CN107615444B - 中继装置及制造系统 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 89
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 74
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 23
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 18
- 230000006870 function Effects 0.000 description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/4155—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by programme execution, i.e. part programme or machine function execution, e.g. selection of a programme
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/4185—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by the network communication
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
- H04L67/00—Network arrangements or protocols for supporting network services or applications
- H04L67/01—Protocols
- H04L67/12—Protocols specially adapted for proprietary or special-purpose networking environments, e.g. medical networks, sensor networks, networks in vehicles or remote metering networks
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
- H04L69/00—Network arrangements, protocols or services independent of the application payload and not provided for in the other groups of this subclass
- H04L69/08—Protocols for interworking; Protocol conversion
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04L—TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHIC COMMUNICATION
- H04L69/00—Network arrangements, protocols or services independent of the application payload and not provided for in the other groups of this subclass
- H04L69/18—Multiprotocol handlers, e.g. single devices capable of handling multiple protocols
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31174—Load, use different protocols, formats, emulators for different systems
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31186—TCP-IP internet protocol
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
- G05B2219/31202—Semiconductor equipment communication standard SECS
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
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- Automation & Control Theory (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
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- Computing Systems (AREA)
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- Medical Informatics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
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Abstract
本发明提供将遵照SECS/GEM协议的通信向其它通信协议的制造系统进行中继而能够通过SECS/GEM主机统一地进行管理的中继装置及制造系统。中继装置(19)执行SECS/GEM协议与非SECS/GEM的专有协议的协议转换,对在用户主机(17)与制造商主机(11)等之间被传送的数据进行转送。另外,中继装置(19)基于设定了制造商主机(11)等的本地IP地址和与其对应的TCP协议的端口号的端口对应数据库,来执行转送处理。
Description
技术领域
本发明涉及对遵照SECS/GEM协议的通信进行中继的中继装置及经由该中继装置进行通信的制造系统。
背景技术
以往,在半导体制造系统所使用的通信协议中,例如,普及有SEMI(SemicondutorEquipment and Materials International:国际半导体设备材料产业协会)所规定的SECS/GEM协议。此外,SECS是“Semiconductor Equipment Communication Standard:半导体设备通讯标准”的简称。另外,GEM是“Generic Model For Communications and Controlof Manufacturing Equipment:通用设备模型”的简称。
例如,存在有通过遵照SECS/GEM协议的通信网络来连接切割装置、焊接装置等半导体制造装置与管理这些半导体制造装置的主机(以下,存在有称为“SECS/GEM主机”的情况)而成的半导体制造系统(例如,专利文献1等)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平7-45489号公报
发明内容
发明所要解决的课题
通过使用上述SECS/GEM协议来实现制造系统内的通信协议的通用化,SECS/GEM主机能够统一地管理不同制造商的半导体制造装置。另外,近年来,存在有想要通过一个主机统一地管理使用SECS/GEM协议的半导体制造系统和未遵照SECS/GEM协议的通信协议(以下,存在有称为“非SECS/GEM协议”的情况)的制造系统这样的迫切期望。该非SECS/GEM协议的制造系统例如是将电子元件向电路基板安装的基板安装制造系统。
然而,例如,在想要由SECS/GEM主机实施基板安装制造系统对基板安装装置的控制的情况下,需要基板安装装置具备与SECS/GEM协议对应的接口。另外,即使在该情况下,虽然SECS/GEM主机能够执行从基板安装装置取得所需的数据的作业,但是无法对管理基板安装制造系统的主机执行直接的通信。在该情况下,SECS/GEM主机例如无法取得基板安装制造系统的主机所管理的控制数据等。因此,在统一SECS/GEM协议的制造系统和非SECS/GEM协议的制造系统的情况中存在有改善的余地。
本发明就是鉴于上述课题而作成的,其目的在于提供将遵照SECS/GEM协议的通信向其它的通信协议的制造系统进行中继而能够通过SECS/GEM主机统一地进行管理的中继装置及制造系统。
用于解决课题的技术方案
在鉴于上述课题而作成的本申请中公开的技术所涉及的中继装置的特征在于,在具备通过遵照SECS/GEM协议的通信来执行控制的主机和基于未遵照SECS/GEM协议的非SECS/GEM协议进行通信的多个装置的制造系统中,执行如下处理:协议转换处理,当在主机与多个装置中的各装置之间传送数据时,执行SECS/GEM协议与非SECS/GEM协议的转换;及转送处理,设定与多个装置中的各装置对应的多个通信端口,通过与作为发送数据的发送目的地的装置对应的通信端口来接收从主机向多个装置中的各装置所发送的发送数据,并将协议转换处理后的数据向与通信端口对应的装置转送。
该中继装置执行SECS/GEM协议与非SECS/GEM协议的协议转换,并执行转送处理。另外,中继装置设定与通过非SECS/GEM协议进行通信的多个装置分别对应的通信端口,从主机接收指定了该通信端口的数据。中继装置将协议转换处理后的数据向与通信端口对应的装置转送。由此,主机通过执行指定了通信端口的通信,能够经由中继装置对通过非SECS/GEM协议进行通信的多个装置进行管理。
