CN107532280A - 硬质皮膜和硬质皮膜被覆构件 - Google Patents

硬质皮膜和硬质皮膜被覆构件 Download PDF

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Abstract

一种形成于基材上，满足由下式(1)表示的组成的硬质皮膜。TiaCrbAlcZrdLe(BxCyNz)…(1)(式中，L是Si和Y之中的一种以上的元素，a、b、c、d、e、x、y、z满足0≤a≤0.30，0.10≤b≤0.30，0.40≤c≤0.70，0.03≤d≤0.20，0≤e≤0.10，0≤x≤0.15，0≤y≤0.10，0.80≤z≤1，a+b+c+d+e＝1，x+y+z＝1。)

Description

硬质皮膜和硬质皮膜被覆构件
技术领域
本发明涉及硬质皮膜和硬质皮膜被覆构件。特别是涉及抗粘附性和耐磨耗性优异的硬质皮膜，及在基材上形成有该硬质皮膜的硬质皮膜被覆构件。
背景技术
纯钛和钛合金这样的钛系金属，具有高温强度高，且热传导率低这样的特性。因此，将此钛系金属例如作为被切削材进行切削时，切削时产生的热难以跑到被切削材侧和切屑侧，而是容易积蓄在切削工具的刀头。其结果是，刀头温度容易上升。另外，因为钛在化学性质上活跃，所以随着上述刀头温度的上升，钛容易对工具发生粘附。由于该粘附导致工具的磨耗容易推进，耐磨耗性降低，作为结果，是存在工具寿命变短这样的问题。还有，以下将钛系金属等的金属的粘附仅称为“粘附”。
切削钛系金属时，为了抑制上述粘附，至今为止一般是以湿式且低切削速度进行加工。但是又要求生产率的提高，从而对于上述钛系金属用的切削工具，要求即使不减慢切削速度也能够抑制上述粘附。
为了满足上述要求，对于切削工具的刀头实施涂覆而抑制粘附，以使切削速度增加的尝试也得到研究。例如作为上述涂层，一直以来提出有TiAlN等的高熔点化合物的皮膜。另外在专利文献1中，公开有一种钛合金加工用表面被覆切削工具，其特征在于，由Al、和Cr或V中的任意一者或两者的元素、和氮、碳或氧中的任意1个以上的元素所构成的化合物形成。另外在专利文献1中表明，若在上述化合物中含有V，则作为低熔点的V氧化物在切削时的高温环境下作为润滑剂起作用，能够期待抑制被切削材的粘附的效果。
在专利文献2中，作为适合于钛及其合金的切削这种特性经改良的切削工具，公开有一种切削工具，其含有如下：含碳化钨的基体；及如下的涂层，所述涂层为从碳化钨和碳化硼所构成的群中选择，且通过物理沉积法附着于所述基体的涂层，和含有碳化硼且通过化学沉积法附着于所述基体的涂层之中的一者。
【现有技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】日本国特开2005－262389号公报
【专利文献2】日本国特开平9－216104号公报
发明内容
上述钛系金属对工具粘附的问题，不仅会在上述切削工具中发生，也在用于钛系金属的塑性加工的工具中发生。本发明就是鉴于这些情况而形成，其目的在于，提供一种相比历来所使用的TiAlN等的高熔点化合物的皮膜而言，可抑制加工时的被加工成分的粘附，即使被加工材是钛系金属，切削和塑性加工等的加工也能够良好进行的硬质皮膜，和在基材上形成有该硬质皮膜的切削工具及塑性加工用工具等的硬质皮膜被覆构件。以下，将切削和塑性加工等加工时可抑制被加工成分的粘附这样的特性称为“抗粘附性”。
能够解决上述课题的本发明的硬质皮膜，是形成于基材上的硬质皮膜，具有的特征在于，满足由下式(1)表示的组成。
TiaCrbAlcZrdLe(BxCyNz)…(1)
在上式(1)中，
L是Si和Y之中的一种以上的元素，
a、b、c、d、e、x、y、z分别是Ti、Cr、Al、Zr、L、B、C、N的原子比，各原子比满足下述范围。
