CN108772375A - 清洗机的溢流喷淋装置及其应用 - Google Patents

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何江涛
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Abstract

本发明公开了清洗机的溢流喷淋装置及其应用，包括供水系统、喷淋系统和溢流收集系统，喷淋系统的水来源于供水系统或溢流收集系统，溢流收集系统的水来源于供水系统或喷淋系统；供水系统包括管网和供水管，喷淋系统包括喷淋管和水槽A，管网和喷淋管通过供水管连通；溢流收集系统包括水槽B、储水槽、及连通二者的溢流管，储水槽通过水泵分别与喷淋管和水槽B连接，管网和水槽B通过供水管连通。所述装置采用多路供水的模式实现喷淋条件的多变，以及达到清洗水的可循环利用；提高硅片的清洗效果，提升产品的品质；可以直接嫁接在清洗机上使用，实现在关键部位对水槽表面漂浮杂物进行喷淋除去，通过对溢流水的回用，实现内部循环供水和节约用水。

Description

清洗机的溢流喷淋装置及其应用
技术领域
本发明属于清洗设备技术领域，涉及一种硅片清洗过程中的水处理装置，具体为清洗机的溢流喷淋装置及其应用。
背景技术
光伏在硅片生产过程中需要利用清洗设备对硅片进行清洗，在清洗过程中，由于化学药剂的添加和长期清洗不断的杂质积累，会对清洗效果产生影响。
现有技术主要为仅使用液面以下的溢流水方式来消除杂质及不良，此种方式用水量大，无法对表面的漂浮物及泡沫进行有效清除。虽然结构简单，但是效果一般。
发明内容
解决的技术问题：为了克服现有技术的不足，解决用水量控制的问题，对水面表面的漂浮物及泡沫进行针对性去除，提高了产品的清洗良率，提高硅片的清洗效果，提升产品的品质，本发明提供了清洗机的溢流喷淋装置及其应用。
技术方案：本发明所述清洗机的溢流喷淋装置，能够直接嫁接在现有的清洗设备上，通过增加本套装置，实现在关键部位对水槽表面漂浮杂物进行喷淋除去，通过对溢流水的回用，实现内部循环供水和节约用水的目的。装置的具体结构如下：
清洗机的溢流喷淋装置，所述装置包括供水系统、喷淋系统和溢流收集系统，喷淋系统的水来源于供水系统或溢流收集系统，溢流收集系统的水来源于供水系统或喷淋系统；供水系统包括管网和供水管，喷淋系统包括喷淋管和水槽A，管网和喷淋管通过供水管连通；溢流收集系统包括水槽B、储水槽、及连通二者的溢流管，储水槽通过水泵分别与喷淋管和水槽B连接，管网和水槽B通过供水管连通。
本发明所述装置的供水系统包括两种路径，即管道直供水和收集自供水；其中，管道直供水是由管网直接为本装置供水，收集自供水是指收集各个水槽自身的溢流水至储水槽。然后由水泵对本套装置供水。
优选的，管网和喷淋管连通的供水管分为并联的两路，两路均由电磁阀A控制开关；其中一路上设有手动阀A，另一路上串联设置手动阀B和在线加热器。
根据供水来源的不同，喷淋系统可以分为三路，每路均可以单独使用，也可以自由组合，通过手动阀开合切换至需要的喷淋方式。直供水喷淋：由管网供水，通过电磁阀控制其开关，由手动阀控制其流量大小。水温为管网水温。加热水喷淋：由管网供水，先经过一套在线加热系统，对水先进行预热，然后通过电磁阀控制其开关，由手动阀控制其流量大小。水温为预热后水温。溢流水喷淋：各个水槽自身的溢流水至储水槽。由水泵对本套装置供水，然后通过电磁阀控制其开关，由手动阀控制其流量大小。水温为水槽水温。
优选的，连通管网和水槽B的供水管上串联设置手动阀C和浮子流量计。
优选的，储水槽内设有浮子液位计。
由管网分出一路作为供水，由手动阀控制开合，由浮子流量计显示当前流量。通过管路的高低布置，使得水流自动溢出，然后收集到储水槽备用。再由水泵打回至需要溢流的槽体中。通过不断的循环，降低水体的浊度。