另外,中继装置通过在一个通信接口切换通信端口,能够接收针对多个装置的数据。
另外,在本申请中公开的技术所涉及的中继装置也可以构成为,根据设定于从主机发送的发送数据内且基于SECS/GEM协议的标准而设定的表示发送数据的内容的流(stream)及函数(function)中的至少一方,来变更转送目的地。
该中继装置例如根据由SECS/GEM协议规定的流的编号、函数的编号来变更转送目的地。在此,流指的是例如表示对相关的处理进行分组所得的分区。函数指的是在流的分区内指定更加详细的处理内容。因此,流及函数的编号根据主机所指定的处理内容而不同。另外,SECS/GEM协议是以SECS/GEM主机与切割装置等实际执行制造的制造装置之间的数据的收发为前提而规定的协议。另一方面,例如,在统一了SECS/GEM协议的制造系统和非SECS/GEM协议的制造系统的情况下,在从SECS/GEM主机发送的数据中,存在有与制造装置相比优选向非SECS/GEM协议的制造系统的管理装置发送的数据。例如,存在有在非SECS/GEM协议的制造系统的管理装置中保存有制造装置未持有的数据的情况。于是,中继装置根据流等的编号来变更转送目的地,由此能够根据处理内容将数据向恰当的转送目的地分配。由此,主机能够包含非SECS/GEM协议的管理装置而统一地进行管理。
另外,在本申请中公开的技术所涉及的中继装置也可以构成为,多个装置包括作业机和对控制作业机的控制数据进行管理的管理装置,在流及函数中的至少一方的编号为与控制数据相关的编号的情况下,将管理装置设定为转送目的地。
此处所说的作业机指的是例如制造基于非SECS/GEM协议进行通信的安装基板的安装机。另外,控制数据指的是例如控制安装机的数据、即所谓的方法,是设定有电子元件相对于电路基板的安装位置等的数据。中继装置在从主机接收到的数据的流等的编号与控制数据相关的情况下,将接收到的数据向管理装置转送。例如,在作业机的存储器等中仅保存有现状的制造作业所需的控制数据。另一方面,考虑在管理装置中保存有旧的版本的控制数据、最新的控制数据等。因此,优选与控制数据相关的处理是针对管理装置来执行的,而非针对作业机。于是,在该中继装置中,在从主机接收到与控制数据相关的处理的数据的情况下,向管理装置转送。由此,主机能够借助中继装置进行保存于管理装置而非作业机中的控制数据等的查询、取得等。
另外,鉴于上述课题而作成的本申请中公开的技术所涉及的制造系统具备:技术方案1~3中任一项所述的中继装置;通过遵照SECS/GEM协议的通信来执行控制的主机;及基于未遵照SECS/GEM协议的非SECS/GEM协议进行通信的多个装置,所述制造系统的特征在于,多个装置包括作业机和对控制作业机的控制数据进行管理的管理装置,主机在通过控制数据对作业机进行控制而开始作业之前执行从管理装置取得控制数据的控制数据取得处理。
在该制造系统中,用户在开始基于作业机的作业之前,能够在从管理装置取得了控制数据的主机中确认控制数据的内容。另外,主机能够记录并管理与控制数据相关的记录、例如变更了控制数据的内容的履历、开始使用变更了的控制数据的时期等。
另外,本申请中公开的技术所涉及的制造系统也可以构成为,在控制数据取得处理中,主机在管理装置中保存有与要取得的控制数据对应的多个版本的情况下执行报知保存有多个版本的报知处理。
在该制造系统中,主机例如在应取得的控制数据存在有多个版本的情况下,对用户报知该主旨。在此,存在有如下可能性:在管理装置中保存有例如在作业机的控制中多次使用而积累了实际成绩的控制数据和仅以作业效率的改善等为目的进行了编辑的最新的控制数据双方。与此相对,在该制造系统中,用户能够根据报知的内容来选择积累了实际成绩的控制数据或者最新的控制数据等。
发明效果
根据在本申请中公开的技术,通过将遵照SECS/GEM协议的通信向其它的通信协议的制造系统中继而能够基于SECS/GEM主机统一地进行管理。
附图说明
图1是表示实施方式的安装基板制造系统的网络结构的图。
图2是表示中继装置的结构的框图。
图3是表示在端口对应数据库中设定的数据的内容的图。
图4是表示在指令对应数据库中设定的数据的内容的图。
图5是用于说明基于不同的标准的通信协议的数据转送的示意图。
图6是表示比较例的安装基板制造系统的网络结构的图。
图7是用于说明比较例的结构中的基于不同的标准的通信协议的数据转送的示意图。
具体实施方式
以下,参照附图说明本发明的实施方式。图1表示本发明的制造系统的一实施方式的安装基板制造系统(以下,称作“制造系统”)10的网络结构。如图1所示,制造系统10具备制造商主机11、丝网印刷机13、多个(在图1中仅图示两台)安装机14、15、用户主机17及中继装置19。
