CN207403011U - 上机切片机切割液缸 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于切片机技术领域。一种上机切片机切割液缸,包括箱体,所述箱体上开设有切割液承接口;抽液头,所述抽液头设置在箱体的中部,所述抽液头与箱体之间设置有支撑架,抽液头连接有抽液泵的进水端,抽液泵的出水端连通至废液再生池;循环抽液管,所述循环抽液管为多根,并周向分布在箱体的侧壁或箱底上,所述循环抽液管与循环水泵的进水端连通,循环水泵的出水端与切割液循环箱连通;和扰动气管。本实用新型能够有效的实现切割液的进一步的分离、回收和循环再利用,能够保障整个循环系统的持续稳定的进行,提高切割液的使用时间和切割液的作用效果,此外还能够有效的稀释箱体内的氢气,提高安全性能,并且能够实现对箱体内壁的动态清洗。
Description
技术领域
本实用新型属于切片机技术领域,具体涉及一种上机切片机切割液缸。
背景技术
在进行多晶硅硅片切割过程中,需要喷淋切割液,而对于使用后的切割液进行再处理和循环使用存在很大的难题,此外对于切割液回收箱体的结构设计不合理,不能够有效的实现切割液的分离和再利用,此外,由于切割后的硅粉粒径很细,会与水反应从而释放氢气,固需要对箱体内的气体进行及时的稀释和疏通,避免存在安全隐患。
发明内容
本实用新型的目的是针对上述存在的问题和不足,提供一种结构设计合理,便于回收利用的上机切片机切割液缸。
为达到上述目的,所采取的技术方案是:
一种上机切片机切割液缸,包括:箱体,所述箱体上开设有切割液承接口;抽液头,所述抽液头设置在箱体的中部,所述抽液头与箱体之间设置有支撑架,抽液头连接有抽液泵的进水端,抽液泵的出水端连通至废液再生池;循环抽液管,所述循环抽液管为多根,并周向分布在箱体的侧壁或箱底上,所述循环抽液管与循环水泵的进水端连通,循环水泵的出水端与切割液循环箱连通;和扰动气管,所述扰动气管为多根,并周向分布在箱体的侧壁上,多根所述扰动气管的出气口呈螺旋分布,所述扰动气管连接有气泵;在扰动气管的气流作用下,箱体内的切割液呈螺旋状漩涡流动。
所述箱体底部设置有截面呈锥形的环形凸台,所述环形凸台中部为废液抽取区,环形凸台外侧与箱体侧壁之间为循环液抽取区。
所述抽液头上开设有抽液孔,所述抽液孔的高度不大于环形凸台的高度。
所述抽液头与抽液泵之间的管道上、以及循环抽液管与循环水泵之间的管道上均设置有节流阀。
所述箱体的横截面呈矩形或圆形。
所述箱体内设置有液位检测传感器。
所述箱体底部设置有滚轮,箱体的后端设置有推手。
采用上述技术方案,所取得的有益效果是:
本实用新型能够有效的实现切割液的进一步的分离、回收和循环再利用,能够保障整个循环系统的持续稳定的进行,提高切割液的使用时间和切割液的作用效果,本申请还能够有效的稀释箱体内的氢气,提高安全性能,并且本申请能够实现对箱体内壁的动态清洗,避免发生污垢沉淀、腐臭等问题的发生,有效的降低了生产成本,具有很好的推广和实用价值。
附图说明
图1为本实用新型与上机切片机的安装结构示意图。
图2为本实用新型切割液缸的结构示意图。
图3为切割液缸的箱体的俯视结构示意图。
图中序号:100为箱体、101为切割液承接口、102为环形凸台、103为废液抽取区、104为循环液抽取区、105为滚轮、106为推手、107为液位检测传感器、200为抽液头、201为抽液孔、202为抽液泵、203为支撑架、300为循环抽液管、400为扰动气管、500为节流阀。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。
