CN107489688A - 具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法，其中的吸盘装置包括：吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉和至少一个第二螺钉；吸盘上设置有多个螺纹通孔；吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；至少一个第一螺钉上设置有通孔，且该通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；第二螺钉通过该的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。本发明提供的技术方案能够方便快捷的使吸盘的上表面处于高精度的水平状态，且该吸盘装置还具有易用性强以及水平精度高等特点。

Description

具有水平调整功能的吸盘装置以及安装方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种具有水平调整功能的吸盘装置以及吸盘装置的安装方法。

背景技术

硅片作为集成电路的基底，是半导体生产制造工艺中不可或缺的元素。

在生产过程中，各类仪器设备对硅片的取放、承载以及转移有着不同的专业要求。在光学检测设备中，不但要求硅片承载台对硅片的吸着要平整均匀，而且特别要求与系统的光学轴要严格垂直或以某一规定角度准直；而在硅片承载台安装校准中，由于其精准度及最大误差的限制近乎苛刻，对系统工程师来说困难很大。

为了提高对硅片承载台倾斜角调节的操控性及精度，人们作了努力，目前设计出的的硅片承载台的结构包括：气浮支座、调平机构、平面电机以及方镜等部件；其中的方镜上通常设置有吸盘装置，且该吸盘装置主要用于对硅片进行吸附，以使硅片固定于硅片台上；该方镜通常由至少三个方镜支柱支撑，且方镜支柱的底部固定设置于调平机构的上表面，该调平机构通常包括多个调平执行器，且每一个方镜支柱均与相应的调平执行器对应设置；该方镜与气浮支座之间通常设置有多个电涡流传感器，通过利用电涡流传感器可以准确的测量出气浮支座与方镜之间的垂向高度，通过根据测量出的垂向高度来驱动平面电机运转，可以使方镜始终处于高精度的水平状态，进而使方镜上的硅片处于水平状态。

发明人在实现本发明过程中发现，虽然现有的硅片台可以使方镜处于高精度的水平状态，然而，由于吸盘装置的机械制造误差以及安装操作等多方面的因素，固定设置于方镜上的吸盘装置的吸盘上表面很可能会出现没有保持水平状态的现象，从而使硅片台上的硅片没有很好的处于水平状态，最终会对半导体制造工艺产生不良影响。

发明内容

本发明的目的是提供一种具有水平调整功能的吸盘装置以及吸盘装置的安装方法。

根据本发明的一个方面，提供一种具有水平调整功能的吸盘装置，且所述吸盘装置主要包括：吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉以及至少一个第二螺钉；所述吸盘上设置有多个螺纹通孔；所述吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；所述多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；至少一个第一螺钉上设置有通孔，且第一螺钉上的通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；所述第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。

根据本发明的另一个方面，提供一种具有水平调整功能的吸盘装置的安装方法，且所述吸盘装置的安装方法包括：将各第一螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，且各第一螺钉的下表面不突出于吸盘的下表面；将第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上；通过检测吸盘的上表面的水平情况调整相应的第一螺钉旋入螺纹通孔的深度，以使吸盘的上表面处于水平状态。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明通过在吸盘上设置多个螺纹通孔，并通过控制相应位置的第一螺钉在螺纹通孔中的旋入深度，可以方便的使吸盘的上表面处于水平状态；通过在第一螺钉上设置通孔，并使通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合，这样，在第二螺钉穿过第一螺钉上的通孔而与吸盘底座的螺纹孔螺合时，上紧第二螺钉的紧固力只会作用在调整螺钉与吸盘底座相接触的区域，而不会增大吸盘的变形，因此，在通过调整第一螺钉使吸盘的上表面保持高精度的水平状态后，上紧第二螺钉的操作基本上不会对吸盘的上表面的水平状态产生不利影响；由此可知，本发明提供的技术方案能够方便快捷的使吸盘的上表面处于高精度的水平状态，且本发明的吸盘装置还具有易用性强以及水平精度高等特点。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明实施例一的具有水平调整功能的吸盘装置的立体图；

