动轨架的第一转换机构及可被驱动作位移的第二活动轨架的第二转换机构；在第一轨道、第二轨道上方设有相隔一段间距的第一龙门及第二龙门，所述第一轨道与第二轨道位于第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间；第一龙门的第一悬臂上设有第一操作装置，第二龙门的第二悬臂上设有第二操作装置；所述载盘经由第一转换机构的第一活动轨架而输送至第一轨道或第二轨道受第一操作装置及第二操作装置进行黏性材料涂布，并于完成后，由第一轨道或第二轨道经第二转换机构的第二活动轨架输送移出者。

依据本发明另一目的的涂布装置，包括：一主机台，其上设置第一轨道与第二轨道，所述第一轨道及第二轨道各可供一载盘于其中作定位或作输送位移；在第一轨道、第二轨道上方设有相隔一段间距的第一龙门及第二龙门，所述第一轨道与第二轨道位于第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间；第一龙门的第一悬臂上设有第一操作装置，第二龙门的第二悬臂上设有第二操作装置；该所述第一操作装置包括：第一检测装置、第一取像装置、第一涂布头；该第二操作装置包括：第二检测装置、第二取像装置、第二涂布头；所述载盘于操作区间中的第一轨道或第二轨道上受第一操作装置及第二操作装置进行基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料，并于完成后，由第一轨道或第二轨道输送移出者。

依据本发明又一目的的涂布装置，包括：一主机台，其上设置第一轨道与第二轨道，所述第一轨道及第二轨道各可供一载盘于其中作定位或作输送位移；在第一轨道、第二轨道上方设有相隔一段间距的第一龙门及第二龙门，所述第一固定轨架、第二固定轨架位于第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间；第一龙门上设有第一操作装置，第二龙门上设有第二操作装置；在第一轨道与第二轨道处各设有一治具，该治具设有一可受驱动作上、下位移的治具座，治具座上设有多数顶座，各顶座上设有负压槽道；另，载盘内设有多数镂空区间，各镂空区间处分别各置设载片；当载盘被输送至第一轨道或第二轨道处时，所述治具的治具座将被驱动上移以顶座顶触载片，并在负压槽道通以负压，使载片被吸附于顶座上表面下令顶座升经镂空区间，以使载片上所置设载有芯片的基板被第一操作装置、第二操作装置进行黏性材料涂布。

依据本发明再一目的的涂布装置，包括：一主机台，其上设置第一轨道与第二轨道，所述第一轨道及第二轨道各可供一载盘于其中作定位或作输送位移；在第一轨道、第二轨道上方设有相隔一段间距的第一龙门及第二龙门，所述第一固定轨架、第二固定轨架位于第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间；第一龙门上设有第一操作装置，第二龙门上设有第二操作装置；在所述操作区间的第一轨道与第二轨道间，设有一校正座，其上设有校正刻度；以使载盘上所载设的基板被第一操作装置、第二操作装置进行黏性材料涂布时时藉以校正定位者。

依据本发明又再一目的的涂布方法，用以在一载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘移载的流路包括：第二选择性流路，由第一转换机构的第一活动轨架作Y轴向位移所构成；第一固定流路，由第一固定轨架所构成；第二固定流路，由第二固定轨架所构成；第三选择性流路，由第二转换机构的第二活动轨架作Y轴向位移所构成。

依据本发明又再一目的的另一涂布方法，用以在一载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘移载的流路包括：第二选择性流路，用以将载盘逐一顺序转换分配至不同输送流路；第一固定流路，用以使载盘于定位供执行基板上涂布黏性材料步骤；第二固定流路，用以使载盘于定位供执行基板上涂布黏性材料步骤；第三选择性流路，用以将载盘自不同输送流路逐一顺序转换卸移至同一输送流路。

依据本发明又再一目的的再一涂布方法，用以在一载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘被输送于由第一龙门及第二龙门间所形成的一操作区间内的X轴向轨道中；提供可分别各在所述第一龙门、第二龙门上作X轴向及Y轴向位移的第一工作头、第二工作头，于二者各朝所述操作区间的一端分别各设第一操作装置、第二操作装置进行在基板上涂布黏性材料者。

依据本发明又再一目的的涂布方法，用以在一载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘被输送于由第一龙门及第二龙门间所形成的一操作区间内的轨道中，第一龙门及第二龙门上分别各设有第一操作装置、第二操作装置对该载盘进行同步在一载盘上操作基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等三步骤，其中，第一操作装置由载盘左边侧、第二操作装置由载盘中央，二者同步向右、向下或向左位移，依所述基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等三步骤逐次进行者。