0≤a≤0.30，0.10≤b≤0.30，0.40≤c≤0.70，0.03≤d≤0.20，0≤e≤0.10，0≤x≤0.15，0≤y≤0.10，0.80≤z≤1，a+b+c+d+e＝1，x+y+z＝1
能够解决上述课题的本发明的其他的硬质皮膜，是形成于基材上的硬质皮膜，在以下方面具有特征：使满足由下式(2)表示的组成且膜厚为1.0nm以上、50nm以下的皮膜Q，和满足由下式(3)表示的组成且膜厚为1.0nm以上、50nm以下的皮膜R交替地层叠而成。
皮膜Q：TiaCrbAlcLe(BxCyNz)…(2)
在上式(2)中，
L是Si和Y之中的一种以上的元素，
a、b、c、e、x、y、z分别是Ti、Cr、Al、L、B、C、N的原子比，各原子比满足下述范围。
0≤a≤0.30，0.10≤b≤0.30，0.40≤c≤0.70，0≤e≤0.10，0≤x≤0.15，0≤y≤0.10，0.80≤z≤1，a+b+c+e＝1，x+y+z＝1
皮膜R：Zr(BsCtNu)…(3)
在上式(3)中，
s、t、u分别是B、C、N的原子比，各原子比满足下述范围。
0≤s≤0.15，0≤t≤0.10，0.80≤u≤1，s+t+u＝1
在本发明中，也包括在基材上形成有所述硬质皮膜的硬质皮膜被覆构件。作为该硬质皮膜被覆构件，可列举用于纯钛或钛合金的切削的切削工具，和用于纯钛或钛合金的塑性加工的塑性加工用工具。
根据本发明，能够提供可抑制切削加工和塑性加工时的被加工成分的粘附，即使被加工材是钛系金属，也能够良好地进行切削和塑性加工的硬质皮膜，和在基材上形成有该硬质皮膜的硬质皮膜被覆构件。
具体实施方式
如上述，在金属材料的加工之中，特别是纯钛或钛合金的加工时，因为热传导率低，所以切削时刀头的温度容易上升，这与化学性质上活跃的钛系金属的特征加在一起，就会导致切削工具和塑性加工用工具等的加工用工具的磨耗面上容易发生粘附。用于加工该钛系金属的工具的磨耗，具体来说即该工具表面的皮膜的磨耗，支配性的是以上述钛系金属的粘附部分为原点进行的所谓粘附磨耗。因此，想要延长上述加工用工具的寿命，被覆于该工具的皮膜仅仅耐热性优异并不充分，还需要磨耗面的抗粘附性也优异。
因此，本发明者们为了得到即使被加工材是钛系金属，抗粘附性也特别优异的硬质皮膜，而尤其对于该硬质皮膜的组成反复进行了锐意研究。其结果发现，如果使TiCrAl(BCN)、CrAl(BCN)、TiCrAl(Si/Y)(BCN)、CrAl(Si/Y)(BCN)这样的具有高耐氧化性的皮膜中，含有规定量的Zr，成为满足下式(1)所示的组成，则能够减少钛系金属的粘附，能够得到加工用工具的寿命充分提高，即抗粘附性和耐磨耗性优异的硬质皮膜。上述Zr由于切削时的摩擦热而优先被氧化，形成极其稳定的ZrO2的氧化物。另外，由于ZrO2与Ti的反应性低，所以能够在磨耗面抑制钛系金属粘附。
TiaCrbAlcZrdLe(BxCyNz)…(1)
在上式(1)中，
L是Si和Y之中的一种以上的元素，
a、b、c、d、e、x、y、z分别是Ti、Cr、Al、Zr、L、B、C、N的原子比，各原子比满足下述范围。
0≤a≤0.30，0.10≤b≤0.30，0.40≤c≤0.70，0.03≤d≤0.20，0≤e≤0.10，0≤x≤0.15，0≤y≤0.10，0.80≤z≤1，a+b+c+d+e＝1，x+y+z＝1
发挥上述作用效果所需要的Zr量，以在金属元素中，即，在Ti、Cr、Al、Zr和L中所占的原子比d计为0.03以上。Zr的原子比d优选为0.05以上，更优选为0.10以上。另一方面，若Zr过度地被包含，则皮膜的耐氧化性降低。因此Zr的原子比d为0.20以下，优选为0.15以下。
关于上述Zr以外的元素，即，Ti、Cr、Al、L、B、C、N，从确保切削时等所需要的耐氧化性和皮膜的硬度的观点出发，为上式(1)的范围内。各元素的范围与优选的范围一起下述显示。