图2为本发明实施例一的具有水平调整功能的吸盘装置的主视图；

图3为本发明实施例一的调整螺钉的立体图；

图4为本发明实施例一的防松螺钉的立体图。

附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。

具体实施方式

在更加详细地讨论示例性实施例之前，应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法。虽然流程图将各项操作描述成顺序的处理，但是，其中的许多操作可以被并行地、并发地或者同时实施。此外，各项操作的执行顺序可以被重新安排。当其操作完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤。所述处理可以对应于方法、函数、规程、子例程、子程序等等。

这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本发明的示例性实施例的目的。但是，本发明可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。

应当理解的是，虽然在这里可能使用了术语“第一”、“第二”等等来描述各个单元，但是这些单元不应当受这些术语限制。使用这些术语仅仅是为了将一个单元与另一个单元进行区分。举例来说，在不背离示例性实施例的范围的情况下，第一单元可以被称为第二单元，并且类似地第二单元可以被称为第一单元。这里所使用的术语“和/或”包括其中一个或更多所列出的相关联项目的任意和所有组合。

应当理解的是，当一个单元被称为“连接”或者“耦合”到另一个单元时，其可以直接连接或耦合到所述另一单元，或者可以存在中间单元。与此相对，当一个单元被称为“直接连接”或“直接耦合”到另一单元时，则不存在中间单元。应当按照类似的方式来解释被用于描述单元之间的关系的其他词语(例如“处于...之间”相比于“直接处于...之间”，“与...邻近”相比于“与...直接邻近”等等)。

这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

下面结合附图对本发明作进一步详细描述。

实施例一、具有水平调整功能的吸盘装置。

本实施例的具有水平调整功能的吸盘装置通常可以作为用于吸附硅片的吸盘装置，例如，本实施例的吸盘装置可以设置于硅片台上，以使吸附在吸盘装置上的硅片可以方便的进行刻蚀以及缺陷检查等工序。本实施例的具有水平调整功能的吸盘装置的主要结构如图1-4所示。

下面参照具体实施例对具有水平调整功能的吸盘装置进行说明。

图1-图4中，本实施例的具有水平调整功能的吸盘装置主要包括：吸盘1、吸盘底座5、多个第一螺钉2以及至少一个第二螺钉4(通常为多个第二螺钉4)。优选的，该吸盘装置还可以包括：多个第三螺钉3。

吸盘1主要用于吸附半导体器件，如吸附硅片。吸盘1的上表面通常为圆形或者方形等，且吸盘1的材质通常可以为不锈钢、铝合金(如航空铝)或者陶瓷等硬质材质。吸盘1上设置有多个螺纹通孔101(图1中示意性的示出了三个螺纹通孔101，螺纹通孔101的数量也可以更多)，且多个螺纹通孔101在吸盘上的布设通常是均匀的，如多个螺纹通孔101可以均匀的设置于以吸盘1的圆心为圆心的一个圆周或者两个圆周上。螺纹通孔101的内螺纹螺距与第一螺钉2的外螺纹201螺距相匹配，如螺纹通孔101的内螺纹螺距和第一螺钉2的外螺纹201螺距均为0.3mm左右。吸盘1上可以设置有用于形成负压(如真空)的沟槽，该沟槽也可以称为气道；如图1-2中的吸盘1上设置有两个圆形沟槽，在将半导体器件(如硅片)放置在吸盘1上之后，通过抽取吸盘1上的气道中的空气可以使硅片紧密的吸附在吸盘1上，即本实施例中的吸盘1可以通过负压的方式来吸附硅片；当然，本实施例中的吸盘1也可以通过静电的方式来吸附硅片。本实施例不限制吸盘1的材质、吸盘1的形状、吸盘1的吸附方式、吸盘1上设置的螺纹通孔101的具体位置、螺纹通孔101的螺距、吸盘1上的沟槽的形状以及沟槽的具体设置位置等。

