CN107781293A - 动压轴承及制法、流体动压轴承装置、电动机及成形模具 - Google Patents

Abstract

本发明提供动压轴承及制法、流体动压轴承装置、电动机及成形模具。动压轴承(8)具有在上侧端面(8b)通过模具成形而得到的动压槽(8b1)。动压槽(8b1)的槽底面朝向外径侧而向下方倾斜。

Description

动压轴承及制法、流体动压轴承装置、电动机及成形模具

技术领域

本发明涉及动压轴承，特别涉及在端面通过模具成形有动压槽的动压轴承及其制造方法。

背景技术

动压轴承是利用在与相对旋转的轴构件之间的轴承间隙产生的流体压力来对轴构件进行非接触支承的构件。在动压轴承的内周面及端面形成有使填充于轴承间隙中的润滑流体(例如润滑油)产生动压的动压槽。动压槽沿与周向(轴构件的相对旋转方向)交叉的方向延伸，伴随轴构件的相对旋转而沿周向流动的轴承间隙的润滑流体的流动方向被动压槽矫正，从而润滑流体集中而流体压力提高。

动压槽多数情况下通过对轴承坯料按压模具成形而成。例如，在专利文献1中示出了在圆筒状的烧结体的内周面及端面通过模具成形动压槽的方法。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3607661号公报

但是，通常，动压槽与在其周向之间形成的丘部的周向尺寸比为恒定(例如1∶1)。为在动压轴承的端面(推力轴承面)形成的动压槽的情况下，若使动压槽与丘部的周向尺寸比为恒定，则随着朝向外径侧而动压槽及丘部的周向宽度变宽(参照图4)。若在轴承坯料的端面通过模具成形这样的动压槽，则在按压了成形模具时在丘部产生的变形量(塑性变形量)会根据半径方向位置而不同，因此，如图15所示，容易产生丘部101的高度随着朝向外径侧而变低、即所谓的“塌边”。在该情况下，由于动压槽102的槽深度随着朝向外径侧而变浅，因此，动压槽102的外径端附近对润滑流体的流动方向进行矫正的能力(即、集中润滑流体的能力)变低，可能不能充分发挥动压槽102的压力提高效果。

发明内容

因此，本发明的目的在于提高在动压轴承的端面形成的动压槽所起到的压力提高效果。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明涉及的动压轴承的特征在于，在轴向一方侧的端面通过模具成形有动压槽，所述动压槽的槽底面朝向外径侧而向轴向另一方侧倾斜。

这样，在本发明的动压轴承中，使在轴向一方侧的端面通过模具成形而得到的动压槽的槽底面朝向外径侧而向轴向另一方侧(加深槽深度的一侧)倾斜。由此，在产生了丘部的顶面朝向外径侧而向轴向另一方侧倾斜的、所谓的“塌边”的情况下，也能在动压槽的整个区域确保规定以上的槽深度。在该情况下，能在动压槽的整个区域发挥集中润滑流体的能力，因此，能够充分地提高轴承间隙的流体压力。

上述的动压轴承能够由例如烧结体形成。在烧结体通过模具成形动压槽的情况下，例如与在熔炼件上通过模具成形动压槽的情况相比，回弹量变大，因此，容易在丘部产生“塌边”。因此，如上述那样使动压槽的槽底面倾斜特别有效。

在上述的动压轴承还具有在轴向另一方侧的端面通过模具成形而得到的另外的动压槽的情况下，优选为，使另外的动压槽的槽底面朝向外径侧而向轴向一方侧倾斜。由此，在另外的动压槽的整个区域，能够发挥集中润滑流体的能力，因此，能够充分提高动压轴承的轴向另一方侧的端面所面对的另外的轴承间隙的润滑流体的压力。

