CN107532966A - 检漏系统及使用该检漏系统的检漏方法 - Google Patents

Abstract

检漏系统，是向被检查体所具有的检查对象空间供给空气并根据该检查对象空间的压力变化检查有无泄漏的检漏系统，具备：基台；机械臂，其包含从基台依序连结的多个臂体；机器人控制部，其控制机械臂的动作；空气供给用手，其具有为了将空气排出至检查对象空间而连接于被检查体的空气排出部，且可装卸地装设于机械臂的梢端部；空气供给源；空气供给管，其将空气从空气供给源引导至空气排出部；压力传感器，其设置于空气供给管，将检测出的压力数据传送至机器人控制部；以及空气供给机构，其藉由机器人控制部控制从空气供给源向空气排出部的空气的供给；机器人控制部根据压力数据判定检查对象空间有无泄漏。

Description

检漏系统及使用该检漏系统的检漏方法

技术领域

本发明涉及检漏系统，尤其涉及向被检查体供给加压空气而检查该被检查体有无泄漏的检漏系统、以及使用该检漏系统的检漏方法。

背景技术

在制造产品的生产线中，为了确认组装的产品例如油容器或冷却水路等有无泄漏而进行检漏。作为检查泄漏的一种方法，以往，已知有向被检查体的检查对象空间供给加压空气（以下，简称为“空气”）并监视经过规定时间后的压力变化以此检查有无泄漏的方法。

此种检漏作业一般使用泄漏检验器以作业人员的手工作业来进行，但已知有例如专利文献1所示使用多关节机器人或执行器的自动化检漏系统。

专利文献1中，如图5所示，公开有一种用于检查发动机210的冷却水路径有无泄漏的检漏系统200。作为被检查体的发动机210的冷却水路径具有入口侧开口部211或放水用开口部212、出口侧开口部213等多个开口部。此检漏系统200在通过设置于臂部201或滑动台202的密闭部203、204使入口侧开口部211或放水用开口部212封闭的状态下，将流体供给用臂部205连接于出口侧开口部213，以向检查对象空间供给空气。空气的供给或有无泄漏的判定藉由泄漏试验机206与控制其的泄漏试验机控制部207进行。又，使流体供给用臂部205以与出口侧开口部213相对的形式动作的控制藉由机械臂控制部208进行。

现有技术文献：

专利文献：

专利文献1：日本特开平11-194065号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

然而，在图5所示的检漏系统200中，存在如下多个构成检漏系统200的要素：用于封闭被检查体所具有的开口部211、212的机械要素201、202，泄漏试验机206和控制其的泄漏试验机控制部207，以及机械臂控制部208等。因此，系统全体，尤其是控制系统的各要素的控制系统变成复杂的构成。

在此，本发明的目的在于提供一种更简化的检漏系统及使用该检漏系统的检漏方法。

解决问题的手段：

为了解决上述问题，本发明的检漏系统是向被检查体所具有的检查对象空间供给空气并根据该检查对象空间的压力变化检查有无泄漏的检漏系统，其具备：基台；机械臂，其包含从所述基台依序连结的多个臂体；机器人控制部，其控制所述机械臂的动作；空气供给用手，其具有为了向所述检查对象空间排出空气而连接于所述被检查体的空气排出部，且可装卸地装设于所述机械臂的梢端部；空气供给源；空气供给管，其将空气从所述空气供给源引导至所述空气排出部；压力传感器，其设置于所述空气供给管，将检测出的压力数据传送至所述机器人控制部；以及空气供给机构，其藉由所述机器人控制部控制从所述空气供给源向所述空气排出部的空气的供给；所述机器人控制部根据所述压力数据判定所述检查对象空间有无泄漏。

根据上述构成，以往由泄漏检验器承担的控制向检查对象空间的空气供给的功能或判定有无泄漏的功能由机器人控制部来承担。因此，能实现简化的检漏系统。

上述检漏系统中，所述被检查体具有连通所述检查对象空间与外部的多个开口部，所述多个开口部包含连接有所述空气排出部的第一开口部、和除此之外的第二开口部，并且，上述检漏系统也可具备插塞装卸用手，该插塞装卸用手可装卸地装设于所述机械臂的梢端部，且将封闭所述第二开口部的插塞安装于所述第二开口部。根据此构成，从被检查体所具有的第二开口部的封闭作业开始，直到空气排出部向第一开口部的连接、向检查对象空间的空气的供给、检查对象空间的内部压力的监视、有无泄漏的判定为止的一系列检漏作业，能够全部通过来自机器人控制部的控制信号完成。