依据本发明又再一目的的涂布方法，用以在一载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘被输送于由第一龙门及第二龙门间所形成的一操作区间的第一轨道、第二轨道中，第一龙门及第二龙门上分别各设有第一操作装置、第二操作装置，二者对该载盘进行：同步在第一轨道上载盘操作基板位置定位、基板高度测高后，再同步移至第二轨道上载盘操作基板位置定位、基板高度测高；然后第一操作装置移至第一轨道操作基板上涂布黏性材料步骤以涂布第一种黏性材料在载盘的基板上，而第二操作装置留在第二轨道操作基板上涂布黏性材料步骤以涂布第二种黏性材料在载盘的基板上；完成后，第一操作装置再换移至第二轨道操作涂布第一种黏性材料在载盘的基板上，而第二操作装置则换移至第一轨道操作涂布第二种黏性材料在载盘的基板上。

依据本发明又再一目的的涂布方法，用以在一载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘完成涂布黏性材料欲输送至收纳盒时，执行一推送步骤，该推送步骤使用载盘输送经过时可落下供载盘经过，而载盘经过后可上仰对载盘推移的推杆，以推送载盘进入收纳盒定位。

依据本发明又再一目的的涂布方法，用以在一载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘移载的流路由多数个独立轨架所各形成的独立流路所组成，各轨架分别各包括由二相隔间距的侧轨件形成载盘可输经的轨道，二侧轨件相对的内侧设有受驱动件所驱动的皮带，载盘于该二侧轨件间的皮带被输送。

本发明实施例所提供涂布方法及装置，由于在载盘的流路规划，及第一工作头的第一操作装置与第二工作头的第二操作装置的互动规划，使在单纯的装送机构与装卸机构间的载盘上基板涂布黏性材料作业可以更具效率，并能因应一种或多种的黏性材料涂布，亦能藉由控制而选择第一轨道或第一轨道、第二轨道进行黏性材料涂布，且完成涂布的载盘无须进行一返回程序即能完成检测，使黏性材料涂布效率及产能的因应能力更为提升；而以载盘在操作区中的第一固定轨架或第二固定轨架上，以在载盘定位下被接受第一工作头的第一操作装置与第二工作头的第二操作装置的包括基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料的操作步骤，不仅可增加操作黏性材料涂布的精确性，亦助于操作机构的统整管理与操控。