首先，在金属元素中Ti所占的原子比a为0.30以下。Ti的原子比a优选为0.25以下，更优选为0.20以下，进一步优选为0.10以下。Ti的原子比a也可以是0，但使Ti含有时，例如能够为0.05以上。
金属元素中Cr所占的原子比b为0.10以上，并在0.30以下，优选为0.25以下，更优选为0.20以下。
金属元素中Al所占的原子比c为0.40以上，优选为0.45以上，更优选为0.50以上。另一方面，Al的原子比c的上限为0.70以下，优选为0.65以下，更优选为0.60以下。
金属元素中L所占的，即，Si和Y之中的一种以上的元素的原子比e也可以是0，但优选为0.03以上。所述原子比e的上限为0.10以下，优选为0.08以下，更优选为0.05以下。所述原子比e是指Si和Y的合计量。下同。Si和Y可以单独使用，也可以两种并用。
本发明的皮膜中，B和C和N中N所占的原子比z为0.80以上、1以下。N的原子比z优选为0.85以上，更优选为0.90以上。如此本发明的皮膜基本上以氮化物为基础，但也可以添加B和C。B的原子比x也可以为0，但例如0.01以上，还能够为0.02以上。但是从确保耐磨耗性的观点出发，B的原子比x为0.15以下，优选为0.10以下，更优选为0.05以下。
另外通过上述添加C可抑制粘附。C的原子比y也可以是0，但为了得到此粘附抑制效果，例如能够为0.03以上。但是从确保耐磨耗性的观点出发，C的原子比y为0.10以下，优选为0.07以下，更优选为0.05以下。
此外本发明者们还发现，使下式(2)表示的TiCrAlL(BCN)所构成的皮膜，与下式(3)表示的Zr(BCN)所构成的皮膜交替层叠时，也能够得到像上式(1)那样使Zr均匀固溶在膜中的皮膜同样的效果。下式(2)的Ti、Cr、Al、L、B、C、N的各原子比a、b、c、e、x、y、z的范围和优选的上下限值，以及下式(3)的B、C、N的各原子比s、t、u的范围和优选的上下限值，与上式(1)的Ti、Cr、Al、L、B、C、N的各原子比相同。
皮膜Q：TiaCrbAlcLe(BxCyNz)…(2)
在上式(2)中，
L是Si和Y之中的一种以上的元素，
a、b、c、e、x、y、z分别是Ti、Cr、Al、L、B、C、N的原子比，各原子比满足下述范围。
0≤a≤0.30，0.10≤b≤0.30，0.40≤c≤0.70，0≤e≤0.10，0≤x≤0.15，0≤y≤0.10，0.80≤z≤1，a+b+c+e＝1，x+y+z＝1
皮膜R：Zr(BsCtNu)…(3)
在上式(3)中，
s、t、u分别是B、C、N的原子比，各原子比满足下述范围。
0≤s≤0.15，0≤t≤0.10，0.80≤u≤1，s+t+u＝1
为了通过上述多层化，得到与上式(1)的使Zr在膜中均匀固溶的皮膜相同的效果，需要使皮膜Q和皮膜R的各自1层的膜厚为1.0nm以上。各膜厚优选为2nm以上，更优选为5nm以上。另外需要使皮膜Q与皮膜R的各自1层的膜厚为50nm以下，优选为30nm以下，更优选为20nm以下，进一步优选为10nm以下。以下，将如此使皮膜Q与皮膜R层叠的硬质皮膜称为“层叠型硬质皮膜”。
还有，皮膜Q和皮膜R的1层的膜厚不需要一定相同，只要在上述范围内，则能够取任意的值。本发明的层叠型硬质皮膜，基材侧为皮膜Q和皮膜R的哪一个都可以。此外，存在于基材侧的皮膜Q或皮膜R，也可以是存在于最表面侧那样的膜结构，能够根据目的，成为各种各样的层叠结构。
使上述皮膜Q和皮膜R层叠而成的硬质皮膜的整体厚度没有任何限定。但是为了有效地发挥本发明的特性，优选皮膜的整体厚度为0.5μm以上。但是，若皮膜的整体厚度过厚，则切削中容易发生膜的缺损和剥离。因此整体厚度优选为10μm以下，更优选为5μm以下，进一步优选为3μm以下。还有，优选在满足上述式(1)的单层的情况下，也使膜厚为10μm以下。