上述检漏系统在所述被检查体具有多个检查对象空间的情况下特别有用。

所述被检查体例如为多关节机器人，所述检查对象空间例如为多关节机器人所具有的油脂槽的内部空间。

又，本发明的检漏方法是使用上述检漏系统检查具有连通所述检查对象空间与外部的多个开口部的所述被检查体有无泄漏的检漏方法，其具备如下工序：藉由所述机器人控制部控制所述机械臂，使所述空气排出部连接于所述多个开口部中的一个开口部；藉由所述机器人控制部控制所述空气供给机构，开始从所述空气排出部向所述检查对象空间排出空气；以及，藉由所述机器人控制部根据从所述压力传感器传送的压力数据，判定所述检查对象空间有无泄漏。

上述检漏方法也可以具备如下工序：在将所述空气排出部连接于所述一个开口部即第一开口部的工序之前，对于所述多个开口部中的所述第一开口部以外的开口部即第二开口部，藉由所述机器人控制部控制所述机械臂，将插塞装卸用手装设于所述机械臂的梢端部，该插塞装卸用手将封闭所述第二开口部的插塞安装于所述第二开口部；藉由所述机器人控制部控制所述机械臂，将所述插塞安装于所述第二开口部；以及，藉由所述机器人控制部控制所述机械臂，将装设于所述机械臂的梢端部的手从所述插塞装卸用手更换为所述空气供给用手。

发明效果：

根据本发明，能提供一种更简化的检漏系统及使用该检漏系统的检漏方法。

附图说明

图1是本发明一实施形态的检漏系统的概略构成图；

图2是空气供给用手的概略侧视图；

图3是显示机器人控制部的控制构成的方块图；

图4是显示使用图1所示检漏系统的检漏方法的流程的流程图；

图5是以往的检漏系统的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施形态进行说明。图1是本发明一实施形态的检漏系统1的概略构成图。检漏系统1例如装配于生产线。以下，该检漏系统1，作为一例，装配于制造图1右侧所示的多关节机器人100的生产线，将该多关节机器人100作为被检查体进行检漏的情况进行说明。

首先，对于该实施形态的检漏系统1的被检查体即多关节机器人100进行说明。如图1所示，多关节机器人100具备基台101，和连接于基台101的机械臂102。机械臂102包含第一臂体111、第二臂体112、第三臂体113、第四臂体114、第五臂体115及第六臂体116共6个臂体111〜116，且臂体111〜116以此顺序从基台101起依序连结。即，第一臂体111通过其基端部连结于基台101，第二臂体112通过其基端部连结于第一臂体111的梢端部，以下同样地，第六臂体116通过其基端部连结于第五臂体115的梢端部。机械臂102的梢端部即第六臂体116的梢端部，例如以能装卸用于进行焊接作业或涂装作业等所需作业的手的形式构成。

多关节机器人100具备多个关节部J1〜J6。各关节部J1〜J6，使依序连结的基台101及臂体111〜116中的相邻2个构件中配置于与基台101为相反侧的构件，以可转动的形式连结于该2个构件中配置于基台101侧的构件。本实施形态中，基台101及臂体111〜116的总数为7，所以相邻构件的对数为6，关节部J1〜J6的个数也为6。

在关节部J1〜J6，分别装配有减速机或轴承等机械要素（未图示）。为了使这些机械要素顺畅地动作，在关节部J1〜J6分别设置用于密封作为润滑剂的油脂（grease）的油脂槽G1〜G6。藉由检漏系统1检查油脂槽G1〜G6有无泄漏，以避免供给至其的油脂泄漏。即，藉由此实施形态的检漏系统1进行检漏的检查对象空间为油脂槽G1〜G6的内部空间。

油脂槽G1〜G6分别具有与外部连通的多个开口部。后述的检漏系统1从油脂槽G1〜G6各自所具有的多个开口部中的一个开口部（以下，称为“第一开口部”）117向油脂槽G1〜G6内供给空气，对内部的压力进行监视，从而检查有无泄漏。此实施形态的检漏系统1中，当检漏时，在使油脂槽G1〜G6所具有的多个开口部中的第一开口部117以外的开口部（以下，称为“第二开口部”）118封闭的状态下，从第一开口部117向油脂槽G1〜G6供给空气。即，此实施形态中被检查体的检查对象空间均具有成为检漏时供给空气的入口的第一开口部117、和除此之外的第二开口部118。另外，图1中仅显示油脂槽G1所具有的1个第一开口部117与1个第二开口部118，其余的开口部为了简化而省略。又，以下当表示任意一个油脂槽时称为“油脂槽G”。

