CN107599197B - 上机切片机切割液缸 - Google Patents
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Abstract
本发明属于切片机技术领域。一种上机切片机切割液缸,包括箱体,所述箱体上开设有切割液承接口;抽液头,所述抽液头设置在箱体的中部,所述抽液头与箱体之间设置有支撑架,抽液头连接有抽液泵的进水端,抽液泵的出水端连通至废液再生池;循环抽液管,所述循环抽液管为多根,并周向分布在箱体的侧壁或箱底上,所述循环抽液管与循环水泵的进水端连通,循环水泵的出水端与切割液循环箱连通;和扰动气管。本发明能够有效的实现切割液的进一步的分离、回收和循环再利用,能够保障整个循环系统的持续稳定的进行,提高切割液的使用时间和切割液的作用效果,此外还能够有效的稀释箱体内的氢气,提高安全性能,并且能够实现对箱体内壁的动态清洗。
Description
技术领域
本发明属于切片机技术领域,具体涉及一种上机切片机切割液缸。
背景技术
在进行多晶硅硅片切割过程中,需要喷淋切割液,而对于使用后的切割液进行再处理和循环使用存在很大的难题,此外对于切割液回收箱体的结构设计不合理,不能够有效的实现切割液的分离和再利用,此外,由于切割后的硅粉粒径很细,会与水反应从而释放氢气,固需要对箱体内的气体进行及时的稀释和疏通,避免存在安全隐患。
发明内容
本发明的目的是针对上述存在的问题和不足,提供一种结构设计合理,便于回收利用的上机切片机切割液缸。
为达到上述目的,所采取的技术方案是:
一种上机切片机切割液缸,包括:箱体,所述箱体上开设有切割液承接口;抽液头,所述抽液头设置在箱体的中部,所述抽液头与箱体之间设置有支撑架,抽液头连接有抽液泵的进水端,抽液泵的出水端连通至废液再生池;循环抽液管,所述循环抽液管为多根,并周向分布在箱体的侧壁或箱底上,所述循环抽液管与循环水泵的进水端连通,循环水泵的出水端与切割液循环箱连通;和扰动气管,所述扰动气管为多根,并周向分布在箱体的侧壁上,多根所述扰动气管的出气口呈螺旋分布,所述扰动气管连接有气泵;在扰动气管的气流作用下,箱体内的切割液呈螺旋状漩涡流动。
所述箱体底部设置有截面呈锥形的环形凸台,所述环形凸台中部为废液抽取区,环形凸台外侧与箱体侧壁之间为循环液抽取区。
所述抽液头上开设有抽液孔,所述抽液孔的高度不大于环形凸台的高度。
所述抽液头与抽液泵之间的管道上、以及循环抽液管与循环水泵之间的管道上均设置有节流阀。
所述箱体的横截面呈矩形或圆形。
所述箱体内设置有液位检测传感器。
所述箱体底部设置有滚轮,箱体的后端设置有推手。
采用上述技术方案,所取得的有益效果是:
本发明能够有效的实现切割液的进一步的分离、回收和循环再利用,能够保障整个循环系统的持续稳定的进行,提高切割液的使用时间和切割液的作用效果,本申请还能够有效的稀释箱体内的氢气,提高安全性能,并且本申请能够实现对箱体内壁的动态清洗,避免发生污垢沉淀、腐臭等问题的发生,有效的降低了生产成本,具有很好的推广和实用价值。
附图说明
图1为本发明与上机切片机的安装结构示意图。
图2为本发明切割液缸的结构示意图。
图3为切割液缸的箱体的俯视结构示意图。
图中序号:100为箱体、101为切割液承接口、102为环形凸台、103为废液抽取区、104为循环液抽取区、105为滚轮、106为推手、107为液位检测传感器、200为抽液头、201为抽液孔、202为抽液泵、203为支撑架、300为循环抽液管、400为扰动气管、500为节流阀。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式做详细说明。