皮膜Q和皮膜R的层叠次数，推荐以满足上述优选的整体厚度的方式适当地控制。为了最大限度地发挥来自层叠状态下的皮膜Q和皮膜R的功能，优选层叠次数为5以上的多次。从这样的观点出发，优选使皮膜Q和皮膜R的各自的膜厚变薄，而增多层叠次数。在此所谓层叠次数，是将1层皮膜Q和1层皮膜R的层叠作为层叠1次时的值。
在本发明中，也包括在基材上形成有所述硬质皮膜的硬质皮膜被覆构件。作为该硬质皮膜被覆构件，例如可列举刀片、钻头、立铣刀等的切削工具，或锻造加工、冲压成形、挤压成形、剪切等的各种模具和冲头等的塑性加工用工具等。特别是可列举金属材料的加工用工具，例如，用于铁系材料等的一般的切削和塑性加工的加工用工具。本发明最能发挥效果的，是适用于被切削材是纯钛或钛合金的切削工具、被加工材是纯钛或钛合金并在塑性加工时于滑动面有咬粘问题这样的塑性加工用工具(夹具)的情况。所述加工如果是有粘附和咬粘问题这样的加工，则不论湿式加工、干式加工的区别。
用于上述硬质皮膜被覆构件的基材的种类未特别限定，可列举以下这样的基材。即，例如WC－Co系合金、WC－TiC－Co系合金、WC－TiC－(TaC或NbC)－Co系合金、WC－(TaC或NbC)－Co系合金等的WC基超硬合金；例如TiC－Ni－Mo系合金、TiC－TiN－Ni－Mo系合金等的金属陶瓷；例如JIS G 4403(2006)所规定的SKH51和SKD61等的高速钢；陶瓷；立方晶型氮化硼烧结体；金刚石烧结体；氮化硅烧结体；由氧化铝和碳化钛构成的混合体等。
将本发明的硬质皮膜形成于基材上时，出于提高基材与硬质皮膜的密接性的目的，也可以在基材与硬质皮膜之间形成别的金属、氮化物、碳氮化物、碳化物等的中间层。作为所述中间层，例如可列举TiN、CrN、TiAlN、CrAlN、TiCrAlN等。
本发明的硬质皮膜，能够使用PVD法(Physical Vapor Depositionprocess，物理的气相沉积法)和CVD法(Chemical Vapor Deposition process，化学的气相沉积法)等公知的方法形成于基材表面。作为这样的方法，例如，有效的是电弧离子镀(AIP：Arc IonPlating)法等的离子镀法和溅射法等的反应性PVD法。
作为上式(1)～(3)的各组成的硬质皮膜的形成方法，可列举以下的方法。例如，可列举作为蒸发源的靶，使用含有构成上述皮膜的作为C和N以外的成分的金属元素，此外根据需要还含有B的合金靶，作为气氛气体，使用氮气、甲烷和乙炔等烃气，由AIP法或溅射法形成。在所述气氛气体中也可以包含Ar气。或者，也可以使用由满足上式(1)～(3)的各组成的化合物构成的靶成膜，即，使用由氮化物、碳氮化物、氮硼化物、或碳氮硼化物构成的靶进行成膜。但是，从设备成本和成膜速度的观点出发，推荐使用合金靶的方法。
特别是为了形成由上式(2)表示的皮膜Q和由上式(3)表示的皮膜R的层叠型的硬质皮膜，例如可列举以AIP法形成由TiCrAlL(BCN)构成的皮膜，并且一边以AIP法或溅射法使Zr放电，一边形成层叠型硬质皮膜。
作为用于形成所述硬质皮膜的装置，例如，能够使用日本国特开2008－024976号公报的图1所示的，具备电弧蒸发源和溅射蒸发源这两方的PVD复合装置。
成膜时的基材的温度，根据基材的种类适宜选择即可。从确保基材与硬质皮膜的密接性观点出发，能够为300℃以上，进一步为400℃以上。另外从防止基材的变形等的观点出发，能够使基材的温度为700℃以下，进一步为600℃以下。
另外作为其他的成膜条件，能够采用气氛气体的总压：0.5Pa以上、4Pa以下，电弧电流：100～200A，外加于基材的偏电压：－30～－200V，对溅射蒸发源的投入电功率：0.1～3kW等。
【实施例】
以下，列举实施例更具体地说明本发明，但本发明当然不受下述实施例限制，在能够适合前、后述的宗旨的范围当然也可以适当加以变更实施，这些均包含在本发明的技术范围内。
实施例1