接着，对于检漏系统1的构成进行说明。检漏系统1具备图1左侧所示的多关节机器人2，和控制多关节机器人2的动作的机器人控制部23。

如图1所示，多关节机器人2具备基台21，和连结于基台21的机械臂22。机械臂22包含第一臂体31、第二臂体32、第三臂体33、第四臂体34、第五臂体35及第六臂体36的6个臂体31〜36，且臂体31〜36以此顺序从基台21起依序连结。即，第一臂体31通过基端部连结于基台21，第二臂体32通过基端部连结于第一臂体31的梢端部，以下同样地，第六臂体36通过基端部连结于第五臂体35的梢端部。

与作为被检查体的多关节机器人100相同，检漏系统1的多关节机器人2具备多个关节部K1〜K6。关节部K1〜K6分别具有驱动马达38，该驱动马达38使依序连结的基台21及臂体31〜36中的相邻2个构件中的配置于与基台21为相反侧的构件，相对于该2个构件中的配置于基台21侧的构件进行转动（参照图3）。驱动马达38例如为伺服马达。又，关节部K1〜K6分别具有转动传感器39，该转动传感器39用于检测出藉由驱动马达38转动的臂体31〜36的转动状态（参照图3）。转动传感器39例如为编码器。

图1中虽例示了基台21固定于作业现场的水平地板面上的情况，但也可设置于非水平面上，也可从上方垂吊，还能可移动地设置。又，图1中作为检漏系统1的多关节机器人2，虽例示了所谓垂直多关节式的6轴机器人，但其仅为一例，也可较佳地应用于其它形式的机器人。

在机械臂22的梢端部即第六臂体36的梢端部，设有保持进行所需作业的手的保持部37，藉由保持部37使手可更换地装设于机械臂22。向检漏作业中向油脂槽G供给空气的步骤或监视油脂槽G内部的压力以判定有无泄漏的步骤中，在保持部37装设有用于向油脂槽G供给空气的空气供给用手4。又，检漏作业中向油脂槽G供给空气之前，在保持部37装设有插塞装卸用手28，以将用于封闭第二开口部118的封闭插塞119安装于第二开口部118。空气供给用手4及插塞装卸用手28在装设于机械臂22之前，被收容于配置在机械臂22的动作范围内的手载台27。空气供给用手4及插塞装卸用手28分别在该手载台27可更换地装设于保持部37。另外，图1中仅图示出与已图示的第二开口部118对应的1个封闭插塞119。

又，检漏系统1具备载置有作为被检查体的多关节机器人100的检查台26。检查台26为以将垂直方向的转动轴作为中心进行转动的形式构成的转动台，且具有转动驱动机构（未图示）。检查台26的转动驱动藉由机器人控制部23控制。

检漏系统1具备空气供给源24，和从空气供给源24与空气供给用手4相连的上游侧空气供给管25。上游侧空气供给管25从空气供给源24向基台21延伸，进而从基台21沿机械臂22延伸至保持部37。另外，本申请说明书中，在从空气供给源24到检查对象空间（油脂槽G）供给空气的供给路中，将空气供给源24侧称为“上游侧”，将检查对象空间侧称为“下游侧”。

又，检漏系统1具备藉由机器人控制部23控制向空气供给用手4的空气供给的空气供给机构29。空气供给机构29例如为开闭阀，且设于空气供给源24、上游侧空气供给管25或后述的下游侧空气供给管42。

图2为保持于机械臂22的保持部37的空气供给用手4的概略侧视图。空气供给用手4具有外装框架41、下游侧空气供给管42、空气排出部43及压力传感器44。

在外装框架41，设有保持于机械臂22的保持部37的被保持部41a。外装框架41支持下游侧空气供给管42、空气排出部43及压力传感器44。

若被保持部41a保持于保持部37，则下游侧空气供给管42能连接于上游侧空气供给管25。外装框架41支持下游侧空气供给管42。本发明的“空气供给管”由上游侧空气供给管25与下游侧空气供给管42构成。

