CN107577101B - 电泳显示面板及电泳显示面板制作方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了电泳显示面板及电泳显示面板制作方法。显示面板包括透明衬底基板、形成在所述透明衬底基板一侧的薄膜晶体管阵列层、位于所述薄膜晶体管阵列层远离所述透明衬底基板一侧的电泳膜、位于所述电泳膜远离所述透明衬底基板一侧的保护膜层；以及位于所述透明衬底基板远离所述薄膜晶体管阵列层一侧的触控电极层、位于所述触控电极层远离所述透明基板一侧的封装层。这样的电泳显示面板的厚度较在在电泳显示面板的包护膜层上叠加实现触控功能的触控结构的厚度变薄，可以降低电泳显示面板的成本，有利于电泳显示面板的进一步应用。

Description

电泳显示面板及电泳显示面板制作方法

技术领域

本申请涉及显示领域，尤其涉及电泳显示面板及电泳显示面板的 制作方法。

背景技术

现有电泳显示器通常包括具有薄膜晶体管层的阵列基板、位于阵 列基板之上的电泳膜以及覆盖电泳膜且与阵列基板接触的保护膜层。 其中保护膜层可以为包括公共电极层的复合膜层。电泳膜内包括多个 颜色不同的正电荷和负电荷(例如：黑色和白色)与透明流体。当具 有薄膜晶体管层的基板的各像素电极与公共电极之间的电场改变时， 不同颜色的正电荷和负电荷会根据电场方向而向公共电极层移动，或 者向阵列基板移动从而形成图像。

为了获得具有触控功能的电泳显示器，一种实现方式是通常在上 述电泳显示器保护膜层远离电泳膜的一侧贴附可实现触控功能的触控 面板。如图1示出的现有技术中触控电泳显示面板的一种结构示意图， 触控电泳显示面板100包括电泳显示面板101和触控面板102。其中， 电泳显示面板包括依次叠置的衬底基板11、薄膜晶体管阵列12、电泳 膜13、保护膜14。触控面板102可以包括透明衬底基板15、触控电 极层16以及玻璃盖板17。电泳显示面板101的保护膜14和触控面板 102的透明衬底基板15之间可以通过光学透明胶粘接在一起。

在图1所示的触控电泳显示面板100中，将触控面板外挂在电泳 显示面板101上以实现对电泳显示面板101的触控操作。图1所示的 触控电泳显示面板100采用触控面板外挂在电泳显示面板之上，使得 整体的触控显示面板100的厚度较大，同时，成本也较高。

另一种实现具有触控功能的电泳显示器的方式是在电泳显示器的 保护膜上制作触控电极，如图2示出的现有技术中电泳显示面板的另 一种结构示意图。如图2所示，触控电泳显示面板200包括依次叠置 的衬底基板21、薄膜晶体管阵列22、电泳膜23、保护膜24、触控电 极层25以及玻璃盖板27。图2所示的触控电泳显示面板200将触控 电极层25设置在保护膜24之上，这样可以实现通过触摸操作来控制 电泳显示面板200的显示内容。

与图1相比，图2所示的触控电泳显示面板可以减少保护膜14 与触控电极层16之间的透明衬底基板15，这样可以减少触控电泳显 示面板的厚度。

由于将触控电极层25形成在保护膜24之上，也即触控电极层25 中的触控电极制作在保护膜24远离电泳膜23的一侧。一方面在保护 膜24上制作触控电极时需要刻蚀，难以避免的对保护膜24造成损伤。 另一方面，由于将触控电极设置在保护膜上，触控电极在保护膜24 上的附着性较差，触控电极容易剥离。从而使得触控电泳显示面板可 靠性变差。

发明内容

鉴于现有技术存在的上述问题，本发明提供一种电泳显示面板及 电泳显示面板的制作方法，以解决背景技术中所述的至少部分技术问 题。

第一方面，本申请实施例提供了一种电泳显示面板，显示面板透 明衬底基板、形成在透明衬底基板一侧的薄膜晶体管阵列层、位于薄 膜晶体管阵列层远离透明衬底基板一侧的电泳膜、位于电泳膜远离透 明衬底基板一侧的保护膜层；以及位于透明衬底基板远离薄膜晶体管 阵列层一侧的触控电极层、位于触控电极层远离透明基板一侧的封装 层。