吸盘底座5主要用于将吸盘装置固定设置于安装面上，如通过吸盘底座5将吸盘装置固定设置在硅片台的方镜上。吸盘底座5上设置有至少一个螺纹孔，该螺纹孔的位置应与吸盘1上设置的螺纹通孔101的位置相对应，以便于可以通过至少一个第二螺钉4以及第一螺钉2将吸盘1固定设置于吸盘底座5上。虽然本实施的图1和图2所示出的吸盘底座5为圆柱体，且该圆柱体的圆半径小于吸盘1的圆半径，然而，本实施例并不限制吸盘底座5的外部形状(如可以为正多边体)，也不限制吸盘底座5上所设置的螺纹孔的数量。

第一螺钉2主要用于通过旋入吸盘1中相应的螺纹通孔101的深度来调整吸盘1的上表面的高低，以便于使吸盘1的上表面整体处于水平状态；由此第一螺钉2也可以被称为调整螺钉。第一螺钉2还用于通过与第二螺钉4进行配合将吸盘1固定设置于吸盘底座5上。作为示例，图1所示出的吸盘装置为设置有三个第一螺钉2的吸盘装置，然而，在实际应用中，吸盘装置所包含的第一螺钉2的数量还可以更多或者更少，且第一螺钉2的数量通常与吸盘1上的螺纹通孔101的数量相同。另外，由于多个螺纹通孔101在吸盘上的布设通常是均匀的，因此，第一螺钉2在吸盘上的布设通常也是均匀的，如多个第一螺钉2可以均匀的设置于吸盘上的以吸盘1的圆心为圆心的一个圆周或者两个圆周上。本实施例不限制吸盘装置所包含的第一螺钉2的数量以及第一螺钉2在吸盘上的均匀布设方式。

在第一螺钉2被旋入吸盘1上设置的螺纹通孔101的过程中，通常会出现第一螺钉2的下表面与吸盘底座5的上表面相互抵接的现象；而在第一螺钉2的下表面与吸盘底座5的上表面相互抵接的情况下，第一螺钉2被旋入螺纹通孔101中的深度越深，则第一螺钉2所在位置的吸盘1的相应区域的水平高度会越高；本实施例通过对第一螺钉2在螺纹通孔中的旋入深度的控制可以实现对吸盘1的局部高度调整精度达到1μm。由于本实施例中的多个第一螺钉2通常是均匀的分布在吸盘1上的，因此，通过调整多个第一螺钉2的旋入深度可以使吸盘1的上表面整体处于精度的水平状态。另外，由于吸盘1的上表面会与半导体器件(如硅片)相吸合，因此，旋入于螺纹通孔101中的所有第一螺钉2的上表面均应不突出于吸盘1的上表面(如低于吸盘1的上表面)，即第一螺钉2的厚度应不大于吸盘1的厚度；而在本实施例的吸盘装置包含有第三螺钉3的情况下，第一螺钉2的厚度应小于吸盘1的厚度，且第一螺钉2的厚度与第三螺钉3的厚度之和应不超过吸盘1的厚度。

本实施例中的至少一个第一螺钉2上设置有通孔；在通常情况下，每一个第一螺钉2上均设置有通孔，且通孔的中心线与其所在的第一螺钉2的中心线重合。第一螺钉2上设置的通孔主要用于配合第二螺钉4使吸盘1固定在吸盘底座5上。第一螺钉2上设置的通孔通常为光孔；且优选的，第一螺钉2上设置的通孔可以为台阶孔202，这样，在第二螺钉4旋入吸盘底座5上相应的螺纹孔的过程中，第二螺钉4的螺钉帽的下表面通过与台阶孔202的台阶面相互抵接而将吸盘1与吸盘底座5牢固的连接在一起。当然，本实施例中的第一螺钉2上设置的通孔也可以不为台阶孔，例如，第一螺钉2上设置的通孔为仅具有一个直径的直通孔。本实施例不限制第一螺钉2上所设置的通孔的具体表现形式。

作为示例，本实施例的第一螺钉2的上端面设置有两个一字槽203(如图3所示)，两个一字槽203均位于第一螺钉2的径向方向(即第一螺钉2的通孔的径向方向)，即第一螺钉2的直径(即第一螺钉2的通孔的直径)可以连通两个一字槽203，以方便使用相应的工具将第一螺钉2旋入吸盘1上相应的螺纹通孔101中或者从相应的螺纹通孔101中旋出第一螺钉2。当然，本实施例的第一螺钉2的上端面也可以设置其他形式的能够配合相应的工具对第一螺钉2进行旋入/旋出操作的结构，如第一螺钉2的上端面设置有两个分设于台阶孔202两侧的孔(如圆孔或者方孔等)或者四个相对设置的一字槽等。

