CN116055523A - 晶圆工厂通讯方法、系统、电子设备和可读存储介质 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种晶圆工厂通讯方法、系统、电子设备和可读存储介质，该晶圆工厂通讯方法包括：获取晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息；通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输，其中，所述通讯接口为半导体通讯协议SECS/GEM接口。本发明通过改造晶圆工厂生产设备的通讯接口，实现晶圆生产设备与上层Host设备的自动对接，实现生产信息化管理系统的统一维护管理，有助于设备的升级和改造以及设备的后期维护，进一步增加工厂设备信息自动化的覆盖率。

Description

晶圆工厂通讯方法、系统、电子设备和可读存储介质
技术领域
本发明实施例涉及自动化通讯技术领域，尤其涉及一种晶圆工厂通讯方法、系统、电子设备和可读存储介质。
背景技术
晶圆工厂在建设自动化工厂的过程中，设备底层对接上层Host设备通讯是必不可少的一个环节。设备底层的对接上层Host设备通讯是对接生产信息化管理系统的通用性语言，但由于很多供应商提供的设备还处于一个较低的自动化水平，晶圆生产设备自动化程度不高，工厂生产设备的通讯接口不统一，所以造成部分设备需要人员目视检测和用其他的通讯方式获取生产设备信息，而目视检测时人员容易输入错误，输入数据信息的错误率较高；目视检测的操作不方便，需要在拥有输入软件的电脑上进行信息输入操作。
由于晶圆工厂生产设备通讯接口的不统一，造成设备无法自动对接系统，不利于生产信息化管理系统统一维护管理；不利于设备的升级和改造；不利于设备的后期维护。
发明内容
本发明实施例提供一种晶圆工厂通讯方法、系统、电子设备和可读存储介质，以解决现有的由于晶圆工厂生产设备通讯接口的不统一，造成设备无法自动对接系统，不利于生产信息化管理系统统一维护管理；不利于设备的升级和改造；不利于设备的后期维护的问题。
为了解决上述技术问题，本发明是这样实现的：
第一方面，本发明实施例提供了一种晶圆工厂通讯方法，包括：
获取晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息；
通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输，其中，所述通讯接口为半导体通讯协议SECS/GEM接口。
可选的，所述晶圆生产设备包括以下至少之一：
标准设备、可编程逻辑控制器PLC通讯设备和非标准设备；
其中，所述标准设备获取的信息数据为SECS/GEM标准数据，所述标准设备的通讯接口为SECS/GEM接口；所述非标准设备获取的信息数据为非SECS/GEM标准数据，所述非标准设备的通讯接口为非SECS/GEM接口。
可选的，所述通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输之前还包括：
将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口，所述SECS/GEM接口用于将获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据，通过所述SECS/GEM接口完成所述晶圆生产设备与所述上层Host设备之间的通讯。
可选的，所述将获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据的转换方式包括以下至少之一：
完善所述获取的非SECS/GEM标准数据的获取方式和对所述获取的非SECS/GEM标准数据进行信息化改造。
可选的，所述将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口包括：
将所述PLC通讯设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，所述PLC通讯设备的SECS/GEM接口用于对所述PLC通讯设备进行地址位转换，将所述PLC通讯设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据。
可选的，所述将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口还包括：
将所述非标准设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，所述非标准设备的SECS/GEM接口用于将非标准设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据。
可选的，所述获取晶圆生产设备信息的方法包括：
对于非标准设备的信息数据，通过扫码枪获取产品信息，所述产品信息包括以下至少之一：
所述产品信息的源数据信息、所述产品的源数据信息获取途径信息、所述产品信息的源数据加工信息、所述产品信息的源数据上传结果信息和所述产品的信息交互履历信息。
第二方面，本发明实施例提供了一种晶圆工厂通讯系统，包括：
第一获取模块，用于获取晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息；
第一处理模块，用于通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输，其中，所述通讯接口为半导体通讯协议SECS/GEM接口。
第三方面，本发明实施例提供了一种电子设备，包括：处理器、存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序，所述程序被所述处理器执行时实现如上述第一方面所述的晶圆工厂通讯方法的步骤。
第四方面，本发明实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述第一方面所述的晶圆工厂通讯方法的步骤。
在本发明实施例中，通过统一晶圆工厂生产设备的通讯接口，实现生产信息化管理系统的统一维护管理，将所述通讯接口改造为SECS/GEM接口，通过SECS/GEM接口实现所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间的传输，有助于设备的升级和改造以及设备的后期维护，能够进一步增加工厂设备信息自动化的覆盖率。