第二方面，本申请实施例提供了一种电泳显示面板的制作方法， 应用于制作上述的电泳显示面板，上述方法包括：提供一透明衬底基 板；在所述透明衬底基板一侧制作多个触控电极；在所述透明衬底基 板背离所述触控电极的一侧制作薄膜晶体管阵列；贴合制作了多个触 控电极和薄膜晶体管阵列的透明衬底基板和预先贴合了保护膜的电泳 膜，其中电泳膜位于所述薄膜晶体管阵列远离所述透明衬底基板的一 侧；在所触控电极远离所述透明衬底基板的一侧贴附封装层。

本申请提供的电泳显示面板及电泳显示面板制作方法，通过在透 明衬底基板远离薄膜晶体管阵列层一侧制作触控电极层，将触控电极 层集成在电泳显示面板上，用户在透明衬底基板远离薄膜晶体管阵列 层的一侧进行触控操作与观看显示画面。采用本申请实施例方案的电 泳显示面板的厚度相较在在电泳显示面板的保护膜层上叠加实现触控功能的触控结构的厚度变薄，可以降低电泳显示面板的成本，有利于 电泳显示面板的进一步应用。

在一些实施例中，透明衬底基板的材料可以为玻璃。在透明衬底 基板上制作触控电极之前可以对透明衬底基板进行抛光和清洗以增加 触控电极和透明衬底基板之间的附着性能。提高电泳显示面板的可靠 性。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描 述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为现有技术中电泳显示面板的一种结构示意图；

图2为现有技术中电泳显示面板的另一种结构示意图；

图3为本申请实施例提供的电泳显示面板的一种结构示意图；

图4为图3所示电泳显示面板中防反射膜的结构以及防反射膜与 栅极线、数据线的相对位置关系示意图；

图5为从图3所示的301方向观察到的电泳显示面板的一种结构 示意图；

图6A为图3所示电泳显示面板中薄膜晶体管层与触控电极层的 局部放大的一种结构示意图；

图6B为图3所示电泳显示面板中薄膜晶体管层与触控电极层的 局部放大的另一种结构示意图；

图7为图3所示电泳显示面板中，从101方向观察到的电泳显示 面板的另一种结构示意图；

图8为本申请实施例提供的电泳显示面板的另一种结构示意图；

图9为图8所示电泳显示面板中，从201方向观察到的触控电极 的结构示意图；

图10示出了本申请实施例提供的电泳显示面板的制作方法的一 种示意性流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解 的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释相关发明，而非对该发明 的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有 关发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例 中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本 申请。

请参考图3，其示出了本申请实施例提供的电泳显示面板的结构 示意图。如图3所示，电泳显示面板300包括透明衬底基板31、形成 在透明衬底基板31一侧的薄膜晶体管阵列层32、位于薄膜晶体管阵 列层32远离透明衬底基板31一侧的电泳膜33、位于电泳膜33远离 透明衬底基板31一侧的保护膜层34。

电泳显示面板300还包括位于透明衬底基板31远离薄膜晶体管阵 列层32一侧的触控电极层35、位于触控电极层35远离透明基板31 一侧的封装层36。进一步地，触控电极层35可以形成在透明衬底基 板31远离电泳膜33一侧的表面。这样，触控电极可以集成在电泳显 示面板300中，相比图1所示的触控电泳显示面板，电泳显示面板300 的厚度减小了。此外，由于将触控电极层35设置在透明衬底基板31 远离薄膜晶体管阵列32的一侧的表面，因此在制作触控电极的过程中 不会对电泳显示面板300的保护膜34造成损伤，有利于提高电泳显示 面板300的可靠性。

在本申请中，透明衬底基板31例如可以为满足一定光透过率的硬 质基板如玻璃基板等。此外，透明衬底基板31还可以为柔性基板如聚 酰亚胺基板等。

封装层36例如可以由透明的无机材料层与透明的有机材料层交 替层叠形成。进一步地，无机材料层可以有多层，有机材料层可以有 多层。封装层采用层叠的无机材料层与透明的有机材料层交替层叠的 结构，相比采用玻璃材料制作封装层，封装层的厚度减小，从而可以 进一步降低电泳显示面板300的厚度。

在本实施例中，通过在透明衬底基板远离薄膜晶体管阵列层一侧 制作触控电极层，将触控电极层集成在电泳显示面板上，为了便于用 户进行触控操作的同时可以观看到显示画面，用户可以在透明衬底基 板远离薄膜晶体管阵列层的一侧进行触控操作与观看显示画面，也即 在图示301方向进行触控操作和观看显示画面。采用本申请实施例方 案的具有触控功能的电泳显示面板的厚度较在在电泳显示面板的保护 膜层上外接触控面板形成的触控电泳显示面板的厚度变薄，还可以降 低具有触控功能的电泳显示面板的成本，有利于电泳显示面板的进一 步应用。