上述的动压轴承能够装入流体动压轴承装置。具体而言，流体动压轴承装置具备：上述的动压轴承；轴构件，其具有插入所述动压轴承的内周的轴部以及从所述轴部向外径侧突出的凸缘部，该轴构件相对于所述动压轴承进行相对旋转；径向轴承部，其利用在所述动压轴承的内周面与所述轴部的外周面之间的径向轴承间隙产生的流体压力在径向方向上对所述轴构件进行相对支承；推力轴承部，其利用在所述动压轴承的轴向一方侧的端面与所述凸缘部的端面之间的推力轴承间隙产生的流体压力在推力方向上对所述轴构件进行相对支承，在该流体动压轴承装置中，推力轴承间隙的流体压力较高，推力方向上的轴承刚性较高。

另外，本发明涉及的动压轴承的制造方法的特征在于，通过从轴向一方侧向轴承坯料的端面按压成形模具来成形动压槽，所述成形模具中的、用于成形所述动压槽的槽底面的成形面朝向外径侧而向轴向另一方侧倾斜。该制造方法能够使用通过从轴向一方侧向轴承坯料的端面按压来成形动压槽的成形模具，在该成形模具中，用于成形所述动压槽的槽底面的成形面朝向外径侧而向轴向另一方侧倾斜。

通过像这样使用于成形动压槽的槽底面的成形面朝向外径侧而向轴向另一方侧倾斜，与上述同样地，即使在丘部产生了“塌边”的情况下，也能够确保动压槽的槽深度。

此时，优选为，成形模具中的、用于成形设于动压槽的周向之间的丘部的凹部的深度随着朝向外径侧而变深。具体而言，优选为，凹部的底面为与轴向正交的平坦面。由该凹部成形的丘部随着朝向外径侧而变高，因此，即使在之后的脱模时产生了回弹的情况下，也能够确保外径端附近的动压槽的槽深度(即丘部高度)。

发明效果

如以上所述，根据本发明，能够在整个区域确保在动压轴承的端面通过模具成形而得到的动压槽的槽深度，因此能够提高动压槽产生的压力提高效果。

附图说明

图1是HDD的盘驱动装置的主轴电动机的剖视图。

图2是装入上述主轴电动机的流体动压轴承装置的剖视图。

图3是本发明的一实施方式涉及的动压轴承的剖视图。

图4是上述动压轴承的俯视图。

图5是上述动压轴承的上侧端面附近的放大剖视图。

图6是上述动压轴承的仰视图。

图7是另一实施方式涉及的动压轴承的俯视图。

图8是表示在烧结体的端面通过模具成形动压槽的动压槽形成工序中的、动压槽成形前的状态的剖视图。

图9是将图8的动压轴承的端面附近放大表示的剖视图。

图10是表示上述动压槽形成工序中的动压槽成形时的状态的剖视图。

图11是将图10的动压轴承的端面附近放大表示的剖视图。

图12是表示上述动压槽形成工序中的、从模具排出烧结体的情况的剖视图。

图13是将图12的动压轴承的端面附近放大表示的剖视图。

图14是另一实施方式涉及的流体动压轴承装置的剖视图。

图15是将以往的动压轴承的端面附近放大表示的剖视图。

附图标记说明

1 流体动压轴承装置

2 轴部

3 轮毂

7 壳体

8 动压轴承

8a1、8a2 (径向)动压槽

8b1、8c1 (推力)动压槽

8b2、8c2 丘部

9 凸缘部

11 芯棒

12、13 冲头

12a、13a 成形部

12a1、13a1 槽底成形面

12a2、13a2 凹部

14 阴模

18 烧结体

R1，R2 径向轴承部

T1，T2 推力轴承部

S 密封空间

具体实施方式

以下，基于附图说明本发明的实施方式。

图1表示HDD的盘驱动装置所使用的主轴电动机。该主轴电动机具备：具有本发明的一实施方式涉及的动压轴承8的流体动压轴承装置1；用于安装流体动压轴承装置1的托架6；隔着半径方向的间隙对置的定子线圈4及转子磁铁5。定子线圈4安装于托架6，转子磁铁5安装于流体动压轴承装置1的轮毂3。在轮毂3搭载有规定张数的盘(省略图示)。当对定子线圈4通电时，在定子线圈4与转子磁铁5之间的电磁力的作用下，转子磁铁5进行旋转，由此轮毂3以及盘成为一体而进行旋转。