使用分别具有多个电弧蒸发源和溅射蒸发源，AIP法和溅射法均可以实施的PVD复合装置，形成表1所示的组成的皮膜。还有，本发明的硬质皮膜，如上述以AIP法和溅射法的任意一种方法均可成膜，但以下由AIP法形成。作为基材，硬度调査用准备13mm见方×4mm厚的镜面超硬合金试验片，另外切削试验用准备刀片(CNMG432，超硬合金)。然后，在这些基材上同时成膜。详细地说，就是将这些基材导入上述装置后，排气至5×10－3Pa，之后，将基材加热500℃后，由Ar离子实施5分钟蚀刻。其后，导入只有氮或氮和甲烷气的混合气体达到4Pa，以电弧电流：150A，外加于基材的偏电压：－50V的条件，形成约3μm的上述皮膜，得到硬度调査用试样和切削试验用试样。
上述成膜中，使用构成各膜的作为C和N以外的成分的金属元素，此外根据组成还含有B的合金靶。作为该合金靶，使用使这些元素成为期望的组成而加以混合，并通过HIP法使之固化，经烧成而得到的粉末冶金靶。
另外作为比较例，也准备分别形成有TiAlN膜、TiCrAlN膜、TiCrAlSiN膜、AlCrN膜的试样。
使用如此得到的硬度调査用试样和切削试验用试样，如下述，进行硬度调査和切削试验。
硬度调査
使用所述硬度调査用试样，以载荷1N的条件测量维氏硬度。
切削试验
切削钛系金属时的磨耗进行，一般认为粘附磨耗是主体。因此在本实施例中，如下述所示，以切削寿命评价抗粘附性。即，使用所述切削试验用试样，按下述条件进行切削试验，如下述所示，以后刀面磨耗的最大部分达到300μm的切削长度评价抗粘附性。以下，将所述后刀面磨耗的最大部分达到300μm的切削长度仅称为“切削寿命”。
切削试验条件
工具：CNMG432，材质K313
被切削材：Ti－6Al－4V
速度：45m/分钟
送给量：0.15mm/分钟
DOC(Depth Of Cut：切削深度)：2mm
润滑：湿式
评价：后刀面磨耗的最大部分达到300μm的切削长度
上述维氏硬度越高且切削寿命越长，抗粘附性和耐磨耗性越优异，工具寿命评价为越长。这些结果显示在表1中。
【表1】
由表1可知如下。No.1～6是调查Zr量d的影响的例子。这些例子之中，No.2～5其Zr和其他的元素的原子比处于规定范围内，硬度高，切削寿命也高。另一方面，如No.1这样若Zr量d不足，则切削寿命变短。另外，如No.6这样Zr量d过剩时，切削寿命也变短。
No.7～10是调查Ti量a的影响的例子。这些例子之中，No.7～9其Ti和其他的元素的原子比处于规定范围内，硬度高，切削寿命也长。另一方面，No.10因为Ti量a过剩，所以切削寿命短。
No.11～15是调查Cr量b的影响的例子。这些例子之中，No.12～14其Cr和其他的元素的原子比处于规定范围内，硬度高，切削寿命也高。另一方面，No.11因为不含Cr，Al量c过剩，所以硬度低，切削寿命也变得相当短。另外No.15因为Cr量b过剩，所以切削寿命短。
No.16～21是调查Al量c的影响的例子。这些例子之中，No.17～20其Al和其他的元素的原子比处于规定范围内，硬度高，切削寿命也长。另一方面，No.16因为Al不足，并过剩地含有Ti和Cr，所以硬度低，切削寿命也短。另外No.21因为Al量c过剩，所以硬度低，切削寿命短。
No.22～27是调查L，即Si、Y的含量e的影响的例子。这些例子之中，No.22～24、26和27其L和其他的元素的原子比处于规定范围内，硬度高，切削寿命也高。这些以规定量含有L的例子，若与例如No.19比较，则可知通过少量添加L，切削寿命变得十分长。另一方面，No.25因为L量e高于规定的上限，所以硬度低，切削寿命也短。
No.28和29是调查B量x的影响的例子。No.28其B和其他的元素的原子比处于规定范围内，硬度高，切削寿命也长。相对于此，No.29因为过剩地含有B，所以硬度低，切削寿命短。