参见图1-图3,本实用新型一种上机切片机切割液缸,包括箱体100、抽液头200、循环抽液管300和扰动气管400,箱体100上开设有切割液承接口101;抽液头200设置在箱体100的中部,抽液头200与箱体100之间设置有支撑架203,抽液头200连接有抽液泵202的进水端,抽液泵202的出水端连通至废液再生池;循环抽液管300为多根,并周向分布在箱体100的侧壁或箱底上,循环抽液管300与循环水泵的进水端连通,循环水泵的出水端与切割液循环箱连通;扰动气管400为多根,并周向分布在箱体100的侧壁上,多根扰动气管400的出气口呈螺旋分布,扰动气管连接有气泵;在扰动气管400的气流作用下,箱体100内的切割液呈螺旋状漩涡流动。从而能够实现,切割后的硅粉或碎屑在中部聚集,并由抽液头抽取排出,而循环抽液管能够实现切割液的循环利用,从而能够大大增加切割液的更换周期,保障切割质量。
为了进一步的提高切割液的分离和抽取效果,在箱体100底部设置有截面呈锥形的环形凸台102,环形凸台102中部为废液抽取区103,环形凸台102外侧与箱体侧壁之间为循环液抽取区104,抽液头200上开设有抽液孔201,抽液孔201的高度不大于环形凸台102的高度。
为了进一步的控制废液和循环液的抽取量,避免造成浪费,合理分配废液和循环液的利用,在抽液头与抽液泵之间的管道上、以及循环抽液管与循环水泵之间的管道上均设置有节流阀500。
本实施例中的箱体的横截面可以为矩形或圆形,本实施例中的箱体内设置有液位检测传感器107,通过液位检测传感器和切割液循环时间的设置,从而能够调控废液和循环液的分配比例,从而有效的平衡了切割液回收的经济性和切割液的效果的实用性,此外在箱体底部设置有滚轮105,箱体的后端设置有推手106。
本实用新型能够有效的实现切割液的进一步的分离、回收和循环再利用,能够保障整个循环系统的持续稳定的进行,提高切割液的使用时间和切割液的作用效果,本申请还能够有效的稀释箱体内的氢气,提高安全性能,并且本申请能够实现对箱体内壁的动态清洗,避免发生污垢沉淀、腐臭等问题的发生,有效的降低了生产成本,具有很好的推广和实用价值。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (7)
1.一种上机切片机切割液缸,其特征在于,包括:
箱体,所述箱体上开设有切割液承接口;
抽液头,所述抽液头设置在箱体的中部,所述抽液头与箱体之间设置有支撑架,抽液头连接有抽液泵的进水端,抽液泵的出水端连通至废液再生池;
循环抽液管,所述循环抽液管为多根,并周向分布在箱体的侧壁或箱底上,所述循环抽液管与循环水泵的进水端连通,循环水泵的出水端与切割液循环箱连通;
和扰动气管,所述扰动气管为多根,并周向分布在箱体的侧壁上,多根所述扰动气管的出气口呈螺旋分布,所述扰动气管连接有气泵;在扰动气管的气流作用下,箱体内的切割液呈螺旋状漩涡流动。
2.根据权利要求1所述的上机切片机切割液缸,其特征在于,所述箱体底部设置有截面呈锥形的环形凸台,所述环形凸台中部为废液抽取区,环形凸台外侧与箱体侧壁之间为循环液抽取区。
3.根据权利要求2所述的上机切片机切割液缸,其特征在于,所述抽液头上开设有抽液孔,所述抽液孔的高度不大于环形凸台的高度。
4.根据权利要求1所述的上机切片机切割液缸,其特征在于,所述抽液头与抽液泵之间的管道上、以及循环抽液管与循环水泵之间的管道上均设置有节流阀。
5.根据权利要求1所述的上机切片机切割液缸,其特征在于,所述箱体的横截面呈矩形或圆形。
6.根据权利要求1所述的上机切片机切割液缸,其特征在于,所述箱体内设置有液位检测传感器。
7.根据权利要求1所述的上机切片机切割液缸,其特征在于,所述箱体底部设置有滚轮,箱体的后端设置有推手。
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