如图2所示，流体动压轴承装置1具备：动压轴承8；将动压轴承8保持于内周的有底筒状的壳体7；由动压轴承8旋转自如地支承的轴构件。在本实施方式中，轴构件由插入于动压轴承8的内周的轴部2、设于轴部2的一端的凸缘部9以及设于轴部2的另一端的作为另一凸缘部的轮毂3构成。需要说明的是，以下，为了便于说明，设轴向上的壳体7的开口侧为上侧，闭塞侧为下侧。

轴部2由例如金属形成，具有没有凹凸的直的圆筒面状的外周面2a。凸缘部9由例如金属形成，从轴部2的下端向外径侧突出。凸缘部9的轴向两侧的端面9a、9b均是没有凹凸的平坦面。

轮毂3由例如金属形成，且由从轴部2的上端向外径侧突出的圆盘部3a、从圆盘部3a的外径端向轴向下方延伸的圆筒部3b、从圆筒部3b的下端部进一步向外径延伸的檐部3c以及从圆盘部3a的半径方向大致中央部向下方延伸的圆筒状的环状突出部3d构成。在檐部3c的上侧端面搭载有未图示的盘。需要说明的是，在图示例中，轮毂3一体地形成，但是也可以将轮毂3由多个构件构成，例如将环状突出部3d由另外构件形成。

动压轴承8由金属、树脂形成为圆筒状。在本实施方式中，动压轴承8由烧结金属、例如含有较多铜(例如20质量％以上)的烧结金属形成，具体而言由以铜为主成分的铜系烧结金属或以铜及铁为主成分的铜铁系烧结金属形成。

在动压轴承8的内周面8a形成有动压槽。在本实施方式中，如图3所示，在动压轴承8的内周面8a的轴向上的分开的两个区域分别形成有人字形状的动压槽8a1、8a2(网状线为丘部)。在图示例中，上侧的动压槽8a1形成为轴向非对称，具体而言，比轴向大致中央的环状的丘部靠上侧的区域的轴向尺寸大于比环状的丘部靠下侧的区域的轴向尺寸。下侧的动压槽8a2形成为轴向对称。

如图4所示，在动压轴承8的上侧端面8b形成有动压槽8b1。具体而言，在动压轴承8的上侧端面8b，在周向上交替地设有动压槽8b1和丘部8b2(由网状线表示)。动压槽8b1沿与周向交叉的方向延伸，例如形成螺旋形状。动压槽8b1是伴随轴构件的旋转而将润滑油向内径侧压入的泵入型。在图示例中，动压槽8b1构成朝向轴构件的旋转时的流体流动方向(图中箭头方向)的下游侧而向内径侧倾斜的泵入型的螺旋形状。动压槽8b1及丘部8b2均到达动压轴承8的上侧端面8b的内径端及外径端(详细而言为设于上侧端面8b与内周面8a及外周面8d的边界的倒角部)。动压槽8b1和丘部8b2在半径方向整个区域上的周向尺寸比为恒定，在图示例中为1∶1。因此，动压槽8b1及丘部8b2分别随着朝向外径侧而周向宽度逐渐扩宽。

如图5所示，丘部8b2的上表面朝向外径侧(图中右侧)而向下方倾斜。另外，动压槽8b1的槽底面朝向外径侧而向下方倾斜。其结果是，动压槽8b1的槽深度t(丘部8b2的上表面与动压槽8b1的槽底面之间的轴向距离)在整个区域为规定值以上，例如为10μm以上。需要说明的是，在图5中，夸张表示动压槽8b1及丘部8b2的倾斜角度，实际上，动压槽8b1的内径端与外径端之间的轴向距离d为1～5μm左右。