制造商主机11是对控制丝网印刷机13及安装机14、15各自的动作的控制数据CD进行管理的终端。丝网印刷机(以下,存在有称作“印刷机”的情况)13例如通过刮板移动装置使刮板沿掩模移动,使膏状焊料通过该掩模的贯通孔而印刷于沿生产线搬运的印刷布线板等电路基板。另外,安装机14、15例如将电子元件向电路基板装配。各安装机14、15根据电子元件的种类等进行作业的分担,并对一个电路基板进行元件安装作业。此外,图1所示的制造系统10所具备的装置的结构(印刷机13、安装机14、15)为一个例子,并不局限于此。例如,制造系统10也可以具备将用于安装元件的临时固定剂向电路基板涂敷的粘接剂涂敷装置、使电路基板上的焊料熔融而将电子元件与电路基板电连接的回流焊炉等。
制造商主机11例如是由这些印刷机13及安装机14、15等制造装置的制造商所开发的管理用的个人计算机。用户能够使用制造商主机11来管理由印刷机13等构成的安装基板的生产线。
另外,制造商主机11、印刷机13及安装机14、15经由局域网NW1相互连接。制造商主机11、印刷机13及安装机14、15例如通过遵照由制造商所规定等的专有的通信协议的通信,通过局域网NW1相互执行数据的收发。该制造商专有的通信协议(以下,存在有称作“专有协议”的情况)是未遵照后述的SECS/GEM协议的非SECS/GEM协议,例如是能够进行利用了TCP/IP协议的数据的收发的协议。
在制造商主机11中,例如保存有与作业对象的电路基板相关的数据(从安装机14所具备的元件供料器供给的电子元件的种类、元件的形状、装配位置等数据)。例如,用户能够操作制造商主机11来生成印刷机13、安装机14、15等的控制所使用的控制数据CD、即所谓的方法。印刷机13等基于由制造商主机11生成的控制数据CD来实施作业。
另外,用户主机17的通信接口17A与区别于局域网NW1的局域网NW2连接。在局域网NW2连接有能够进行遵照SECS/GEM协议的通信的半导体制造装置(切割装置、焊接装置等)。用户主机17利用由SECS/GEM协议规定的通信报文(指定了流、函数的编号的数据等)来控制多个半导体制造装置。与该局域网NW2连接的半导体制造装置例如相对于制造上述安装基板的生产线成为上游侧。并且,由半导体制造装置制造的电子元件被位于生产线的下游侧的安装机14安装在电路基板上。
另外,用户主机17的区别于通信接口17A的通信接口17B与中继装置19连接,通过遵照SECS/GEM协议的通信进行数据的收发。中继装置19也与局域网NW1连接,通过非SECS/GEM协议的专有协议,与制造商主机11、印刷机13等进行数据的收发。中继装置19针对在用户主机17与制造商主机11等之间收发的数据,实施SECS/GEM协议与专有协议的彼此的协议转换,并执行数据的转送。
因此,用户主机17经由中继装置19而与局域网NW1连接,能够对印刷机13等执行安装基板的制造开始的指示、制造停止的指示等。即,用户主机17能够统一地管理与局域网NW1及局域网NW2连接的全部制造装置。
接下来,说明中继装置19的详细结构。图2表示中继装置19的结构的一部分,表示与本申请相关的部分。如图2所示,中继装置19具备第一接口31、第二接口33、CPU35、存储器37及存储部39,这些装置经由内部主线41相互连接。
在此,如图1所示,局域网NW1的网络地址/子网掩码例如是“192.168.1.0/24”。制造商主机11的IP地址例如被设定为“192.168.1.10”。印刷机13的IP地址被设定为“192.168.1.11”。安装机14的IP地址被设定为“192.168.1.12”。安装机15的IP地址被设定为“192.168.1.13”。第二接口33的IP地址被设定为“192.168.1.15”。第一接口31的IP地址被设定为“192.168.2.101”。用户主机17的通信接口17B的IP地址被设定为“192.168.2.100”。
第一接口31和通信接口17B例如经由LAN线缆连接,进行遵照SECS/GEM协议的通信。如图1所示,其间的网络的网络地址/子网掩码例如是“192.168.2.0/24”。另外,中继装置19的第二接口33与局域网NW1连接。
CPU35执行存储于存储部39的处理程序P1,执行上述协议转换等处理。存储器37例如是RAM,是在基于CPU35的处理程序P1的执行等中使用的作业用的存储器。存储部39例如是具备ROM、硬盘等的存储装置。在存储部39中,除了处理程序P1以外,还保存有后述的端口对应数据库DB1和指令对应数据库DB2。
用户主机17例如在针对中继装置19的通信中,在指定了第一接口31的IP地址“192.168.2.101”和TCP协议的端口号的基础上,进行遵照SECS/GEM协议的通信。
图3表示在端口对应数据库DB1内设定的数据。如图3所示,在端口对应数据库DB1中,使由用户主机17指定的TCP协议的端口号与在指定了的情况下作为转送数据的目的地的装置的IP地址建立关联。TPC协议的端口号例如被设定为端口号49152~65535的动态/私有端口。此外,使用的端口号并不局限于此。