在本实施例的一些可选实现方式中，透明衬底基板31的材料可以 为玻璃。当透明衬底基板31的材料为玻璃时，可以在透明衬底基板 31表面上制作触控电极之前，对待制作触控电极的透明衬底基板31 的表面进行抛光和清洗，这样可以使得在透明衬底基板31的表面形成 的触控电极层35中的多个触控电极可以较牢固地贴附在透明衬底基 板31上。有利于提高电泳显示面板300的可靠性。

在本实施例的一些可选实现方式中，如图3所示，电泳显示面板 还包括防反射层37。防反射层37位于透明衬底基板与薄膜晶体管阵 列之间。

请参考图4，其示出了图3所示电泳显示面板中防反射膜的结构 以及防反射膜与栅极线、数据线的相对位置关系示意图。在一些应用 场景中，防反射层37的材料可以为光线透过率较低的遮光材料。电泳 显示面板300还包括多条栅极线321、多条数据线322以及由任意相 邻两条栅极321线与任意相邻两条数据线322交叉设置形成的像素区 域。如图4所示，防反射膜可以包括多个开口区域371。其中各个开 口区域371与各个像素区域可以一一对应。且开口区域371可以露出 像素区域。防反射膜无开口的区域372向透明衬底基板的正投影覆盖 栅极线321向透明衬底基板的正投影以及数据线322向透明衬底基的 正投影。由于防反射膜的光线透过率较低，这样从图3所示的301方 向观察显示画面时，即便栅极线321和数据线322反射入射到其上的 光线时，反射的光线可以被上述反射膜的无开口区域372遮挡。使得 具有上述防反射膜的电泳显示面板所显示的画面较为柔和，可以避免 强光入射到用户的眼睛引起的损伤。

在另外一些应用场景中，防反射膜37的材料还可为具有一定光线 透过率的透光材料。此时，防反射膜37可以将由栅极线321或者栅极 线321同层的引线、数据线322或者数据线322同层的引线所反射的 光线折射一定角度，使得反射光线无法直接入射到电泳显示面板300 的透明衬底基板31远离电泳膜33的一侧。

请继续参考图5，其示出了从图3所示的301方向观察到的电泳 显示面板的一种结构示意图。

如图5所示，在本实施例中，电泳显示面板300可以包括多个触 控电极351、多条第一触控电极引线352以及柔性电路板38。

其中，多个触控电极351形成在触控电极层中，也就是说，触控 电极层可以包括多个触控电极351。

上述多个触控电极351可以同层设置，也就是说，上述多个触控 电极351是由同一膜层形成。

可选的，各个触控电极351的形状可以相同。触控电极351的形 状例如可以为矩形。多个触控电极351可以呈阵列排布。

第一触控电极引线352的一端与触控电极351电连接，另一端与 上述柔性电路板电38连接。各个触控电极351形成自电容结构。

请参考图3，电泳显示面板300还可以包括集成电路39。集成电 路39可以设置在透明衬底基板31上。可以由柔性电路板38连接上述 多个触控电极351与集成电路39。集成电路39用以生成触摸检测信 号。上述集成电路可以向各个触控电极发送相同的触摸检测信号，并 分析由触控电极采集到的触摸感应信号。若有手指触摸电泳显示面板 的屏幕，在手指触摸位置处的触控电极351与手指之间产生附加电容， 手指触摸位置处的触控电极351对应的触摸感应信号与其他触控电极 351对应的触摸感应信号存在差异。集成电路39可以根据上述差异检 测出触摸的位置。

在本实施例中，由于将上述同层的多个触控电极集成在电泳显示 面板上，相比在电泳显示面板上外挂实现触控功能的触控结构可以降 低电泳显示面板的厚度。进一步地，还可以提供触控显示面板的可靠 性。

在本实施例的一些可选实现方式中，集成电路39还可以设置在柔 性电路板38上。

在本实施例的一些可选实现方式中，上述多个第一触控电极引线 352与上述多个触控电极351可以同层设置。形成触控电极351和第 一触控电极引线352的材料例如可以为铟锡氧化物。