附图说明

图1系本发明实施例中主机台上载盘输送流路的俯视示意图。

图2系本发明实施例中主机台上载盘输送流路的立体示意图。

图3系本发明实施例中涂布装置的俯视示意图。

图4系本发明实施例中涂布装置的立体示意图。

图5系本发明实施例中第一固定轨架与治具的、载盘的立体分解示意图。

图6系本发明实施例中量测装置与残胶去除装置的立体示意图。

图7本发明实施例中装送装置处推送装置操作的立体示意图。

图8本发明实施例中装卸装置处推移装置的前侧立体示意图。

图9本发明实施例中装卸装置处推移装置的后侧立体示意图。

图10本发明实施例中推移装置操作的示意图(一)。

图11本发明实施例中推移装置操作的示意图(二)。

图12本发明实施例中推移装置操作的示意图(三)。

符号说明

A         主机台              A1          第一轨道

A11       第一固定轨架        A111        侧轨架

A112      固定件              A113        皮带驱动件

A114      皮带                A115        止挡机构

A116      止挡驱动件          A117        止销

A2        第二轨道            A21         第二固定轨架

A3        载盘                A31         镂空区间

A32       定位销              A33         载片

A4        第一转换机构        A41         驱动件

A42       第一活动轨架        A5          第二转换机构

A51       驱动件              A52         第二活动轨架

A6        操作区间            A61         第一龙门

A611      第一悬臂            A612        第一工作头

A613             第一滑座           A614         线性传动件

A615             线性传动件         A62          第二龙门

A621             第二悬臂           A622         第二工作头

A623             第二滑座           A624         线性传动件

A71              第一操作装置       A711         第一检测装置

A712             第一取像装置       A713         第一涂布头

A72              第二操作装置       A721         第二检测装置

A722             第二取像装置       A723         第二涂布头

A8               校正座             A81          校正刻度

A82              量测装置           A83          残胶去除装置

A831             夹具               A832         容器

A833             夹座               A834         挠性件

A9               治具               A91          治具座

A92              顶座               A93          负压槽道

B                副机台             B1           第三固定轨架

B2               X轴向驱动件        B3           Y轴向驱动件

B4               第二检测装置       B5           推移装置

B51              固定座             B52          滑轨

B521             滑块               B53          移动座

B54              无杆气压缸         B541         滑块

B55              推杆               B551         弹性组件

B56              挡压件             B571         第一感测件

B572             第二感测件         C            装送装置

C1               第一升降架         C2           收纳盒

C3               开口               C4           推送装置

C41              固定件             C42          轨座

C43              滑轨            C44       推抵件

C45              移动座          C46       皮带

C47              驱动件          D         装卸机构

D1               第二升降架      D2        收纳盒

D3               开口

具体实施方式

请参阅图1、图2，本发明实施例涂布方法及装置可以图中的装置实施例来作说明；包括：

一主机台A，其上设置相对为较靠近操作者的第一轨道A1，以及相对为较远操作者并与第一轨道A1平行的第二轨道A2，所述第一轨道A1及第二轨道A2各可供一载盘A3于其中作定位或作X轴向的输送位移；所述第一轨道A1系由在固定位置不作位移的第一固定轨架A11所构成；所述第二轨道A2系由在固定位置不作位移的第二固定轨架A21所构成；在第一固定轨架A11、第二固定轨架A21两侧分别设有第一转换机构A4及第二转换机构A5，第一转换机构A4设有在一驱动件A41上可被驱动作Y轴向位移的第一活动轨架A42，第二转换机构A5设有在一驱动件A51上可被驱动作Y轴向位移的第二活动轨架A52；请参阅图3、图4，在第一轨道A1、第二轨道A2上方设有相隔一段间距的第一龙门A61及第二龙门A62，所述第一固定轨架A11、第二固定轨架A21相对应并恰位于第一龙门A61及第二龙门A62间所形成的操作区间A6；第一龙门A61的第一悬臂A611呈Y轴向，其上以X轴向设有第一工作头A612，第一悬臂A611上表面与第一工作头A612下表面间设有第一滑座A613，第一滑座A613下表面与第一悬臂A611上表面间，及第一滑座A613上表面与第一工作头A612下表面间分别各设有线性传动件A614、A615，其可为线性滑轨及包括有动子及定子的线性马达所构成，使第一工作头A612可在第一悬臂A611上表面上作X轴向及Y轴向位移；第二龙门A62的第二悬臂A621呈Y轴向，其上以X轴向设有第二工作头A622，第二悬臂A621上表面与第二工作头A622下表面间设有第二滑座A623，第二滑座A623下表面与第二悬臂A621上表面间、及第二滑座A623上表面与第二工作头A622下表面间分别各设有线性传动件A624、A625，其可为线性滑轨及包括有动子及定子的线性马达所构成，使第二工作头A622可在第二悬臂A621上表面上作X轴向及Y轴向位移；所述第一工作头A612朝所述操作区间A6的一端设有第一操作装置A71，其包括：第一检测装置A711、第一取像装置A712、第一涂布头A713，第二工作头间A622朝所述操作区间A6的一端设有第二操作装置A72，包括：第二检测装置A721、第二取像装置A722、第二涂布头A723，其中，第一检测装置A711、第二检测装置A721可为一可用以测量高度的雷射头，第一取像装置A712、第二取像装置A722可为一CCD镜头，第一涂布头A713、第二涂布头A723可为利用胶筒供胶以胶阀进行吐胶的黏性材料涂布装置；在所述操作区间A6的第一固定轨架A11、第二固定轨架A21间，设有一校正座A8，其上设有校正刻度A81；在第一轨道A1与操作者间，设有胶量的量测装置A82，其两侧各设有残胶去除装置A83；

一副机台B，其为与主机台A分离的独立机台，其上设有第三固定轨架B1，其与所述主机台A的第一轨道A1对应，并为所述第一轨道A1的载盘A3输送的后段流路而可供载盘A3输送停置其中；另设有可在一X轴向驱动件B2及一Y轴向驱动件B3驱动下对所述载盘A3上基板黏性材料涂布状况进行检测的第二检测装置B4，其可为倍率较所述第一、二取像装置A712、A722更高的CCD镜头；所述第三固定轨架B1作为载盘A3输送排出的一端设有一推移装置B5；

一装送机构(Load)C，设于所述主机台A一侧，包括一第一升降架C1，以及受升降架C1驱动可在Y轴向作上升或下降的多数收纳盒C2，各收纳盒C2形成X轴向的两侧开口C3，并可被驱动升降以对应第一转换机构A4的第一活动轨架A42，并可以一推送装置C4将容纳于收纳盒C2中尚未进行黏性材料涂布的载盘A3推入主机台A的第一活动轨架A42中被输送进行黏性材料涂布；

一装卸机构(Unload)D，设于所述副机台B一侧，包括一第二升降架D1，以及受升降架D1驱动可在Y轴向作上升或下降的多数收纳盒D2，各收纳盒D2形成X轴向的两侧开口D3，并可被驱动对应第二转换机构A5的第二活动轨架A52；收纳盒D2用以容纳已进行黏性材料涂布的载盘A3。

本发明实施例中，该载盘A3移载的流路由多数个独立轨架所各形成的独立流路所组成，包括第一固定轨架A11、第二固定轨架A21、第三固定轨架B1、第一活动轨架A42、第二活动轨架A52等轨架的构造皆大致相同，以下以设于第一固定轨架A11处的构造作说明，请参阅图5，第一固定轨架A11系以二相隔间距的侧轨件A111形成载盘A3可输经的第一轨道A1，二侧轨件A111并以固定件A112固定及架高于主机台A上方一高度间距处，二侧轨件A111相对的内侧各设有受马达构成的皮带驱动件A113所驱动的皮带A114，而载盘A3即置设于该二侧轨件A111间的皮带A114上方被输送；第一轨道A1一端同时亦设有一止挡机构A115，其以一汽缸构成的止挡驱动件A116驱动的止销A117上升以止挡第一轨道A1中被输送的载盘A3止于定位，或下降以令载盘A3通过；

惟，另在第一固定轨架A11、第二固定轨架A21下方各设有一治具A9，其上设有一可受驱动作上、下位移的治具座A91，治具座A91上设有多数呈矩阵排列的顶座A92，各顶座A92上各设有凹设呈交叉开设的负压槽道A93；另，载盘A3内设有多数镂空区间A31，各镂空区间A31四脚落处各设有定位销A32，于镂空区间A31处分别各置设一载片A33，其四角缘恰嵌于该等定位销A32间获得定位；当载盘A3恰被输送于该第一固定轨架A11中时，所述治具A9的治具座A91将被驱动上移时，而以其上各顶座A92上表面在被连动上升顶触及载片A33时，经由在负压槽道A93通以负压，而使载片A33在被吸附于顶座A92上表面下续令顶座A92被升经镂空区间A31，以使载片A33上所置设的载有芯片的基板被进行制程的施作；而当治具座A91在被驱动下降时，载有芯片及基板的载片A33在触及定位销A32间载盘A3时，将被留置于载盘A3上。

请参阅图6，胶量的量测装置A82两侧所设的残胶去除装置A83，各包括一夹具A831及一容器A832，夹具A831两夹座A833内侧各设有挠性件A834，用以夹脱图4中第一涂布头A713、第二涂布头A723吐胶后的残余黏性材料，而容器A832则用以提供第一涂布头A713、第二涂布头A723将剩余黏性材料排出容置。

请参阅图7，推送装置C4包括一可藉固定件C41固设于第一升降架C1的轨座C42，轨座C42上设有滑轨C43供一其上设有推抵件C44的移动座C45枢设，该移动座C45与一皮带C46连动并受马达构成的驱动件C47所驱动，可驱使移动座C45连动推抵件C44对载盘A3进行推送的操作。

请参阅图8、图9，推移装置B5系设有一固定座B51，在固定座B51上设有滑轨B52，并在滑轨B52的滑块B521上设有一移动座B53，使移动座B53与一无杆气压缸B54上的滑块B541连动，使一推杆B55弯设而以一端枢设于移动座B53，推杆B55与移动座B53间设有一弹性组件B551，并在无杆气压缸B54与滑轨B52同向的一端设有轴承构成的挡压件B56，及在移动座B53前后位移的动路上设有第一感测件B571及第二感测件B572。

请参阅图10，当载盘A3欲自第三固定轨架B1输出至收至后方第二感测件B572处，而使推杆B55触及挡压件B56的轴承，令推杆B55的前端下倾并压缩弹性组件B551，使其弯设处放低供载盘A3通过；请参阅图11，当载盘A3通过后，由于收纳盒D2与第三固定轨架B1间有一段间距，故载盘A3无法完全被推入收纳盒D2而有部份凸伸于外部；此时推移装置B5的移动座B53被驱动前移脱离第二感测件B572，推杆B55因脱离挡压件B56的轴承，弹性组件B551的回复力将使推杆B55重新仰起而以前端正对应载盘A3地前进；请参阅图12，推移装置B5的移动座B53被驱动前移而以推杆B55前端推抵载盘A3进入收纳盒D2，直到移动座B53触及第一感测件B571。

本发明实施例在实施上，载盘A3由装送机构经推送装置C4的推送而进入第一转换机构A4的第一活动轨架A42，在第一活动轨架A42此时恰对应第一轨道A1的情况下，第一活动轨架A42将载盘A3输送进入操作区A6的第一固定轨架A11上；下一个载盘A3由装送机构经推送装置C4的推送而进入第一转换机构A4的第一活动轨架A42时，第一活动轨架A42将受驱动件A41驱动作Y轴向位移至对应第二轨道A2，并将载盘A3输送至操作区A6中的第二固定轨架A21上。

已先位于第一轨道A1的第一固定轨架A11上的载盘A3上基板将先被第一工作头A612朝所述操作区间A6一端的第一操作装置A71及第二工作头间A622朝所述操作区间A6一端的第二操作装置A72进行作业，所述作业包括基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料的步骤，其中，基板位置定位步骤以第一取像装置A712、第二取像装置A722进行，基板高度测高步骤以第一检测装置A711、第二检测装置A721进行，基板上涂布黏性材料步骤以第一涂布头A713第二涂布头A723进行；

涂布黏性材料的方法依照拟在基板上涂布一种或两种黏性材料而有区别，例如：

涂布一种黏性材料时：第一工作头A612的第一操作装置A71及第二工作头A622的第二操作装置A72系采同步在一载盘A3上操作基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等三步骤的方式进行，第一操作装置A71由载盘A3左边侧、第二操作装置A72由载盘A3中央，二者同步向右、向下或向左位移，依所述基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等三步骤逐次进行；

涂布二种不同的黏性材料时：第一工作头A612的第一操作装置A71及第二工作头A622的第二操作装置A72系采同步在第一固定轨架A11上载盘A3上操作基板位置定位、基板高度测高后，再同步移至第二固定轨架A21上载盘A3上操作基板位置定位、基板高度测高；然后第一工作头A612的第一操作装置A71移至第一固定轨架A11上载盘A3上操作基板上涂布黏性材料步骤以涂布第一种黏性材料在载盘A3的基板上，而第二工作头A622的第二操作装置A72留在第二固定轨架A21的载盘A3上操作基板上涂布黏性材料步骤以涂布第二种黏性材料在载盘A3的基板上；完成后，第一工作头A612的第一操作装置A71再换移至第二固定轨架A21的载盘A3上操作涂布第一种黏性材料在载盘A3的基板上，而第二工作头A622的第二操作装置A72则换移至第一固定轨架A11上载盘A3上操作涂布第二种黏性材料在载盘A3的基板上，以交互涂布方式进行。

第一固定轨架A11上完成基板上涂布黏性材料步骤的载盘A3将被先输送至第二转换机构A5的第二活动轨架A52，并被输送至副机台B的第三固定轨架B1进行以第二检测装置B4的CCD镜头检测，并于完成检测后被输送至装卸机构(Unload)D的收纳盒D2收集，并在载盘A3进入收纳盒D2时，推移装置B5执行一推送步骤，使推杆B55于载盘A输送经过时可落下供载盘A3经过，而载盘A3经过后可上仰对载盘A3进行推移，以推送载盘A3进入收纳盒D2至定位；而完成第一固定轨架A11上载盘A3输送至副机台B的第三固定轨架B1后，第二转换机构A5的第二活动轨架A52亦将被驱动位移至第二固定轨架A21承接其上输送出的载盘A3，并将该载盘A3输送至副机台B的第三固定轨架B1进行以第二检测装置B4的CCD镜头检测，并于完成检测后被输送至装卸机构(Unload)D的收纳盒D2收集。

本发明实施例的涂布方法及装置，载盘A3所移载的流路，依载盘A3受移载顺序，依序包括：

第一选择性流路，由装送机构(Load)C的收纳盒D2作Z轴向位移所构成；用以将位于收纳盒D2中尚未涂布黏性材料的载盘A3逐一输送出收纳盒；

第二选择性流路，由第一转换机构A4的第一活动轨架A42作Y轴向位移所构成；用以将载盘A3逐一顺序转换分配至不同输送流路；

第一固定流路，由第一固定轨架A11所构成；用以使载盘A3于定位供执行基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等步骤；

第二固定流路，由第二固定轨架A21所构成；用以使载盘A3于定位供执行基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等步骤；

第三选择性流路，由第二转换机构A5的第二活动轨架A52作Y轴向位移所构成；用以将载盘A3自不同输送流路逐一顺序转换卸移至同一输送流路；

第三固定流路，由副机台B的第三固定轨架B1所构成；用以使完成黏性材料涂布的载盘A3于定位供执行检测；

第四选择性流路，由装卸机构(Unload)D的收纳盒D2作Z轴向位移所构成；用以将已涂布黏性材料的载盘A3逐一承收于收纳盒。

本发明实施例的涂布方法及装置，由于在载盘A3的流路规划，及第一工作头A612的第一操作装置A71与第二工作头A622的第二操作装置A72的互动规划，使在单纯的装送机构(Load)C与装卸机构(Unload)D间的载盘A3上基板涂布黏性材料作业可以更具效率，并能因应一种或多种的黏性材料涂布，亦能藉由控制而选择第一轨道A1或第一轨道A1、第二轨道A2进行黏性材料涂布，且完成涂布的载盘A3无须进行一返回程序即能完成检测，使黏性材料涂布效率及产能的因应能力更为提升；而以载盘A3在操作区A6中的第一固定轨架A11或第二固定轨架A21上，以在载盘A3定位下被接受第一工作头A612的第一操作装置A71与第二工作头A622的第二操作装置A72的包括基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料的操作步骤，不仅可增加操作黏性材料涂布的精确性，亦助于操作机构的统整管理与操控。

惟以上所述者，仅为本发明的较佳实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，即大凡依本发明申请专利范围及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。

Claims (37)

1.一种涂布装置，包括：

主机台，其上设置可供载盘于其中作定位或作输送位移第一轨道与第二轨道；其两侧分别设有可被驱动作位移的第一活动轨架的第一转换机构及可被驱动作位移的第二活动轨架的第二转换机构；在第一轨道、第二轨道上方设有相隔一段间距的第一龙门及第二龙门，所述第一轨道与第二轨道位于第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间；第一龙门的第一悬臂上设有第一操作装置，第二龙门的第二悬臂上设有第二操作装置；

所述载盘经由第一转换机构的第一活动轨架而输送至第一轨道或第二轨道受第一操作装置及第二操作装置进行黏性材料涂布，并于完成后，由第一轨道或第二轨道经第二转换机构的第二活动轨架输送移出。

2.一种涂布装置，包括：

主机台，其上设置第一轨道与第二轨道，所述第一轨道及第二轨道各可供载盘于其中作定位或作输送位移；在第一轨道、第二轨道上方设有相隔一段间距的第一龙门及第二龙门，所述第一轨道与第二轨道位于第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间；第一龙门的第一悬臂上设有第一操作装置，第二龙门的第二悬臂上设有第二操作装置；该所述第一操作装置包括：第一检测装置、第一取像装置、第一涂布头；该第二操作装置包括：第二检测装置、第二取像装置、第二涂布头；

所述载盘于操作区间中的第一轨道或第二轨道上受第一操作装置及第二操作装置进行基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料，并于完成后，由第一轨道或第二轨道输送移出。

3.一种涂布装置，包括：

主机台，其上设置第一轨道与第二轨道，所述第一轨道及第二轨道各可供载盘于其中作定位或作输送位移；在第一轨道、第二轨道上方设有相隔一段间距的第一龙门及第二龙门，所述第一固定轨架、第二固定轨架位于第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间；第一龙门上设有第一操作装置，第二龙门上设有第二操作装置；在第一轨道与第二轨道处各设有治具，该治具设有可受驱动作上、下位移的治具座，治具座上设有多数顶座，各顶座上设有负压槽道；另，载盘内设有多数镂空区间，各镂空区间处分别各置设载片；

当载盘被输送至第一轨道或第二轨道处时，所述治具的治具座将被驱动上移以顶座顶触载片，并在负压槽道通以负压，使载片被吸附于顶座上表面下令顶座升经镂空区间，以使载片上所置设载有芯片的基板被第一操作装置、第二操作装置进行黏性材料涂布。

4.一种涂布装置，包括：

主机台，其上设置第一轨道与第二轨道，所述第一轨道及第二轨道各可供载盘于其中作定位或作输送位移；在第一轨道、第二轨道上方设有相隔一段间距的第一龙门及第二龙门，所述第一固定轨架、第二固定轨架位于第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间；第一龙门上设有第一操作装置，第二龙门上设有第二操作装置；在所述操作区间的第一轨道与第二轨道间，设有校正座，其上设有校正刻度；以使载盘上所载设的基板被第一操作装置、第二操作装置进行黏性材料涂布时时藉以校正定位。

5.如权利要求1至4项任一项所述的涂布装置，其特征在于，该第一龙门的第一悬臂上设有第一工作头，第二龙门的第二悬臂上设有第二工作头，所述第一操作装置设于第一工作头朝所述操作区间的一端，所述第二操作装置设于第二工作头朝所述操作区间的一端。

6.如权利要求1至4项任一项所述的涂布装置，其特征在于，该所述第一轨道系由在固定位置不作位移的第一固定轨架所构成；所述第二轨道系由在固定位置不作位移的第二固定轨架所构成。

7.如权利要求1或4项任一项所述的涂布装置，其特征在于，该所述第一操作装置包括：第一检测装置、第一取像装置、第一涂布头；该第二操作装置包括：第二检测装置、第二取像装置、第二涂布头。

8.如权利要求2或4项任一项所述的涂布装置，其特征在于，该第一轨道与第二轨道两侧分别设有第一转换机构及第二转换机构，第一转换机构设有可被驱动作位移的第一活动轨架，第二转换机构设有可被驱动作位移的第二活动轨架；载盘经第二转换机构的第二活动轨架而输送至第一轨道或第二轨道受第一操作装置及第二操作装置进行黏性材料涂布，并于完成后，由第一轨道或第二轨道经第二转换机构的第二活动轨架输送移出。

9.如权利要求6项所述的涂布装置，其特征在于，该第一、二固定轨架系以二相隔间距的侧轨件形成载盘可输经的轨道，二侧轨件相对的内侧设有受驱动件所驱动的皮带，载盘于该二侧轨件间的皮带被输送。

10.如权利要求1或4项任一项所述的涂布装置，其特征在于，该第一、二轨道设有止挡机构以止挡被输送的载盘止于定位或令载盘通过。

11.如权利要求1或4项任一项所述的涂布装置，其特征在于，更包括第三固定轨架，其与所述主机台的第一轨道对应，并可供载盘输送停置其中；另设有可对所述载盘进行检测的第二检测装置。

12.如权利要求11项任一项所述的涂布装置，其特征在于，该第三固定轨架设于与所述主机台分离的副机台上。

13.如权利要求1或4项任一项所述的涂布装置，其特征在于，更包括：装送机构，包括第一升降架，以及受升降架驱动可作上升或下降的收纳盒，收纳盒形成两侧开口，并可被驱动升降以推送装置将容纳于收纳盒中尚未进行黏性材料涂布的载盘推入主机台中被进行黏性材料涂布。

14.如权利要求13项所述的涂布装置，其特征在于，该推送装置包括可藉固定件固设于第一升降架的轨座，轨座上设有滑轨供其上设有推抵件的移动座枢设，该移动座与皮带连动并受马达构成的驱动件所驱动，可驱使移动座连动推抵件对载盘进行推送的操作。

15.如权利要求1或4项任一项所述的涂布装置，其特征在于，更包括：装卸机构，包括第二升降架，以及受升降架驱动可作上升或下降的收纳盒，收纳盒形成两侧开口，并可用以容纳已完成黏性材料涂布的载盘。

16.如权利要求15项所述的涂布装置，其特征在于，该载盘受推移装置的推送以进入收纳盒，该推移装置包括固定座，在固定座上设有滑轨，并在滑轨的滑块上设有移动座，使移动座与气压缸上的滑块连动，使推杆以一端枢设于移动座，推杆与移动座间设有弹性组件，并在气压缸与滑轨同向的一端设有挡压件，及在移动座前后位移的动路上设有第一感测件及第二感测件。

17.如权利要求1或4项任一项所述的涂布装置，其特征在于，在第一轨道与操作者间的主机台上，设有胶量的量测装置，其两侧各设有残胶去除装置。

18.如权利要求17项所述的涂布装置，其特征在于，该残胶去除装置各包括夹具及容器，夹具两夹座内侧各设有挠性件。

19.一种涂布方法，用以在载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘移载的流路包括：

第二选择性流路，由第一转换机构的第一活动轨架作Y轴向位移所构成；

第一固定流路，由第一固定轨架所构成；

第二固定流路，由第二固定轨架所构成；

第三选择性流路，由第二转换机构的第二活动轨架作Y轴向位移所构成。

20.如权利要求19项所述的涂布方法，其特征在于，更包括第一选择性流路，由装送机构的收纳盒作Z轴向位移所构成。

21.如权利要求19项所述的涂布方法，其特征在于，更包括第三固定流路，由副机台的第三固定轨架所构成。

22.如权利要求19项所述的涂布方法，其特征在于，更包括第四选择性流路，由装卸机构的收纳盒作Z轴向位移所构成。

23.一种涂布方法，用以在载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘移载的流路包括：

第二选择性流路，用以将载盘逐一顺序转换分配至不同输送流路；

第一固定流路，用以使载盘于定位供执行基板上涂布黏性材料步骤；

第二固定流路，用以使载盘于定位供执行基板上涂布黏性材料步骤；

第三选择性流路，用以将载盘自不同输送流路逐一顺序转换卸移至同一输送流路。

24.如权利要求23项所述的涂布方法，其特征在于，更包括第一选择性流路，用以将位于收纳盒中尚未涂布黏性材料的载盘逐一输送出收纳盒。

25.如权利要求23项所述的涂布方法，其特征在于，更包括第三固定流路，用以使完成黏性材料涂布的载盘于定位供执行检测。

26.如权利要求23项所述的涂布方法，其特征在于，更包括第四选择性流路，用以将已涂布黏性材料的载盘逐一承收于收纳盒。

27.如权利要求23项所述的涂布方法，其特征在于，该第一固定流路、第二固定流路更包括执行基板位置定位、基板高度测高步骤。

28.一种涂布方法，用以在载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘被输送于操作区间的轨道中，载盘中所用以置放基板的载片被位于轨道中的治具操作升降，并被位于该操作区间中的操作装置进行在基板上涂布黏性材料。

29.一种涂布方法，用以在载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘被输送于由第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间内的X轴向轨道中；

提供可分别各在所述第一龙门、第二龙门上作X轴向及Y轴向位移的第一工作头、第二工作头，于二者各朝所述操作区间的一端分别各设第一操作装置、第二操作装置进行在基板上涂布黏性材料。

30.一种涂布方法，用以在载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘被输送于由第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间内的轨道中，第一龙门及第二龙门上分别各设有第一操作装置、第二操作装置对该载盘进行同步在载盘上操作基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等三步骤，其中，第一操作装置由载盘左边侧、第二操作装置由载盘中央，二者同步向右、向下或向左位移，依所述基板位置定位、基板高度测高、基板上涂布黏性材料等三步骤逐次进行。

31.一种涂布方法，用以在载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘被输送于由第一龙门及第二龙门间所形成的操作区间的第一轨道、第二轨道中，第一龙门及第二龙门上分别各设有第一操作装置、第二操作装置，二者对该载盘进行：

同步在第一轨道上载盘操作基板位置定位、基板高度测高后，再同步移至第二轨道上载盘操作基板位置定位、基板高度测高；

然后第一操作装置移至第一轨道操作基板上涂布黏性材料步骤以涂布第一种黏性材料在载盘的基板上，而第二操作装置留在第二轨道操作基板上涂布黏性材料步骤以涂布第二种黏性材料在载盘的基板上；

完成后，第一操作装置再换移至第二轨道操作涂布第一种黏性材料在载盘的基板上，而第二操作装置则换移至第一轨道操作涂布第二种黏性材料在载盘的基板上。

32.如权利要求28至31项任一项所述的涂布方法，其特征在于，该所述第一操作装置包括：第一检测装置、第一取像装置、第一涂布头；该第二操作装置包括：第二检测装置、第二取像装置、第二涂布头；分别用以进行基板位置定位、基板高度测高、涂布黏性材料。

33.如权利要求28至31项任一项所述的涂布方法，其特征在于，该完成黏性材料涂布的载盘被输送至位于所述轨道所对应的载盘输送的后段流路上第三固定轨架，以进行第二检测装置的检测，并于完成检测后被输送至装卸机构的收纳盒收集。

34.一种涂布方法，用以在载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘完成涂布黏性材料欲输送至收纳盒时，执行推送步骤，该推送步骤使用载盘输送经过时可落下供载盘经过，而载盘经过后可上仰对载盘推移的推杆，以推送载盘进入收纳盒定位。

35.如权利要求34项所述的涂布方法，其特征在于，更包括固定座，在固定座上设有滑轨，并在滑轨的滑块上设有移动座，使移动座与气压缸上的滑块连动，使该推杆以一端枢设于移动座，推杆与移动座间设有弹性组件，并在气压缸与滑轨同向的一端设有挡压件，及在移动座前后位移的动路上设有第一感测件及第二感测件。

36.一种涂布方法，用以在载盘所置放的基板上涂布黏性材料，该载盘移载的流路由多数个独立轨架所各形成的独立流路所组成，各轨架分别各包括由二相隔间距的侧轨件形成载盘可输经的轨道，二侧轨件相对的内侧设有受驱动件所驱动的皮带，载盘于该二侧轨件间的皮带被输送。

37.如权利要求36项所述的涂布方法，其特征在于，该各独立轨架所各形成的独立流路包括：

第二选择性流路，由第一转换机构的第一活动轨架作Y轴向位移所构成，用以将载盘逐一顺序转换分配至不同输送流路；

第一固定流路，由第一固定轨架所构成，用以使载盘于定位供执行基板上涂布黏性材料步骤；

第二固定流路，由第二固定轨架所构成；用以使载盘于定位供执行基板上涂布黏性材料步骤；

第三选择性流路，由第二转换机构的第二活动轨架作Y轴向位移所构成，用以将载盘自不同输送流路逐一顺序转换卸移至同一输送流路。