CPU35在执行处理程序P1并起动协议转换的功能之后,例如从用户主机17对第一接口31接收指定了TCP协议的端口号“50001”的数据。CPU35以指定的端口号“50001”为线索,从端口对应数据库DB1检索对应的IP地址。使制造商主机11的IP地址“192.168.1.10”与端口号“50001”建立关联。因此,CPU35在针对接收到的数据执行了协议转换之后,在将目标地址的IP地址变更为“192.168.1.10”(制造商主机11)的基础上向局域网NW1发送。
用户主机17例如在控制局域网NW1上的装置(印刷机13等)的应用软件中,与中继装置19所具备的端口对应数据库DB1相同地设定有表示发送目的地的IP地址和与发送目的地对应的应指定的通信端口的编号的关系的数据。用户主机17在执行朝向局域网NW1的通信的情况下,基于该预先设定的数据的对应关系,指定TCP协议的端口号,并向中继装置19(第一接口31)发送数据。
另外,作为执行为协议转换的处理内容,CPU35例如执行从用户主机17接收到的数据的内容的变更、顺序的变更、分割、组装等。具体地说,例如,CPU35执行将SECS/GEM协议中的表示通信报文的内容的流、函数的编号转换为专有协议的对应的控制指令的编号的处理。
另外,制造商主机11经由中继装置19接收来自用户主机17的数据。制造商主机11例如执行与来自用户主机17的指示相对应的处理。另外,制造商主机11例如在需要响应的情况下,将作为发送源的第二接口33的IP地址“192.168.1.15”指定为发送目的地的地址,回复所需的数据。
另外,在实施将与局域网NW1连接的制造商主机11等为起点的朝向用户主机17的通信的情况下,制造商主机11等向第二接口33发送数据。例如,制造商主机11将第二接口33的IP地址“192.168.1.15”设定为默认网关。制造商主机11将朝向局域网NW1(“192.168.1.0/24”)以外的网络的节点(用户主机17等)的发送数据向中继装置19发送。中继装置19针对从制造商主机11接收到的数据实施协议转换等并进行转送。由此,实现经由中继装置19的制造商主机11等与用户主机17的通信。
此外,用户主机17在进行朝向局域网NW1的通信的情况下,也可以不指定TCP协议的端口号。例如,用户主机17也可以是将第一接口31的IP地址“192.168.2.101”设定为通信接口17B的默认网关的结构。在该情况下,用户主机17例如将朝向局域网(“192.168.2.0/24”)以外的网络的节点例如印刷机13(“192.168.1.11”)的发送数据向中继装置19发送。中继装置19(CPU35)也可以执行协议转换,并且向指定的发送目的地的IP地址“192.168.1.11”转送数据。
接下来,说明与基于中继装置19的指令相对应的转送控制。图4表示在指令对应数据库DB2中设定的数据。如图4所示,在指令对应数据库DB2中,使由用户主机17指定的SECS/GEM协议的流及函数的编号、专有协议的对应的控制指令的编号及转送目的地的IP地址这三者建立关联。
在SECS/GEM协议中,通过流及函数的编号指定所发送的报文的内容(控制内容等)。流(图4中的S)表示例如对相关的处理进行分组所得的分区。函数(图4中的F)指的是在流的分区内指定更加详细的处理内容。例如,图4中的“S7F5”表示要求处理程序的报文。
局域网NW1内的装置即使接收指定了这些流及函数的编号的数据,由于不支持SECS/GEM协议,因此也无法执行与报文的内容相对应的处理。于是,中继装置19的CPU35以使用指令对应数据库DB2来指定与通过流及函数指定的控制内容对应的专有协议的控制指令的方式执行协议转换。另外,中继装置19在设定有执行与流等相对应的处理所需的参数的情况下,也对这些参数执行转换。
CPU35在执行了处理程序P1之后,例如从用户主机17接收指定了“S7F5”的数据。CPU35以指定的流及函数的编号“S7F5”为线索,从指令对应数据库DB2检索对应的控制指令。使专有协议中的要求控制数据CD的控制指令的编号与“S7F5”建立关联。因此,CPU35对接收到的数据的数据形式、内容进行转换。
进而,CPU35执行根据指定的流及函数的编号来变更转送目的地的处理。CPU35例如从用户主机17接收指定了“S7F5”的数据,“S7F5”是要求在印刷机13的存储器等中保存的处理程序(控制数据CD)的信息。由于CPU35将制造商主机11设定为指令对应数据库DB2的“S7F5”的转送目的地,因此将发送目的地从印刷机13向制造商主机11变更。另外,CPU35将“S7F5”的流等的数据变更为要求专有协议的控制数据CD的控制指令的编号。进而,CPU35以从制造商主机11要求与印刷机13对应的控制数据CD的方式对执行控制指令的处理所需的参数等进行转换。由此,制造商主机11在接收到从中继装置19转送的数据(控制指令及参数)时,进行将与印刷机13对应的控制数据CD向中继装置19响应的处理。如此一来,中继装置19执行与流等相关的数据的转换、与流等相对应的转送目的地的变更。
顺带一提,安装基板制造系统10是制造系统的一个例子。制造商主机11是管理装置的一个例子。印刷机13及安装机14、15是作业机的一个例子。用户主机17是主机的一个例子。