第二螺钉4主要用于通过与第一螺钉2配合而将吸盘1与吸盘底座5固定连接在一起，即第二螺钉4穿过第一螺钉2上的通孔与吸盘底座5上的螺纹孔螺合，使吸盘1固定在吸盘底座5上；由此第二螺钉4也可以称为紧固螺钉。第二螺钉4的外螺纹外径应不大于第一螺钉2上的通孔的内径，且吸盘底座5的螺纹孔的内螺纹螺距与第二螺钉4的外螺纹螺距相匹配。

作为示例，在第一螺钉2上的通孔为台阶孔的情况下，第二螺钉4在与吸盘底座5上的螺纹孔螺合后，第二螺钉4的上表面可以完全沉入或者部分沉入台阶孔所形成的台阶空间中(如图2所示)，即第二螺钉4的上表面不突出于第一螺钉2的上表面或者第二螺钉4的上表面突出于第一螺钉2的上表面且第二螺钉4的下表面低于第一螺钉2的上表面。在第一螺钉2上的通孔为直通孔的情况下，第二螺钉4在旋入吸盘底座5上相应的螺纹孔的过程中，第二螺钉4的螺钉帽的下表面通过与第一螺钉2的上表面相互抵接而将吸盘1与吸盘底座5牢固的连接在一起；此时，第二螺钉4的上表面通常突出于第一螺钉2的上表面。

作为示例，本实施例的吸盘装置所包含的第二螺钉4的数量通常与第一螺钉2的数量相同；在实际应用中，吸盘装置所包含的第二螺钉4的数量可以小于第一螺钉2的数量。

第三螺钉3主要用于通过旋入吸盘1中相应的螺纹通孔101中，来防止位于同一个螺纹通孔101中的第一螺钉2出现松动的现象；例如，硅片台在工作过程中通常会处于微震动状态，硅片台的微震动容易使第一螺钉2发生松动现象，从而导致吸盘1的上表面不能够长时间的始终处于水平状态。本实施例通过在第一螺钉2的上方设置第三螺钉3，可以有效避免第一螺钉2由于微震动而出现的松动现象，从而使吸盘1的上表面能够长时间的保持水平状态；由此第三螺钉3也可以称为防松螺钉。第三螺钉3的外螺纹301应与第一螺钉2的外螺纹201的规格相同，且旋入吸盘1的同一个螺纹通孔101中的第一螺钉2的上表面和第三螺钉3的下表面通常相互抵接。

作为示例，第三螺钉3上设置有通孔302(如图4所示，该通孔302可以为光孔)，且第三螺钉3上的通孔302的中心线与第三螺钉3的中心线重合，第三螺钉3上的通孔302的直径通常不小于第二螺钉4的最大直径，如第三螺钉3上的通孔302的直径大于第二螺钉4的螺钉帽的直径，从而在第三螺钉3旋入吸盘1上的螺纹通孔101之后，仍然可以对第二螺钉4进行旋入旋出操作。

作为示例，本实施例的第三螺钉3的厚度小于第一螺钉2厚度(如图3中的第一螺钉2的厚度大于图4中的第三螺钉3的厚度)。另外，第三螺钉的上端面设置有两个一字槽303(如图3所示)，两个一字槽303均位于第三螺钉3的径向方向(即第三螺钉3的通孔302的径向方向)，即第三螺钉3的直径(即第三螺钉3的通孔302的直径)可以连通两个一字槽303，从而可以方便的使用相应的工具将第三螺钉3旋入吸盘1上相应的螺纹通孔101中或者从相应的螺纹通孔101中旋出第三螺钉3。当然，本实施例的第三螺钉3的上端面也可以设置其他形式的能够配合相应的工具对第三螺钉3进行旋入/旋出操作的结构，如第三螺钉3的上端面设置有两个分设于通孔302两侧的孔(如圆孔或者方孔等)或者四个相对设置的一字槽等。还有，本实施例的吸盘装置所包含的第三螺钉3的数量通常与第一螺钉2的数量相同。