附图说明
通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
图1为本发明实施例的晶圆工厂通讯方法的流程示意图；
图2为本发明实施例实施通讯接口改造前的通讯流程示意图；
图3为本发明实施例实施通讯接口改造后的通讯流程示意图；
图4为本发明实施例的标准设备的通讯流程示意图；
图5为本发明实施例的PLC通讯设备改造后的通讯流程示意图；
图6为本发明实施例的PLC通讯设备改造后的通讯交互流程示意图；
图7为本发明实施例的非标准设备改造后的通讯流程示意图；
图8为本发明实施例扫码载具ID后生成的一种可视化界面；
图9为本发明实施例的晶圆工厂通讯系统的结构示意图；
图10为本发明实施例的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参考图1和图3，本发明实施例提供了一种晶圆工厂通讯方法，包括：
步骤11：获取晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息；
步骤12：通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输，其中，所述通讯接口为半导体通讯协议SECS/GEM接口。
所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息为业务部门有需求的信息，举例来说，所述信息包括晶圆生产设备的量测结果、晶圆产品的直径、晶圆产品的膜厚和晶圆生产设备腔体的压力等。
在本发明实施例中，通过统一晶圆工厂生产设备的通讯接口，实现生产信息化管理系统的统一维护管理，将所述通讯接口改造为SECS/GEM接口，通过SECS/GEM接口实现所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间的传输，有助于设备的升级和改造以及设备的后期维护，能够进一步增加工厂设备信息自动化的覆盖率。
本发明实施例中，可选的，所述晶圆生产设备包括以下至少之一：
标准设备、可编程逻辑控制器PLC通讯设备和非标准设备；
其中，所述标准设备获取的信息数据为SECS/GEM标准数据，所述标准设备的通讯接口为SECS/GEM接口；所述非标准设备获取的信息数据为非SECS/GEM标准数据，所述非标准设备的通讯接口为非SECS/GEM接口。
举例来说，所述非标准设备包括：文件解析设备、显微镜设备和x-ray设备。
请参考图2和图3，为本发明实施例的实施通讯接口改造前、后的通讯示意图，通过晶圆工厂生产设备通讯接口的改造，实现了设备底层对接上层Host设备通讯的统一维护管理，本发明实施例中，上层Host设备包括设备自动化管理系统EAP和生产管理系统MES。
其中，所述标准设备的生产设备获取的信息数据为SECS/GEM标准数据，所述标准设备的通讯接口为SECS/GEM接口，所以在本发明实施例中所述标准设备的通讯接口不需要进行改造，请参考图4，标准设备的SECS/GEM接口是标准设备的设备通讯模块的其中一个模块。
本发明实施例中，可选的，所述通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输之前还包括：
将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口，所述SECS/GEM接口用于将获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据，通过所述SECS/GEM接口完成所述晶圆生产设备与所述上层Host设备之间的通讯。
所述SECS/GEM接口还可以存储信息数据。
请参考图3，改造通讯接口后，所述标准设备、PLC通讯设备和非标准设备均通过SECS/GEM接口与EAP进行通讯，EAP通过中间件TIBCO/MQ等通讯接口与MES进行通讯，实现生产信息化管理系统的统一维护管理，能够在不改造设备的前提下，提升晶圆工厂自动化水平，还可以进一步推动设备厂商反向改造升级设备。
本发明实施例中，可选的，所述将获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据的转换方式包括以下至少之一：
完善所述获取的非SECS/GEM标准数据的获取方式和对所述获取的非SECS/GEM标准数据进行信息化改造。
举例来说，所述对所述获取的非SECS/GEM标准数据进行信息化改造包括给所述非SECS/GEM标准数据中的数组增加象征项。
本发明实施例中，可选的，所述将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口包括：
将所述PLC通讯设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，所述PLC通讯设备的SECS/GEM接口用于对所述PLC通讯设备进行地址位转换，将所述PLC通讯设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据。
请参考图2，所述PLC通讯设备获取的信息数据为非SECS/GEM标准数5据，所述PLC通讯设备的通讯接口为非SECS/GEM接口，请参考图3，在本发明实施例中将PLC通讯设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，利用PLC通讯设备的SECS/GEM接口将PLC通讯设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据，利用PLC通讯设备的SECS/GEM接口将PLC
通讯设备获取的信息数据在PLC通讯设备和EAP系统之间进行传输，请参考0图5，PLC通讯设备的SECS/GEM接口可以是底层通讯处理端CIMPC的其中一个模块。
请参考图6，为本发明实施例的PLC通讯设备的交互流程图，分为两方面，一方面，从底层设备EQP获取到设备信息，传输给CIMPC，通过CIMPC对