动压轴承8的上侧端面8b包含动压槽8b1及丘部8b2，是整个区域通过模具成形而得到的面。另外，在动压轴承8的上侧端面8b，不仅实施烧结前的通过模具的成形(锻造)，还实施烧结后的通过模具的成形(精压)。另一方面，设于动压轴承8的上侧端面8b与内周面8a及外周面8d的边界的倒角部仅实施烧结前的通过模具的成形，不实施烧结后的通过模具的成形。因此，动压轴承8的上侧端面8b(动压槽8b1及丘部8b2)的表面开口率比倒角部小。

如图6所示，在动压轴承8的下侧端面8c形成有作为推力动压产生部的动压槽8c1。下侧端面8c的动压槽8c1及丘部8c2的具体的形状等与上侧端面8b的动压槽8b1及丘部8b2相同，因此省略说明。

需要说明的是，动压槽8b1、8c1的形状不限于上述。例如，在图7所示的例子中，动压轴承8的上侧端面8b的丘部8b2具备设于螺旋形状的动压槽8b1的周向之间的倾斜丘部8b21和将倾斜丘部8b21的内径端连结的环状的背部8b22。通过像这样在丘部8b2的内径端设置背部8b22，能够期待流体压力的进一步的提高。

另外，动压槽8b1、8c1不限于泵入型，也可以为伴随轴构件的旋转而将润滑流体向外径侧挤出的泵出型。另外，动压槽8b1、8c1不限于螺旋形状，也可以为人字形状、阶梯形状(放射状)。

在动压轴承8的外周面形成有轴向槽8d1。轴向槽8d1的条数为任意的，在图示例中，沿圆周方向等间隔地配置有三条轴向槽8d1(参照图4及图6)。

如图2所示，壳体7形成为一体地具有侧部7a及底部7b的有底圆筒状。侧部7a的内周面7a1形成为直的圆筒面状，通过间隙粘接、压入、夹设粘接剂后的压入等来将动压轴承8的外周面8d固定。如图2所示，在侧部7a的外周面的上端形成有朝向上方逐渐扩径的锥面7a3。在该锥面7a3与轮毂3的环状突出部3d的圆筒面状内周面3d1之间形成有朝向上方而半径方向尺寸逐渐缩小的环状的密封空间S。利用该密封空间S的毛细管力，来防止充满于壳体7的内部的润滑油的漏出。

在组装了上述结构之后，使包含动压轴承8的内部气孔的壳体7的内部的空间充满润滑油，从而完成图2所示的流体动压轴承装置1。在流体动压轴承装置1的假定使用温度的范围内，油面总是保持于密封空间S的内部。

当轴构件旋转时，在动压轴承8的内周面8a与轴部2的外周面2a之间形成有径向轴承间隙，并且，在动压槽8a1、8a2的作用下，在上述径向轴承间隙产生的油膜的压力提高。利用该油膜的压力(动压作用)，构成在径向方向上旋转自如地对轴部2及轮毂3进行非接触支承的径向轴承部R1、R2。

与此同时，在轮毂3的圆盘部3a的下侧端面3a1与动压轴承8的上侧端面8b之间以及凸缘部9的上侧端面9a与动压轴承8的下侧端面8c之间分别形成有推力轴承间隙，并且，在动压轴承8的两端面的动压槽8b1、8c1的作用下，在各推力轴承间隙产生的油膜的压力提高。利用这些油膜的压力(动压作用)，构成在两推力方向上旋转自如地对轴部2及轮毂3进行非接触支承的第一及第二推力轴承部T1、T2。

此时，利用在动压轴承8的外周面8d形成的轴向槽8d1，形成能够供润滑油流通的连通路。利用该连通路，能够防止在填充于壳体7的内部的润滑油产生局部的负压的情况。特别是，在本实施方式中，如图3所示，在动压轴承8的内周面8a形成的上侧的动压槽8a1形成为轴向非对称的形状，因此，伴随轴部2的旋转而将径向轴承间隙的润滑油向下方压入，润滑油经由上述的连通路循环，由此能够可靠地防止局部的负压的产生。