实施例二、具有水平调整功能的吸盘装置的安装方法。

本实施例的具有水平调整功能的吸盘装置的安装方法包括如下步骤：

首先，在吸盘底座5需要被固定的情况下，将吸盘底座5固定设置于吸盘装置的安装面上，如将吸盘底座5固定设置于硅片台的方镜上。本实施例可以采用粘接或者焊接等方式将吸盘底座5固定设置于吸盘装置的安装面上，本实施例不限制将吸盘底座5固定设置于吸盘装置的安装面的具体实现方式。在吸盘底座5已经处于固定设置的情况下，可以直接执行下面的步骤。

之后，将各第一螺钉2(即调整螺钉)分别旋入吸盘1上相应的螺纹通孔101中，且每一个第一螺钉2的下表面均不突出于吸盘1的下表面。优选的，旋入吸盘1上的螺纹通孔101中的各第一螺钉2的下表面分别与吸盘1的下表面共面(即处于同一平面)。本实施例可以利用一字改锥等工具将第一螺钉2旋入吸盘1上相应的螺纹通孔101中。

之后，将第二螺钉4(即紧固螺钉)通过第一螺钉2上的台阶孔202与吸盘底座5上的螺纹孔螺合，使吸盘1牢固的固定在吸盘底座5上，且第二螺钉4的上表面完全沉入或者部分沉入台阶孔202所形成的台阶空间中，从而使第二螺钉4的上表面完全不突出于第一螺钉2的上表面或者使第二螺钉4的上表面突出于第一螺钉2的上表面且第二螺钉4的下表面低于第一螺钉2的上表面。本实施例可以利用一字改锥或者十字改锥等工具将第二螺钉4旋入吸盘底座5上的螺纹孔中。

之后，通过检测吸盘1的上表面的水平情况调整相应的第一螺钉2旋入螺纹通孔101的深度，以使吸盘1的上表面处于水平状态。本实施例可以利用高度尺和千分表来检测吸盘1的上表面的水平情况。本步骤通过不断的对吸盘1的上表面的水平情况进行检测，并不断的根据检测结果来调整相应的第一螺钉2的旋入深度，最终可以使吸盘1的上表面整体处于高精度的水平状态；具体而言，本实施例检测吸盘1的上表面的水平情况，在检测结果为吸盘1的上表面的水平情况不能满足预定的精度要求时，先确定出待调整位置(如需要升高或者降低的位置)，并松开待调整位置处的第二螺钉4，然后，对待调整位置处的第一螺钉2进行旋入或者旋出操作，如在需要使吸盘1的第一螺钉2位置处的上表面升高时，对第一螺钉2执行旋入操作，而在需要使吸盘1的第一螺钉2位置处的上表面降低时，对第一螺钉2执行旋出操作；然后，再上紧待调整位置处的第二螺钉4，然后，返回到上述检测吸盘1的上表面的水平情况的步骤，直到检测出的结果为吸盘1的上表面的水平情况满足预定的精度要求，则跳转到下面记载的与第三螺钉3有关的操作。

最后，将各第三螺钉3(即防松螺钉)分别旋入吸盘1上相应的螺纹通孔101中，直到第三螺钉3的上表面不突出于吸盘1的上表面，且第三螺钉3的下表面与螺合于同一螺纹通孔101中的第一螺钉2的上表面抵接；第三螺钉3可以有效避免与其位于同一个螺纹通孔101中的第一螺钉2的松动现象，从而使吸盘1的上表面能够长时间的保持高精度的水平状态。本实施例可以利用一字改锥等工具将第一螺钉2旋入吸盘1上相应的螺纹通孔101中。