在本实施例的一些可选实现方式中，上述多个第一触控电极引线 352可以与上述多个触控电极351不同层设置。

在一些应用场景中，第一触控电极引线352可以设置在触控电极 351远离透明衬底基板的一侧。第一触控电极引线352的材料例如可 以为金属材料。当第一触控电极引线352的材料为金属材料时，第一 触控电极引线352可以覆盖在透明衬底基板远离触控电极351一侧设 置的数据线，或者第一触控电极引线352可以覆盖在透明衬底基板远 离触控电极351一侧设置的栅极线。

在一些应用场景中，如图6A所示，图6A为图3所示电泳显示面 板中薄膜晶体管层与触控电极层的局部放大的一种结构示意图。设置 在透明衬底基板31远离触控电极层35一侧的薄膜晶体管阵列层可以 包括多个薄膜晶体管321。上述透明衬底基板31可以为有机材料形成 的柔性衬底基板。薄膜晶体管321包括栅极3201和源/漏电极3202。 上述多条第一触控电极引线352可以与薄膜晶体管321的栅极3201 同层。当多条第一触控电极引线352与薄膜晶体管321的栅极3201 同层时，第一触控电极引线352可以与栅极线平行。或者，上述多条 第一触控电极引线352还可以与薄膜晶体管321的源/漏电极3202同 层。当多条第一触控电极引线352与薄膜晶体管321的源/漏电极3202 同层时，第一触控电极引线352可以与数据线平行。

在一些应用场景中，如图6B所示，图6B为图3所示电泳显示面 板中薄膜晶体管层与触控电极层的局部放大的另一种结构示意图。

上述透明衬底基板31可以为有机材料形成的柔性衬底基板。薄膜 晶体管321包括有源层3200、栅极3201、源/漏电极3202以及位于透 明衬底基板31与有源层3200之间的遮光层3203。上述多条第一触控 电极引线352可以与遮光层3203同层。第一触控电极引线352可以通 过过孔353与触控电极层35中的触控电极连接。

将第一触控电极引线352与触控电极不同层设置，可以增加高像 素密度显示面板的光线透过率，有利于提高本申请中从透明衬底基板 远离电泳膜一侧显示图像画面的亮度。

请继续参考图7，图7为图3所示电泳显示面板中，从301方向 观察到的电泳显示面板的另一种结构示意图。

与图5所示实施例相同，如图7所示，电泳显示面板300可以包 括多个触控电极、柔性电路板38。

其中，多个触控电极可以形成在触控电极层中，也就是说，触控 电极层包括多个触控电极。上述多个触控电极可以同层设置。

与图5所示实施例不同的是，如图7所示，上述多个触控电极包 括多个第一触控电极3501(TX1、TX2、…、TXn)和多个第二触控 电极3502、多条第二触控电极引线3503、多条第三触控电极引线3504。

其中，第一触控电极3501可以沿第一方向延伸。任意一个第二触 控电极3052可以包括沿第一方向排列的多个子触控电极(RX1、 RX2、…、RX(m-1)、RXm)。

第一触控电极3501和第二触控电极3502沿第二方向交替重复排 列。第一方向和第二方向可以相交。可选的，第一方向和第二方向可 以垂直相交。

第二触控电极引线3503的一端与第一触控电极3501电连接，另 一端与柔性电路板38电连接。一条第三触控电极引线3504的一端与 一个第二触控电极3502的一个子触控电极电连接，另一端与柔性电路 板38电连接。

可以在柔性电路板38上设置集成电路，还可以在透明衬底基板上 设置集成电路。当在透明衬底基板上设置集成电路时，柔性电路板实 现多条第二触控电极引线3503与集成电路的电连接，以及实现多条第 三触控电极引线3504与集成电路的电连接。

集成电路可以通过柔性电路板38和第二触控电极引线3503向第 一触控电极3501发送触摸检测信号。触摸检测信号可以是脉冲信号。 集成电路可以通过第三触控电极引线3504接收从第二触控电极3502 所包括的子触控电极发送的触摸检测信号。

值得指出的是，在本实施例中，多条第二触控电极引线3503、多 条第三触控电极引线3504与多个第一触控电极3501、多个第二触控 电极3502可以同层设置。此外，多条第二触控电极引线3503、多条 第三触控电极引线3504与多个第一触控电极3501、多个第二触控电 极3502也可以不同层设置。