以上,根据详细地说明的本实施方式,起到以下的效果。
<效果1>
中继装置19在SECS/GEM协议与非SECS/GEM协议即专有协议之间执行协议转换,进行在用户主机17与制造商主机11等之间传送的数据的转送。另外,中继装置19基于设定了与制造商主机11等分别对应的TCP协议的端口号的端口对应数据库DB1,执行转送处理(参照图3)。由此,中继装置19能够进行SECS/GEM协议的网络与非SECS/GEM协议的局域网NW1之间的数据转送。另外,用户主机17通过执行指定了端口号的通信,能够经由中继装置19来管理根据专有协议进行通信的制造商主机11等。
另外,中继装置19通过在一个通信接口(第一接口31)中切换TCP协议的端口号,能够从用户主机17接收针对多个装置(制造商主机11、印刷机13等)的数据。
在此,说明图6所示的比较例的制造系统100的网络结构。此外,在以下的说明中,对于与上述实施方式相同的结构标注相同的附图标记,适当地省略其说明。图6所示的制造系统100在不具备中继装置19这一点上与上述实施方式的制造系统10不同。另外,制造商主机11、用户主机17、印刷机101及安装机102、103经由局域网NW3相互连接。另外,印刷机101、安装机102、103不仅支持与制造商主机11的通信中的专有协议,还支持与用户主机17的基于SECS/GEM协议的通信。在这样的结构中,例如在用户主机17的SECS/GEM协议相关的部分的程序产生了更新的情况下,需要更新支持SECS/GEM协议的全部装置(印刷机101、安装机102、103)的程序。
与此相对,在本实施方式的制造系统10中,印刷机13等无需支持SECS/GEM协议。因此,在该制造系统10中,假设即使用户主机17的SECS/GEM协议相关的程序产生了更新,也能够通过与此相对应地更新中继装置19的程序来进行应对。另外,也不需要印刷机13、安装机14、15中的与SECS/GEM协议对应的开发。
<效果2>
中继装置19使用保存于存储部39的指令对应数据库DB2(参照图4),根据流等的编号来执行变更转送目的地的处理。在此,例如,用户操作制造商主机11来实施控制数据CD的开发。或者,用户例如操作制造商主机11,从印刷机13等的制造商的服务器下载最新的控制数据CD。另一方面,由于当想要将多个版本的控制数据CD保存于印刷机13等时该印刷机13的存储器的容量增加、即制造成本增加,因此通常在印刷机13等中仅保存实际的作业所使用的控制数据CD。即,存在有在制造商主机11中保存有在进行实际作业的印刷机13等的存储器中未保存的多个版本的控制数据CD的情况。
与此相对,本实施方式的中继装置19例如在从用户主机17接收到指定了“S7F5”的数据时,将发送目的地从印刷机13向制造商主机11变更并执行转送,“S7F5”是要求在印刷机13的存储器等中保存的控制数据CD的信息。由此,用户主机17能够从制造商主机11取得在印刷机13等中未保存的控制数据CD等。
<效果3>
进而,用户主机17能够在安装机102基于控制数据CD开始作业之前,执行从制造商主机11取得控制数据CD的处理(控制数据取得处理的一个例子)。
图7示意性地表示比较例的制造系统100中的数据转送。图7中的实线所示的箭头表示基于非SECS/GEM协议的专有协议的数据的收发。另外,虚线所示的箭头表示基于SECS/GEM协议的数据的收发。在此,SECS/GEM协议是以制造系统中的管理用的计算机(SECS/GEM主机)与安装机102等实际执行制造的制造装置的数据的收发为前提规定的协议。即,在通常的SECS/GEM协议的考虑方式中,以管理用计算机(SECS/GEM主机)与印刷机101等实际执行制造的制造装置的数据的收发为前提。由于在根据该前提及考虑方式构筑了网络的比较例的制造系统100中,制造商主机11和用户主机17相互支持不同的通信协议,因此无法在相互间执行直接通信。
因此,用户主机17在想要取得控制数据CD的情况下,需要临时从印刷机101间接地取得从制造商主机11下载至印刷机101等的数据。换言之,在用户主机17取得控制数据CD的阶段中,印刷机101等处于持有开始制造所需的控制数据CD的状态。其结果存在有如下隐患:生产线的管理者在使用用户主机17确认控制数据CD时,当生产线的作业者直接操作印刷机101等时,基于装置所持有的控制数据CD开始制造。因此,存在有如下隐患:在由管理者检查控制数据CD之前,通过存在有问题的控制数据CD开始制造,产生有制造连续不合格的安装基板等缺陷。