接着，说明动压轴承8的制造方法。动压轴承8的制造经由混合工序、压缩成形(锻造)工序、烧结工序、尺寸矫正(精压)工序以及动压槽形成(槽精压)工序而进行。

在混合工序中，混合各种金属粉末而做成动压轴承8的原料粉。作为构成原料粉的金属粉末，例如能够使用铁粉、铜粉、锡粉等，在本实施方式中，使用铁粉及铜粉。除此之外，也可以在原料粉中配合石墨等的固体润滑剂、金属皂等的成形用润滑剂。

在压缩成形工序中，在将上述的原料粉供给于成形模具中之后，进行压缩，从而成形圆筒状的压粉体。

在烧结工序中，在规定的烧结温度下对压粉体进行烧结，从而获得烧结体。烧结温度设定为小于铜的熔点(1085℃)，例如为850～900℃。

在尺寸矫正工序中，利用精压模具对烧结体进行再压缩，从而对烧结体的尺寸(内径尺寸、外径尺寸、轴向尺寸)进行矫正。需要说明的是，在尺寸矫正工序中，未成形设于烧结体的两端面与外周面及内周面之间的倒角部(不与精压模具接触)。

在动压槽形成工序中，利用槽精压模具，在烧结体的内周面成形图3所示的动压槽8a1、8a2，并且，在烧结体的两端面分别成形图4及图6所示的动压槽8b1、8c1。需要说明的是，在动压槽形成工序中，与上述的尺寸矫正工序同样，未成形烧结体的倒角部(不与槽精压模具接触)。

以下，详细说明动压槽形成工序。如图8所示，槽精压模具作为用于成形烧结体18的各面的成形模而具备芯棒11、上冲头12、下冲头13以及阴模14。

在芯棒11的外周面设有与动压槽8a1、8a2对应的形状的成形部11a、11b。

在上冲头12的成形面(下表面)设有与动压槽8b1对应的形状的成形部12a。如图9所示，成形部12a具备用于成形动压槽8b1的槽底面的槽底成形面12a1和用于成形丘部8b2的凹部12a2。槽底成形面12a1朝向外径侧而向下方倾斜。凹部12a2的底面(即用于成形丘部8b2的顶面的成形面)形成为与同轴向正交的面大致平行。其结果是，凹部12a2的深度(槽底成形面12a1与凹部12a2的底面之间的轴向距离)随着朝向外径侧而变深。

在下冲头13的成形面(上表面)设有与动压槽8c1对应的形状的成形部13a。如图9所示，成形部13a具备用于成形动压槽8c1的槽底面的槽底成形面13a1和用于成形丘部8c2的凹部13a2。槽底成形面13a1朝向外径侧而向上方倾斜。凹部13a2的底面(即用于成形丘部8c2的顶面的成形面)形成为与同轴向正交的面大致平行。其结果是，凹部13a2的深度(槽底成形面13a1与凹部13a2的底面之间的轴向距离)随着朝向外径侧而变深。需要说明的是，在图8～13中，夸张表示成形部11a、11b、12a、13a的深度。另外，在图9、11、13中，夸张表示槽底成形面12a1、13a1的倾斜角度。

在动压槽形成工序中，首先，如图8所示，在由下冲头13从下方支承的烧结体18的内周插入芯棒11，使芯棒11的成形部11a、11b与烧结体18的内周面的动压槽形成预定区域对置。在维持了该烧结体18与芯棒11的轴向的位置关系的状态下，如图10所示，利用上冲头12将烧结体18压入阴模14的内周，从而将烧结体18的内周面按压于芯棒11的成形部11a、11b。由此，成形部11a、11b的形状转印于烧结体的内周面，从而形成动压槽8a1、8a2。