从EQP获取的信息进行加工，通过SECS/GEM接口将加工后的信息上传至5EAP，其中SECS/GEM接口可以是CIMPC的其中一个模块，再由EAP传输至MES，完成信息上传；另一方面，MES将需要写入EQP的信息传输至EAP，EAP通过SECS/GEM接口将从MES获取的信息传输至CIMPC，CIMPC再将信息写入EQP，完成信息写入。
同样的，对于标准设备和非标准设备，同样存在信息上传和信息写入的通0讯交互。
本发明实施例中，可选的，所述将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口还包括：
将所述非标准设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，所述非标准设备的SECS/GEM接口用于将非标准设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为5SECS/GEM标准数据。
在所述将非标准设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据之前，还包括以下至少之一：
对所述非标准设备的文件进行解析、对所述非标准设备的设备进行改造、对所述非标准设备的设备端进行手动输入和增加所述非标准设备的底层程序计算逻辑。
请参考图2，所述非标准设备获取的信息数据为非SECS/GEM标准数据，所述非标准设备的通讯接口为非SECS/GEM接口，在更改通讯接口前，非标准设备的信息数据直接与MES进行通讯，不利于后期系统的维护，请参考图3，在本发明实施例中将非标准设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，利用所述SECS/GEM接口将非标准设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据，利用所述SECS/GEM接口将所述非标准设备获取的信息数据在非标准设备和EAP之间进行传输，请参考图7，所述非标准设备的SECS/GEM接口为可以是非标信息处理PC的其中一个模块。
请参考图7，举例来说，所述非标准设备获取的信息数据的方法包括，从设备作业文件获取信息数据、设备Sensor改造上传信息数据、图像数据加工获取信息数据和人工目视获取信息数据。
本发明实施例中，可选的，所述获取晶圆生产设备信息的方法包括：
对于非标准设备的信息数据，通过扫码枪获取产品信息，所述产品信息包括以下至少之一：
所述产品信息的源数据信息、所述产品的源数据信息获取途径信息、所述产品信息的源数据加工信息、所述产品信息的源数据上传结果信息和所述产品的信息交互履历信息。
请参考图8，为本发明实施例使用扫码枪扫码载具ID后生成的一种可视化界面，所述界面包括①表示用扫码枪扫码的载具ID；②表示产品信息展示模块SlotMap，包括产品层数等信息；③表示产品信息的源数据信息模块；④表示产品的源数据信息获取途径信息模块，例如通过图片或文件等获取到产品的源数据信息；⑤表示产品信息的源数据加工和操作信息模块，用于对源数据进行补充加工；⑥表示产品信息的源数据交互结果的实时预览模块，例如上传成功或上传失败；⑦表示产品的信息交互履历信息，提供了信息交互的历史记录，包括信息交互的当前步骤。
由于目视检测时人员容易输入错误，输入数据信息的错误率较高，并且目视检测的操作不方便，需要在拥有输入软件的电脑上进行信息输入操作。本发明实施例中通过扫码枪获取产品信息，完善所述获取的非SECS/GEM标准数据的获取方式，能够有效的解决人工输入导致的错误率高的问题，并且操作简单，可视化界面显示的信息较全面。
请参考图9，本发明还提供晶圆工厂通讯系统90，包括：
第一获取模块91，用于获取晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息；
第一处理模块92，用于通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输，其中，所述通讯接口为半导体通讯协议SECS/GEM接口。
可选的，所述晶圆生产设备包括以下至少之一：
标准设备、可编程逻辑控制器PLC通讯设备和非标准设备；
其中，所述标准设备获取的信息数据为SECS/GEM标准数据，所述标准设备的通讯接口为SECS/GEM接口；所述非标准设备获取的信息数据为非SECS/GEM标准数据，所述非标准设备的通讯接口为非SECS/GEM接口。
可选的，晶圆工厂通讯90还包括：
第二处理模块，用于将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口，所述SECS/GEM接口用于将获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据，通过所述SECS/GEM接口完成所述晶圆生产设备与所述上层Host设备之间的通讯。
可选的，第二处理模块还包括：
第一子模块，用于完善所述获取的非SECS/GEM标准数据的获取方式和对所述获取的非SECS/GEM标准数据进行信息化改造。
可选的，第二处理模块还包括：
第二子模块，用于将所述PLC通讯设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，所述PLC通讯设备的SECS/GEM接口用于对所述PLC通讯设备进行地址位转换，将所述PLC通讯设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据。
可选的，第二处理模块还包括：
第三子模块，用于将所述非标准设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，所述非标准设备的SECS/GEM接口用于将非标准设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据。
可选的，第一获取模块91还包括：
第一获取模块子模块，用于对于非标准设备的信息数据，通过扫码枪获取产品信息，所述产品信息包括以下至少之一：
所述产品信息的源数据信息、所述产品的源数据信息获取途径信息、所述5产品信息的源数据加工信息、所述产品信息的源数据上传结果信息和所述产品的信息交互履历信息。
请参考图10，本发明实施例还提供一种电子设备100，包括处理器101，存储器102，存储在存储器102上并可在所述处理器101上运行的计算机程序，