另一方面,图5示意性地表示本实施方式的制造系统10中的数据转送。图5中的实线所示的箭头表示基于非SECS/GEM协议的专有协议的数据的收发。另外,虚线所示的箭头表示基于SECS/GEM协议的数据的收发。在制造系统10中,用户主机17能够经由中继装置19与包括制造商主机11在内的局域网NW1上的全部装置进行数据的收发,能够进行这些装置的管理。因此,例如,若设定为只要用户主机17不许可、制造商主机11就不向印刷机13等发送控制数据CD,则能够防止在上述比较例的制造系统100中产生的缺陷。并且,用户在通过安装机102等开始制造安装基板之前,能够使控制数据CD从制造商主机11向用户主机17转送,并在用户主机17中确认控制数据CD的内容。并且,用户主机17能够记录并管理与控制数据CD相关的记录、例如控制数据CD的更新履历等。
<效果4>
另外,用户主机17在要取得控制数据CD时,在制造商主机11中保存有多个版本的控制数据CD的情况下,可以执行将该主旨向用户报知的处理(报知处理的一个例子)。例如,用户主机17也可以根据用户的操作将指定了要求控制数据CD的列表的流等的编号的数据向中继装置19发送。并且,用户主机17也可以将从制造商主机11取得的控制数据CD的列表显示于显示画面等。
在此,存在有如下可能性:在制造商主机11中,例如保存有在安装机102的控制中多次使用而积累了实际成绩的控制数据CD和仅以作业效率的改善等为目的进行了编辑的最新的控制数据CD双方。与此相对,若构成为在用户主机17中显示控制数据CD的列表,则用户通过根据用户主机17的显示来选择想要使用的控制数据CD,能够选择积累了实际成绩的控制数据CD或者最新的控制数据CD等来进行制造作业。
此外,本发明并不局限于上述实施方式,不言而喻地,能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种改进、变更。
例如,在上述实施方式中,将中继装置19构成为单体的装置,但是并不局限于此,例如,也可以在同一装置内构成制造商主机11和中继装置19。
另外,用户主机17也可以具备通信接口17A与通信接口17B中的一方,通过一个接口执行中继装置19与局域网NW2双方之间的基于SECS/GEM协议的通信。
另外,中继装置19也可以根据流等的编号来执行变更转送目的地的处理。在该情况下,中继装置19也可以是在存储部39中不保存指令对应数据库DB2的结构。
另外,对于控制数据CD以外的数据,中继装置19也可以根据流等的编号来变更转送目的地。
另外,中继装置19是根据TCP协议的端口号来接收来自用户主机17的发送数据的结构,但是本申请中的通信端口并不局限于TCP协议的端口号,也可以是通过其他通信标准规定的通信端口。
另外,用户主机17也可以在经由基于印刷机13等的作业之前不执行取得控制数据CD的处理。
另外,用户主机17也可以在要从制造商主机11取得的控制数据CD中存在有多个版本的情况下不执行报知该主旨的处理。
另外,在上述实施方式中,作为非SECS/GEM协议的系统,以将电子元件向电路基板安装的制造系统为例进行了说明,但是本申请并未局限于此,也能够应用于基于非SECS/GEM协议进行通信的其他各种制造系统。例如,也可以应用于使用了作业用机器人的制造系统,该作业用机器人用于实施二次电池(太阳电池、燃料电池等)等的组装作业。
附图标记说明
10 安装基板制造系统
11 制造商主机
13 丝网印刷机
14、15 安装机
17 用户主机
19 中继装置
CD 控制数据
Claims (5)
1.一种中继装置,其特征在于,
在具备通过遵照SECS/GEM协议的通信来执行控制的主机和基于未遵照SECS/GEM协议的非SECS/GEM协议进行通信的多个装置的制造系统中,执行如下处理:
协议转换处理,当在所述主机与所述多个装置中的各装置之间传送数据时,执行所述SECS/GEM协议与所述非SECS/GEM协议的转换;及
转送处理,设定与所述多个装置中的各装置对应的多个通信端口,通过与作为发送数据的发送目的地的装置对应的通信端口来接收从所述主机向所述多个装置中的各装置所发送的所述发送数据,并将所述协议转换处理后的数据向与所述通信端口对应的装置转送。
2.根据权利要求1所述的中继装置,其特征在于,
根据设定于从所述主机发送的所述发送数据内且基于所述SECS/GEM协议的标准而设定的表示所述发送数据的内容的流及函数中的至少一方,来变更转送目的地。
3.根据权利要求2所述的中继装置,其特征在于,
所述多个装置包括作业机和对控制所述作业机的控制数据进行管理的管理装置,
在所述流及所述函数中的至少一方的编号为与所述控制数据相关的编号的情况下,将所述管理装置设定为所述转送目的地。
4.一种制造系统,具备:权利要求1~3中任一项所述的中继装置;通过遵照SECS/GEM协议的通信来执行控制的主机;及基于未遵照SECS/GEM协议的非SECS/GEM协议进行通信的多个装置,所述制造系统的特征在于,
所述多个装置包括作业机和对控制所述作业机的控制数据进行管理的管理装置,
所述主机在通过所述控制数据对所述作业机进行控制而开始作业之前执行从所述管理装置取得所述控制数据的控制数据取得处理。
5.根据权利要求4所述的制造系统,其特征在于,