No.30～32是调查C量y的影响的例子。No.30和31其C和其他的元素的原子比处于规定范围内，硬度高，切削寿命也长。另一方面，No.32因为C量y过剩，所以硬度低，切削寿命短。
No.33～36是显示形成有以往所用的皮膜的结果的例子。这些例子中，切削寿命都很短。
实施例2
如表2所示，使用与实施例1相同的装置，尤其是AIP蒸发源，以AIP法形成将作为皮膜Q的TiCrAlN膜、作为皮膜R的ZrN膜交替层叠的层叠型硬质皮膜。详情如下。准备与实施例1相同的基材，使表2所示的组成·膜厚的皮膜Q，和表2所示的组成·膜厚的皮膜R交替层叠，形成整体厚度约3μm的层叠皮膜，除此以外均与实施例1同样而进行成膜。表2的皮膜Q和皮膜R的各膜厚，通过使层叠周期变化而改变。在所述皮膜Q的形成中，使用作为N以外的成分的(Ti、Cr、Al)靶，在上述皮膜R的形成中，使用Zr靶。
使用如此得到的硬度调査用试样和切削试验用试样、与实施例1同样地进行硬度调査和切削试验。其结果显示在表2中。
【表2】
由表2可知如下。No.1～6是使皮膜Q和皮膜R的组成与整体厚度相同，使各皮膜的1层的膜厚变化的例子。这些例子之中No.2～5因为皮膜Q和皮膜R的组成与膜厚满足本发明所规定的范围，所以硬度高，切削寿命也长，能够得到抗粘附性和耐磨耗性优异的结果。相对于此，No.1因为皮膜Q和皮膜R的膜厚均薄，所以硬度低，切削寿命也短。No.6因为皮膜Q和皮膜R的膜厚均高于规定的范围，所以硬度低，切削寿命也短，为抗粘附性和耐磨耗性差的结果。
详细并参照特定的实施方式说明了本发明，但不脱离本发明的精神和范围能够加以各种变更和修改，这对从业者来说很清楚。
本申请基于2015年5月12日申请的日本专利申请(专利申请2015－097299)，其内容在此作为参照而编入。
【产业上的可利用性】
本发明对于纯钛或钛合金的切削所用的切削工具，和纯钛或钛合金的塑性加工所用的塑性加工用工具有用。

Claims (5)

1.一种硬质皮膜，其特征在于，是形成于基材上的硬质皮膜，满足由下式(1)表示的组成，
TiaCrbAlcZrdLe(BxCyNz)…(1)
在上式(1)中，
L是Si和Y之中的一种以上的元素，
a、b、c、d、e、x、y、z分别是Ti、Cr、Al、Zr、L、B、C、N的原子比，各原子比满足下述范围，
0≤a≤0.30，
0.10≤b≤0.30，
0.40≤c≤0.70，
0.03≤d≤0.20，
0≤e≤0.10，
0≤x≤0.15，
0≤y≤0.10，
0.80≤z≤1，
a+b+c+d+e＝1，
x+y+z＝1。
2.一种硬质皮膜，其特征在于，是形成于基材上的硬质皮膜，是使满足由下式(2)表示的组成且膜厚为1.0nm以上、50nm以下的皮膜Q，和满足由下式(3)表示的组成且膜厚为1.0nm以上、50nm以下的皮膜R交替层叠而成的，
皮膜Q：TiaCrbAlcLe(BxCyNz)…(2)
在上式(2)中，
L是Si和Y之中的一种以上的元素，
a、b、c、e、x、y、z分别是Ti、Cr、Al、L、B、C、N的原子比，各原子比满足下述范围，
0≤a≤0.30，
0.10≤b≤0.30，
0.40≤c≤0.70，
0≤e≤0.10，
0≤x≤0.15，
0≤y≤0.10，
0.80≤z≤1，
a+b+c+e＝1，
x+y+z＝1，
皮膜R：Zr(BsCtNu)…(3)
在上式(3)中，
s、t、u分别是B、C、N的原子比，各原子比满足下述范围，
0≤s≤0.15，
0≤t≤0.10，
0.80≤u≤1，
s+t+u＝1。
3.一种硬质皮膜被覆构件，其中，在基材上形成有权利要求1或2所述的硬质皮膜。
4.根据权利要求3所述的硬质皮膜被覆构件，其中，是用于纯钛或钛合金的切削的切削工具。
5.根据权利要求3所述的硬质皮膜被覆构件，其中，是用于纯钛或钛合金的塑性加工的塑性加工用工具。
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