与此同时，利用上冲头12及下冲头13从轴向两侧对烧结体18进行压迫，从而将各冲头12、13的成形部12a、13a按压于烧结体18的两端面。由此，成形部12a、13a的形状转印于烧结体18的两端面，从而成形动压槽8b1、8c1。详细而言，如图11所示，利用各冲头12、13的成形部12a、13a的槽底成形面12a1、13a1对烧结体18的端面进行压迫而成形动压槽8b1、8c1，并且，烧结体18的端面附近的料发生塑性流动而进入各成形部12a、13a的凹部12a2、13a2，从而成形丘部8b2、8c2。此时，凹部12a2、13a2的深度随着朝向外径侧而变深，从而填充于凹部12a2、13a2内的丘部8b2、8c2的高度随着朝向外径侧而变高。

然后，如图12所示，从阴模14的内周排出烧结体18。由此，使烧结体18向径向外侧回弹，而将烧结体18的内周面从芯棒11的外周面的成形部11a、11b剥离，从而将芯棒从烧结体的内周抽出。并且，使上下冲头12、13分离，将各冲头12、13的成形部12a、13a从烧结体18的两端面剥离。

此时，当释放各冲头12、13的轴向的压迫力时，在烧结体18产生轴向上的回弹，因此，如图13所示，丘部8b2、8c2的高度比回弹前的状态(参照虚线)低。丘部8b2、8c2随着朝向外径侧而变宽，因此，由上下冲头12、13的成形部12a、13a成形了时的变形量(塑性变形量)越向外径侧去越小。因此，丘部8b2、8c2的回弹量(即丘部8b2、8c2的高度的减小宽度)越向外径侧去越变大。

另一方面，就在烧结体18的端面形成的动压槽8b1、8c1而言，由于上下冲头12、13的成形部12a、13a产生的压缩量比较大，因此，与丘部8b2、8c2相比，变形量(塑性变形量)较大。因此，在释放了上下冲头12、13产生的压迫力时，在动压槽8b1、8c1产生的回弹量非常小。因此，动压槽8b1、8c1的槽底面几乎保持原样地转印有上下冲头12、13的成形部12a、13a的槽底成形面12a1、13a1的形状。在本实施方式中，槽底成形面12a1、13a1分别朝向外径侧而向轴向内侧(烧结体18侧)倾斜，因此，动压槽8b1、8c1的槽底面成为朝向外径侧而向烧结体18的轴向中央侧倾斜的面。

如以上所述，在丘部8b2、8c2的顶面由于回弹朝向外径侧而向轴向中央侧倾斜的情况下，通过使动压槽8b1、8c1的槽底面朝向外径侧而向轴向中央侧倾斜，也能够将丘部8b2、8c2的高度、即动压槽8b1、8c1的槽深度确保为规定以上。由此，在轴构件的旋转时，在动压槽8b1、8c1的外径端附近也充分发挥集中油的能力，能够提高推力轴承间隙的油膜压力而提高轴承刚性。

另外，丘部8b2、8c2的回弹量根据产品而并非严格意义上恒定，因此，丘部8b2、8c2的高度(特别是外径端附近的高度)根据产品而存在一些偏差。此时，若丘部8b2、8c2的高度过高，则该区域可能与隔着推力轴承间隙对置的构件(凸缘部9、轮毂3)接触。在本实施方式中，通过如上述那样使动压槽8b1、8c1的槽底面倾斜，从而，既能确保动压槽8b1、8c1的槽深度为规定以上，又能使丘部8b2、8c2的顶面的外径端附近向烧结体18的轴向中央侧后退，因此，能够可靠地防止丘部8b2、8c2和与其对置的构件的接触。

然后，从槽精压模具中取出烧结体18，从而动压轴承8完成。

本发明不限于上述的实施方式。以下，说明本发明的另一实施方式，但关于与上述的实施方式相同的点，省略说明。

例如，在上述的实施方式中，示出了在动压轴承8的轴向两侧的端面设置通过模具成形而得到的动压槽的情况，但不限于此，也可以仅在动压轴承8的轴向一方的端面设置通过模具成形而得到的动压槽。例如，在图14所示的流体动压轴承装置21中，在动压轴承8的下侧端面8c形成有图6所示的动压槽8c1，在动压轴承8的上侧端面8b未形成动压槽，而形成环状槽8b3、半径方向槽8b4。在壳体7的上端设有向径向内侧突出的密封部7c。在密封部7c的锥状的内周面7c1与轴部2的外周面2a之间形成有楔状的密封空间S。壳体7的侧部7a和底部7b形成为不同体。在壳体7的底部7b的上侧端面7b1形成有动压槽。在凸缘部9的下侧端面9b与壳体7的底部7b的上侧端面7b1之间形成有第一推力轴承部T1的推力轴承间隙。