优选的，连通储水槽和水泵的供水管上串联有电磁阀B，并在电磁阀B处分为两路，其中一路与水槽B的底部连通，另一路与喷淋管连通，两路供水管上均设有手动阀。
优选的，所述喷淋管为壁厚2.5mm以上，直径16mm的不锈钢管、PPR管或PVC管。
优选的，所述喷淋管上均匀分布直径为1mm的孔。
优选的，所述喷淋管两端设有支架，与供水管之间使用活接。
喷淋管的使用长度根据需求定制，其两端的支架用于方便上下调节，与供水管之间采用活接以便于角度调节，以配合各个不同槽体的安装要求。
优选的，所述装置由PLC系统控制。本系统由触摸屏作为参数输入窗口，液位传感器为输入信号，电磁阀及水泵为输出信号。在工艺流程过程中，在触摸屏中设定工艺需求本系统介入的开始时间和结束时间，PLC通过逻辑编程，实现电池阀及水泵的启动和停止，如需从储水槽取水，储水槽中的液位传感器高点为水泵可以启动的条件信号，储水槽中的液位传感器低点为水泵可以不启动的保护条件信号。
以上所述的清洗机的溢流喷淋装置在硅片生产过程中的应用。
本发明所述清洗机的溢流喷淋装置的安装方法如下：本装置管路部分可以根据现场实际状况进行施工，储水槽部分需低于原有水槽底部，水泵进水口及出水口需根据水泵的要求，安装在储水槽出液口以上，溢流口以下。喷淋管安装在槽体液位高度处，并根据实际液位调节安装高度。其他部件可按实际空间进行安装。
本发明所述清洗机的溢流喷淋装置的使用方法如下：安装完成后将各个电磁阀接入控制系统，根据用户实际使用需求控制电磁阀开合，水槽里面的液位浮球保护水泵在储水槽缺水的情况下不会空载运行而损坏。各个手动阀可以用于选择需要使用的功能，同时具备调节水量的功能。
有益效果：(1)本发明所述清洗机的溢流喷淋装置采用多路供水的模式实现喷淋条件的多变，以及达到清洗水的可循环利用；(2)本发明所述装置提高硅片的清洗效果，提升产品的品质；(3)本发明所述装置可以直接嫁接在清洗机上使用，实现在关键部位对水槽表面漂浮杂物进行喷淋除去，通过对溢流水的回用，实现内部循环供水和节约用水的目的。
附图说明
图1是本发明所述清洗机的溢流喷淋装置的结构示意图；
图2是本发明所述清洗机的溢流喷淋装置的喷淋管结构示意图；
图3是实施例2中的清洗机的溢流喷淋装置的结构示意图；
图4是实施例3中的清洗机的溢流喷淋装置的PLC系统控制结构示意图；
图5是本发明所述清洗机的溢流喷淋装置的立体图；
其中，1为管网，2为水槽A，3为水槽B，4为喷淋管，5为电磁阀A，6为手动阀A，7为手动阀C，8为浮子流量计，9为在线加热器，10为手动阀B，11为电磁阀B，12为水泵，13为储水槽，14为浮子液位计，15为溢流管，16为支架，17为活接，18为供水管，19为水槽C，20为水槽D，21为水槽E，22为水槽F。
具体实施方式
以下实施例进一步说明本发明的内容，但不应理解为对本发明的限制。在不背离本发明精神和实质的情况下，对本发明方法、步骤或条件所作的修改和替换，均属于本发明的范围。若未特别指明，实施例中所用的技术手段为本领域技术人员所熟知的常规手段。
实施例1
如图1和图5所示，清洗机的溢流喷淋装置，所述装置包括供水系统、喷淋系统和溢流收集系统，喷淋系统的水来源于供水系统或溢流收集系统，溢流收集系统的水来源于供水系统或喷淋系统；供水系统包括管网1和供水管18，喷淋系统包括喷淋管4和水槽A 2，管网1和喷淋管4通过供水管18连通；溢流收集系统包括水槽B 3、储水槽13、及连通二者的溢流管15，储水槽13通过水泵12分别与喷淋管4和水槽B 3连接，管网1和水槽B 3通过供水管18连通。