在所述控制数据取得处理中,所述主机在所述管理装置中保存有与要取得的所述控制数据对应的多个版本的情况下执行报知保存有所述多个版本的报知处理。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2015/066982 WO2016199288A1 (ja) | 2015-06-12 | 2015-06-12 | 中継装置及び製造システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107615444A CN107615444A (zh) | 2018-01-19 |
CN107615444B true CN107615444B (zh) | 2021-06-15 |
Family
ID=57503153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201580080787.XA Active CN107615444B (zh) | 2015-06-12 | 2015-06-12 | 中继装置及制造系统 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10663951B2 (zh) |
EP (1) | EP3309818B1 (zh) |
JP (1) | JP6500102B2 (zh) |
CN (1) | CN107615444B (zh) |
WO (1) | WO2016199288A1 (zh) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108833394B (zh) * | 2018-06-07 | 2020-10-09 | 中国人民解放军63889部队 | 数据采集系统的协议转换算法 |
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JP7190837B2 (ja) * | 2018-07-31 | 2022-12-16 | キヤノン株式会社 | 中継装置、制御方法、及び、プログラム |
JP7159818B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2022-10-25 | オムロン株式会社 | 制御装置および通信システム |
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2015
- 2015-06-12 EP EP15894973.5A patent/EP3309818B1/en active Active
- 2015-06-12 CN CN201580080787.XA patent/CN107615444B/zh active Active
- 2015-06-12 WO PCT/JP2015/066982 patent/WO2016199288A1/ja active Application Filing
- 2015-06-12 JP JP2017523065A patent/JP6500102B2/ja active Active
- 2015-06-12 US US15/735,383 patent/US10663951B2/en active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
EP3309818A4 (en) | 2018-05-23 |
EP3309818A1 (en) | 2018-04-18 |
US20180164786A1 (en) | 2018-06-14 |
CN107615444A (zh) | 2018-01-19 |
US10663951B2 (en) | 2020-05-26 |
JPWO2016199288A1 (ja) | 2018-03-29 |
JP6500102B2 (ja) | 2019-04-10 |
EP3309818B1 (en) | 2019-07-24 |
WO2016199288A1 (ja) | 2016-12-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB02 | Change of applicant information |
Address after: Aichi Japan vertical city Applicant after: Fuji Corporation Address before: Aichi Japan vertical city Applicant before: Fuji Machinery Manufacturing Co., Ltd. |
|
CB02 | Change of applicant information | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |