CN107801370B - 部件移载机构以及部件搭载装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种部件移载装置以及部件搭载装置。部件移载机构具有驱动轴、摆动构件、管嘴保持部、姿态维持机构、以及引导部。摆动构件的第一端固定于驱动轴，且摆动构件随着驱动轴的转动动作而在以驱动轴为中心的恒定的摆动范围内摆动。管嘴保持部设置于摆动构件的第二端且保持管嘴。姿态维持机构维持管嘴保持部的姿态。引导部在摆动构件的摆动范围的端部引导管嘴保持部，以使得管嘴沿铅垂方向上下移动。

Description

部件移载机构以及部件搭载装置

技术领域

本发明涉及将部件从第一位置向第二位置移载的部件移载机构、以及具有该部件移载机构并向基板搭载部件的部件搭载装置。

背景技术

以往，作为向基板搭载部件的部件搭载装置，已知如下的装置：该装置利用部件移载机构吸附(拾取)从半导体晶片切出的部件(芯片)并将其移载至中转台后，通过搭载头将部件从中转台搭载至基板。在该情况下，部件移载机构在将位于第一位置(拾取位置)的部件由设置于其上方的相机进行识别后，通过管嘴拾取部件，通过使管嘴移动而将部件移载至第二位置(中转台)(例如，参照下述的专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5385794号公报

发明内容

部件移载机构通过使管嘴在第一位置与第二位置之间移动从而从第一位置向第二位置移载部件。

部件移载机构具有驱动轴、摆动构件、管嘴保持部、姿态维持机构、以及引导部。

驱动轴沿水平方向延伸地设置。

摆动构件的第一端固定于驱动轴，且摆动构件随着驱动轴的转动动作而在以驱动轴为中心的恒定的摆动范围内摆动。

管嘴保持部设置于摆动构件的第二端且保持管嘴。

姿态维持机构维持管嘴保持部的姿态。

引导部在摆动构件的摆动范围的端部引导管嘴保持部，以使得管嘴沿铅垂方向上下移动。

部件搭载装置具有上述的部件移载机构、基板保持部、以及搭载头。

基板保持部保持基板。

搭载头将通过部件移载机构移载至第二位置的部件向由基板保持部保持的基板搭载。

附图说明

图1是本实施方式中的部件搭载装置的立体图。

图2是本实施方式中的部件搭载装置所具有的部件移载机构的立体图。

图3是本实施方式中的部件搭载装置所具有的部件移载机构的局部的分解立体图。

图4是本实施方式中的部件搭载装置所具有的部件移载机构的局部的分解立体图。

图5A是对本实施方式中的部件移载机构的动作进行说明的立体图。

图5B是对本实施方式中的部件移载机构的动作进行说明的侧视图。

图6A是对本实施方式中的部件移载机构的动作进行说明的立体图。

图6B是对本实施方式中的部件移载机构的动作进行说明的侧视图。

图7A是对本实施方式中的部件移载机构的动作进行说明的立体图。

图7B是对本实施方式中的部件移载机构的动作进行说明的侧视图。

图8A是对本实施方式中的部件移载机构的动作进行说明的立体图。

图8B是对本实施方式中的部件移载机构的动作进行说明的侧视图。

图9A是示出本实施方式中的部件移载机构所具有的管嘴保持部被下方引导部引导的情形的部件移载机构的局部侧视图。

图9B是示出本实施方式中的部件移载机构所具有的管嘴保持部被下方引导部引导的情形的部件移载机构的局部侧视图。

图9C是示出本实施方式中的部件移载机构所具有的管嘴保持部被下方引导部引导的情形的部件移载机构的局部侧视图。

图10A是示出本实施方式中的部件移载机构所具有的管嘴保持部被上方引导部引导的情形的部件移载机构的局部侧视图。

图10B是示出本实施方式中的部件移载机构所具有的管嘴保持部被上方引导部引导的情形的部件移载机构的局部侧视图。

图10C是示出本实施方式中的部件移载机构所具有的管嘴保持部被上方引导部引导的情形的部件移载机构的局部侧视图。

具体实施方式

在以往的部件搭载装置中，使管嘴在第一位置与第二位置之间移动的管嘴移动机构是正交坐标机构，需要上下左右的2轴的移动机构，导致成本提高。另外，相机需要避开正交坐标机构的可动范围地设置，因此相机的设置位置不得不位于大幅远离半导体晶片的较高的位置。因此，当部件搭载装置产生振动时，因该振动的影响而使相机的拍摄抖动变大，有时无法得到部件的良好的图像。