在本实施例中，形成第一触控电极3501、第二触控电极3502中 的各子触控电极的材料例如可以为铟锡氧化物。

如图7所示，任意一个第一触控电极3501和第二触控电极3502 的各子触控电极之间平行的部分形成互电容。例如第一触控电极TX1 和第二触控电极3502的各子触控电极RX1、RX2、…、RX(m-1)、 RXm之间平行的部分形成互电容。当手指触摸在电泳显示面板300的触摸屏上时，触摸位置处的第一触控电极3501和子触控电极之间的互 电容的电容量发生变化，可以根据互电容的电容量是否发生变化来确 定触摸发生的位置。

在本实施例中，可以在电泳显示面板300的透明衬底基板31上设 置集成电路。上述第二触控电极引线和第三触控电极引线可以通过柔 性电路板38与集成电路电连接。集成电路可以分时依次向各第一触控 电极(TX1、TX2、…、TXn)发送触控检测信号。可以接收由第二触 控电极的各子触控电极发送的触摸感应信号。在本实施例中，各个第 二触控电极3502的子触控电极RXi在柔性电路板中可以互相电连接， 其中，1≤i≤m。也就是说，不同第二触控电极3502的子触控电极RX1 传输相同的触摸感应信号，不同第二触控电极3502的子触控的电极 RX2传输相同的触摸感应型号，…，不同第二触控电极3502的子触 控的电极RXm传输相同的触摸感应型号。这样，在如图7中虚线所 示的XY坐标轴中，可以以O点作为原点，来确定各第一触控电极TX1、 TX2、…、TXn在X轴的坐标，以及确定第二触控电极3502的各子 触控电极RX1、RX2、…、RX(m-1)、RXm在Y轴上的坐标。具体 的触摸发生位置可以根据触摸发生的第一触控电极3502在X轴的坐 标以及子触控电极在Y轴的坐标来确定。

例如图7中的T1位置处有手指触摸时，可以由第一触控电极TX1 的X轴坐标确定T1位置的X轴坐标，然后可以由子触控电极RX2的 Y轴坐标确定T1位置的Y轴坐标。

本实施例中，通过将同层的实现触控功能的互电容结构集成在电 泳显示面板上以降低电泳显示面板的厚度，以适应用户的需求。

请继续参考图8和图9，图8示出了本申请实施例提供的电泳显 示面板的另一种结构示意图。图9示出了图8所示电泳显示面板沿方 向201观察到的一种结构示意图。

与图3所示电泳显示面板的结构相同，本实施例中的电泳显示面 板400包括透明衬底基板41、形成在透明衬底基板41一侧的薄膜晶 体管阵列层42、位于薄膜晶体管阵列层42远离透明衬底基板41一侧 的电泳膜43、位于电泳膜43远离透明衬底基板41一侧的保护膜层44。 电泳显示面板400还包括位于透明衬底基板41远离薄膜晶体管阵列层 42一侧的触控电极层45、位于触控电极层45远离透明基板41一侧的 封装层46，在透明衬底基板41与薄膜晶体管阵列层42之间的防反射 膜47。

封装层46例如可以为由无机材料层和有机材料层交替层叠形成。

在本实施例中，触控电极层45可以包括第一触控电极层451和第 二触控电极层452。第一触控电极层451设置在第二触控电极层452 与透明衬底基板41之间。

第一触控电极层451与第二触控电极层452相互之间绝缘。也就 是说第一触控电极层451与第二触控电极层452之间设置了绝缘层。

第一触控电极层451中形成有沿第一方向延伸、沿第二方向排列 的多个第三触控电极4511。第二触控电极层452中形成有沿第二方向 延伸、沿第一方向排列的多个第四触控电极4521。

任意一个第四触控电极4521向透明衬底基板41的正投影与每个 第三触控电极4511向透明衬底基板41的正投影至少部分重叠。也即， 任意一个第四触控电极4521与每一个第三触控电极4511之间均存在 正对的部分。在本实施例中，任意一个第四触控电极4521与一个第三 触控电极4511正对的部分形成互电容结构。这样，多个第四触控电极 4521与多个第三触控电极4511形成多个互电容。多个互电容可以均 匀地分布于电泳显示面板400的显示区内。