需要特别说明的是，在上述吸盘装置的安装过程中，由于第一螺钉2和第二螺钉4的中心线重合，因此，上紧第二螺钉4的紧固力仅作用在调整螺钉2与吸盘底座5相接触的区域，即上紧第二螺钉4的紧固力并不会增大吸盘1的变形，从而在通过调整第一螺钉2使吸盘1的上表面保持高精度的水平状态后，对第二螺钉4的操作基本上不会对吸盘1的上表面的水平状态产生不利影响。另外，在通过对第一螺钉2进行旋入或者旋出操作来使吸盘1的上表面处于水平状态的过程中，对第一螺钉2的旋入或者旋出的调整幅度应小一些，以尽快地将吸盘1的上表面调整到高精度的水平状态。

对于本领域技术人员而言，显然，本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一方面来看，均应该将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明来限定，因此，旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化涵括在本发明内。不应该将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，显然“包括”一词不排除其他单元或步骤，单数不排除复数。系统权利要求中陈述的多个单元或装置也可以由一个单元或装置通过软件或者硬件来实现。第一以及第二等词语用来表示名称，而并不表示任何特定顺序。

虽然前面特别示出并且描述了示例性实施例，但是本领域技术人员将会理解的是，在不背离权利要求书的精神和范围的情况下，在其形式和细节方面可以有所变化。这里所寻求的保护在所附权利要求书中做了阐述。

Claims (10)

1.一种具有水平调整功能的吸盘装置，其中，所述的吸盘装置包括：吸盘、吸盘底座、多个第一螺钉以及至少一个第二螺钉；

所述吸盘上设置有多个螺纹通孔；

所述吸盘底座上设置有至少一个螺纹孔；

所述多个第一螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，且螺合于螺纹通孔中的第一螺钉的上表面低于吸盘的上表面，通过调整各第一螺钉旋入螺纹通孔的深度使吸盘的上表面处于水平状态；

至少一个第一螺钉上设置有通孔，且第一螺钉上的通孔的中心线与第一螺钉的中心线重合；

所述第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上。

2.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述多个螺纹通孔均匀的布设于以吸盘的圆心为圆心的一个圆周上。

3.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述第一螺钉上设置的通孔为台阶孔，且所述第二螺钉通过第一螺钉上的台阶孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合后，第二螺钉的上表面沉入台阶孔形成的台阶空间中。

4.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述第一螺钉的上端面设置有两个一字槽，且所述两个一字槽被第一螺钉的通孔的一条直径连通；

或者

所述第一螺钉的上端面设置有两个孔，且所述两个孔分设在第一螺钉的通孔的两侧。

5.根据权利要求1所述的吸盘装置，其中，所述吸盘装置还包括：多个第三螺钉；

所述多个第三螺钉分别与吸盘上相应的螺纹通孔螺合，螺合于同一个螺纹通孔中的第三螺钉的下表面与第一螺钉的上表面抵接，且螺合于螺纹通孔中的第三螺钉的上表面不突出吸盘的上表面。

6.根据权利要求5所述的吸盘装置，其中，所述多个第三螺钉上分别设置有通孔，且第三螺钉上的通孔的中心线与第三螺钉的中心线重合，第三螺钉上的通孔的直径不小于第二螺钉的最大直径。

7.根据权利要求1至6中任一权利要求所述的吸盘装置，其中，所述吸盘装置用于吸附硅片。

8.一种具有水平调整功能的吸盘装置的安装方法，其中，所述安装方法包括：

将各第一螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，且各第一螺钉的下表面不突出于吸盘的下表面；

将第二螺钉通过第一螺钉上的通孔与吸盘底座上的螺纹孔螺合，使吸盘固定在吸盘底座上；

通过检测吸盘的上表面的水平情况调整相应的第一螺钉旋入螺纹通孔的深度，以使吸盘的上表面处于水平状态。

9.根据权利要求8所述的安装方法，其中，所述将各第一螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，且各第一螺钉的下表面不突出于吸盘的下表面的步骤包括：

将各第一螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，且各第一螺钉的下表面与吸盘的下表面处于同一平面。

10.根据权利要求8或9所述的安装方法，其中，所述方法还包括：

将各第三螺钉分别旋入吸盘上相应的螺纹通孔中，直到第三螺钉的上表面不突出吸盘的上表面，且第三螺钉的下表面与螺合于同一螺纹通孔中的第一螺钉的上表面抵接。