空气排出部43形成为管状，其一端的开口部与下游侧空气供给管42相连。空气排出部43以在检漏作业中向检查对象空间供给空气的步骤中，连接于第一开口部117且将从下游侧空气供给管42传送而来的空气从另一端的开口部即空气排出口43c排出的形式构成。空气排出部43由外装框架41支持，且以从外装框架41直线状地延伸的形式形成。

空气排出部43具有固定于外装框架41的缓冲机构43a、支持于缓冲机构43a的柄部43b、设于柄部43b一端的空气排出口43c、和围绕空气排出口43c设置的密闭部43d。缓冲机构43a由盘簧及线性衬套等构成，且相对于外装框架41在长度方向上摇动自如地支持柄部43b。柄部43b为中空的，以将从缓冲机构43a侧供给的空气从空气排出口43c排出的形式形成。当向油脂槽G供给空气时，密闭部43d在空气排出口43c连通于油脂槽G的内部空间的状态下密闭第一开口部117。为了提高气密性，密闭部43d例如由胺甲酸乙酯形成。

压力传感器44设置于下游侧空气供给管42。当空气排出部43连接于第一开口部117时，压力传感器44藉由检测下游侧空气供给管42内部的压力而检测油脂槽G的内部压力。当空气供给机构29设置于下游侧空气供给管42时，为了即使在空气供给机构29停止供给空气的状态下也能取得油脂槽G的压力数据，将压力传感器44设置于比空气供给机构29更下游侧。由压力传感器44获得的压力数据通过未图示的信号线传送至机器人控制部23。

图3中显示机器人控制部23的控制构成。机器人控制部23不仅控制机械臂22的动作，而且控制与向检查对象空间的空气供给或有无泄漏的判定等一系列检漏作业相关的要素。机器人控制部23例如由微控制器或逻辑电路等运算器构成。机器人控制部23具有存储部51、臂驱动控制部52、手装设指令部53、检查台控制部54、空气供给指令部55、和泄漏判定部56，藉由所述运算器根据程序等进行动作而实现功能块51〜56。存储部51存储多种程序或信息，此实施形态中，其存储检查台26上的被检查体即多关节机器人100的第一开口部117及第二开口部118的位置信息、或用于使第一开口部117及第二开口部118移动至规定位置的动作程序等。

臂驱动控制部52根据存储部51内存储的动作程序控制驱动马达38等，以使空气供给用手4等手移动至目标位置及方向。转动传感器39发送与对应的驱动马达38的角位移量相关的角位移信号至臂驱动控制部52，臂驱动控制部52根据所接收的角位移信号对驱动马达38的动作进行反馈控制。

手装设指令部53根据存储部51内存储的动作程序控制保持部37上的手的装卸。当将收容于手载台27的手装设于机械臂22时，在使保持部37抵接于该手之后，手装设指令部53向保持部37发送保持手的信号。当将装设于机械臂22的手收容于手载台27时，在装设于机械臂22的该手收容于手载台27的状态下，手装设指令部53向保持部37发送解除手的保持状态的信号。

检查台控制部54根据存储部51内存储的动作程序控制检查台26的转动驱动机构的动作。检查台控制部54使检查台26转动驱动，而使检查台26上的被检查体的第一开口部117及第二开口部118向目标位置移动。

空气供给指令部55控制从空气供给源24向空气供给用手4的空气供给的开始及停止。当空气供给用手4的空气排出部43连接于第一开口部117之后，空气供给指令部55控制空气供给机构29开始空气的供给。在开始空气的供给之后，空气供给指令部55对从压力传感器44传送的压力数据进行监视，当压力数据超过规定值时，控制空气供给机构29停止空气的供给。

当从停止空气的供给经过规定时间后，泄漏判定部56根据从压力传感器44获得的压力数据判定有无泄漏。

以下，对于使用检漏系统1检查被检查体即多关节机器人100的油脂槽G的泄漏的检漏方法的流程进行说明。图4是显示使用检漏系统1的检漏方法的流程的流程图。

藉由此实施形态的检漏系统1的检漏作业在使组装后的被检查体即多关节机器人100载置于检查台26的规定位置、规定方向的状态下开始。载置于检查台26的多关节机器人2的第一开口部117及第二开口部118的位置信息预先存储于机器人控制部23的存储部51。

若对机器人控制部23输入开始检漏作业的指令，则机器人控制部23将插塞装卸用手28装设于机械臂22的梢端部（步骤S1）。具体而言，机器人控制部23的臂驱动控制部52使各关节部K1〜K6的驱动马达38等进行动作，而使机械臂22的梢端部的保持部37抵接于收容在手载台27的插塞装卸用手28。之后，藉由机器人控制部23向保持部37发送保持插塞装卸用手28的信号，将插塞装卸用手28装设于机械臂22的梢端部。