管网1和喷淋管4连通的供水管18分为并联的两路，两路均由电磁阀A 5控制开关；其中一路上设有手动阀A 6，另一路上串联设置手动阀B 10和在线加热器9。
连通管网1和水槽B 3的供水管18上串联设置手动阀C 7和浮子流量计8。
储水槽13内设有浮子液位计14。
连通储水槽13和水泵12的供水管18上串联有电磁阀B 11，并在电磁阀B 11处分为两路，其中一路与水槽B 3的底部连通，另一路与喷淋管4连通，两路供水管18上均设有手动阀。
所述喷淋管4为壁厚2.5mm以上，直径16mm的不锈钢管、PPR管或PVC管。
所述喷淋管4上均匀分布直径为1mm的孔。
如图2所示，所述喷淋管4两端设有支架16，与供水管18之间使用活接17。
所述装置由PLC系统控制。本系统由触摸屏作为参数输入窗口，液位传感器为输入信号，电磁阀及水泵为输出信号。在工艺流程过程中，在触摸屏中设定工艺需求本系统介入的开始时间和结束时间，PLC通过逻辑编程，实现电池阀及水泵的启动和停止，如需从储水槽取水，储水槽中的液位传感器高点为水泵可以启动的条件信号，储水槽中的液位传感器低点为水泵可以不启动的保护条件信号。
本实施例所述清洗机的溢流喷淋装置的安装方法如下：本装置管路部分可以根据现场实际状况进行施工，储水槽部分需低于原有水槽底部，水泵进水口及出水口需根据水泵的要求，安装在储水槽出液口以上，溢流口以下。喷淋管安装在槽体液位高度处，并根据实际液位调节安装高度。其他部件可按实际空间进行安装。
本实施例所述清洗机的溢流喷淋装置的使用方法如下：安装完成后将各个电磁阀接入控制系统，根据用户实际使用需求控制电磁阀开合，水槽里面的液位浮球保护水泵在储水槽缺水的情况下不会空载运行而损坏。各个手动阀可以用于选择需要使用的功能，同时具备调节水量的功能。
实施例2
如图3所示，清洗机的溢流喷淋装置，所述装置包括供水系统、喷淋系统和溢流收集系统，喷淋系统的水来源于供水系统或溢流收集系统，溢流收集系统的水来源于供水系统或喷淋系统；供水系统包括管网1和供水管18，喷淋系统包括喷淋管4和水槽A 2，管网1和喷淋管4通过供水管18连通；溢流收集系统包括水槽B 3、水槽C 19、水槽D 20和储水槽13、及连通各部件的溢流管15，储水槽13通过水泵12与水槽E 21一端连接，水槽E 21另一端连接储水槽13，储水槽13通过水泵12与水槽F 22连接，从而形成循环的溢流收集系统。
管网1和喷淋管4连通的供水管18分为并联的两路，两路均由电磁阀A 5控制开关；其中一路上设有手动阀A 6，另一路上串联设置手动阀B 10和在线加热器9。
连通管网1和水槽B 3的供水管18上串联设置手动阀C 7和浮子流量计8。储水槽13内设有浮子液位计14。浮子流量计8和浮子液位计14之间串联设置水槽B 3、水槽C 19、水槽D 20，并通过溢流管15连通。
连通储水槽13和水泵12的供水管18上串联有电磁阀B 11和手动阀，并与喷淋管4连通。喷淋后在水槽E 21中的水经溢流管15流入另一端的储水槽13，储水槽13内设有浮子液位计14。储水槽13经水泵12与水槽F 22连通，且二者之间设有手动阀和浮子流量计8。
所述喷淋管4为壁厚2.5mm以上，直径16mm的不锈钢管、PPR管或PVC管。
所述喷淋管4上均匀分布直径为1mm的孔。
如图2所示，所述喷淋管4两端设有支架16，与供水管18之间使用活接17。
所述装置由PLC系统控制。本系统由触摸屏作为参数输入窗口，液位传感器为输入信号，电磁阀及水泵为输出信号。在工艺流程过程中，在触摸屏中设定工艺需求本系统介入的开始时间和结束时间，PLC通过逻辑编程，实现电池阀及水泵的启动和停止，如需从储水槽取水，储水槽中的液位传感器高点为水泵可以启动的条件信号，储水槽中的液位传感器低点为水泵可以不启动的保护条件信号。