该计算机程序被处理器101执行时实现上述晶圆工厂通讯方法实施例的各个0过程，且能达到相同的技术效果，为避免重复，这里不再赘述。
本发明实施例还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述晶圆工厂通讯方法实施例的各个过程，且能达到相同的技术效果，为避免重复，这里不再赘述。
其中，所述的计算机可读存储介质，如只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、5随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)、磁碟或者光盘等。
需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这
种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语0句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。
通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬
件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本发明的技术方5案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，
该计算机软件产品存储在一个存储介质(如ROM/RAM、磁碟、光盘)中，包括若干指令用以使得一台终端(可以是手机，计算机，服务器，空调器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。
上面结合附图对本发明的实施例进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本发明的保护之内。

Claims (10)

1.一种晶圆工厂通讯方法，其特征在于，包括：
获取晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息；
通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输，其中，所述通讯接口为半导体通讯协议SECS/GEM接口。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述晶圆生产设备包括以下至少之一：
标准设备、可编程逻辑控制器PLC通讯设备和非标准设备；
其中，所述标准设备获取的信息数据为SECS/GEM标准数据，所述标准设备的通讯接口为SECS/GEM接口；所述非标准设备获取的信息数据为非SECS/GEM标准数据，所述非标准设备的通讯接口为非SECS/GEM接口。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输之前还包括：
将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口，所述SECS/GEM接口用于将获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据，通过所述SECS/GEM接口完成所述晶圆生产设备与所述上层Host设备之间的通讯。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述将获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据的转换方式包括以下至少之一：
完善所述获取的非SECS/GEM标准数据的获取方式和对所述获取的非SECS/GEM标准数据进行信息化改造。
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口包括：
将所述PLC通讯设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，所述PLC通讯设备的SECS/GEM接口用于对所述PLC通讯设备进行地址位转换，将所述PLC通讯设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据。
6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述将所述通讯接口改造为所述SECS/GEM接口还包括：
将所述非标准设备的通讯接口改造为SECS/GEM接口，所述非标准设备的SECS/GEM接口用于将非标准设备获取的非SECS/GEM标准数据转换为SECS/GEM标准数据。
7.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述获取晶圆生产设备信息的方法包括：
对于非标准设备的信息数据，通过扫码枪获取产品信息，所述产品信息包括以下至少之一：
所述产品信息的源数据信息、所述产品的源数据信息获取途径信息、所述产品信息的源数据加工信息、所述产品信息的源数据上传结果信息和所述产品的信息交互履历信息。
8.一种晶圆工厂通讯系统，其特征在于，包括：
第一获取模块，用于获取晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息；
第一处理模块，用于通过通讯接口将所述晶圆生产设备信息，和/或，晶圆产品信息在晶圆生产设备和上层Host设备之间进行传输，其中，所述通讯接口为半导体通讯协议SECS/GEM接口。
9.一种电子设备，其特征在于，包括；处理器、存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序，所述程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的晶圆工厂通讯方法的步骤。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的晶圆工厂通讯方法的步骤。
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