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1示出本发明的一实施方式中的部件搭载装置1。部件搭载装置1是向基板2搭载部件3的装置，具有部件供给部11、中转台12、基板保持部13、部件移载机构14以及搭载头15。在本实施方式中，将操作者OP观察到的左右方向设为X轴方向。另外，将操作者OP观察到的前后方向设为Y轴方向，将上下方向设为Z轴方向。

在图1中，部件供给部11具有部件供给工作台1 1A、工作台移动机构11B以及顶起销11C。部件供给工作台11A保持半导体晶片W被切断而形成的多个部件(芯片)3。工作台移动机构1 1B通过使部件供给工作台11A移动，从而使由部件供给工作台11A保持的多个部件3中的任意的部件3位于空间上设定的拾取位置P1(第一位置)。顶起销11C设置于部件供给工作台11A的下方，从下方将位于拾取位置P1的部件3顶起。

在图1中，中转台12设置于部件供给部11的上方，通过中转台移动机构(未图示)而在XY面内移动。中转台移动机构通过使中转台12移动，从而使中转台12上的任意的位置位于空间上设定的载置位置P2(第二位置)。中转台12设置于部件供给部11的上方，因此载置位置P2位于比拾取位置P1靠上方的位置。

在图1中，基板保持部13设置于中转台12的左方。基板保持部13将基板2保持为水平姿态，并通过基板保持部移动机构(未图示)使基板2在XY面内移动。基板保持部移动机构通过使基板保持部13移动，从而使基板保持部13上的任意的位置位于空间上设定的搭载位置P3。

部件移载机构14设置于部件供给部11的右方，将在拾取位置P1拾取的部件3移载至载置位置P2。关于部件移载机构14的详细结构之后叙述。

在图1中，搭载头15位于中转台12的左方，通过搭载头移动机构15M而沿X轴方向移动。搭载头15具有向下方延伸的搭载管嘴15N。搭载头15能够使搭载管嘴15N沿Z轴方向上下移动以及绕Z轴旋转移动。搭载管嘴15N的下端成为部件3的吸附口。当通过真空压供给管路(未图示)向吸附口供给真空压时，在吸附口产生吸附部件3的吸附力。

在图1中，在部件供给部11的上方设置有晶片相机C1，在中转台12的上方设置有部件相机C2。在基板保持部13的上方设置有基板相机C3。晶片相机C1使拍摄视野朝向下方，其光轴通过拾取位置P1。部件相机C2使拍摄视野朝向下方，其光轴通过载置位置P2。基板相机C3使拍摄视野朝向下方，其光轴通过搭载位置P3。

接下来，对部件移载机构14的结构进行说明。图2示出部件移载机构14。图3是部件移载机构14的局部的分解立体图。部件移载机构14具有基部21、驱动马达22、摆动构件23、姿态维持机构24、管嘴保持部25、管嘴26、下方引导部27以及上方引导部28。

在图2中，基部21具有底面部21a、右侧面部21b、左侧面部21c以及顶面部21d。驱动马达22安装于右侧面部21b。驱动马达22的驱动轴22a贯穿右侧面部21b而向左方延伸，进一步贯穿左侧面部21c而向左方延伸。

在图2以及图3中，摆动构件23设置于左侧面部21c的左方。在摆动构件23的第一端(一端侧)固定有向左侧面部21c的左面侧突出的驱动马达22的驱动轴22a。

在图3中，姿态维持机构24设置于摆动构件23的右面侧，且具有固定带轮31、从动带轮32、张紧带轮33以及正时带34。固定带轮31是带齿的带轮，固定地设置于基部21的左侧面部21c的左面。在固定带轮31的中心部沿X轴方向设置有轴贯通孔，贯穿左侧面部21c的驱动马达22的驱动轴22a从右方向左方贯穿该轴贯通孔而延伸。