接着，藉由插塞装卸用手28，依序将封闭插塞119安装于被检查体的多个油脂槽G1〜G6各自具有的多个第二开口部118。

具体而言，机器人控制部23以使多个第二开口部118中的目标第二开口部移动至规定位置的形式使检查台26转动动作（步骤S2）。另外，当目标第二开口部118在机械臂22的动作范围内，无须使检查台26转动便能将封闭插塞119安装于目标第二开口部118时，较佳为省略使检查台26转动的步骤S2。机器人控制部23使机械臂22动作，而将封闭插塞119安装于处于规定位置、或者藉由检查台26的转动而移动至规定位置的第二开口部118（步骤S3）。

反复实施步骤S2及S3直至封闭插塞119向全部第二开口部118的安装均完成为止（步骤S4中为否）。另外，封闭插塞的安装顺序取决于存储部51内存储的信息，无须按照油脂槽G1〜G6的顺序。

当封闭插塞119向全部第二开口部118的安装均完成时（步骤S4中为是），装设于机械臂22的梢端部的手于手载台27从插塞装卸用手28更换为空气供给用手4（步骤S5）。

之后，机器人控制部23依序将空气供给用手4连接于被检查体的多个油脂槽G1〜G6以检查有无泄漏。

具体而言，机器人控制部23以使多个油脂槽G1〜G6中的目标油脂槽G的第一开口部117移动至规定位置的形式使检查台26转动动作（步骤S6）。另外，当目标第一开口部117在机械臂22的动作范围内，无须使检查台26转动便能将空气排出部43连接于目标第一开口部117时，较佳为省略使检查台26转动的步骤S6。机器人控制部23使机械臂22动作，而使空气排出部43的柄部43b的梢端连接于第一开口部117，该第一开口部117处于规定位置、或者藉由检查台26的转动而移动至规定位置（步骤S7）。

当完成向第一开口部117的连接时，机器人控制部23使从空气供给源24的空气供给开始（步骤S8）。具体而言，机器人控制部23向空气供给机构29发送开始空气供给的信号，使空气的供给开始。与空气的供给同时，机器人控制部23对由压力传感器44检测出的油脂槽G的压力数据进行监视。

当油脂槽G的内部压力达到规定压力时，机器人控制部23使从空气供给源24的空气供给停止（步骤S9）。具体而言，机器人控制部23向空气供给机构29发送停止空气供给的信号，使空气的供给停止。

从停止空气的供给经过规定时间之后，机器人控制部23根据油脂槽G的内部压力、即从压力传感器44传送的压力数据，判定有无泄漏（步骤S10）。

反复实施步骤S6〜S10，直至对全部油脂槽G1〜G6的内部空间有无泄漏的判定结束为止（步骤S11中为否）。当对全部油脂槽G1〜G6的内部空间有无泄漏的判定结束（步骤S11中为是），机器人控制部23结束藉由检漏系统1进行的检漏作业。另外，判定有无泄漏的顺序取决于存储部51内存储的信息，无须按照油脂槽G1〜G6的顺序。

此实施形态的检漏系统1中，以往由泄漏检验器承担的控制向检查对象空间的空气供给的功能或判定有无泄漏的功能由机器人控制部来承担。所以能实现简化的检漏系统。

又，此实施形态的检漏系统1中，从被检查体所具有的第二开口部118的封闭作业开始，直到空气排出部43向第一开口部117的连接、向油脂槽G的空气供给、油脂槽G的内部压力的监视、有无泄漏的判定为止的一系列检漏作业，能够全部通过来自机器人控制部23的控制信号完成。

又，此实施形态的检漏系统1中，即便被检查体具有连通检查对象空间与外部的多个开口部，也可由一个多关节机器人2来完成第二开口部11的封闭作业与从第一开口部117供给空气的作业。因此，无须具备与开口部数量相同的机械要素。进而，此实施形态的检漏系统1，如多关节机器人100，1个被检查体具有多个检查对象空间，且在使手连接于开口部的角度对于各个检查对象空间不相同的情况下，尤其有能谋求检漏系统的简化及检漏作业的缩短化的益处。