本实施例所述清洗机的溢流喷淋装置的安装方法如下：本装置管路部分可以根据现场实际状况进行施工，储水槽部分需低于原有水槽底部，水泵进水口及出水口需根据水泵的要求，安装在储水槽出液口以上，溢流口以下。喷淋管安装在槽体液位高度处，并根据实际液位调节安装高度。其他部件可按实际空间进行安装。
本实施例所述清洗机的溢流喷淋装置的使用方法如下：安装完成后将各个电磁阀接入控制系统，根据用户实际使用需求控制电磁阀开合，水槽里面的液位浮球保护水泵在储水槽缺水的情况下不会空载运行而损坏。各个手动阀可以用于选择需要使用的功能，同时具备调节水量的功能。
实施例3
如图4所示，在实施例2所述清洗机的溢流喷淋装置内接入PLC控制系统，由水槽D20供水，并通过溢流管15与储水槽13连通，储水槽13通过水泵12与水槽E 21一端连接，水槽E 21另一端连接储水槽13，储水槽13通过水泵12与水槽F 22连接，从而形成循环的溢流收集系统。当同时满足“触摸屏上设定的水泵运行启动工艺时间”及“水槽内液位浮球在上位”这两个条件时，PLC给水泵运行信号，水泵启动；当满足“触摸屏上设定的水泵运行停止工艺时间”或“水槽内液位浮球在下位”中的任意一个条件，水泵即停止运行。

Claims (10)

1.清洗机的溢流喷淋装置，其特征在于，所述装置包括供水系统、喷淋系统和溢流收集系统，喷淋系统的水来源于供水系统或溢流收集系统，溢流收集系统的水来源于供水系统或喷淋系统；供水系统包括管网(1)和供水管(18)，喷淋系统包括喷淋管(4)和水槽A(2)，管网(1)和喷淋管(4)通过供水管(18)连通；溢流收集系统包括水槽B(3)、储水槽(13)、及连通二者的溢流管(15)，储水槽(13)通过水泵(12)分别与喷淋管(4)和水槽B(3)连接，管网(1)和水槽B(3)通过供水管(18)连通。
2.根据权利要求1所述的清洗机的溢流喷淋装置，其特征在于，管网(1)和喷淋管(4)连通的供水管(18)分为并联的两路，两路均由电磁阀A(5)控制开关；其中一路上设有手动阀A(6)，另一路上串联设置手动阀B(10)和在线加热器(9)。
3.根据权利要求1所述的清洗机的溢流喷淋装置，其特征在于，连通管网(1)和水槽B(3)的供水管(18)上串联设置手动阀C(7)和浮子流量计(8)。
4.根据权利要求1所述的清洗机的溢流喷淋装置，其特征在于，储水槽(13)内设有浮子液位计(14)。
5.根据权利要求1所述的清洗机的溢流喷淋装置，其特征在于，连通储水槽(13)和水泵(12)的供水管(18)上串联有电磁阀B(11)，并在电磁阀B(11)处分为两路，其中一路与水槽B(3)的底部连通，另一路与喷淋管(4)连通，两路供水管(18)上均设有手动阀。
6.根据权利要求1所述的清洗机的溢流喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管(4)为壁厚2.5mm以上，直径16mm的不锈钢管、PPR管或PVC管。
7.根据权利要求1或6所述的清洗机的溢流喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管(4)上均匀分布直径为1mm的孔。
8.根据权利要求1或6所述的清洗机的溢流喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管(4)两端设有支架(16)，与供水管(18)之间使用活接(17)。
9.根据权利要求1～6任一所述的清洗机的溢流喷淋装置，其特征在于，所述装置由PLC系统控制。
10.权利要求1所述的清洗机的溢流喷淋装置在硅片生产过程中的应用。
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