在图3中，从动带轮32是与固定带轮31具有相同直径以及相同齿数的带齿的带轮，设置于摆动构件23的第二端(另一端侧)。在从动带轮32安装有沿X轴方向(左方)延伸的从动带轮支承轴32a，从动带轮支承轴32a从右方向左方贯穿摆动构件23的第二端而延伸。从动带轮支承轴32a在摆动构件23的第二端被支承为相对于摆动构件23相对旋转自如。

在图3中，在摆动构件的第一端与第二端之间设置有沿X轴方向(右方)延伸的张紧带轮支承轴23a。张紧带轮33也是带齿的带轮，被安装为相对于张紧带轮支承轴23a相对旋转自如。正时带34是带齿的带，架设于固定带轮31与从动带轮32间。张紧带轮33与正时带34接触，对正时带34施加适当的张力。

当通过驱动马达22而使驱动轴22a绕X轴转动(在恒定的角度范围内向正反方向旋转动作)时，摆动构件23随着驱动轴22a的转动动作，绕驱动轴22a的轴线(即在YZ面内)在以驱动轴22a为中心的恒定的摆动范围内往复摆动。此时，从动带轮32在以驱动轴22a为中心的第一圆弧轨道SR1(图2)上移动(绕驱动轴22a公转)。

当从动带轮32在第一圆弧轨道SR1上移动时，正时带34相对于固定于基部21的固定带轮31相对移动，从而使从动带轮32相对于摆动构件23相对旋转。在此，固定带轮31与从动带轮32构成为相同直径以及相同齿数，因此从动带轮32相对于摆动构件23的相对旋转角度与摆动构件23相对于基部21的摆动角度相等。因此，即使摆动构件23摆动，从动带轮32的姿态(相对于基部21或固定带轮31的姿态)也不变。因此，在摆动构件23摆动的情况下，从动带轮支承轴32a也不改变其姿态(绕从动带轮支承轴32a的轴线的旋转姿态)，而在第一圆弧轨道SR1上移动(绕驱动轴22a公转)。

图4是部件搭载装置1所具有的部件移载机构14的局部的分解立体图。在图3以及图4中，管嘴保持部25具有移动基座41、臂基座42、臂43、复位弹簧44、辊构件支承部45以及上下的两个辊构件46。在图4中，移动基座41具备：具有在YZ面内扩展延伸的形状的垂直部41a、以及具有从垂直部41a的下端在XY面内扩展延伸的形状的水平部41b。向摆动构件23的左方突出地延伸的从动带轮支承轴32a的左端固定于垂直部41a。因此，移动基座41与摆动构件23的摆动位置无关地维持恒定的姿态(水平姿态)。

在图4中，臂基座42与垂直部41a对置地设置于移动基座41的垂直部41a的左方。在臂基座42的右面设置有滑块42s，该滑块42s与在移动基座41的垂直部41a的左面上沿Y轴方向延伸地设置的滑动引导件41g卡合。臂基座42通过使滑块42s相对于滑动引导件41g滑动，从而相对于移动基座41沿水平方向(Y轴方向)相对移动。

在图4中，在移动基座41的垂直部41a的左面向左方突出地设置有基部侧突起41T，在臂基座42的右面向右方突出地设置有臂基座侧突起42T。作为拉伸弹簧的复位弹簧44的Y轴方向的两端部与基部侧突起41T以及臂基座侧突起42T卡止，在垂直部41a与臂基座42之间沿Y轴方向延伸。

臂基座42在未受到朝向前方的按压力的状态下，从前方与设置于移动基座41的限位件(未图示)抵接，从而位于相对于移动基座41的规定的位置(以下，称作基准位置)。当在臂基座42上作用有朝向前方的按压力时，臂基座42从基准位置向前方移动，复位弹簧42成为沿Y轴方向被拉伸的状态，对臂基座42施加向基准位置返回的方向的力。

臂43从臂基座42的后端在水平面内呈曲柄状(先向左方然后向后方)延伸。在臂43的前端保持有管嘴26。管嘴26的下端成为部件3的吸附口。当通过真空压供给管路(未图示)向吸附口供给真空压时，在吸附口产生吸附部件3的吸附力。

如上所述，移动基座41通过姿态维持机构24与摆动构件23的摆动位置无关地维持水平姿态，因此与移动基座41连结的臂基座42以及臂43也维持水平姿态。即，在本实施方式中，对于管嘴保持部25的整体，通过姿态维持机构24与摆动构件23的摆动位置无关地将管嘴保持部25的姿态维持为水平姿态。另外，由此，由管嘴保持部25保持的管嘴26也与摆动构件23的摆动位置无关地维持使部件3的吸附口朝向下方的铅垂姿态。

当摆动构件23绕驱动轴22a的轴线转动时，管嘴保持部25在第二圆弧轨道SR2(图2)上移动。另外，当摆动构件23绕驱动轴22a的轴线转动时，管嘴26在第三圆弧轨道SR3(图1以及图2)上移动。在此，第二圆弧轨道SR2与第三圆弧轨道SR3均处于使第一圆弧轨道SR1沿Y轴方向平行移动后的位置关系。

在图4中，辊构件支承部45从臂基座42向上方延伸地设置。在臂基座42的右面设置有向右方突出的上下的两个辊轴45a。上下的两个辊构件46分别安装于辊轴45a。辊构件46绕辊轴45a的轴线旋转自如。

在图2中，下方引导部27支承于下方引导部支承构件21e，该下方引导部支承构件21e从基部21的左侧面部21c向左方延伸地设置。下方引导部27位于摆动构件23的摆动范围的下方端部的附近，具有面向前方沿上下方向铅垂地延伸的下方引导面27m(图3)。下方引导面27m在摆动构件23的摆动范围的下方端部形成为凸轮面，该凸轮面引导管嘴保持部25(详细地说为上下的两个辊构件46)，以使得管嘴26沿铅垂方向上下移动。

在图2中，上方引导部28支承于上方引导部支承构件21f，该上方引导部支承构件21f从基部21的顶面部21d向左上方延伸地设置。上方引导部28位于摆动构件23的摆动范围的上方端部的附近，具有面向前方沿上下方向铅垂地延伸的上方引导面28m(图2)。上方引导面28m在摆动构件23的摆动范围的上方端部形成为凸轮面，该凸轮面引导管嘴保持部25(详细地说为上下的两个辊构件46)，以使得管嘴26沿铅垂方向上下移动。

晶片相机C1是从上方对位于拾取位置P1(第一位置)的部件3进行拍摄的相机。晶片相机C1配置在随着摆动构件23的摆动而移动的管嘴26的圆弧轨道(第三圆弧轨道SR3)的内部。具体地说，晶片相机C1设置在拾取位置P1的高度与载置位置P2(第二位置)的高度的中间的高度中的、不与在恒定的摆动范围内摆动的摆动构件23发生干涉的位置。

管嘴26的下端(吸附口)在摆动构件23位于摆动范围的下方端部的状态下位于拾取位置P1，在摆动构件23位于摆动范围的上方端部的状态下位于载置位置P2。部件移载机构14在使位于拾取位置P1的管嘴26向载置位置P2移动时，通过驱动马达22驱动驱动轴22a，使摆动构件23向正方向旋转。在此，正方向是指，在从左方观察摆动构件23的情况下使摆动构件23向逆时针方向摆动的方向。

当使摆动构件23向正方向旋转时，摆动构件23使第二端(从动带轮支承轴32a侧)从摆动范围的下方端部上升并向前方移动，从而形成为水平姿态(图5A、5B→图6A、6B)。之后，摆动构件23使第二端上升并向后方移动，从而形成为铅垂姿态(图6A、6B→图7A、图7B)。然后，最后摆动构件23使第二端下降并向后方移动(图7A、7B→图8A、8B)。当像这样使摆动构件23向正方向旋转时，管嘴26在第三圆弧轨道SR3上与驱动轴22a相同地向正方向移动。

另一方面，部件移载机构14在使位于载置位置P2的管嘴26向拾取位置P1移动时，通过驱动马达22驱动驱动轴22a，使摆动构件23向反方向旋转。在此，反方向是指，在从左方观察摆动构件23的情况下使摆动构件23向顺时针方向摆动的方向。

当使摆动构件23向反方向旋转时，摆动构件23使第二端从上方端部上升并向前方移动，从而形成为铅垂姿态(图8A、8B→图7A、7B)。之后，摆动构件23使第二端下降并向前方移动，从而形成为水平姿态(图7A、7B→图6A、6B)。然后，最后摆动构件23使第二端下降并向后方移动(图6A、6B→图5A，5B)。当像这样使摆动构件23向反方向旋转时，管嘴26在第三圆弧轨道SR3上与驱动轴22a相同地向反方向移动。

在摆动构件23向反方向旋转而使管嘴26的下端通过下降动作位于拾取位置P1时，上下的两个辊构件46依次与下方引导面27m抵接而向铅垂下方被引导。此时，管嘴保持部25在维持水平姿态的同时向铅垂下方移动，因此管嘴26向铅垂下方移动而到达拾取位置P1，与由部件供给工作台11A保持的部件3接触(图9A→图9B→图9C)。需要说明的是，在如上述那样管嘴26向铅垂下方移动的过程中，臂基座42从相对于移动基座41的基准位置向前方移动，复位弹簧44处于被拉伸的状态。

与之相反，在摆动构件23向正方向旋转而使管嘴26的下端通过上升动作远离拾取位置P1时，上下的两个辊构件46以与下方引导面27m抵接的状态向上方被引导。此时，管嘴保持部25在维持水平姿态的同时向铅垂上方移动，因此管嘴26向铅垂上方移动而将部件3从拾取位置P1提起(图9C→图9B→图9A)。需要说明的是，在如上述那样管嘴26向铅垂上方移动后，两个辊构件46依次与下方引导面27m分离，臂基座42通过复位弹簧44而返回基准位置。即，管嘴26通过圆弧轨道和上下轨道而在拾取位置P1(第一位置)与载置位置P2(第二位置)之间移动。

另外，在摆动构件23向正方向旋转而使管嘴26的下端通过下降动作位于载置位置P2时，上下的两个辊构件46依次与上方引导面28m抵接而向铅垂下方被引导。此时，管嘴保持部25在维持水平姿态的同时向铅垂下方移动，因此管嘴26向铅垂下方移动并将部件3向中转台12载置(图10A→图10B→图10C)。需要说明的是，在如上述那样管嘴26向铅垂下方移动的过程中，臂基座42从相对于移动基座41的上述的基准位置向前方移动，复位弹簧44处于被拉伸的状态。

与之相反，在摆动构件23向反方向旋转而使管嘴26的下端通过上升动作远离载置位置P2时，上下的两个辊构件46以与上方引导面28m抵接的状态向上方被引导。此时，管嘴保持部25在维持水平姿态的同时向铅垂上方移动，因此管嘴26向铅垂上方移动并与位于载置位置P2的部件3分离(图10C→图10B→图10A)。需要说明的是，在如上述那样管嘴26向铅垂上方移动后，两个辊构件46依次与上方引导面28m分离，臂基座42通过复位弹簧44而返回基准位置。

如上所述，在本实施方式中，管嘴保持部25具有辊构件46，两个引导部(下方引导部27以及上方引导部28)分别在摆动构件23的摆动范围的端部引导管嘴保持部25，以使得管嘴26沿铅垂方向上下移动。在本实施方式中，辊构件46上下排列配置有两个，上述两个辊构件46被引导面(下方引导面27m或者上方引导面28m)以同时抵接的状态引导。因此，能够使管嘴保持部25(进而，使管嘴26)以稳定的姿态在沿着引导面的方向(在此为铅垂方向)上移动。

上述结构的部件搭载装置1在将部件3向基板2搭载时，首先，使部件3从工作台移动机构11B向部件供给工作台11A移动，使要向基板2搭载的部件3位于拾取位置P1。在部件3位于拾取位置P1后，通过晶片相机C1对部件3进行拍摄，进行部件3的识别。

部件搭载装置1在通过晶片相机C1进行部件3的识别后，部件移载机构14从拾取位置P1拾取部件3并向载置位置P2移载，将部件3载置于中转台12。部件搭载装置1将部件3载置于中转台12后，通过部件相机C2识别部件3，通过基板相机C3识别位于搭载位置P3的基板2上的区域(部件搭载对象区域)。

部件搭载装置1通过部件相机C2识别部件3，并且通过基板相机C3识别位于搭载位置P3的基板2上的区域，之后，通过搭载头15吸附中转台12上的部件3，使搭载头15向基板2的上方移动，从而将部件3搭载于基板2上的部件搭载对象区域。由此，制造出在基板2上搭载有部件3的部件安装基板。