进而，被检查体载置于转动驱动式的检查台26之上。因此，于无法在载置有被检查体的状态（位置及方向）下将多关节机器人2的手连接于其开口部的情况下，也能使检查台26与多关节机器人2协同动作，可使手连接于被检查体所具有的全部开口部。

上述实施形态的所有方面仅应视为例示，并非限制性内容。本发明的范围由权利要求界定而非由上述说明界定，其旨在包含与权利要求同等的含义及范围内的所有变更。

例如、上述实施形态中，虽对将多关节机器人100作为被检查体、将多关节机器人100所具有的油脂槽G的内部空间作为检查对象空间的情况进行了说明，但不限于此。

又，上述实施形态所说明的检漏方法中，对于油脂槽G1〜G6，将封闭插塞119安装于全部的第二开口部118（步骤S4中为是）之后，移到将空气供给至油脂槽G的步骤（步骤S5〜S8），但不限于此。例如，也可在对1个油脂槽完成检漏作业的所有工序（步骤S1〜S11）完成之后，再移到对其他油脂槽的封闭插塞的安装工序（步骤S1〜S3）。

符号说明：

1 检漏系统；

2 多关节机器人；

21 基台；

22 机械臂；

23 机器人控制部；

24 空气供给源；

25 上游侧空气供给管；

28 插塞装卸用手；

29 空气供给机构；

31 第一臂体；

32 第二臂体；

33 第三臂体；

34 第四臂体；

35 第五臂体；

36 第六臂体；

4 空气供给用手；

42 下游侧空气供给管；

43 空气排出部；

44 压力传感器；

100 多关节机器人（被检查体）；

117 第一开口部；

118 第二开口部；

119 封闭插塞；

G1〜G6 油脂槽（检查对象空间）。

Claims (6)

1.一种检漏系统，是向被检查体所具有的检查对象空间供给空气并根据该检查对象空间的压力变化检查有无泄漏的检漏系统，具备：

基台；

机械臂，包含从所述基台依序连结的多个臂体；

机器人控制部，控制所述机械臂的动作；

空气供给用手，具有为了将空气排出至所述检查对象空间而连接于所述被检查体的空气排出部，且能装卸地装设于所述机械臂的梢端部；

空气供给源；

空气供给管，将空气从所述空气供给源引导至所述空气排出部；

压力传感器，设于所述空气供给管，将检测出的压力数据传送至所述机器人控制部；和

空气供给机构，藉由所述机器人控制部控制从所述空气供给源向所述空气排出部的空气的供给；

所述机器人控制部根据所述压力数据判定所述检查对象空间有无泄漏。

2.根据权利要求1所述的检漏系统，其特征在于，所述被检查体具有连通所述检查对象空间与外部的多个开口部，

所述多个开口部包含连接有所述空气排出部的第一开口部、和除此之外的第二开口部；

具备插塞装卸用手，所述插塞装卸用手能装卸地装设于所述机械臂的梢端部，将封闭所述第二开口部的插塞安装于所述第二开口部。

3.根据权利要求1或2所述的检漏系统，其特征在于，所述被检查体具有多个检查对象空间。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的检漏系统，其特征在于，所述被检查体为多关节机器人，所述检查对象空间为多关节机器人所具有的油脂槽的内部空间。

5.一种检漏方法，使用权利要求1至4中任意一项所述的检漏系统，是检查具有连通所述检查对象空间与外部的多个开口部的所述被检查体有无泄漏的检漏方法，具备如下工序：

藉由所述机器人控制部控制所述机械臂，使所述空气排出部连接于所述多个开口部中的一个开口部；

藉由所述机器人控制部控制所述空气供给机构，开始从所述空气排出部向所述检查对象空间的空气的排出；以及

根据从所述压力传感器传送的压力数据，藉由所述机器人控制部判定所述检查对象空间有无泄漏。

6.根据权利要求5所述的检漏方法，其特征在于，具备如下工序：

在将所述空气排出部连接于作为所述一个开口部的第一开口部的工序之前，

对于所述多个开口部中作为所述第一开口部以外的开口部的第二开口部，藉由所述机器人控制部控制所述机械臂，将插塞装卸用手装设于所述机械臂的梢端部，所述插塞装卸用手将封闭所述第二开口部的插塞安装于所述第二开口部；

藉由所述机器人控制部控制所述机械臂，将所述插塞安装于所述第二开口部；以及

藉由所述机器人控制部控制所述机械臂，将装设于所述机械臂的梢端部的手从所述插塞装卸用手更换为所述空气供给用手。