电泳显示面板400还可以包括多条第四触控电极引线4512、多条 第五触控电极引线4522、柔性电路板48以及设置在透明衬底基板41 上的集成电路49。

各第四触控电极引线4512可以与第三触控电极4511同层设置。 各第五触控电极引线4522可以与第四触控电极4521同层设置。

第四触控电极引线4512的一端与第三触控电极4511电连接，另 一端与上述柔性电路板48电连接。第五触控电极引线4522的一端与 第四触控电极4521电连接，另一端与柔性电路板48电连接。

第三触控电极4511例如可以为触控驱动电极，集成电路49可以 通过柔性电路板481以及第四触控电极引线4512向第三触控电极4511 传输触摸检测信号。触控检测信号例如可以为脉冲信号。第四触控电 极4521例如可以为触控感应电极。集成电路49可以通过柔性电路板 482以及第五触控电极引线4522接收来自第四触控电极4521的触摸 感应信号。当有用户手指触控电泳显示面板400的任意位置时，触控 点附近的第三触控电极4511和第四触控电极4521之间的耦合会发生 变化，从而触控点的第三触控电极4511和第四触控电极2521所形成 的互电容发生变化，可以根据各第三触控电极4511与各第四触控电极 4521之间交叉形成的多个互电容的电容量发生变化与否可以推断出 触控点的坐标。

在本实施例中，将上述由多个第三触控电极和多个第四触控电极 形成的互电容结构集成在电泳显示面板上，封装层采用无机材料层与 有机材料层交替层叠的结构，可以降低电泳显示面板400的厚度。此 外，当透明衬底基板为玻璃基板时，在衬底基板上制作触控电极时可 以首先对玻璃表面进行抛光和清洗，一方面可以提高工艺的可行性， 另一方面使得制作在其上的触控的电极与透明衬底基板之间的接触较 密切，可以提高触控显示面板的可靠性。

在一些应用场景中，形成上述第三触控电极4511和形成第四触控 电极4521的材料可以均可以为铟锡氧化物。

在一些应用场景中，形成第四触控电极4521的材料还可以为金属 材料，或者为金属材料与铟锡氧化物的结合。相应地，第四触控电极 4521的形状可以相应地设置为网状。当使用金属材料或金属材料与铟 锡氧化物结合的材料制作网状的第四触控电极4521时，可降低第四触 控电极的电阻，有利于提高电泳显示面板400的触控反应的灵敏度。

请继续参考图10，其示出了本申请实施例提供的电泳显示面板的 制作方法的流程500。

如图10所示，电泳显示面板的制作方法包括以下步骤：

步骤501，提供一透明衬底基板。在本实施例中透明衬底基板可 以为具有一定透过率的硬质材料，例如玻璃。透明衬底基板还可以为 具有一定光线透过率的柔性基板等等。

步骤502，在透明衬底基板一侧制作多个触控电极。步骤502可 以包括如下子步骤：

子步骤5021，在透明衬底基板一侧使用溅射镀膜工艺形成用于制 作触控电极的膜层。在一些应用场景中，上述用于制作触控电极的膜 层可以为铟锡氧化物膜层。

在本实施例的一些可选实现方式中，用于制作触控电极的膜层可 以为一整层膜层。

子步骤5022，利用第一掩膜版刻蚀上述用于制作触控电极的膜 层，形成多个触控电极。

在实施例的一些可选实现方式中，可以利用上述第一掩膜版制作 多个形状相同的、呈阵列排布的多个触控电极。在使用第一掩膜版刻 蚀上述用于制作触控电极的膜层形成上述多个触控电极的同时，可以 使用第一掩膜版刻蚀上述用于制作触控电极的膜层形成多条触控电极 引线。进一步可选的，可以在子步骤5022之后在触控电极远离透明衬 底基板的一侧淀积一层导电层，接着使用第二掩膜版在上述导电层中 形成多条第一触控电极引线。上述导电层可以为金属材料。

在本实施例的一些可选实现方式中，可以利用上述第一掩膜版在 用于制作触控电极的膜层上同时制作多个沿第一方向延伸的第一触控 电极和多个第二触控电极。每一个第二触控电极包括沿第一方向排列 的多个子触控电极。第一触控电极和第二触控电极沿第二方向交替重 复排列。第一方向和第二方向可以相交。

在本实施例的一些可选实现方式中，在使用第一掩膜版刻蚀上述 用于制作触控电极的膜层形成多个触控电极的同时，可以使用第一掩 膜版刻蚀上述用于制作触控电极的膜层形成多条第一触控电极引线和 多条第二触控电极引线。第一触控电极引线的一端与第一触控电极电 连接。第二触控电极引线的一端与子触控电极电连接。