如以上说明那样，在本实施方式中的部件移载机构14(部件搭载装置1)中，借助管嘴保持部25将管嘴26保持于摆动构件23的第二端，该摆动构件23的第一端固定于沿水平方向延伸的驱动轴22a，通过姿态维持机构24与摆动构件23的摆动位置无关地维持管嘴保持部25的姿态。另外，在摆动构件23的摆动范围的端部具有引导部(下方引导部27以及上方引导部28)，该引导部引导管嘴保持部25，以使得管嘴26沿铅垂方向上下移动。在本实施方式中，通过采用上述结构，能够使管嘴26在圆弧轨道(第三圆弧轨道SR3)上移动并在拾取位置P1(第一位置)与载置位置P2(第二位置)之间移载部件3，能够得到如下的效果。

首先，用于使管嘴26移动的轴仅为驱动轴22a的旋转(转动)的一个轴，因此与为了进行管嘴26的移动而需要两个轴的正交坐标机构的情况相比，能够实现制造成本的低廉化。接下来，能够将晶片相机C1配置在管嘴26的圆弧轨道(第三圆弧轨道SR3)的内部，该晶片相机C1从上方对位于拾取位置P1(第一位置)的部件3进行拍摄，因此能够将晶片相机C1设置在半导体晶片W的上方的接近半导体晶片W的位置。因此，能够减小因振动的影响造成的晶片相机C1的拍摄抖动，能够防止拍摄精度的降低从而提高向基板2搭载部件3的搭载精度。

以上，对本实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述的实施方式。在上述的实施方式中示出的部件搭载装置1的结构仅为一例，也可以具有其他结构。例如，也可以具有保持基板2的基板保持部13、使管嘴26在第一位置与第二位置之间移动从而从第一位置向第二位置移载部件3的部件移载机构14、从上方对位于第一位置的部件3进行拍摄的相机(晶片相机C1)以及将通过部件移载机构14载置于第二位置的部件3向由基板保持部13保持的基板2搭载的搭载头15。

根据本发明，能够实现制造成本的低廉化并减小因振动的影响造成的相机的拍摄抖动。

根据本发明，能够提供可实现制造成本的低廉化并减小因振动的影响造成的相机的拍摄抖动的部件移载机构以及具有该部件移载机构的部件搭载装置。

Claims (7)

1.一种部件移载机构，其使管嘴在第一位置与第二位置之间移动从而从所述第一位置向所述第二位置移载部件，其中，

所述部件移载机构具备：

驱动轴，其沿水平方向延伸地设置；

摆动构件，其第一端固定于所述驱动轴，且所述摆动构件随着所述驱动轴的转动动作而在以所述驱动轴为中心的恒定的摆动范围内摆动；

管嘴保持部，其设置于所述摆动构件的第二端且保持所述管嘴；

姿态维持机构，其维持所述管嘴保持部的姿态；以及

引导部，其在所述摆动构件的所述摆动范围的端部引导所述管嘴保持部，以使得所述管嘴沿铅垂方向上下移动，

所述第一位置为拾取位置，所述第二位置为载置位置。

2.根据权利要求1所述的部件移载机构，其中，

所述管嘴保持部具有辊构件，

所述引导部在所述摆动范围的端部具有引导面，该引导面引导所述辊构件，以使得所述管嘴沿铅垂方向上下移动。

3.根据权利要求2所述的部件移载机构，其中，

所述辊构件在所述管嘴保持部上下排列配置有两个。

4.根据权利要求1所述的部件移载机构，其中，

所述引导部包括下方引导部和上方引导部，

所述下方引导部引导所述管嘴保持部，以使得所述管嘴向所述第一位置移动，

所述上方引导部引导所述管嘴保持部，以使得所述管嘴向所述第二位置移动。

5.根据权利要求1所述的部件移载机构，其中，

所述管嘴通过圆弧轨道和上下轨道而在所述第一位置与所述第二位置之间移动。

6.一种部件搭载装置，具备：

权利要求1至5中任一项所述的部件移载机构；

基板保持部，其保持基板；以及

搭载头，其将通过所述部件移载机构移载至所述第二位置的所述部件向由所述基板保持部保持的所述基板搭载。

7.根据权利要求6所述的部件搭载装置，其中，

所述部件搭载装置还具备相机，该相机从上方对位于所述第一位置的所述部件进行拍摄，

所述相机配置在随着所述摆动构件的摆动而移动的所述管嘴的圆弧轨道的内部。

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