另外，在上述的实施方式中，示出了在动压轴承8的内周面8a通过模具成形动压槽8a1、8a2的情况，但也可以将动压轴承8的内周面8a形成为圆筒面。或者，也可以将图14的壳体7的底部7b作为本发明涉及的动压轴承。在该情况下，在底部7b的上侧端面7b1通过模具成形动压槽，该动压槽的槽底面朝向外径侧而向下方倾斜。

另外，在上述的实施方式中，示出了动压轴承8被固定而具有轴部2的轴构件进行旋转的情况，但也可以与此相反地将轴构件固定而使动压轴承8侧旋转。

另外，在上述的实施方式中，示出了润滑流体为油的情况，但除此之外也可以使用润滑脂、磁性流体、空气等作为润滑流体。

另外，本发明涉及的动压轴承及具备该动压轴承的流体动压轴承装置不仅装入HDD等的盘驱动装置用的主轴电动机中使用，也可以装入冷却风扇用的风扇电动机、激光束打印机用的多面扫描电动机等中而使用。

Claims (11)

1.一种动压轴承，其在轴向一方侧的端面通过模具成形有动压槽，

所述动压轴承的特征在于，

所述动压槽的槽底面朝向外径侧而向轴向另一方侧倾斜。

2.根据权利要求1所述的动压轴承，其中，

所述动压轴承由烧结体构成。

3.根据权利要求1或2所述的动压轴承，其中，

在轴向另一方侧的端面通过模具成形有另外的动压槽，

所述另外的动压槽的槽底面朝向外径侧而向轴向一方侧倾斜。

4.一种流体动压轴承装置，其具备：

权利要求1～3中任一项所述的动压轴承；

轴构件，其具有插入所述动压轴承的内周的轴部以及从所述轴部向外径侧突出的凸缘部，该轴构件相对于所述动压轴承进行相对旋转；

径向轴承部，其利用在所述动压轴承的内周面与所述轴部的外周面之间的径向轴承间隙产生的流体压力在径向方向上对所述轴构件进行相对支承；

推力轴承部，其利用在所述动压轴承的轴向一方侧的端面与所述凸缘部的端面之间的推力轴承间隙产生的流体压力在推力方向上对所述轴构件进行相对支承。

5.一种电动机，其具有权利要求4所述的流体动压轴承装置。

6.一种动压轴承的制造方法，其特征在于，

通过从轴向一方侧向轴承坯料的端面按压成形模具来成形动压槽，

所述成形模具中的用于成形所述动压槽的槽底面的成形面朝向外径侧而向轴向另一方侧倾斜。

7.根据权利要求6所述的动压轴承的制造方法，其中，

所述成形模具中的用于成形设于所述动压槽的周向之间的丘部的凹部的深度随着朝向外径侧而变深。

8.根据权利要求7所述的动压轴承的制造方法，其中，

所述凹部的底面为与轴向正交的平坦面。

9.一种成形模具，其是用于通过从轴向一方侧向轴承坯料的端面按压来成形动压槽的成形模具，

所述成形模具的特征在于，

用于成形所述动压槽的槽底面的成形面朝向外径侧而向轴向另一方侧倾斜。

10.根据权利要求9所述的成形模具，其中，

用于成形设于所述动压槽的周向之间的丘部的凹部的深度随着朝向外径侧而变深。

11.根据权利要求10所述的成形模具，其中，

所述凹部的底面为与轴向正交的平坦面。