在本实施的一些可选实现方式中，可以在子步骤5021中在透明衬 底基板的一侧制作第一触控电极膜层。接着在子步骤5022时在第一触 控电极膜层中形成多个沿第一方向延伸、沿第二方向排列的第三触控 电极。可以在第三触控电极之上形成一侧绝缘层。之后重复子步骤 5021以在上述绝缘层上形成第二触控的电极膜层。形成的第二触控电 极膜层覆盖上述各个第三触控电极。最后重复子步骤5022以在第二触 控电极膜层中形成多个沿第二方向延伸、沿第一方向排列的第四触控 电极。且形成的任意一个第四触控电极向透明衬底基板的正投影与每 一个第三触控电极向透明衬底基板的正投影存在重叠的区域。

步骤503，在透明衬底基板背离触控电极的一侧制作薄膜晶体管 阵列。

接着在透明衬底基板背离触控电极的一侧制作薄膜晶体管阵列。

制作薄膜晶体管阵列的工艺步骤可以为常规的制作薄膜晶体管阵 列的工艺步骤以及像素电极的工艺步骤，此处不赘述。

可以利用制作栅极线的膜层或者制作数据线的膜层制作上述第一 触控电极引线。上述第一触控电极引线可以通过过孔与触控电极连接。 在制作栅极线的膜层上制作第一触控电极引线时，第一触控电极引线 可以与栅极线平行。在制作数据线的膜层制作上述第一触控电极引线 时，第一触控电极引线可以与数据线平行。

值得指出的是，当使用制作栅极线的膜层或者使用制作数据线的 膜层制作上第一触控电极引线时，可以预先在透明衬底基板上制作对 位标记以使第一触控电极引线与一个触控电极向对应。

在步骤502中在透明衬底基板一侧形成多个触控电极之后，可在 多个触控电极之上形成保护膜层。

在本实施例的一些可选实现方式中，上述透明衬底基板可以为一 个可以制作多个阵列基板的母版。可以在上述透明衬底基板上首先规 划出多个区域。可以在透明衬底基板上制作金属标记用以作为区域划 分的标记。进一步地，还可以在透明衬底基板上制作金属标记用以薄 膜晶体管阵列与触控电极的对位。

接着在透明衬底基板中的每一个区域中，使用同一道溅射蒸镀工 艺制作用于制作触控电极的膜层。然后使用同一张掩膜版、同一道刻 蚀工艺同时在每个区域中形成多个触控电极。

然后可以在触控电极远离透明衬底基板的一侧形成保护膜层，保 护膜层可以包裹住各个区域中的多个触控电极。

接着可以在透明衬底基板远离触控电极的一侧的每个区域中制作 薄膜晶体管阵列。

最后可以切割形成了触控电极以及薄膜晶体管阵列的透明衬底基 板以形成多个阵列基板，其中，各阵列基板中的透明衬底基板的相对 两侧分别形成薄膜晶体管阵列以及多个触控电极。

步骤504，贴合制作了多个触控电极和薄膜晶体管阵列的透明衬 底基板和预先贴合了保护膜的电泳膜。

在贴合制作了多个触控电极和薄膜晶体管阵列的透明衬底基板和 预先贴合了保护膜的电泳膜之后，可以在透明衬底基板的形成触控电 极的一侧压接柔性电路板。

步骤505，在触控电极远离透明衬底基板的一侧贴附封装层。

在本实施例中，可以使用透明光学胶将封装层贴附在触控电极远 离透明衬底基板的一侧。或者可以在透明衬底基板设置了触控电极一 侧的边框中设置泡棉实现封装层与透明衬底基板之间的贴合。

在本实施例的一些可选实现方式中，上述封装层的材料可以为具 有一定光线透过率的硬质材料，例如玻璃。还可以为具有一定光线透 过率的柔性材料。

在本实施例的一些可选实现方式中，当透明衬底基板为玻璃基板 时，在透明衬底的一侧制作触控电极之前可以对透明衬底基板进行抛 光和清洗以使在透明衬底基板上制作的触控电极的与透明衬底基板之 间的附着性较好。此外，在透明衬底基板远离触控电极一侧制作薄膜 晶体管阵列时，也可以使用上述抛光和清洗工艺处理透明衬底基板之 后来制作薄膜晶体管阵列。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说 明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限 于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离 所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合 而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于) 具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (13)