参见图1-图3,本发明一种上机切片机切割液缸,包括箱体100、抽液头200、循环抽液管300和扰动气管400,箱体100上开设有切割液承接口101;抽液头200设置在箱体100的中部,抽液头200与箱体100之间设置有支撑架203,抽液头200连接有抽液泵202的进水端,抽液泵202的出水端连通至废液再生池;循环抽液管300为多根,并周向分布在箱体100的侧壁或箱底上,循环抽液管300与循环水泵的进水端连通,循环水泵的出水端与切割液循环箱连通;扰动气管400为多根,并周向分布在箱体100的侧壁上,多根扰动气管400的出气口呈螺旋分布,扰动气管连接有气泵;在扰动气管400的气流作用下,箱体100内的切割液呈螺旋状漩涡流动。从而能够实现,切割后的硅粉或碎屑在中部聚集,并由抽液头抽取排出,而循环抽液管能够实现切割液的循环利用,从而能够大大增加切割液的更换周期,保障切割质量。
为了进一步的提高切割液的分离和抽取效果,在箱体100底部设置有截面呈锥形的环形凸台102,环形凸台102中部为废液抽取区103,环形凸台102外侧与箱体侧壁之间为循环液抽取区104,抽液头200上开设有抽液孔201,抽液孔201的高度不大于环形凸台102的高度。
为了进一步的控制废液和循环液的抽取量,避免造成浪费,合理分配废液和循环液的利用,在抽液头与抽液泵之间的管道上、以及循环抽液管与循环水泵之间的管道上均设置有节流阀500。
本实施例中的箱体的横截面可以为矩形或圆形,本实施例中的箱体内设置有液位检测传感器107,通过液位检测传感器和切割液循环时间的设置,从而能够调控废液和循环液的分配比例,从而有效的平衡了切割液回收的经济性和切割液的效果的实用性,此外在箱体底部设置有滚轮105,箱体的后端设置有推手106。
本发明能够有效的实现切割液的进一步的分离、回收和循环再利用,能够保障整个循环系统的持续稳定的进行,提高切割液的使用时间和切割液的作用效果,本申请还能够有效的稀释箱体内的氢气,提高安全性能,并且本申请能够实现对箱体内壁的动态清洗,避免发生污垢沉淀、腐臭等问题的发生,有效的降低了生产成本,具有很好的推广和实用价值。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (4)
1.一种上机切片机切割液缸,其特征在于,包括:
箱体,所述箱体上开设有切割液承接口;
抽液头,所述抽液头设置在箱体的中部,所述抽液头与箱体之间设置有支撑架,抽液头连接有抽液泵的进水端,抽液泵的出水端连通至废液再生池;
循环抽液管,所述循环抽液管为多根,并周向分布在箱体的侧壁或箱底上,所述循环抽液管与循环水泵的进水端连通,循环水泵的出水端与切割液循环箱连通;
和扰动气管,所述扰动气管为多根,并周向分布在箱体的侧壁上,多根所述扰动气管的出气口呈螺旋分布,所述扰动气管连接有气泵;在扰动气管的气流作用下,箱体内的切割液呈螺旋状漩涡流动;
所述箱体底部设置有截面呈锥形的环形凸台,所述环形凸台中部为废液抽取区,环形凸台外侧与箱体侧壁之间为循环液抽取区;
所述抽液头与抽液泵之间的管道上、以及循环抽液管与循环水泵之间的管道上均设置有节流阀;
所述箱体内设置有液位检测传感器。
2.根据权利要求1所述的上机切片机切割液缸,其特征在于,所述抽液头上开设有抽液孔,所述抽液孔的高度不大于环形凸台的高度。
3.根据权利要求1所述的上机切片机切割液缸,其特征在于,所述箱体的横截面呈矩形或圆形。
4.根据权利要求1所述的上机切片机切割液缸,其特征在于,所述箱体底部设置有滚轮,箱体的后端设置有推手。
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