1.一种电泳显示面板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

提供一透明衬底基板；

在所述透明衬底基板一侧制作多个触控电极；

在所述透明衬底基板背离所述触控电极的一侧制作薄膜晶体管阵列；

贴合制作了多个触控电极和薄膜晶体管阵列的透明衬底基板和预先贴合了保护膜的电泳膜，其中电泳膜位于所述薄膜晶体管阵列远离所述透明衬底基板的一侧；

在所述触控电极远离所述透明衬底基板的一侧贴附封装层。

2.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，在所述透明衬底基板背离所述触控电极的一侧制作薄膜晶体管阵列之后，在贴合制作了多个触控电极和薄膜晶体管阵列的透明衬底基板和预先贴合了保护膜的电泳膜之前，所述方法还包括：

切割形成了所述触控电极以及所述薄膜晶体管阵列的透明衬底基板以形成多个阵列基板；

其中，各所述阵列基板中的透明衬底基板的相对两侧分别形成薄膜晶体管阵列以及多个触控电极。

3.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，在所述透明衬底基板背离所述触控电极的一侧制作薄膜晶体管阵列之前，所述方法还包括：

在所述透明衬底基板背离所述触控电极的一侧制作防反射层，形成所述防反射层的材料为遮光材料，所述防反射层中形成多个开口。

4.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，

用于制作多个所述触控电极的膜层为一整层膜层，各所述触控电极同层设置。

5.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，制作的多个所述触控电极形状相同，且多个所述触控电极呈阵列排布。

6.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，

在所述透明衬底基板一侧制作多个触控电极的同时，使用所述触控电极的膜层形成多条触控电极引线。

7.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，在所述透明衬底基板一侧制作多个触控电极之后，在所述触控电极远离所述透明衬底基板的一侧淀积一层金属导电层，在所述导电层中形成多条第一触控电极引线。

8.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，在所述透明衬底基板一侧制作多个触控电极包括：

在用于制作所述触控电极的膜层上同时制作多个沿第一方向延伸的第一触控电极和多个第二触控电极，每一个所述第二触控电极包括沿所述第一方向排列的多个子触控电极，所述第一触控电极和所述第二触控电极沿第二方向交替重复排列，其中，所述第一方向和所述第二方向相交。

9.根据权利要求8所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，

在用于制作所述触控电极的膜层上制作多个沿第一方向延伸的第一触控电极和多个第二触控电极的同时，使用所述触控电极的膜层形成多条第一触控电极引线和多条第二触控电极引线，其中，所述第一触控电极引线的一端与所述第一触控电极电连接，所述第二触控电极引线的一端与所述子触控电极电连接。

10.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，在所述透明衬底基板一侧制作多个触控电极包括：

在所述透明衬底基板的一侧制作第一触控电极膜层，在所述第一触控电极膜层中形成多个沿第一方向延伸、沿第二方向排列的第三触控电极；

在所述第三触控电极之上形成一绝缘层；

在所述绝缘层上形成第二触控电极膜层，形成的所述第二触控电极膜层覆盖各个所述第三触控电极；

在所述第二触控电极膜层中形成多个沿所述第二方向延伸、沿所述第一方向排列的第四触控电极，形成的任意一个所述第四触控电极向所述透明衬底基板的正投影与每一个所述第三触控电极向所述透明衬底基板的正投影存在重叠的区域。

11.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，在所述触控电极远离所述透明衬底基板的一侧贴附封装层之前，还包括：

在所述透明衬底基板的形成所述触控电极的一侧压接柔性电路板。

12.根据权利要求3所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，制作薄膜晶体管阵列包括：

制作栅极、源/漏电极、多条栅极线、多条数据线；任意相邻两条栅极线与任意相邻两条数据线交叉设置形成像素区域；多个像素区域与所述多个开口一一对应，所述开口露出所述像素区域；所述防反射层的非开口区域向所述透明衬底基板的正投影覆盖所述栅极线向所述透明衬底基板的正投影以及所述数据线向所述透明衬底基板的正投影；

在所述薄膜晶体管的栅极的同层制作多条第一触控电极引线，所述第一触控电极引线与所述栅极线平行；

或者，在所述薄膜晶体管的源/漏电极的同层制作多条第一触控电极引线，所述第一触控电极引线与所述数据线平行；

所述第一触控电极引线通过过孔与所述触控电极连接。

13.根据权利要求1所述电泳显示面板的制作方法，其特征在于，所述封装层的制作材料为玻璃。

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